CN109991445B - 一种单片式硅基mems陀螺仪加速度计结构 - Google Patents

一种单片式硅基mems陀螺仪加速度计结构 Download PDF

Info

Publication number
CN109991445B
CN109991445B CN201910215342.8A CN201910215342A CN109991445B CN 109991445 B CN109991445 B CN 109991445B CN 201910215342 A CN201910215342 A CN 201910215342A CN 109991445 B CN109991445 B CN 109991445B
Authority
CN
China
Prior art keywords
layer
substructure
accelerometer
tuning fork
silicon
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201910215342.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109991445A (zh
Inventor
高阳
张嘉超
陈烨
路绳方
焦良葆
曹雪虹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WUXI LINS TECH CO.,LTD.
Original Assignee
Nanjing Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nanjing Institute of Technology filed Critical Nanjing Institute of Technology
Priority to CN201910215342.8A priority Critical patent/CN109991445B/zh
Publication of CN109991445A publication Critical patent/CN109991445A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109991445B publication Critical patent/CN109991445B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0862—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with particular means being integrated into a MEMS accelerometer structure for providing particular additional functionalities to those of a spring mass system

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

一种单片式硅基MEMS陀螺仪加速度计结构，它涉及微机电系统(MEMS)和微惯性测量技术领域。包括上层硅结构层、键合层、引线层和下层玻璃基底层，所述上层硅结构层、键合层、引线层和下层玻璃基底层从上往下依次连接；所述上层硅结构层包括硅微环形陀螺仪子结构和硅微谐振式加速计子结构；所述硅微谐振式加速度计子结构位于硅微环形陀螺仪子结构的内部。采用上述技术方案后，本发明有益效果为：在没有增加总体体积的情况下，实现了垂直纸面的角运动和竖直方向的线加速度的单片测量，具有体积小、结构紧凑、设计简单、精度高的优点。此外，陀螺仪与加速度计结构为分离布置，避免了信号的耦合。

Description

一种单片式硅基MEMS陀螺仪加速度计结构
技术领域
本发明涉及微机电系统(MEMS)和微惯性测量技术领域，尤其涉及一种单片式硅基MEMS陀螺仪加速度计结构。
背景技术
自上世纪80年代以来，随着微型制造技术和微机电系统的发展，推动了微惯性技术和微惯性仪表的产生。由于硅微惯性器件的加工工艺与微电子制造工艺兼容，可批量生产，具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高等优势，是当今微机械电子技术领域发展的热点方向之一。 硅微陀螺仪和加速度计是两种非常重要的微惯性传感器，也是微惯性导航或制导系统的重要组成部分。为减小惯性测量系统设计和装配的复杂性以及实现惯性导航或制导系统的进一步小型化，在单片结构中同时实现角速度和线加速度的测量是一个重要发展趋势。但是现有的单片式陀螺仪加速度计存在着一些不足之处。
现有的单片式陀螺仪加速度计均基于集中质量式的陀螺仪和加速度计，主要有两类：一种是共用敏感质量块形式，另一种一般将陀螺仪结构和加速度计结构分开实现，然后集成于单芯片中。第一种两者的耦合较为严重，需要复杂的信号处理进行信息分离，器件的精度受到很大的限制；第二种增加了结构的总体积，不利于系统的微型化，同时增加了制造的成本。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种单片式硅基MEMS陀螺仪加速度计结构，它具有体积小、结构紧凑、设计简单、精度高的优点，同时避免了信号的耦合。
为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：一种单片式硅基MEMS陀螺仪加速度计结构，包括上层硅结构层、键合层、引线层和下层玻璃基底层，所述上层硅结构层、键合层、引线层和下层玻璃基底层从上往下依次连接；所述上层硅结构层包括硅微环形陀螺仪子结构和硅微谐振式加速计子结构，所述硅微谐振式加速度计子结构位于硅微环形陀螺仪子结构的内部。
进一步地，所述引线层是金属层。
进一步地，所述硅微环形陀螺仪子结构包括环形敏感结构和8组陀螺支撑机构；所述陀螺支撑机构位于环形敏感结构外侧且沿环向平均分布。
进一步地，所述每组陀螺支撑机构包括2个“Z”型支撑梁、2个陀螺锚点和2个固定电极；所述固定电极位于环形敏感结构外侧；所述“Z”型支撑梁位于固定电极外侧；所述环形敏感结构分别通过“Z”型支撑梁连接到陀螺锚点上。
进一步地，所述硅微谐振式加速计子结构整体呈圆形，硅微谐振式加速计子结构包括敏感质量块、支撑梁、质量块锚点、一级杠杆放大机构、音叉谐振器机构；所述敏感质量块通过第一支撑梁、第二支撑梁连接到第一质量块锚点上，通过第三支撑梁、第四支撑梁连接到第二质量块锚点上，且通过第一一级杠杆放大机构、第二一级杠杆放大机构与第一音叉谐振器机构相连, 通过第三一级杠杆放大机构、第四一级杠杆放大机构与第二音叉谐振器机构相连。
进一步地，所述一级杠杆放大机构包括输入梁、杠杆臂、支点梁、输出梁和杠杆锚点，第一一级杠杆放大机构与第二一级杠杆放大机构,第三一级杠杆放大机构与第四一级杠杆放大机构分别处于同一条直线上且关于纵向中心线对称布置；所述支点梁（12）与输出梁位于杠杆臂的同一端；所述输入梁位于杠杆臂的另一端；所述杠杆臂通过输入梁与质量块相连，通过支点梁与杠杆锚点相连，通过输出梁与音叉谐振器机构相连。
进一步地，所述音叉谐振器机构包括音叉谐振器第一连接端、谐振梁、音叉谐振器第二连接端、谐振器锚点、梳齿架支撑梁、梳齿架、可动梳齿、驱动固定电极、驱动固定梳齿、检测固定电极和检测固定梳齿，所述第一音叉谐振器机构和第二音叉谐振器机构处于同一条直线上且关于横向中心线对称布置；所述谐振梁的一端通过第一连接块的一端连接到一级杠杆放大机构输出梁上，另一端通过第二连接块连接到谐振器锚点上，第一谐振梁和第二谐振梁平行排列，谐振梁外侧设置梳齿架，梳齿架上附加可动梳齿；所述驱动固定梳齿附加在驱动固定电极上；所述检测固定梳齿附加在检测固定电极上。
进一步地，所述第一可动梳齿与第一驱动固定梳齿、第二驱动固定梳齿及第一检测固定梳齿、第二检测固定梳齿形成第一电容器，第二可动梳齿与第三驱动固定梳齿、第四驱动固定梳齿及第三检测固定梳齿、第四检测固定梳齿形成第二电容器。
采用上述技术方案后，本发明有益效果为：它在没有增加总体体积的情况下，实现了垂直纸面的角运动和竖直方向的线加速度的单片测量，具有体积小、结构紧凑、设计简单、精度高的优点。此外，陀螺仪与加速度计结构为分离布置，避免了信号的耦合。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明的上层硅结构层（I）的结构示意图;
图3是本发明中的硅微环形陀螺仪子结构（A）的结构示意图；
图4是本发明中的硅微谐振式加速计子结构（B）的结构示意图；
图5是本发明中的一级杠杆放大机构的结构示意图；
图6是本发明中的音叉谐振器机构的结构示意图。
附图标记说明：I-上层硅结构层，II-键合层，III-引线层，IV-下层玻璃基底层（IV），A-环形陀螺仪子结构，B-谐振式加速度计子结构，1-环形敏感结构， 2a-第一“Z”型支撑梁、2b-第二“Z”型支撑梁、2c-第三“Z”型支撑梁、2d-第四“Z”型支撑梁、2e-第五“Z”型支撑梁、2f-第六“Z”型支撑梁、2g-第七“Z”型支撑梁、2h-第八“Z”型支撑梁、2i-第九“Z”型支撑梁、2j-第十“Z”型支撑梁、2k-第十一“Z”型支撑梁、2l-第十二“Z”型支撑梁、2m-第十三“Z”型支撑梁、2n-第十四“Z”型支撑梁、2o-第十五“Z”型支撑梁、2p-第十六“Z”型支撑梁，3a-第一陀螺锚点、3b-第二陀螺锚点、3c-第三陀螺锚点、3d-第四陀螺锚点、3e-第五陀螺锚点、3f-第六陀螺锚点、3g-第七陀螺锚点、3h-第八陀螺锚点、3i-第九陀螺锚点、3j-第十陀螺锚点、3k-第十一陀螺锚点、3l-第十二陀螺锚点、3m-第十三陀螺锚点、3n-第十四陀螺锚点、3o-第十五陀螺锚点、3p-第十六陀螺锚点陀螺锚点，4a-第一固定电极、4b-第二固定电极、4c-第三固定电极、4d-第四固定电极、4e-第五固定电极、4f-第六固定电极、4g-第七固定电极、4h-第八固定电极、4i-第九固定电极、4j-第十固定电极、4k-第十一固定电极、4l-第十二固定电极、4m-第十三固定电极、4n-第十四固定电极、4o-第十五固定电极、4p-第十六固定电极，5-敏感质量块，6a-第一支撑梁，6b-第二支撑梁，6c-第三支撑梁，6d-第四支撑梁，7a-第一质量块锚点，7b-第二质量块锚点，8a-第一一级杠杆放大机构，8b-第二一级杠杆放大机构，8c-第三一级杠杆放大机构，8d-第四一级杠杆放大机构，9a-第一音叉谐振器机构，9b-第二音叉谐振器机构，10-输入梁，11-杠杆臂，12-支点梁，13-输出梁，14-杠杆锚点，15-音叉谐振器第一连接端，16a-第一谐振梁，16b-第二谐振梁，17-音叉谐振器第二连接端，18-谐振器锚点，19a-第一梳齿架支撑梁、19b-第二梳齿架支撑梁，20a-第一梳齿架，20b-第二梳齿架，21a-第一可动梳齿、21b-第二可动梳齿，22a1-第一驱动固定电极、22a2-第二驱动固定电极、22b1-第三驱动固定电极、22b2-第四驱动固定电极，23a1-第一驱动固定梳齿，23a2-第二驱动固定梳齿，23b1-第三驱动固定梳齿，23b2-第四驱动固定梳齿，24a1-第一检测固定电极、24a2-第二检测固定电极、24b1-第三检测固定电极、24b2-第四检测固定电极，25a1-第一检测固定梳齿，25a2-第二检测固定梳齿，25b1-第三检测固定梳齿，25b2-第四检测固定梳齿。
具体实施方式
参看图1-图6所示，本具体实施方式采用的技术方案是：一种单片式硅基MEMS陀螺仪加速度计结构，包括上层硅结构层I、键合层II、引线层III和下层玻璃基底层IV，所述上层硅结构层I、键合层II、引线层III和下层玻璃基底层IV从上往下依次连接；所述上层硅结构层I包括硅微环形陀螺仪子结构A和硅微谐振式加速计子结构B，所述硅微谐振式加速度计子结构B位于硅微环形陀螺仪子结构A的内部。
所述引线层III是金属层。
所述硅微环形陀螺仪子结构A包括环形敏感结构1和8组陀螺支撑机构；所述陀螺支撑机构位于环形敏感结构1外侧且沿环向平均分布。
所述每组陀螺支撑机构包括2个“Z”型支撑梁、2个陀螺锚点和2个固定电极；所述固定电极位于环形敏感结构1外侧；所述“Z”型支撑梁位于固定电极外侧；所述环形敏感结构1分别通过“Z”型支撑梁连接到陀螺锚点上。
所述硅微谐振式加速计子结构B整体呈圆形，硅微谐振式加速计子结构B包括敏感质量块5、支撑梁、质量块锚点、一级杠杆放大机构、音叉谐振器机构；所述敏感质量块5通过第一支撑梁6a、第二支撑梁6b连接到第一质量块锚点7a上，通过第三支撑梁6c、第四支撑梁6d连接到第二质量块锚点7b上，且通过第一一级杠杆放大机构8a、第二一级杠杆放大机构8b与第一音叉谐振器机构9a相连, 通过第三一级杠杆放大机构8c、第四一级杠杆放大机构8d与第二音叉谐振器机构9b相连。
所述一级杠杆放大机构包括输入梁10、杠杆臂11、支点梁12、输出梁13和杠杆锚点14，第一一级杠杆放大机构8a与第二一级杠杆放大机构8b,第三一级杠杆放大机构8c与第四一级杠杆放大机构8d分别处于同一条直线上且关于纵向中心线对称布置；所述支点梁12与输出梁13位于杠杆臂11的同一端；所述输入梁10位于杠杆臂11的另一端；所述杠杆臂11通过输入梁10与质量块5相连，通过支点梁12与杠杆锚点14相连，通过输出梁13与音叉谐振器机构相连。
所述音叉谐振器机构包括音叉谐振器第一连接端15、谐振梁、音叉谐振器第二连接端17、谐振器锚点18、梳齿架支撑梁、梳齿架、可动梳齿、驱动固定电极、驱动固定梳齿、检测固定电极和检测固定梳齿，所述第一音叉谐振器机构9a和第二音叉谐振器机构9b处于同一条直线上且关于横向中心线对称布置；所述谐振梁的一端通过第一连接块15的一端连接到一级杠杆放大机构输出梁上，另一端通过第二连接块17连接到谐振器锚点18上，第一谐振梁16a和第二谐振梁16b平行排列，谐振梁外侧设置梳齿架，梳齿架上附加可动梳齿；所述驱动固定梳齿附加在驱动固定电极上；所述检测固定梳齿附加在检测固定电极上。
所述第一可动梳齿20a与第一驱动固定梳齿23a1、第二驱动固定梳齿23a2及第一检测固定梳齿25a1、第二检测固定梳齿25a2形成第一电容器，第二可动梳齿20b与第三驱动固定梳齿23b1、第四驱动固定梳齿23b2及第三检测固定梳齿25b1、第四检测固定梳齿25b2形成第二电容器。
本发明工作原理：通过环形陀螺仪子结构A进行角速度的测量，通过谐振式加速度计子结构B进行线加速度的测量。其中，环形陀螺仪子结构A的工作原理为：通过第一固定电极4a、第五固定电极4e、第九固定电极4i、第十三固定电极4m驱动环形陀螺仪进行四波腹振动，并通过第三固定电极4c、第七固定电极4g、第十一固定电极4k、第十五固定电极4o检测其驱动振幅，与第一固定电极4a、第五固定电极4e、第九固定电极4i、第十三固定电极4m形成闭环驱动控制；当有外界角速度输入时，通过第二固定电极4b、第六固定电极4f、第十固定电极4j、第十四固定电极4n检测其检测振幅，并通过第四固定电极4d、第八固定电极4h、第十二固定电极4l、第十六固定电极4p进行施力控制以抑制检测模态振动，与第二固定电极4b、第六固定电极4f、第十固定电极4j、第十四固定电极4n形成力反馈闭环控制，通过测量第四固定电极4d、第八固定电极4h、第十二固定电极4l、第十六固定电极4p上施加的电压值即可获得输入角速度的大小。谐振式加速度计子结构B的工作原理为：通过上敏感质量块5把输入加速度转换成惯性力，惯性力经过一级杠杆放大机构放大后作用到音叉谐振器机构上，使一个音叉谐振器受到拉力，另一个音叉谐振器受到压力，从而使谐振频率分别增大和减小，通过测量频差获得输入线加速度的大小。
采用上述技术方案后，本发明有益效果为：它在没有增加总体体积的情况下，实现了垂直纸面的角运动和竖直方向的线加速度的单片测量，具有体积小、结构紧凑、设计简单、精度高的优点。此外，陀螺仪与加速度计结构为分离布置，避免了信号的耦合。
以上所述，仅用以说明本发明的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本发明的技术方案所做的其它修改或者等同替换，只要不脱离本发明技术方案的精神和范围，均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (5)

1.一种单片式硅基MEMS陀螺仪加速度计结构，其特征在于：包括上层硅结构层（I）、键合层（II）、引线层（III）和下层玻璃基底层（IV），所述上层硅结构层（I）、键合层（II）、引线层（III）和下层玻璃基底层（IV）从上往下依次连接；所述上层硅结构层（I）包括硅微环形陀螺仪子结构（A）和硅微谐振式加速度计子结构（B），所述硅微谐振式加速度计子结构(B)位于硅微环形陀螺仪子结构(A)的内部；所述硅微环形陀螺仪子结构（A）包括环形敏感结构（1）和8组陀螺支撑机构；所述陀螺支撑机构位于环形敏感结构（1）外侧且沿环向平均分布；每组陀螺支撑机构包括2个“Z”型支撑梁、2个陀螺锚点和2个固定电极；所述固定电极位于环形敏感结构（1）外侧；所述“Z”型支撑梁位于固定电极外侧；所述环形敏感结构（1）分别通过“Z”型支撑梁连接到陀螺锚点上。
2.根据权利要求1所述的一种单片式硅基MEMS陀螺仪加速度计结构，其特征在于：所述引线层（III）是金属层。
3.根据权利要求1所述的一种单片式硅基MEMS陀螺仪加速度计结构，其特征在于：所述硅微谐振式加速度计子结构（B）整体呈圆形，硅微谐振式加速度计子结构（B）包括敏感质量块（5）、支撑梁、质量块锚点、一级杠杆放大机构和音叉谐振器机构；所述敏感质量块（5）通过第一支撑梁(6a)、第二支撑梁(6b)连接到第一质量块锚点(7a)上，通过第三支撑梁(6c)、第四支撑梁(6d)连接到第二质量块锚点(7b)上，且通过第一一级杠杆放大机构(8a)、第二一级杠杆放大机构(8b)与第一音叉谐振器机构(9a)相连,通过第三一级杠杆放大机构(8c)、第四一级杠杆放大机构(8d)与第二音叉谐振器机构(9b)相连。
4.根据权利要求3所述的一种单片式硅基MEMS陀螺仪加速度计结构，其特征在于：所述一级杠杆放大机构包括输入梁(10)、杠杆臂（11）、支点梁（12）、输出梁（13）和杠杆锚点（14），第一一级杠杆放大机构(8a)与第二一级杠杆放大机构(8b),第三一级杠杆放大机构(8c)与第四一级杠杆放大机构(8d)分别处于同一条直线上且关于纵向中心线对称布置；所述支点梁（12）与输出梁（13）位于杠杆臂（11）的同一端；所述输入梁（10）位于杠杆臂（11）的另一端；所述杠杆臂（11）通过输入梁（10）与敏感质量块（5）相连，通过支点梁（12）与杠杆锚点（14）相连，通过输出梁（13）与音叉谐振器机构相连。
5.根据权利要求3所述的一种单片式硅基MEMS陀螺仪加速度计结构，其特征在于：所述音叉谐振器机构包括音叉谐振器第一连接端（15）、谐振梁、音叉谐振器第二连接端（17）、谐振器锚点（18）、梳齿架支撑梁、梳齿架、可动梳齿、驱动固定电极、驱动固定梳齿、检测固定电极和检测固定梳齿，所述第一音叉谐振器机构（9a）和第二音叉谐振器机构(9b)处于同一条直线上且关于横向中心线对称布置；所述谐振梁的一端通过第一连接端（15）的一端连接到一级杠杆放大机构输出梁上，另一端通过音叉谐振器第二连接端（17）连接到谐振器锚点（18）上，第一谐振梁（16a）和第二谐振梁（16b）平行排列，谐振梁外侧设置梳齿架，梳齿架上附加可动梳齿；所述驱动固定梳齿附加在驱动固定电极上；所述检测固定梳齿附加在检测固定电极上。
CN201910215342.8A 2019-03-21 2019-03-21 一种单片式硅基mems陀螺仪加速度计结构 Active CN109991445B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910215342.8A CN109991445B (zh) 2019-03-21 2019-03-21 一种单片式硅基mems陀螺仪加速度计结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910215342.8A CN109991445B (zh) 2019-03-21 2019-03-21 一种单片式硅基mems陀螺仪加速度计结构

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109991445A CN109991445A (zh) 2019-07-09
CN109991445B true CN109991445B (zh) 2021-04-27

Family

ID=67129144

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910215342.8A Active CN109991445B (zh) 2019-03-21 2019-03-21 一种单片式硅基mems陀螺仪加速度计结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109991445B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113607153B (zh) * 2021-08-30 2022-11-01 武汉大学 一种两轴mems圆环陀螺仪及其制备封装方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103900546A (zh) * 2012-12-28 2014-07-02 微机电科技香港有限公司 一种微机电六轴惯性传感器
CN104807454A (zh) * 2015-04-29 2015-07-29 东南大学 一种单片集成六自由度微惯性测量单元及其加工方法
CN107063222A (zh) * 2017-04-17 2017-08-18 东南大学 直接频率输出的三框架式双质量硅微机械陀螺仪
CN107063223A (zh) * 2017-04-17 2017-08-18 东南大学 单片式谐振加速度计陀螺仪结构

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6736982B2 (en) * 2001-06-15 2004-05-18 Xiang Zheng Tu Micromachined vertical vibrating gyroscope

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103900546A (zh) * 2012-12-28 2014-07-02 微机电科技香港有限公司 一种微机电六轴惯性传感器
CN104807454A (zh) * 2015-04-29 2015-07-29 东南大学 一种单片集成六自由度微惯性测量单元及其加工方法
CN107063222A (zh) * 2017-04-17 2017-08-18 东南大学 直接频率输出的三框架式双质量硅微机械陀螺仪
CN107063223A (zh) * 2017-04-17 2017-08-18 东南大学 单片式谐振加速度计陀螺仪结构

Also Published As

Publication number Publication date
CN109991445A (zh) 2019-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10866258B2 (en) In-plane translational vibrating beam accelerometer with mechanical isolation and 4-fold symmetry
CN202562949U (zh) 一种基于静电刚度的谐振式微加速度计
CN101067555B (zh) 力平衡式谐振微机械陀螺
CN102590555B (zh) 谐振‑力平衡电容式三轴加速度传感器及制作方法
CN107655465B (zh) 两级杠杆放大的谐振式仿生毛发流速、加速度微传感器
CN101319899B (zh) 一种电容式水平轴微机械音叉陀螺
CN100590383C (zh) 一种谐振式微机械陀螺
CN101038299A (zh) 基于单质量块的单轴集成惯性测量器件
CN105606083B (zh) 一种外支撑四质量块mems谐振式陀螺仪
CN104457726B (zh) 一种三轴微机电陀螺仪
CN102495236A (zh) 一种高灵敏度双轴硅微谐振式加速度计
CN108955663B (zh) 一种谐振式双轴微机械轮式陀螺
CN104406579B (zh) 微机电可变形结构和三轴多自由度微机电陀螺仪
CN103900546A (zh) 一种微机电六轴惯性传感器
CN104613952A (zh) 三轴单片集成全解耦角振动环式硅陀螺仪及其加工方法
CN102221361B (zh) 一种电容式微机械陀螺
CN204188168U (zh) 微机电环形可变电容和三轴微机电陀螺仪
CN101759136B (zh) 一种全解耦振动式微机械陀螺
CN109991445B (zh) 一种单片式硅基mems陀螺仪加速度计结构
CN101298987B (zh) 一种健壮性音叉振动式微机械陀螺
CN1979175A (zh) 微机械硅谐振梁加速度计
CN110702088B (zh) 一种轮式双轴微机械陀螺
CN111595312B (zh) 一种可阵列环形耦合三轴全解耦微陀螺仪及其加工方法
Bochobza-Degani et al. A novel micromachined vibrating rate-gyroscope with optical sensing and electrostatic actuation
CN116124110A (zh) 一种面内扭摆式四质量块mems陀螺仪

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20211217

Address after: Room 510, building D, swan block, Wuxi Software Park, 111 Linghu Avenue, Xinwu District, Wuxi City, Jiangsu Province, 214000

Patentee after: WUXI LINS TECH CO.,LTD.

Address before: 1 No. 211167 Jiangsu city of Nanjing province Jiangning Science Park Hongjing Road

Patentee before: NANJING INSTITUTE OF TECHNOLOGY

TR01 Transfer of patent right