CN109966950B - 用于扬析悬浮液的设备和用于运行设备的方法 - Google Patents

用于扬析悬浮液的设备和用于运行设备的方法 Download PDF

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Abstract

在至少一个实施方式中,用于扬析悬浮液的设备包括混合容器,所述混合容器具有进入开口,经由所述进入开口能够将悬浮液引入到混合容器中。设备还包括分配元件,所述分配元件具有:接收容器;和固定在所述接收容器上的排放臂;以及具有纵轴线的轴。轴和分配元件设置在混合容器的内部中。分配元件以能围绕轴自由旋转的方式支承。接收容器包括接收开口,经由所述接收开口,悬浮液能够从进入开口进入到分配元件中。排放臂包括流出开口,经由所述流出开口,悬浮液能够离开分配元件。排放臂构成为,使得悬浮液从接收容器起能够经由排放臂和流出开口流出分配元件,并且悬浮液到分配元件上的这种流动引起支持围绕轴旋转的转矩。

Description

用于扬析悬浮液的设备和用于运行设备的方法
技术领域
本发明提出一种用于扬析悬浮液的设备。此外,提出一种用于运行设备的方法。
发明内容
待实现的目的在于,提出一种设备,借助于所述设备能够扬析或者混匀具有颗粒的悬浮液,所述颗粒与载液相比具有明显更高的密度。另一待实现的目的在于,提出一种用于运行这种设备的方法。
此外,这些目的通过用于扬析悬浮液的设备来实现,所述设备包括:混合容器,所述混合容器具有进入开口,经由所述进入开口,能够将所述悬浮液引入到所述混合容器中,分配元件,所述分配元件具有接收容器和固定在所述接收容器上的排放臂,具有纵轴线的轴,其中所述轴和所述分配元件设置在所述混合容器的内部中,分配元件以能围绕所述轴自由旋转的方式支承,接收容器包括接收开口,经由所述接收开口,所述悬浮液能够从所述进入开口进入到所述分配元件中,排放臂包括流出开口,经由所述流出开口,所述悬浮液能够离开所述分配元件,排放臂构成为,使得所述悬浮液从所述接收容器起能够经由所述排放臂和所述流出开口流出所述分配元件,并且所述悬浮液到所述分配元件上的这种流动引起支持围绕所述轴旋转的转矩;和所述目的通过用于运行根据本发明的方法实现,所述方法包括下述步骤:A)将所述设备定向为,使得轴的纵轴线基本上平行于重力方向定向,并且分配元件沿着重力方向设置在所述进入开口下游,B)将具有转换颗粒的悬浮液经由所述进入开口引入到混合容器中,使得所述悬浮液首先经由接收开口进入所述分配元件中,并且紧接着所述悬浮液经由所述流出开口从所述分配元件流出,由此将所述分配元件置于围绕所述轴的旋转中。有利的设计方案和改进形式是本文的主题。
根据至少一个实施方式,所述设备包括具有进入开口的混合容器,经由所述进入开口,能够将悬浮液引入到混合容器中。
混合容器尤其是长形地构成的容器。进入开口例如设置在混合容器的纵向侧的端部上。混合容器例如包括圆柱形部段或者是圆柱形的。圆柱形部段的长度优选大于圆柱形部段的直径。圆柱形部段的长度优选为混合容器的总长度的至少70%。优选地,进入开口设置在圆柱形部段中并且尤其优选设置在圆柱形部段的顶盖面中。
在混合容器的与进入开口相对置的纵向侧的端部上,混合容器能够具有渐缩的形状,尤其锥形形状。
混合容器例如具有在0.01l和1l之间的,优选在0.01l和0.3l之间的容量,其中包括边界值。
根据至少一个实施方式,所述设备包括分配元件,所述分配元件具有接收容器和一个或多个固定在接收容器上的排放臂。分配元件设计用于分配或者搅拌悬浮液。
接收容器设计用于暂时容纳悬浮液。接收容器尤其是空心体。接收容器例如具有至少1ml和50ml的容量。
排放臂尤其是长形地构成的空心体。排放臂内部的空腔形成内部的流动通道,悬浮液能够流通或流动穿过所述流动通道。排放臂例如构成为管。
排放臂的纵向侧的端部固定在接收容器上。相对置的纵向侧的端部与接收容器间隔开。
排放臂与接收容器液压耦联,使得悬浮液能够从接收容器的内部流入到排放臂的内部的流动通道中。
分配元件的组成部分,尤其接收容器和排放臂,能够彼此一件式地或者一体地构成。也就是说,分配元件的所有区域相互整体地构成并且包含相同的材料或由相同的材料构成。
在此并且在下文中描述具有排放臂的分配元件。但是分配元件也能够包括多个排放臂,例如两个或三个或四个排放臂。所有针对所述一个排放臂做出的说明能够相应地适用于多个或者所有排放臂。排放臂例如均匀地围绕接收容器分布。
根据至少一个实施方式,所述设备包括具有纵轴线的轴。也就是说,轴优选长形地,尤其杆状或者圆柱形地构成。轴的纵轴线优选基本上平行于混合容器的纵轴线延伸。轴的纵轴线能够与混合容器的纵轴线重合。轴沿着混合容器的纵轴线来测量的长度优选为混合容器长度的至少30%或至少50%或至少70%。
根据至少一个实施方式,轴和分配元件设置在混合容器的内部中。优选地,轴和分配元件完全地由混合容器的壁围绕。
所述设备也能够包括多个进入开口,所述进入开口例如均匀地或者对称地围绕轴的纵轴线的延长部设置。
根据至少一个实施方式,分配元件以围绕轴自由旋转的方式支承。也就是说,轴用于支承可旋转的分配元件。特别地,在所述设备常规的运行期间,也就是说,在扬析或者混匀悬浮液期间,分配元件能够自由地围绕轴旋转。
轴优选居中地伸展穿过接收容器。接收容器例如关于围绕轴的转动方面旋转对称地设计。
根据至少一个实施方式,接收容器包括接收开口。经由接收开口,悬浮液能够从进入开口到达分配元件中。进入开口优选与接收开口间隔开。进入开口和接收开口优选朝向彼此。悬浮液尤其能够沿着直线的路段从进入开口到达接收开口。也就是说,在进入开口和接收开口之间优选不设置所述设备的任何元件。
根据至少一个实施方式,排放臂包括流出开口,经由所述流出开口,悬浮液能够离开分配元件。流出开口尤其在排放臂的纵向侧的端部上构成,所述纵向侧的端部不固定在接收容器上。也就是说,流出开口形成排放臂的内部的流动通道的端部。
根据至少一个实施方式,排放臂构成为,使得悬浮液从接收容器起能够经由排放臂和流出开口从分配元件流出,并且悬浮液到分配元件上的这种流动引起支持围绕轴旋转的转矩。
在所述设备常规地运行时,悬浮液从接收容器的内部流动经过排放臂并且穿过流出开口离开排放臂。排放臂在此成形为,使得悬浮液的流出引起分配元件围绕轴的旋转或者引起至少一个转矩,所述转矩支持这种旋转或者寻求这种旋转。也就是说,转矩寻求克服分配元件的阻力,即克服惯性和摩擦进行旋转。
换言之,悬浮液从流出开口流出到分配元件上引起转矩,其中该转矩具有平行于轴的纵轴线的非零分量。作用于分配元件上的转矩的转矩向量例如与轴的纵轴线围成至多30°或者至多20°或者至多10°的角度。
换言之,排放臂成形为,使得在悬浮液穿流排放臂时悬浮液的平均角动量沿着纵轴线的分量改变。通过角动量守恒,于是平行于纵向方向的转矩分量作用于分配元件上。
轴的纵轴线是极坐标系统中的z轴。在常规运行时,在悬浮液从流出开口流出时,悬浮液具有平均速度。排放臂优选设计为,使得悬浮液的平均速度对于方位角方向的分量与对于径向方向和/或对于z方向的分量相比在绝对值上更大。方位角方向在此是垂直于z轴线并且垂直于径向方向的方向。
为了在穿流和流出时引起这种转矩,排放臂从接收容器起能够首先远离轴延伸,例如基本上沿着径向方向和/或平行于z轴延伸。紧接着,排放臂能够弯曲为,使得延伸部沿着方位角方向增加。在流出开口的区域中,延伸部沿着方向角方向与沿着径向方向和/或z轴相比优选更大。
换言之,排放臂沿着中线延伸。中线例如居中地伸展穿过内部的流动通道。从接收容器起直至流出开口,中线的定向沿着方位角方向优选增加。也就是说,处于中线的点处的切向向量,如果该点离流出开口越近,就具有绝对值更大的方位角方向的分量。在流出开口的区域中在中线处的切向向量优选对于方位角方向而言与对于z方向和/或对于径向方向而言相比具有在绝对值上更大的分量。
如果所述设备包括多个排放臂,那么排放臂优选相同类型地成形,使得悬浮液流动经过悬臂部分别支持总是具有相同的转动方向的旋转。
悬浮液例如具有至多100mPa·s或者至多70mPa·s或者至多50mPa·s或者至多15mPa·s的粘度,其中所述设备设计用于扬析所述悬浮液并且设备借助于所述悬浮液常规地工作。
在至少一个实施方式中,用于扬析悬浮液的设备包括混合容器,所述混合容器具有进入开口,经由所述进入开口,悬浮液能够引入到混合容器中。所述设备还包括分配元件,所述分配元件具有接收容器和固定在接收容器上的排放臂以及具有纵轴线的轴。轴和分配元件设置在混合容器的内部中。分配元件以可围绕轴自由旋转的方式支承。接收容器包括接收开口,经由所述接收开口,悬浮液能够从进入开口到达分配元件中。排放臂包括流出开口,经由所述流出开口,悬浮液能够离开分配元件。排放臂构成为,使得悬浮液能够从接收容器起能够经由排放臂和流出开口从分配元件流出,并且悬浮液到分配元件上的这种流动引起支持围绕轴旋转的转矩。
本发明尤其基于如下知识:使用转换层用于发光二极管的所发射的光的光转换。转换层包括分布在载体基质中的发光材料颗粒(转换颗粒)。施加这种转换层的方法是将出自药筒的液态的颗粒悬浮液(英语slurry浆料)喷涂到半导体器件上,所述液态的颗粒悬浮液例如包括硅树脂、转换颗粒和稀释剂。
对于典型的材料特性而言,在静止的悬浮液中转换颗粒的沉降时间为几分钟。尤其针对具有低粘度的悬浮液而言,如对于喷涂所需的悬浮液,沉降时间是小的。当然,为了满足关于最终的转换层的恒定的特性的质量要求,悬浮液在整个喷涂过程的时间期间应保持均匀地混匀,所述时间在通常所使用的药筒(混合容器)的容量的情况下为大约1小时。也就是说,转换颗粒不应当在混合容器的部分体积中浓缩或沉降。为了实现这种情况,悬浮液能够主动地混匀。
在本发明中,混匀能够借助于唯一的混合容器实现。为此,将悬浮液经由进入开口引入到混合容器中。悬浮液随后从进入开口处首先到达分配元件,所述分配元件以可围绕轴自由旋转的方式支承。混匀通过如下方式实现:分配元件包括排放臂,经由所述排放臂,悬浮液再次离开分配元件。排放臂在此设计为,使得悬浮液的离开自动地引起分配元件的旋转。这又引起:输送给混合容器的悬浮液的射流以旋转的方式输送。附加地,分配元件的自动的旋转经受小的随机波动。整体上,能够减少在悬浮液内部形成稳定的涡流和流动,这降低了沉降的危险。
也有利的是,分配元件的旋转自动地或者被动地进行。也就是说,分配元件不必主动地,例如经由马达来旋转。因此,不需要穿过混合容器的顶盖的压力密封的旋转穿引部。
综上所述,从混合容器中持续地提取悬浮液和紧接着将其回引到混合容器中引起:颗粒,例如转换颗粒,不沿着z轴或重力方向沉降。在回引时出现的旋转还引起颗粒沿着垂直于z轴的方向的重分配,使得整体上颗粒沿着所有空间方向重分配。
根据至少一个实施方式,分配元件以可沿着轴的纵轴线自由移动的方式支承。特别地,在所述设备常规运行期间,分配元件可沿着轴的纵轴线自由移动,使得分配元件沿着纵轴线的位置在运行期间也是可变的。
根据至少一个实施方式,在所述设备的常规的定向中,轴的纵轴线基本上平行于重力方向定向。所述设备的常规的定向是针对所述设备的常规运行的几何定向。“基本上平行”当前表示:纵轴线与重力方向围成至多30°或者至多20°或者至多10°或者至多5°的角度。
根据至少一个实施方式,在常规的定向中,接收开口沿着重力方向设置在进入开口下游。也就是说,经由进入开口输送的悬浮液由于重力落入接收开口中。
根据至少一个实施方式,在沿着轴的纵轴线的观察方向中,接收开口完全地遮盖进入开口。这优选适用于分配元件的每个可通过围绕轴的旋转和/或沿着轴的纵轴线的移动来设定的位置。也就是说,特别地,接收开口大于进入开口。在常规运行中,经由进入开口输送的悬浮液的至少90%或者至少95%例如到达接收容器的接收开口中。
根据至少一个实施方式,混合容器可借助于悬浮液来填充。也就是说,引入到混合容器中的悬浮液能够储存或存放在混合容器内部。
根据至少一个实施方式,分配元件设计为,使得如果混合容器部分地借助于悬浮液填充并且所述设备常规地定向,那么分配元件浮在悬浮液中。如果混合容器中的悬浮液的体积为混合容器的容量的至少30%,那么分配元件例如浮在混合容器中。“浮”当前尤其表示:在混合容器中的悬浮液的液位改变时,分配元件本身跟随变化的液位。
分配元件浮在混合容器内部的悬浮液中一方面通过选择分配元件的材料而另一方面通过沿着轴的纵向方向的可自由移动性来实现。
分配元件例如包括塑料或者由其构成。分配元件例如能够借助于3D打印法制造。但是,分配元件也能够包括金属或陶瓷。附加地,分配元件能够包括浮子,所述浮子在悬浮液中引起对于浮动必要的浮力。
用于所述设备的悬浮液例如具有至少0.5g/cm3或者至少0.6g/cm3或者至少0.7g/cm3或者至少0.8g/cm3或者至少0.9g/cm3的密度,其中分配元件浮在所述悬浮液中。替选地或者附加地,悬浮液的密度能够为至多2g/cm3或者至多1.7g/cm3或者至多1.5g/cm3或者至多1.3g/cm3或者至多1.1g/cm3
分配元件浮在悬浮液中引起如下结果:分配元件跟随悬浮液在混合容器中的变化的液位,从而不使回运的悬浮液的混匀或均匀性随着液位降低而退化。
根据至少一个实施方式,分配元件设计为,使得如果分配元件浮在悬浮液中,那么流出开口完全地沉入悬浮液中。优选地,于是整个排放臂沉入悬浮液中。这尤其具有如下优点:在运行时分配元件围绕轴的转动附加地引起已经存在于混合容器中的悬浮液的再搅拌。
根据至少一个实施方式,进入开口沿着垂直于轴的纵轴线的方向相对于轴错开。混合容器沿着垂直于轴的纵轴线的方向测量的直径为至少1cm或者至少2cm或者至少5cm。替选地或者附加地,混合容器能够具有至多50cm或者至多30cm的直径。进入开口距轴的纵轴线的间距例如在混合容器的直径的5%和50%之间,优选在5%和25%之间,其中包括边界值。
根据至少一个实施方式,排放臂的内部,例如内部的流动通道,经由接收容器的外壁中的流入开口与接收容器的内部连接,使得悬浮液从接收容器的内部能够经由流入开口进入排放臂的内部中。也就是说,接收容器和排放臂的空腔通过流入开口连续地构成。
接收容器的外壁中的流入开口的直径例如对应于排放臂的内部的流动通道的直径。接收容器的外壁优选直接过渡为排放臂的外壁中。
根据至少一个实施方式,在分配元件围绕轴旋转时存在至少一个如下位置,在所述位置中,在沿着轴的纵轴线观察方向中流入开口至少部分地覆盖、优选完全覆盖进入开口。在该位置中,在所述设备常规的定向中,经由进入开口输送的悬浮液能够直接落入流入开口中。
在混合容器的进入开口和流入开口之间的这种直接且直线的连接具有如下优点:在所输送的悬浮液到达排放臂之前,所述悬浮液不制动或者仅较少地制动。悬浮液在排放臂内部的转向因此引起作用到分配元件上的尤其大的转矩。
根据至少一个实施方式,接收容器具有空心拱顶的几何形状。接收开口设置在空心拱顶的基部的区域中并且例如形成空心拱顶的基部的至少80%。空心拱顶的尖部优选背离进入开口。也就是说,在所述设备的常规的定向中,空心拱顶的尖端向下指向。接收容器能够具有半球壳的形状。
接收容器沿着轴的纵轴线并且沿着垂直于轴的纵轴线的方向的扩展例如为至多100mm或者至多70mm或者至多50mm。替选地或附加地,所述扩展部为至少5mm或者至少10mm或者至少20mm。
轴优选从空心拱顶的基面延伸穿过空心拱顶的尖部端。
根据至少一个实施方式,混合容器具有离开开口,经由所述离开开口,能够从混合容器提取悬浮液。在长形地构成的混合容器中,进入开口和离开开口优选设置在混合容器的相对置的纵向侧的端部上。特别地,在所述设备的常规的定向中,离开开口设置在混合容器的下部区域中。进入开口优选设置在混合容器的上部区域中。于是,沿着重力方向,离开开口设置在进入开口下游。
根据至少一个实施方式,离开开口沿着垂直于轴的纵轴线的方向相对于进入开口错开。在进入开口和离开开口之间的这种错开进一步正面地作用于悬浮液的混匀。
根据至少一个实施方式,混合容器具有侧壁,所述侧壁沿着垂直于轴的纵轴线的方法与轴间隔开。如果混合容器圆柱形地构成或者部段地以圆柱形构成,那么侧壁例如能够是柱体的侧表面。
根据至少一个实施方式,分配元件的流出开口距轴的间距为侧壁距轴的间距的50%和75%之间,其中包括边界值。所述间距在此分别沿着垂直于轴的纵轴线的方向测量。
根据至少一个实施方式,分配元件具有穿引部。轴引导穿过所述穿引部。
根据至少一个实施方式,穿引部的直径比轴的直径大至少100μm或者至少300μm或者至少500μm,使得在分配元件和轴之间构成有间隙。间隙例如对于悬浮液而言是可自由进入的。间隙的大小尤其被选择为,使得悬浮液的颗粒穿过间隙,而不阻挡分配元件围绕轴的旋转。
根据至少一个实施方式,所述设备包括回运系统,所述回运系统设计为,使得所述回运系统能够将从离开开口中提取的悬浮液的至少一部分经由进入开口回运到混合容器中。回运系统例如包括泵,借助于所述泵,被提取的悬浮液能够被回运到混合容器中。在回运系统中,优选也装入阀,如三通阀,借助于所述阀能够控制:将所提取的悬浮液的哪些份额运回并且将哪些份额喷例如喷涂到半导体器件上。
此外,提出一种用于运行根据上述实施方式中的一个或多个的设备的方法。所有结合所述设备公开的特征因此也针对所述方法公开并且反之亦然。
根据至少一个实施方式,用于运行所述设备的方法包括步骤A),在所述步骤A)中所述设备定向为,使得轴的纵轴线基本上平行于重力方向定向,并且分配元件沿着重力方向设置在进入开口下游。
根据至少一个实施方式,所述方法包括步骤B),在所述步骤B)中具有转换颗粒的悬浮液经由进入开口引入到混合容器中,使得悬浮液首先经由接收开口到达分配元件中,并且紧接着悬浮液经由流出开口从分配元件流出,由此分配元件置于围绕轴的旋转中。
围绕轴的旋转优选自动进行,即在不需要附加的、作用到轴或者分配元件上的外部的力作用的情况下进行,仅通过悬浮液从流出开口中流出的方式来进行。
在所述方法期间,悬浮液从进入开口落至分配元件的接收开口。但是,优选地,悬浮液借助于压力引入到混合容器中。也就是说,悬浮液以大于零的起始速度引导穿过进入开口。
根据所述方法的至少一个实施方式,混合容器在所述方法期间至少暂时地部分地用悬浮液填充。在所述方法期间,例如在大于1分钟的时间段期间用悬浮液填充混合容器的容量的至少30%或填充到至少50%。
根据至少一个实施方式,在所述方法期间,分配元件至少暂时地,例如在至少1分钟的时间段期间浮在悬浮液中。
根据至少一个实施方式,在所述方法期间,混合容器中的悬浮液的液位改变。特别地,混合容器的液位在所述方法期间减小。
根据至少一个实施方式,在所述方法期间,通过所述分配元件沿着轴的纵轴线运动的方式,分配元件跟随液位的改变。
根据至少一个实施方式,悬浮液具有在0.6g/cm3和2g/cm3之间的密度,其中包括边界值。
根据至少一个实施方式,悬浮液具有在1mPa·s和100mPa·s之间的,优选在1mPa·s和50mPa·s之间的粘度,其中包括边界值。
根据至少一个实施方式,悬浮液以至少0.01m/s或者至少0.1m/s的平均速度经过进入开口。替选地或者附加地,平均速度能够为至多5m/s或者至多1m/s。平均速度能够在地点上和/或在时间上取平均值。特别地,悬浮液经由进入开口射入到混合容器中。例如为此使用泵。
根据至少一个实施方式,悬浮液的转换颗粒具有至多500μm或者至多300μm或者至多100μm的最大直径。
根据至少一个实施方式,所述方法包括步骤C),在所述步骤C)中,从混合容器中提取悬浮液。优选地,在此提取存在于混合容器中的悬浮液的仅一部分。特别地,经由离开开口从混合容器中提取悬浮液。
根据至少一个实施方式,所述方法包括步骤D),在所述步骤D)中将所提取的悬浮液的至少一部分喷涂到半导体器件,如半导体芯片,尤其LED芯片上。
在所述方法期间,在混合容器的内部中优选存在恒定的或者可变的/可控制的过压。混合容器中的压力优选随着悬浮液的液位降低而提高。混合容器中的过压例如在30mbar和100mbar之间,其中包括边界值。
附图说明
接下来参照附图根据实施例详细阐述在此所描述的设备以及在此所描述的用于运行所述设备的方法。相同的附图标记在此在各个附图中说明相同的元件。然而,在此未示出按比例的关系,更确切地说,各个元件为了更好的理解能够夸张大地示出。
附图示出:
图1A至1C示出不同视图中的所述设备的实施例,
图2示出所述设备和用于运行所述设备的方法的实施例。
具体实施方式
在图1A中示出用于扬析悬浮液5的设备100的实施例的立体视图。设备100包括混合容器1,所述混合容器当前圆柱形地构成。混合容器1部分地用悬浮液5填充。悬浮液5例如能够经由混合容器1的上部区域中的进入开口10引入。悬浮液5例如能够包括转换颗粒。
在混合容器1中,轴3沿着混合容器1的纵向方向延伸。轴3的纵轴线在此对应于圆柱形的混合容器1的纵轴线。轴3的纵轴线基本上平行于重力方向g定向。
分配元件2以可围绕轴3自由旋转的方式支承。为此,分配元件2尤其包括穿引部,轴3引导穿过所述穿引部。
分配元件2包括接收容器20。接收容器20当前具有翻转的空心拱顶的形状。空心拱顶的基部包括接收容器20的接收开口22。接收开口22尤其沿着重力方向或沿着平行于轴3的纵轴线的方向设置在进入开口10下游。如果悬浮液5经由进入开口10引入到混合容器1中,那么所述悬浮液直接穿过接收开口22落入接收容器20中。
排放臂21固定在接收容器20的外壁上。排放臂21例如分别构成为管,所述管包括内部的流动通道。悬浮液5能够从接收容器20处到达排放臂21中并且流动穿过排放臂21的内部的流动通道。
在排放臂21的一个端部处,排放臂21分别具有流出开口23。经由所述流出开口23,悬浮液5能够离开排放臂21或分配元件2。
排放臂21当前弯曲,使得在悬浮液5流出时引起作用到分配元件2上的转矩,所述转矩支持或引起分配元件2围绕轴3的旋转。流出的悬浮液5通过图1A中的箭头表示。
此外,在图1A中可见,分配元件2浮在悬浮液5中。如果混合容器1中的悬浮液5的液位改变,那么分配元件2跟随悬浮液5的液位。为此,分配元件2尤其以沿着轴3的纵向方向自由运动的方式支承。分配元件2在此设计为,使得排放臂21的流出开口23沉入悬浮液5中。
在图1B中示出贯穿图1A的设备100的横截面视图。可见的是,在接收容器20的外壁中构成有流入开口24,排放臂21的内部的流动通道连接到所述流入开口上。经由流入开口24,位于接收容器20中的悬浮液5能够进入排放臂21中。
此外在图1B中可见,在沿着轴3的纵轴线的观察方向中,流入开口24针对分配元件的特定的旋转角度覆盖进入开口10。在图1B中示出的设备100的借助于轴3的纵轴线沿着重力方向g的常规的定向中,这用于:使经由进入开口流入的悬浮液5直接落到进入开口24上。通过悬浮液5的转向引起的、作用到分配元件2上的转矩由此被最大化。
此外在图1B中可见,混合容器1的侧壁13与轴3沿着垂直于轴3的纵轴线的方向间隔开。流出开口23距轴3的间距大约为侧壁13距轴3的间距的2/3。
在图1C中,图1A的设备100在垂直于轴3的纵轴线的横截面视图中示出。分配元件2当前包括四个排放臂21。排放臂21分别相同类型地弯曲,使得所述排放臂在用悬浮液5穿流时分别支持以相同的旋转方向围绕轴3的纵轴线的转动。
此外,在图1C中可见,接收容器20的接收开口22完全地覆盖进入开口10。此外可见,在分配元件2围绕轴3旋转时,存在四个位置,在所述位置中,进入开口10完全地与流入开口24重叠。
不同于在图1C中所示出的,设备100也能够包括多个进入开口10。
图2示出用于扬析悬浮液5的设备100的另一实施例。混合容器1包括离开开口11,经由所述离开开口,能够提取位于混合容器1中的悬浮液5。离开开口11沿着重力方向g设置在进入开口10下游。进入开口10和离开开口11能够是混合容器壁中的唯一的开口。
设备100此外包括回运系统4,所述回运系统具有泵14。经由离开开口11提取的悬浮液5借助于回运系统4完全地或者部分地泵回到混合容器1中。被回运的悬浮液5在此经由进入开口10进入混合容器1中。在进入混合容器1中之后,悬浮液5首先落入接收容器20中,从该处起,悬浮液5穿过排放臂21从分配元件2中流出。排放臂21的形状在此引起分配元件2围绕轴3的自动旋转。由此,悬浮液5持续地混匀,使得悬浮液5中被回运的颗粒均匀地分布在悬浮液5中。
本专利申请要求德国专利申请10 2017 129 997.1的优先权,所述德国专利申请的公开内容通过参引就此并入本文。
本发明不因根据实施例的描述而受限于此。更确切地说,本发明包括每个新的特征以及特征的每个组合,这尤其包含实施例中的特征的每个组合,即使这些特征或者这些组合本身未详细地在实施例中说明时也是如此。
附图标记列表
1 混合容器
2 分配元件
3 轴
4 回运系统
5 悬浮液
10 进入开口
11 离开开口
13 侧壁
14 泵
20 接收容器
21 排放臂
22 接收开口
23 流出开口
24 流入开口
100 设备
g 重力方向

Claims (14)

1.一种用于扬析悬浮液的设备(100),所述设备包括:
-混合容器(1),所述混合容器具有进入开口(10),经由所述进入开口,能够将所述悬浮液引入到所述混合容器(1)中,
-分配元件(2),所述分配元件具有接收容器(20)和固定在所述接收容器(20)上的排放臂(21),
-具有纵轴线的轴(3),其中
-所述轴(3)和所述分配元件(2)设置在所述混合容器(1)的内部中,
-所述分配元件(2)以能围绕所述轴(3)自由旋转的方式支承,
-所述接收容器(20)包括接收开口(22),经由所述接收开口,所述悬浮液能够从所述进入开口(10)进入到所述分配元件(2)中,
-所述排放臂(21)包括流出开口(23),经由所述流出开口,所述悬浮液能够离开所述分配元件(2),
-所述排放臂(21)构成为,使得所述悬浮液从所述接收容器(20)起能够经由所述排放臂(21)和所述流出开口(23)流出所述分配元件(2),并且所述悬浮液到所述分配元件(2)上的这种流动引起支持围绕所述轴(3)旋转的转矩,
-在所述设备(100)的常规的定向中,所述轴(3)的纵轴线基本上平行于重力方向定向,
-在所述常规的定向中,所述接收开口(22)沿着所述重力方向设置在所述进入开口(10)的下游,
-在沿着所述轴(3)的纵轴线的观察方向中,所述接收开口(22)完全地覆盖所述进入开口(10),并且
-所述混合容器(1)能够用所述悬浮液填充,
-所述分配元件(2)设计为,使得如果所述混合容器(1)至少部分地用所述悬浮液填充并且所述设备(100)常规地定向,那么所述分配元件(2)浮在所述悬浮液中。
2.根据权利要求1所述的设备(100),
其中所述分配元件(2)以能沿着所述轴(3)的纵轴线自由移动的方式支承。
3.根据权利要求1所述的设备(100),
其中所述分配元件(2)设计为,使得如果所述分配元件(2)浮在所述悬浮液中,那么所述流出开口(23)完全地沉入所述悬浮液中。
4.根据权利要求1或2所述的设备(100),
其中所述进入开口(10)沿着垂直于所述轴(3)的纵轴线的方向相对于所述轴(3)错开。
5.根据权利要求1或2所述的设备(100),其中
-所述排放臂(21)的内部经由所述接收容器(20)的外壁中的流入开口(24)与所述接收容器(20)的内部连接,使得所述悬浮液能够从所述接收容器(20)的内部经由所述流入开口(24)到达所述排放臂(21)的内部中,
-在所述分配元件(2)围绕所述轴(3)旋转时,存在至少一个位置,在所述位置中,在沿着所述轴(3)的纵轴线的观察方向中,所述流入开口(24)至少部分地覆盖所述进入开口(10)。
6.根据权利要求1或2所述的设备(100),
其中所述接收容器(20)具有空心拱顶的几何形状。
7.根据权利要求1或2所述的设备(100),其中
-所述混合容器(1)具有离开开口(11),经由所述离开开口,能够从所述混合容器(1)中提取所述悬浮液,
-所述离开开口(11)沿着垂直于所述轴(3)的纵轴线的方向相对于所述进入开口(10)错开。
8.根据权利要求1或2所述的设备(100),其中
-所述混合容器(1)具有侧壁(13),所述侧壁沿着垂直于所述轴(3)的纵轴线的方向与所述轴(3)间隔开,
-所述流出开口(23)距所述轴(3)的间距为所述侧壁(13)距所述轴(3)的间距的50%和75%之间,其中包括边界值。
9.根据权利要求1或2所述的设备(100),其中
-所述分配元件(2)具有穿引部,所述轴(3)引导穿过所述穿引部,
-所述穿引部的直径比所述轴(3)的直径大至少100μm,使得在所述分配元件(2)和所述轴(3)之间构成有间隙。
10.根据权利要求7所述的设备(100),
所述设备还包括回运系统(4),所述回运系统设计为,使得所述回运系统能够将从所述离开开口(11)中提取的悬浮液的至少一部分经由所述进入开口(10)运送回到所述混合容器(1)中。
11.一种用于运行根据权利要求1或2所述的设备(100)的方法,所述方法包括下述步骤:
A)将所述设备(100)定向为,使得轴(3)的纵轴线基本上平行于重力方向定向,并且分配元件(2)沿着重力方向设置在所述进入开口(10)下游,
B)将具有转换颗粒的悬浮液(5)经由所述进入开口(10)引入到混合容器(1)中,使得所述悬浮液(5)首先经由接收开口(22)进入所述分配元件(2)中,并且紧接着所述悬浮液(5)经由所述流出开口(23)从所述分配元件(2)流出,由此将所述分配元件(2)置于围绕所述轴(3)的旋转中,其中
-所述混合容器(1)至少暂时部分地用所述悬浮液(5)填充,并且其中
-所述分配元件(2)至少暂时地浮在所述悬浮液(5)中。
12.根据权利要求11所述的方法,
其中在所述方法期间,
-改变所述混合容器(1)中的所述悬浮液(5)的液位,
-通过所述分配元件沿着所述轴(3)的纵轴线运动的方式,所述分配元件(2)跟随所述液位的改变。
13.根据权利要求11所述的方法,其中
-所述悬浮液(5)具有在0.5g/cm3和2g/cm3之间的密度,其中包括边界值,
-所述悬浮液(5)具有在1mPa·s和100mPa·s之间的粘度,其中包括边界值,
-所述悬浮液(5)以在0.01m/s和5m/s之间的平均速度经过所述进入开口(10),其中包括边界值。
14.根据权利要求11所述的方法,所述方法还包括如下步骤:
C)从所述混合容器(1)中提取所述悬浮液(5);
D)将所提取的所述悬浮液(5)的至少一部分喷涂到半导体器件上。
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