CN109980990B - 压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置及控制方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 25
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000010008 shearing Methods 0.000 claims description 17
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 12
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 9
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 9
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 4
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 4
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000011160 research Methods 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 241000256247 Spodoptera exigua Species 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000011664 nicotinic acid Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/028—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors along multiple or arbitrary translation directions, e.g. XYZ stages
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/062—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. for removing hysteresis
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
Abstract
本发明涉及一种压电‑电磁混合驱动式多自由度精密定位装置及控制方法，属于精密机械与精密工程领域。压电惯性式旋转定位组件固定安装在连接套筒中，并保证断电时与输出轴间隙配合；压电双晶片式旋转定位组件与输出轴过盈配合安装，输出轴由固定安装在连接套筒中的轴承I、II支撑导向，保证输出轴末端连接组件的轴线与输出轴线同轴；钳位机构通过连接螺栓固连在机体的凸缘上，并利用半球形接触件与连接套筒紧密接触实现自锁，通过机体端部与外部宏观调整定位平台相固连。优点在于：结构紧凑，具有轴向大行程线性定位和宏微混合旋转定位的优势，可实现多自由度运动输出，在精密光学、显微操作、航空航天和精密仪器等领域具有良好的应用前景。
Description
技术领域
本发明涉及精密机械与精密工程领域，特别涉及一种压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置及控制方法，可用于精密光学、精密与超精密加工、显微操作、微夹持、航空航天和精密仪器等领域实现精密定位。
背景技术
精密线性和旋转定位装置在科学研究和工业生产有广泛的应用和需求，尤其在精密与超精密加工、微小机器人等领域，传统机械驱动与传动装置如伺服电机、齿轮传动、滚珠丝杆传动等方式已不能满足纳米精度要求，而其中对于定位装置的要求越来越高。各研究机构对大行程、高精度的多自由度精密定位装置进行设计研究，主要集中在步进压电式/压电电机、音圈电机、磁致伸缩式、柔性结构放大式、压电惯性式和压电尺蠖仿生式等精密定位装置。
然而，目前大多数定位装置仅单独针对精密线性定位或旋转定位设计的，仅有少部分可实现大行程、高精度、多自由度精密定位，如中国专利（CN 106601307 A）中所涉及的二维纳米柔性运动平台是将压电元件置于串并联柔顺机构中，具有误差小、精度高等优点，但是仅能够实现平面二自由度精密定位；中国专利（CN 108092545 A）涉及一种多自由度压电粘滑微纳米定位平台，利用多组压电元件实现X向和Y向直线移动和绕Z轴的旋转定位，具有更大行程、高精度和控制简便等优点；中国专利（CN 108092545 A）涉及一种多自由度混合驱动式定位装置，利用冲击式压电双晶片惯性力矩推动并通过控制双层钳位机构动作时序，可实现精密旋转和步进式线性定位两自由度的任意组合运动。但是，仅利用压电元件驱动无法实现高精度、轴向大行程直线运动，并且不能很好地兼顾实现宏微混合连续旋转定位等功能，限制了其实际应用范围。
综上，可以看出，研制具有结构紧凑、高精度且行程大、宏微混合驱动能力等实用性指标的多自由度精密定位装置依然是一个难点，也是急迫需要的。
发明内容
本发明的目的在于提供一种压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置及控制方法，解决了现有多自由度定位装置存在的上述不足。本发明采用模块化设计思路，结构紧凑，并具有轴向大行程线性定位和宏微混合连续旋转定位的优势，为大行程、高精度、多自由度精密定位提供一种可用方案。
本发明的上述目的通过以下技术方案实现：
压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置，包括机体1、轴向大行程定位组件、钳位机构2、压电惯性式旋转定位组件3、压电双晶片式旋转定位组件4、连接套筒4A、输出轴5、输出轴末端连接组件6、轴承I10和轴承II13，
所述压电惯性式旋转定位组件3固定安装在连接套筒4A中，并保证断电时与输出轴5间隙配合；所述压电双晶片式旋转定位组件4与输出轴5过盈配合安装，其中输出轴5由固定安装在连接套筒4A中的轴承I10和轴承II13支撑导向，保证输出轴末端连接组件6的轴线与输出轴线7同轴；所述钳位机构2通过连接螺栓固连在机体1的凸缘上，并利用半球形接触件与连接套筒4A紧密接触实现自锁，其中通过机体1端部可与外部宏观调整定位平台相固连。
所述的轴向大行程定位组件是：线圈12固连在机体1上，作为磁钢移动型电磁驱动单元的定子，永磁体11与连接套筒4A固连作为动子，形成封闭的磁通路径15，实现输出轴5轴向大行程线性定位，其中为保证连接套筒4A位移行程不超出机体1长度限制，通过压板8固定在机体1端部的挠性轴承9进行轴向限位；线圈导线14经机体1端部通孔与线圈12相连，并可与冷却系统连接热管进行替换，实现强制对流改善线圈12的散热条件。
所述的压电惯性式旋转定位组件3是：四组柔性铰链I36通过紧定螺钉31均匀分布固定在连接套筒4A的方形孔内，柔性铰链I36设计有腰形孔34用于位置调整；柔性铰链I36末端凹槽中粘贴压电驱动组件，压电驱动组件由粘接在一起的压电叠堆II33、压电陶瓷剪切叠堆32和接触端35组成；压电叠堆II33通电时，接触端35与输出轴5紧密接触实现预紧，通过调节压电叠堆II33驱动电压幅值改变预紧力大小；压电陶瓷剪切叠堆32通电时，带动接触端35横向移动，实现输出轴5双向连续精密旋转定位。
所述的压电双晶片式旋转定位组件4是由质量块41、压电双晶片42、螺钉43、连接轴套44以及辐板45组成，其中两组辐板45通过螺钉43对称固连在连接轴套44上；连接轴套44过盈配合在连接套筒4A外端输出轴5上；四片压电双晶片42分别粘接在辐板45上，同时四块质量块41分别粘贴在辐板45端部，增加惯性驱动力矩。
所述的钳位机构2包括四组柔性铰链II22，四组压电叠堆I21放置在柔性铰链II22的安装凹槽内，并利用厚度可调的预紧垫片23实现预紧；压电叠堆I21断电时，保证柔性铰链II22端部半球形接触件与连接套筒4A紧密接触实现连接套筒4A轴向自锁，进而实现与输出轴5相连的输出轴末端连接组件6轴向精确定位；压电叠堆I21通电时，柔性铰链II22端部半球形接触件与连接套筒4A分离，通过信号时序控制实现输出轴5多自由度宏微混合定位。
所述的输出轴末端连接组件6为终端执行器，所述冬端执行器为光学元件安装架或显微夹持单元等，可根据实际应用更换不同的安装组件，并通过螺纹与输出轴5相连便于功能替换；作为优选，连接螺纹均采用精密细牙螺纹。
本发明的另一目的在于提供一种压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置的控制方法，包括以下步骤：
A）选择预紧垫片23对压电叠堆I21进行预紧，并保证压电惯性式旋转定位组件3中的接触端35与输出轴5间隙配合，以及压电双晶片式旋转定位组件4中辐板45端部的质量块41与连接套筒4A内侧筒壁间隙配合；
B）给钳位机构2中的压电叠堆I21施加矩形波驱动电压，压电叠堆I21在逆压电效应的作用下，缓慢伸长，在这个过程中，柔性铰链II22发生弹性变形，从而使其上的半球形接触件与连接套筒4A分离取消自锁，在断电过程中，柔性铰链II22弹性变形恢复，使半球形接触件与连接套筒4A紧密接触实现自锁；
C）当钳位机构2通电的同时，对磁钢移动型电磁驱动单元中的定子线圈12通电，由于位于连接套筒4A端部的永磁体11受到安培力作用，带动输出轴5轴向大行程线性移动，并通过机体1端部挠性轴承9限制连接套筒4A行程范围；
D）当输出轴末端连接组件6轴向位置锁定后，给压电双晶片式旋转定位组件4中的压电双晶片42施加锯齿波驱动电压，压电双晶片42在缓慢弯曲变形后迅速反向振动，带动其辐板45端部的质量块41运动并产生惯性力，进而形成使输出轴5大范围宏动旋转定位的惯性力矩，并且通过改变驱动电信号电压波形方向，实现输出轴5旋转方向的改变；
E）在输出轴5大范围宏动旋转定位后，通过对压电惯性式旋转定位组件3中压电驱动组件时序控制，可实现输出轴5微小角度旋转定位，此时先给压电叠堆II33施加矩形波驱动电压，压电叠堆II33在逆压电效应的作用下，缓慢伸长，在这个过程中压电陶瓷剪切叠堆32带动输出端35与输出轴5紧密接触预紧，接下来给压电陶瓷剪切叠堆32施加锯齿波形驱动电压，基于压电剪切效应接触端35带动输出轴5顺时针旋转，在电压快速下降的过程中，由于运动惯性，输出轴5仅有微小的回退运动；同理，改变驱动电压波形方向，实现输出轴5逆时针旋转；
F）调节各元件的驱动电压/电流幅值和频率，可实现对输出轴5轴向移动速度和角度偏转速度的调控。
本发明的有益效果在于：
1、本发明基于压电-电磁混合驱动原理实现轴向大行程线性定位以及宏微混合旋转定位，具有结构紧凑、钳位稳定、功能集成化、重复定位精度高等优点，可作为在重力方向有承载需求，且定位精度要求较高的精密定位机构，并对我国微/纳加工、微/纳操作、精密定位等诸多高尖端技术领域的发展有着较为重要的参考意义。
2、本发明采用模块化设计，以轴向大行程定位组件为基础，结合压电惯性式旋转定位组件和压电双晶片式旋转定位组件实现大行程、高精度、多自由度精密定位，利用钳位机构实现断电轴向自锁，同时模块化设计也有利于整机组合安装、改进优化及维护保养。
3、本发明提供的磁钢移动型电磁驱动单元，可消除传统音圈电机线圈通电散热困难及导线布置困难等问题，利用混合驱动方式，通过信号时序控制实现输出轴末端连接组件连续位姿调整，改变连续矩形/锯齿驱动波形的电压幅值和频率，实现输出性能的电气控制调整。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。
图1为本发明的整体结构轴测图；
图2为本发明的整体结构半剖视图；
图3为本发明的轴向大行程定位组件结构轴测图；
图4为本发明的宏微混合旋转定位组件结构轴测图；
图5为本发明的压电惯性式旋转定位组件A向视图；
图6为本发明的压电双晶片式旋转定位组件正视图；
图7为本发明的时序控制图；
图8为本发明的多自由度精密运动输出工作流程框图。
图中：1、机体；2、钳位机构；3、压电惯性式旋转定位组件；4、压电双晶片式旋转定位组件；4A、连接套筒；5、输出轴；6、输出轴末端连接组件；7、输出轴线；8、压板；9、挠性轴承；10、轴承I；11、永磁体；12、线圈；13、轴承II；14、线圈导线；15、磁通路径；21、压电叠堆I；22、柔性铰链II；23、预紧垫片；31、紧定螺钉；32、压电陶瓷剪切叠堆；33、压电叠堆II；34、腰形孔；35、接触端；36、柔性铰链I；41、质量块；42、压电双晶片；43、螺钉；44、连接轴套；45、辐板。
具体实施方式
下面结合附图进一步说明本发明的详细内容及其具体实施方式。
参见图1至图8所示，本发明的压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置，具有结构紧凑、钳位稳定、功能集成化、重复定位精度高等优点，并可作为在重力方向有承载需求，且定位精度要求较高的精密定位机构，实用性更强。本发明利用磁钢移动型电磁驱动单元实现轴向大行程线性定位；利用压电惯性式旋转定位组件和压电双晶片式旋转定位组件实现宏微混合旋转定位；利用钳位机构实现断电轴向自锁精确定位，并可实现多自由度运动输出，在精密光学、显微操作、航空航天和精密仪器等领域具有良好的应用前景。控制方法通过矩形驱动波形实现轴向大行程线性定位；通过连续锯齿驱动波形实现大范围宏动旋转定位；通过两种驱动波形耦合实现连续微小角度旋转定位；通过周期型矩形驱动波形实现轴向自锁及光学元件连续位姿调整。
参见图1至图6所示，本发明的压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置，包括机体1、轴向大行程定位组件、钳位机构2、压电惯性式旋转定位组件3、压电双晶片式旋转定位组件4、连接套筒4A、输出轴5、输出轴末端连接组件6、轴承I10和轴承II13，所述压电惯性式旋转定位组件3安装固定在连接套筒4A中，并保证断电时其与输出轴5间隙配合；所述压电双晶片式旋转定位组件4与输出轴5过盈配合安装，其中输出轴5由固定安装在连接套筒4A中轴承I10和轴承II13支撑导向，保证输出轴末端连接组件6的轴线与定位装置输出轴线7同轴度的要求；所述钳位机构2通过连接螺栓固连在机体1的凸缘上，并利用半球形接触件与连接套筒4A紧密接触实现自锁，其中通过机体1端部可与外部宏观调整定位平台相固连。
所述轴向大行程定位组件，主要由压板8、挠性轴承9、永磁体11、线圈12和线圈导线14组成；线圈12固连在机体1上，作为磁钢移动型电磁驱动单元的定子，而永磁体11与连接套筒4A固连作为动子，形成封闭的磁通路径15，实现输出轴5轴向大行程线性定位，其中为保证连接套筒4A位移行程不超出机体1长度限制，通过压板8固定在机体1端部的挠性轴承9进行轴向限位；线圈导线14经机体1端部通孔与线圈12相连，并可与冷却系统连接热管进行替换，实现强制对流改善线圈12的散热条件。
所述压电惯性式旋转定位组件3，由紧定螺钉31、压电陶瓷剪切叠堆32、压电叠堆II33、接触端35和柔性铰链I36组成；四组柔性铰链I36通过紧定螺钉31均匀分布固定在连接套筒4A方形孔内，其中柔性铰链I36设计有腰形孔34用于位置调整；柔性铰链I36末端凹槽中粘贴压电驱动组件，其中压电驱动组件由粘接在一起的压电叠堆II33、压电陶瓷剪切叠堆32和接触端35组成；压电叠堆II33通电时，接触端35与输出轴5紧密接触实现预紧，通过调节压电叠堆II33驱动电压幅值改变预紧力大小；压电陶瓷剪切叠堆32通电时，带动接触端35横向移动，实现输出轴5双向连续精密旋转定位。
所述压电双晶片式旋转定位组件4，由质量块41、压电双晶片42、螺钉43、连接轴套44以及辐板45组成，其中两组辐板45通过螺钉43对称固连在连接轴套44上；连接轴套44过盈配合在连接套筒4A外端输出轴5上；四片压电双晶片42分别粘接在辐板45上，同时四块质量块41分别粘贴在辐板45端部，增加惯性驱动力矩。
所述钳位机构2，包括压电叠堆I21、柔性铰链II22、预紧垫片23；四组压电叠堆I21放置在柔性铰链II22的安装凹槽内，并利用厚度可调的预紧垫片23实现预紧；压电叠堆I21断电时，保证柔性铰链II22端部半球形接触件与连接套筒4A紧密接触实现连接套筒4A轴向自锁，进而实现与输出轴5相连的输出轴末端连接组件6轴向位置的精确定位；压电叠堆I21通电时，柔性铰链II22端部半球形接触件与连接套筒4A分离，通过信号时序控制可实现输出轴5多自由度宏微混合定位。
所述输出轴末端连接组件6可根据实际应用更换不同的终端执行器，如光学元件安装架、显微夹持单元等，并通过螺纹与输出轴5相连便于功能替换；作为优选，连接螺纹均采用精密细牙螺纹。
下面，以输出轴末端连接组件6连续位姿调整的工作流程为例，具体说明基于压电-电磁混合驱动原理的多自由度精密定位装置的控制方法。
参见图8所示，输出轴末端连接组件6连续位姿调整一般工作流程如下：首先保证钳位机构2中的压电叠堆I21通电，使柔性铰链II22脱离连接套筒4A取消自锁；其次先对磁钢移动型电磁驱动单元中的线圈12通电，使输出轴5实现轴向大行程线性定位，直至输出轴末端连接组件6抵达X方向目标位置；接下来对压电双晶片式旋转定位组件4中控制同一方向弯曲偏转的压电双晶片42通电，使输出轴5大范围宏动角度调整，其次通过对压电惯性式旋转定位组件3中压电陶瓷剪切叠堆32和压电叠堆II33驱动波形电气控制，使输出轴5微小角度旋转定位，进而实现输出轴5宏微混合连续旋转定位；最终通过输出轴5轴向大行程线性定位和宏微混合旋转定位，实现输出轴末端连接组件6连续位姿调整。
本发明的压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置的控制方法，主要包括以下步骤：
A）选择合适厚度的预紧垫片23对压电叠堆I21进行预紧，并保证压电惯性式旋转定位组件3中的接触端35与输出轴5间隙配合，以及压电双晶片式旋转定位组件4中辐板45端部的质量块41与连接套筒4A内侧筒壁间隙配合；
B）给钳位机构2中的压电叠堆I 21施加矩形波驱动电压（图7所示），压电叠堆I 21在逆压电效应的作用下，缓慢伸长，在这个过程中，柔性铰链II 22发生相应弹性变形，从而使其上的半球形接触件与连接套筒4A分离取消自锁，在断电过程中，柔性铰链II 22弹性变形恢复，使半球形接触件与连接套筒4A紧密接触实现自锁；
C）当钳位机构2通电的同时，对磁钢移动型电磁驱动单元中的定子线圈12通电，由于位于连接套筒4A端部的永磁体11受到安培力作用，带动输出轴5轴向大行程线性移动，并通过机体1端部挠性轴承9限制连接套筒4A行程范围；
D）当输出轴末端连接组件6轴向位置锁定后，给压电双晶片式旋转定位组件4中的压电双晶片42施加锯齿波驱动电压，压电双晶片42在缓慢弯曲变形后迅速反向振动，带动其辐板45端部的质量块41运动并产生惯性力，进而形成使输出轴5大范围宏动旋转定位的惯性力矩，并且通过改变驱动电信号电压波形方向，实现输出轴5旋转方向的改变；
E）在输出轴5大范围宏动旋转定位后，通过对压电惯性式旋转定位组件3中压电驱动组件时序控制，可实现输出轴5微小角度旋转定位，此时先给压电叠堆II 33施加矩形波驱动电压，压电叠堆II 33在逆压电效应的作用下，缓慢伸长，在这个过程中压电陶瓷剪切叠堆32带动输出端35与输出轴5紧密接触预紧，接下来给压电陶瓷剪切叠堆32施加锯齿波形驱动电压，基于压电剪切效应接触端35带动输出轴5顺时针旋转，在电压快速下降的过程中，由于运动惯性，输出轴5仅有微小的回退运动；同理，改变驱动电压波形方向，实现输出轴5逆时针旋转；
F）调节各元件的驱动电压（电流）幅值和频率，可实现对输出轴5轴向位移和角度偏转速度的调控。
以上所述仅为本发明的优选实例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡对本发明所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置，其特征在于：包括机体（1）、轴向大行程定位组件、钳位机构（2）、压电惯性式旋转定位组件（3）、压电双晶片式旋转定位组件（4）、连接套筒（4A）、输出轴（5）、输出轴末端连接组件（6）、轴承I（10）和轴承II（13），所述压电惯性式旋转定位组件（3）固定安装在连接套筒（4A）中，并保证断电时与输出轴（5）间隙配合；所述压电双晶片式旋转定位组件（4）与输出轴（5）过盈配合安装，其中输出轴（5）由固定安装在连接套筒（4A）中的轴承I（10）和轴承II（13）支撑导向，保证输出轴末端连接组件（6）的轴线与输出轴线（7）同轴；所述钳位机构（2）通过连接螺栓固连在机体（1）的凸缘上，并利用半球形接触件与连接套筒（4A）紧密接触实现自锁，其中通过机体（1）端部与外部宏观调整定位平台相固连；
所述的轴向大行程定位组件是：线圈（12）固连在机体（1）上，作为磁钢移动型电磁驱动单元的定子，永磁体（11）与连接套筒（4A）固连作为动子，形成封闭的磁通路径（15），实现输出轴（5）轴向大行程线性定位，其中为保证连接套筒（4A）位移行程不超出机体（1）长度限制，通过压板（8）固定在机体（1）端部的挠性轴承（9）进行轴向限位；线圈导线（14）经机体（1）端部通孔与线圈（12）相连，并可与冷却系统连接热管进行替换，实现强制对流改善线圈（12）的散热条件；
所述的压电惯性式旋转定位组件（3）是：四组柔性铰链I（36）通过紧定螺钉（31）均匀分布固定在连接套筒（4A）的方形孔内，柔性铰链I（36）设计有腰形孔（34）用于位置调整；柔性铰链I（36）末端凹槽中粘贴压电驱动组件，压电驱动组件由粘接在一起的压电叠堆II（33）、压电陶瓷剪切叠堆（32）和接触端（35）组成；压电叠堆II（33）通电时，接触端（35）与输出轴（5）紧密接触实现预紧，通过调节压电叠堆II（33）驱动电压幅值改变预紧力大小；压电陶瓷剪切叠堆（32）通电时，带动接触端（35）横向移动，实现输出轴（5）双向连续精密旋转定位；
所述的压电双晶片式旋转定位组件（4）是由质量块（41）、压电双晶片（42）、螺钉（43）、连接轴套（44）以及辐板（45）组成，其中两组辐板（45）通过螺钉（43）对称固连在连接轴套（44）上；连接轴套（44）过盈配合在连接套筒（4A）外端输出轴（5）上；四片压电双晶片（42）分别粘接在辐板（45）上，同时四块质量块（41）分别粘贴在辐板（45）端部，增加惯性驱动力矩；
所述的钳位机构（2）包括四组柔性铰链II（22），四组压电叠堆I（21）放置在柔性铰链II（22）的安装凹槽内，并利用厚度可调的预紧垫片（23）实现预紧；压电叠堆I（21）断电时，保证柔性铰链II（22）端部半球形接触件与连接套筒（4A）紧密接触实现连接套筒（4A）轴向自锁，进而实现与输出轴（5）相连的输出轴末端连接组件（6）轴向精确定位；压电叠堆I（21）通电时，柔性铰链II（22）端部半球形接触件与连接套筒（4A）分离，通过信号时序控制实现输出轴（5）多自由度宏微混合定位。
2.根据权利要求1所述的压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置，其特征在于：所述的输出轴末端连接组件（6）为终端执行器，所述终端执行器为光学元件安装架或显微夹持单元，通过螺纹与输出轴（5）相连。
3.一种压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置的控制方法，其特征在于：包括以下步骤：
A）选择预紧垫片（23）对压电叠堆I（21）进行预紧，并保证压电惯性式旋转定位组件（3）中的接触端（35）与输出轴（5）间隙配合，以及压电双晶片式旋转定位组件（4）中辐板（45）端部的质量块（41）与连接套筒（4A）内侧筒壁间隙配合；
B）给钳位机构（2）中的压电叠堆I（21）施加矩形波驱动电压，压电叠堆I（21）在逆压电效应的作用下，缓慢伸长，在这个过程中，柔性铰链II（22）发生弹性变形，从而使其上的半球形接触件与连接套筒（4A）分离取消自锁，在断电过程中，柔性铰链II（22）弹性变形恢复，使半球形接触件与连接套筒（4A）紧密接触实现自锁；
C）当钳位机构（2）通电的同时，对磁钢移动型电磁驱动单元中的定子线圈（12）通电，由于位于连接套筒（4A）端部的永磁体（11）受到安培力作用，带动输出轴（5）轴向大行程线性移动，并通过机体（1）端部挠性轴承（9）限制连接套筒（4A）行程范围；
D）当输出轴末端连接组件（6）轴向位置锁定后，给压电双晶片式旋转定位组件（4）中的压电双晶片（42）施加锯齿波驱动电压，压电双晶片（42）在缓慢弯曲变形后迅速反向振动，带动其辐板（45）端部的质量块（41）运动并产生惯性力，进而形成使输出轴（5）大范围宏动旋转定位的惯性力矩，并且通过改变驱动电信号电压波形方向，实现输出轴（5）旋转方向的改变；
E）在输出轴（5）大范围宏动旋转定位后，通过对压电惯性式旋转定位组件（3）中压电驱动组件时序控制，可实现输出轴（5）微小角度旋转定位，此时先给压电叠堆II（33）施加矩形波驱动电压，压电叠堆II（33）在逆压电效应的作用下，缓慢伸长，在这个过程中压电陶瓷剪切叠堆（32）带动输出端（35）与输出轴（5）紧密接触预紧，接下来给压电陶瓷剪切叠堆（32）施加锯齿波形驱动电压，基于压电剪切效应接触端（35）带动输出轴（5）顺时针旋转，在电压快速下降的过程中，由于运动惯性，输出轴（5）仅有微小的回退运动；同理，改变驱动电压波形方向，实现输出轴（5）逆时针旋转；
F）调节各元件的驱动电压/电流幅值和频率，可实现对输出轴（5）轴向移动速度和角度偏转速度的调控。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910236650.9A CN109980990B (zh) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置及控制方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910236650.9A CN109980990B (zh) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置及控制方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109980990A CN109980990A (zh) | 2019-07-05 |
| CN109980990B true CN109980990B (zh) | 2022-04-01 |
Family
ID=67080821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910236650.9A Active CN109980990B (zh) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置及控制方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109980990B (zh) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109980990B (zh) * | 2019-03-27 | 2022-04-01 | 吉林大学 | 压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置及控制方法 |
| CN110224633B (zh) * | 2019-07-12 | 2020-07-07 | 哈尔滨工业大学 | 一种断电自锁微位移压电调整装置 |
| CN111308130B (zh) * | 2020-03-17 | 2022-01-28 | 清华大学 | 压电式位移装置及原子力显微镜 |
| KR20210156994A (ko) * | 2020-06-19 | 2021-12-28 | 한국과학기술연구원 | 로터리 모터 |
| CN113258825B (zh) * | 2021-05-31 | 2022-05-27 | 吉林大学 | 一种基于粘滑与冲击原理耦合的压电驱动器控制方法 |
| CN113800227B (zh) * | 2021-09-30 | 2023-03-28 | 兰州万里航空机电有限责任公司 | 一种定力锁的旋转执行装置 |
| CN115566931B (zh) * | 2022-12-06 | 2023-02-03 | 吉林大学 | 一种基于压电晶片驱动的两转动自由度执行器 |
| CN117040313B (zh) * | 2023-10-10 | 2024-01-09 | 季华实验室 | 电机线性促动装置和电机线性促动装置的控制方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09285924A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-11-04 | Hiroshi Narushima | 工作機械の主軸傾斜装置 |
| CN202586802U (zh) * | 2012-05-07 | 2012-12-05 | 浙江师范大学 | 磁压电混合作用旋转驱动器 |
| CN206498344U (zh) * | 2016-12-06 | 2017-09-15 | 浙江师范大学 | 一种具有磁力作用的偏置式惯性压电旋转驱动器 |
| CN108258934A (zh) * | 2018-03-13 | 2018-07-06 | 吉林大学 | 一种利用管道内流体动能的双稳态压电-电磁发电装置 |
| CN109980990A (zh) * | 2019-03-27 | 2019-07-05 | 吉林大学 | 压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置及控制方法 |
-
2019
- 2019-03-27 CN CN201910236650.9A patent/CN109980990B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09285924A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-11-04 | Hiroshi Narushima | 工作機械の主軸傾斜装置 |
| CN202586802U (zh) * | 2012-05-07 | 2012-12-05 | 浙江师范大学 | 磁压电混合作用旋转驱动器 |
| CN206498344U (zh) * | 2016-12-06 | 2017-09-15 | 浙江师范大学 | 一种具有磁力作用的偏置式惯性压电旋转驱动器 |
| CN108258934A (zh) * | 2018-03-13 | 2018-07-06 | 吉林大学 | 一种利用管道内流体动能的双稳态压电-电磁发电装置 |
| CN109980990A (zh) * | 2019-03-27 | 2019-07-05 | 吉林大学 | 压电-电磁混合驱动式多自由度精密定位装置及控制方法 |
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|---|---|
| CN109980990A (zh) | 2019-07-05 |
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