CN110000148A - 一种光罩清洗机 - Google Patents
一种光罩清洗机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110000148A CN110000148A CN201910427630.XA CN201910427630A CN110000148A CN 110000148 A CN110000148 A CN 110000148A CN 201910427630 A CN201910427630 A CN 201910427630A CN 110000148 A CN110000148 A CN 110000148A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- device housings
- machinery arm
- precision machinery
- fixedly installed
- cleaning machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 18
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000010865 sewage Substances 0.000 claims abstract description 13
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims abstract description 11
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 13
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 3
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005864 Sulphur Substances 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
本发明公开了一种光罩清洗机，包括，设备外壳，所述设备外壳下端固定设置检修口，所述精密机械臂控制面板设置在操作区域的上端，所述操作区域的设置在人机交互面板的旁边，所述压力调节面板设置在精密机械臂控制面板左边，所述设备外壳的上端设置有观察视窗，所述设备外壳的侧面固定设置有管路区、配电柜，所述设备外壳的后面固定设置有抽风阀，所述设备外壳内部固定设置有钢骨架，所述设备外壳的内部的下端固定设置有废水回收槽、预热水槽。设备外壳内部放置清洗槽、预热水槽，用于盛放硫酸等药液，设备外壳顶部安装精密机械臂，用于放置所需清洗的硅片并浸入清洗槽，带动硅片旋转、上下提动。
Description
技术领域
本发明涉及清洗机技术领域，具体是一种光罩清洗机。
背景技术
清洗机，用于冲洗过滤液压系统在制造、装配、使用过程及维护时生成或侵入的污染物;也可以适用于对工作油液的定期维护过滤，提高清洁度，避免或减少因污染而造成的故障，从而保证液压系统设备的高性能、高可靠度和长寿命。
光照清洗机是指一种清洗半导体晶圆的设备，其一般采用钢骨架焊接PP防腐板材，整合精密摆动机械臂、石英缸、精密称量桶、抽风系统、清洗槽、预热水槽等部件，使用硫酸双氧水清洗硅片的设备，广泛应用于半导体行业。现有技术中，通常光照清洗机使用人工放置、移动半导体硅片，导致清洗时间不精确，移动过程中有磕碰的现象，可能对清洗的硅片造成损伤。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光罩清洗机，以解决上述背景技术中提出的光照清洗机使用人工放置、移动半导体硅片，导致清洗时间不精确，移动过程中有磕碰的现象，可能对清洗的硅片造成损伤的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种光罩清洗机，包括设备外壳，所述设备外壳下端固定设置检修口，所述设备外壳上还设置有操作区域、精密机械臂控制面板、人机交互面板、压力调节面板，所述操作区域设置在检修口的上端，所述设备外壳上端设置有检修口，所述精密机械臂控制面板设置在操作区域的上端，所述操作区域的设置在人机交互面板的旁边，所述压力调节面板设置在精密机械臂控制面板左边，所述设备外壳的上端设置有观察视窗，所述设备外壳的侧面固定设置有管路区、配电柜，所述设备外壳的后面固定设置有抽风阀，所述设备外壳内部固定设置有钢骨架，所述钢骨架上安装精密机械臂，所述设备外壳的内部的下端固定设置有废水回收槽、预热水槽，所述废水回收槽的上端固定设置有清洗槽，所述预热水槽设置在废水回收槽的旁边。人机交互面板为HMI人机交互面板；所述压力调节面板为PID调节面板，使用S7-200 PLC的PID指令时,建议通过向导完成,并熟练运用PID调节面板,可以极大地减小程序调试及PID参数整定的工作量。所述精密机械臂控制面板为NVIDIA控制面板调节；管路区设置管路，给清洗槽、预热水槽、废水回收槽通过管路连接生活用水，废水回收槽连通有清洗槽、预热水槽。所述配电柜内部固定设置有变压器，所述变压器连接在生活用电，所述变压器电性连接人机交互面板、压力调节面板、精密机械臂控制面板、抽风阀，所述精密机械臂控制面板电性连接精密机械臂，所述精密机械臂为100MM行程的直线电动推杆。
作为本发明进一步的方案：所述精密机械臂、清洗槽、废水回收槽均为两组设置。
作为本发明进一步的方案：所述检修口为矩形结构，所述检修口通过螺钉安装在所述设备外壳。
作为本发明进一步的方案：所述精密机械臂控制面板为两个，两个所述精密机械臂控制面板水平排列。
作为本发明进一步的方案：所述观察视窗的材料为PPW塑料材质，所述观察视窗上均设置有手柄。
作为本发明进一步的方案：所述管路区的盖板、配电柜的盖板通过螺钉安装在所述设备外壳的侧面，所述配电柜设置在管路区的上端。
作为本发明进一步的方案：所述设备外壳的后面固定开设有抽风格栅，所述抽风格栅与抽风阀位置相同。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：设备外壳内部放置清洗槽、预热水槽，用于盛放硫酸等药液，设备外壳顶部安装精密机械臂，用于放置所需清洗的硅片并浸入清洗槽，带动硅片旋转、上下提动，设备外壳中间设有抽风阀，抽风阀通过抽风格栅抽取操作区的带酸空气并从抽风阀排出，人机交互系统可设定清洗工艺的步骤，清洗时间。光照清洗机使用机械放置、移动半导体硅片，清洗时间精确，移动过程中避免磕碰。
附图说明
图1为本发明的一种光罩清洗机的主视示意图；
图2为本发明的一种光罩清洗机的立体结构图；
图3为本发明的一种光罩清洗机的侧视示意图；
图4为本发明的一种光罩清洗机的主视剖示图。
图中：1-设备外壳，2-人机交互面板，3-操作区域，4-检修口，5-压力调节面板，6-精密机械臂控制面板，7-观察视窗，8-管路区，9-配电柜，10-精密机械臂，11-抽风格栅，12-清洗槽，13-预热水槽，14-废水回收槽，15-钢骨架，16-抽风阀。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1～4，本发明实施例中，一种光罩清洗机，包括设备外壳1，所述设备外壳1下端固定设置检修口4，所述设备外壳1上还设置有操作区域3、精密机械臂控制面板6、人机交互面板2、压力调节面板5，所述操作区域3设置在检修口4的上端，所述设备外壳1上端设置有检修口4，所述精密机械臂控制面板6设置在操作区域3的上端，所述操作区域3的设置在人机交互面板2的旁边，所述压力调节面板5设置在精密机械臂控制面板6左边，所述设备外壳1的上端设置有观察视窗7，所述设备外壳1的侧面固定设置有管路区8、配电柜9，所述设备外壳1的后面固定设置有抽风阀16，所述设备外壳1内部固定设置有钢骨架15，所述钢骨架15上安装精密机械臂10，所述设备外壳1的内部的下端固定设置有废水回收槽14、预热水槽13，所述废水回收槽14的上端固定设置有清洗槽12，所述预热水槽13设置在废水回收槽14的旁边。
进一步地，所述精密机械臂10、清洗槽12、废水回收槽14均为两组设置。
进一步地，所述检修口4为矩形结构，所述检修口4通过螺钉安装在所述设备外壳1。
进一步地，所述精密机械臂控制面板6为两个，两个所述精密机械臂控制面板6水平排列。
进一步地，所述观察视窗7的材料为PPW塑料材质，所述观察视窗7上均设置有手柄。
进一步地，所述管路区8的盖板、配电柜9的盖板通过螺钉安装在所述设备外壳1的侧面，所述配电柜9设置在管路区8的上端。
进一步地，所述设备外壳1的后面固定开设有抽风格栅11，所述抽风格栅11与抽风阀16位置相同。
实施例：电器连接部分不做详细介绍，属于本领域容易设想到的技术，选择匹配的元件进行连接即可实现以下功能，设备外壳1内部放置清洗槽12、预热水槽13，用于盛放硫酸等药液，设备外壳1顶部安装精密机械臂10，用于放置所需清洗的硅片并浸入清洗槽12，带动硅片旋转、上下提动，设备外壳1中间设有抽风阀16，抽风阀16通过抽风格栅11抽取操作区的带酸空气并从抽风阀16排出，人机交互系统2可设定清洗工艺的步骤，清洗时间。光照清洗机使用机械放置、移动半导体硅片，清洗时间精确，移动过程中避免磕碰。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种光罩清洗机，包括设备外壳(1)，其特征在于，所述设备外壳(1)下端固定设置检修口(4)，所述设备外壳(1)上还设置有操作区域(3)、精密机械臂控制面板(6)、人机交互面板(2)、压力调节面板(5)，所述操作区域(3)设置在检修口(4)的上端，所述设备外壳(1)上端设置有检修口(4)，所述精密机械臂控制面板(6)设置在操作区域(3)的上端，所述操作区域(3)的设置在人机交互面板(2)的旁边，所述压力调节面板(5)设置在精密机械臂控制面板(6)左边，所述设备外壳(1)的上端设置有观察视窗(7)，所述设备外壳(1)的侧面固定设置有管路区(8)、配电柜(9)，所述设备外壳(1)的后面固定设置有抽风阀(16)，所述设备外壳(1)内部固定设置有钢骨架(15)，所述钢骨架(15)上安装精密机械臂(10)，所述设备外壳(1)的内部的下端固定设置有废水回收槽(14)、预热水槽(13)，所述废水回收槽(14)的上端固定设置有清洗槽(12)，所述预热水槽(13)设置在废水回收槽(14)的旁边，所述配电柜(9)内部固定设置有变压器，所述变压器连接在生活用电，所述变压器电性连接人机交互面板(2)、压力调节面板(5)、精密机械臂控制面板(6)、抽风阀(16)，所述精密机械臂控制面板(6)电性连接精密机械臂(10)。
2.根据权利要求1所述的一种光罩清洗机，其特征在于，所述精密机械臂(10)、清洗槽(12)、废水回收槽(14)均为两组设置。
3.根据权利要求1所述的一种光罩清洗机，其特征在于，所述检修口(4)为矩形结构，所述检修口(4)通过螺钉安装在所述设备外壳(1)。
4.根据权利要求1所述的一种光罩清洗机，其特征在于，所述精密机械臂控制面板(6)为两个，两个所述精密机械臂控制面板(6)水平排列。
5.根据权利要求1所述的一种光罩清洗机，其特征在于，所述观察视窗(7)的材料为PPW塑料材质，所述观察视窗(7)上均设置有手柄。
6.根据权利要求1所述的一种光罩清洗机，其特征在于，所述管路区(8)的盖板、配电柜(9)的盖板通过螺钉安装在所述设备外壳(1)的侧面，所述配电柜(9)设置在管路区(8)的上端。
7.根据权利要求1所述的一种光罩清洗机，其特征在于，所述设备外壳(1)的后面固定开设有抽风格栅(11)，所述抽风格栅(11)与抽风阀(16)位置相同。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910427630.XA CN110000148A (zh) | 2019-05-22 | 2019-05-22 | 一种光罩清洗机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910427630.XA CN110000148A (zh) | 2019-05-22 | 2019-05-22 | 一种光罩清洗机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110000148A true CN110000148A (zh) | 2019-07-12 |
Family
ID=67177635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910427630.XA Pending CN110000148A (zh) | 2019-05-22 | 2019-05-22 | 一种光罩清洗机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110000148A (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201122229Y (zh) * | 2007-08-10 | 2008-09-24 | 廖莉雯 | 光罩清洗设备 |
| CN201868391U (zh) * | 2010-11-19 | 2011-06-15 | 嘉盛半导体(苏州)有限公司 | 半导体封装产品的清洗机台 |
| CN203707090U (zh) * | 2013-12-12 | 2014-07-09 | 冠礼控制科技（上海）有限公司 | 半自动一体型蚀刻清洗机 |
| CN105750264A (zh) * | 2016-03-30 | 2016-07-13 | 周靖 | 一种双机械臂全自动超声波清洗机 |
-
2019
- 2019-05-22 CN CN201910427630.XA patent/CN110000148A/zh active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201122229Y (zh) * | 2007-08-10 | 2008-09-24 | 廖莉雯 | 光罩清洗设备 |
| CN201868391U (zh) * | 2010-11-19 | 2011-06-15 | 嘉盛半导体(苏州)有限公司 | 半导体封装产品的清洗机台 |
| CN203707090U (zh) * | 2013-12-12 | 2014-07-09 | 冠礼控制科技（上海）有限公司 | 半自动一体型蚀刻清洗机 |
| CN105750264A (zh) * | 2016-03-30 | 2016-07-13 | 周靖 | 一种双机械臂全自动超声波清洗机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101409310A (zh) | 具有水循环冷却系统的太阳能电池组件 | |
| CN205966604U (zh) | 一种太阳能电池生产工艺用活塞式硅片漂洗装置 | |
| CN103441070A (zh) | 一种晶体硅片的制绒设备及制绒工艺方法 | |
| CN110000148A (zh) | 一种光罩清洗机 | |
| CN106321329A (zh) | 一种自来水发电站 | |
| CN105253111A (zh) | 一种环保节能智能洗车系统 | |
| CN208116272U (zh) | 一种超声波清洗装置 | |
| CN105436110A (zh) | 基于太阳能电池的清洁器 | |
| CN214900792U (zh) | 一种太阳能光伏系统降温结构 | |
| CN213027128U (zh) | 一种防潮型户外综合配电箱 | |
| CN210982172U (zh) | 一种可程式淋雨试验箱 | |
| CN209158321U (zh) | 一种换流阀检修支撑机构 | |
| CN109470897A (zh) | 一种智能仪表 | |
| CN207401503U (zh) | 一种用于机器人的电气实验台 | |
| CN202139166U (zh) | 一种生产线的清洗强化装置 | |
| CN207451681U (zh) | 一种电镀废水重金属离子高效捕集回收装置 | |
| CN104698961A (zh) | 一种水淹厂房安全预警系统 | |
| CN208900271U (zh) | 一种水力发电发电机用控制屏 | |
| CN205786761U (zh) | 一种电表集中计量箱 | |
| CN203955342U (zh) | 一种陶瓷机过滤机槽体 | |
| CN215768447U (zh) | 一种脱硫吸收塔浆液测试装置 | |
| CN108911271A (zh) | 一种具有检测功能的市政污水排放系统 | |
| CN209178519U (zh) | 一种太阳能电池制绒设备 | |
| CN219085300U (zh) | 一种便携式水质在线监测与数据采集的控制电路 | |
| CN202110039U (zh) | 冷凝器试漏装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20190712 |