CN109856920A - 防转装置、运动台系统与光刻设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种防转装置、运动台系统与光刻设备，所述防转装置，连接于工件台与线缆台之间，用于限制工件台相对线缆台绕垂直工件台所在平面的轴发生非预期角度旋转运动，防转装置包括交叉伸缩连杆组件，交叉伸缩连杆组件的两端分别与工件台与线缆台转动连接；工件台沿第一方向运动时，交叉伸缩连杆组件能够沿相同方向压缩或伸展，交叉伸缩连杆组件与工件台和线缆台的连接位置在第二方向上保持不变，第一方向为工件台与线缆台之间最短连线方向，第二方向在同一平面内与第一方向垂直。本发明交叉伸缩连杆组件伸缩时，其与工件台和线缆台的连接位置保持不变，避免因连接点沿非伸缩方向运动对运动台的运动造成阻力。

Description

防转装置、运动台系统与光刻设备

技术领域

本发明涉及光刻领域，尤其涉及一种防转装置、运动台系统与光刻设备。

背景技术

在半导体光刻设备中，硅片台和掩模台等精密工件台运动系统是极其重要的关键部件。

现有的相关技术中，可以采用平面磁浮电机来实现长行程粗动的精密工件台运动系统，其中，精密工件台运动系统包括运动平台(多个磁铁按一定的方式排列而成的定子)和包含导电线圈的工件台构成。

其中，定子磁铁的极化方向和工件台的线圈产生的磁极方向需保持一定的空间关系，否则会导致工件台失去定位能力。基于该空间关系，如果工件台在软件故障或程序错误、碰撞、失去电源等情况下，工件台旋转45°后，线圈产生的磁场方向与运动平台内磁铁的磁场方向平行时，工件台将无法移动，同时，这种较大的旋转会对与工件台相连的线缆管路产生危害。

发明内容

本发明提供了一种防转装置、运动台系统与光刻设备，以解决如何避免旋转产生的不利影响。

根据本发明的第一方面，提供了一种防转装置，连接于工件台与线缆台之间，用于限制工件台相对线缆台绕垂直工件台所在平面的轴发生非预期角度旋转运动，所述防转装置包括交叉伸缩连杆组件，所述交叉伸缩组件的两端分别与工件台与线缆台转动连接；

所述工件台沿第一方向运动时，所述交叉伸缩连杆组件能够沿相同方向压缩或伸展，所述交叉伸缩连杆组件与工件台和线缆台的连接位置在第二方向上保持不变，所述第一方向为工件台与线缆台之间最短连线方向，所述第二方向在同一平面内与第一方向垂直。

可选的，所述交叉伸缩连杆组件具有四个连接端部，其中两个连接端部转动连接于所述工件台的两个第一连接点；另两个连接端部转动连接于所述线缆台的两个第二连接点，所述两个第一连接点、所述两个第二连接点均沿第二方向分布。

可选的，所述交叉伸缩连杆组件包括两个伸缩连杆，两个伸缩连杆沿第二方向平行设置，每个伸缩连杆具有两个连接端部，分别连接所述第一连接点和所述第二连接点。

可选的，每个所述伸缩连杆包括两个第一连杆、两个第二连杆与若干中间连杆，两个第一连杆的第一端相交后连接于所述第一连接点，两个第二连杆的第一端相交后连接于所述第二连接点；两个第一连杆的第二端连接中间连杆；两个第二连杆的第二端连接中间连杆；所述若干中间连杆成对连接，且成对的两个中间连杆交叉连接；

两个中间连杆与两个第一连接杆之间、以及两个中间连杆与两个第二连杆之间，分别形成平行四边形；或者：两个中间连杆与两个第一连接杆之间、两个中间连杆与两个第二连杆之间，以及两个中间连杆与两个中间连杆之间，分别形成平行四边形，所述平行四边形随所述伸缩连杆的压缩与伸展变化夹角。

可选的，所述第一连杆与所述第二连杆的长度相同，所述中间连杆的长度为所述第一连杆与所述第二连杆的长度的两倍，交叉连接的两个中间连杆的交叉连接点处于对应中间连杆的中点位置。

可选的，所述中间连杆的数量为两对。

可选的，所述交叉伸缩连杆组件为轴对称结构，且对称轴沿第一方向布置。

可选的，所述交叉伸缩连杆组件包括两个长连杆、四个中连杆与两个短连杆，分别为第一长连杆、第二长连杆、第一中连杆、第二中连杆、第三中连杆、第四中连杆、第一短连杆与第二短连杆；

所述第一中连杆的第一端连接一个所述第一连接点，所述第一中连杆的第二端连接所述第二中连杆的第一端，所述第三中连杆的第一端连接另一个所述第一连接点，所述第三中连杆的第二端连接所述第四中连杆的第一端；

所述第一长连杆的第一端连接所述第一中连杆，且连接于所述第一种连杆的两端之间，所述第一长连杆的第二端连接所述第一短连杆的第一端，所述第一短连杆的第二端连接一个所述第二连接点；所述第二长连杆的第一端连接所述第三中连杆，且连接于所述第三中连杆的两端之间，所述第二长连杆的第二端连接所述第二短连杆的第一端，所述第二短连杆的第二端连接另一个所述第二连接点；

所述第一长连杆与所述第二长连杆交叉连接于交叉连接点，所述第二中连杆的第二端连接所述第二长连杆，且连接于所述交叉连接点与所述第二长连杆的第二端之间，所述第四中连杆的第二端连接所述第一长连杆，且连接于所述交叉连接点与所述第一长连杆的第二端之间。

可选的，所述防转装置还包括导向组件，所述导向组件包括导向杆和与之配合的导向槽，所述导向杆和导向槽分别设置在所述交叉伸缩连杆组件和所述线缆台上或相反设置；当所述交叉伸缩连杆组件伸缩时，所述导向杆可在导向槽内沿第一方向移动为所述交叉伸缩连杆组件伸缩提供导向。

可选的，所述防转装置还包括导向组件，所述导向组件包括连接杆、导向杆以及设于所述线缆台上的导向槽，所述连接杆沿第二方向分别连接所述两个伸缩连杆，所述导向杆的一端与所述连接杆连接，另一端插入所述导向槽内，所述导向杆可在导向槽内沿第一方向移动为两个伸缩连杆伸缩提供导向。

可选的，所述防转装置还包括导向组件，所述导向组件包括导向杆和设于所述线缆台上的导向槽，所述导向杆一端连接所述第一长连杆与所述第二长连杆交叉连接的交叉连接点，另一端插入所述导向槽内，所述导向杆可在导向槽内沿第一方向移动为所述交叉伸缩连杆组件伸缩提供导向。

可选的，所述非预期角度旋转运动为所述工件台绕垂直工件台所在平面的轴旋转超过±10°。

根据本发明的第二方面，提供了一种运动台系统，包括第一方面及其可选方案涉及的防转装置、所述工件台、所述线缆台与导轨，所述导轨沿第二方向设置，所述线缆台能够跟随工件台沿第二方向同步沿所述导轨移动。

可选的，所述运动台系统，还包括：位置检测装置，所述位置检测装置用于检测所述工件台与所述线缆台之间沿第一方向的相对位置。

可选的，所述位置检测装置包括传感器与衍射光栅，衍射光栅沿第一方向设置，且一端固定在所述工件台上，传感器沿第一方向固定在所述交叉伸缩连杆组件上。

根据本发明的第三方面，提供了一种光刻设备，包括第二方面及其可选方案涉及的运动台系统。

本发明提供的防转装置、运动台系统与光刻设备，通过所述工件台沿第一方向运动时，所述交叉伸缩连杆组件能够沿相同方向压缩或伸展，以及所述交叉伸缩连杆组件与工件台和线缆台的连接位置在第二方向上保持不变，本发明限制了工件台相对于线缆台的旋转运动，避免了运动台的相对旋转运动带来的危害，交叉伸缩连杆组件伸缩时，其与工件台和线缆台的连接位置保持不变，避免因连接点沿非伸缩方向运动对运动台的运动造成阻力。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明一运动台系统的结构示意图一；

图2是本发明一运动台系统的结构示意图二；

图中：

1-运动台；

2-线缆台；

3-导轨；

4-导向杆；

5-导向槽；

6-线缆；

7-交叉伸缩连杆组件；

71-第一连杆；

72-第二连杆；

73-中间连杆；

701-第一中连杆；

702-第二中连杆；

703-第二长连杆；

704-第二短连杆；

705-第三中连杆；

706-第四中连杆；

707-第一长连杆；

708-第一短连杆；

8-位置检测装置；

81-传感器；

82-衍射光栅；

9-运动平台；

10-连接杆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

下面以具体地实施例对本发明的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。

图1是本发明一运动台系统的结构示意图一；图2是本发明一运动台系统的结构示意图二，所述运动台系统中包括了防转装置。

请参考图1和图2，所述防转装置，连接于工件台1与线缆台2之间，用于限制工件台1相对线缆台2旋转运动，所述防转装置包括交叉伸缩连杆组件7，所述交叉伸缩连杆组件7的两端分别与工件台1与线缆台2转动连接；所述工件台1沿第一方向运动时，所述交叉伸缩连杆组件7能够沿相同方向压缩或伸展，所述交叉伸缩连杆组件7与工件台1和线缆台2的连接位置在第二方向上保持不变，所述第一方向为工件台1与线缆台2之间连线方向，所述第二方向在同一平面内与第一方向垂直。

其中，第一方向可表征为图示的X轴方向，第二方向可表征为图示的Y方向，图示的Z轴方向同时垂直于X轴方向与Y轴方向。

线缆台2，可以为任意可实现线缆6连接的平台，其可设置在所述工件台1一侧的，工件台1的线缆6可连接至线缆台2，线缆台2可沿导轨3往复移动。

工件台1，可以为任意安装硅片、掩膜等对象的平台，具体可以为能够实现X、Y方向及小角度RZ旋转运动的平台。工件台1可设于运动平台9。

经检验，本发明可选方案中，所述防转装置能够被设计为允许所述工件台1绕Z轴方向旋转不超过±10°，若超过±10°，防转装置可限制工件台绕垂直所述平面的轴的进一步的转动。

具体实施过程中，工件台1可在运动平台上沿XY平面移动，以及绕Z轴方向旋转，旋转角度可进一步被限制为±3°～10°，并以此为要求装配各部件。

本发明提供的防转装置，通过所述工件台沿第一方向运动时，所述交叉伸缩连杆组件能够沿相同方向压缩或伸展，以及所述交叉伸缩连杆组件与工件台和线缆台的连接位置在第二方向上保持不变，本发明限制了工件台相对于线缆台的非预期旋转运动，且交叉伸缩连杆组件伸缩时，其与工件台和线缆台的连接位置保持不变，避免因连接点沿非伸缩方向运动对运动台的运动造成阻力。

其中一种实施方式中，请参考图1和图2，所述防转装置还包括导向组件，所述导向组件包括导向杆4和与之配合的导向槽5，所述导向杆4和导向槽5分别设置在所述交叉伸缩连杆组件7和所述线缆台2上或相反设置；当所述交叉伸缩连杆组件7伸缩时，所述导向杆4可在导向槽5内沿第一方向移动为所述交叉伸缩连杆组件7伸缩提供导向。

导向槽5，可以理解为任意可实现导向杆4插入，且沿X方向设置于线缆台2中的结构，其可以为孔结构，也可以为设于端面的凹槽。

其中一种实施方式中，请参考图1和图2，

所述交叉伸缩连杆组件7具有四个连接端部，其中两个连接端部转动连接于所述工件台1的两个第一连接点；另两个连接端部转动连接于所述线缆台2的两个第二连接点，所述两个第一连接点、所述两个第二连接点均沿第二方向分布。

通过沿Y方向分布的两个第一连接点和两个第二连接点，限制工件台1相对于线缆台2的旋转。

请参考图1，所述交叉伸缩连杆组件7包括两个伸缩连杆，两个伸缩连杆沿第二方向平行设置，每个伸缩连杆具有两个连接端部，分别连接所述第一连接点和所述第二连接点。

基于Y方向分布的不同连接点，以上实施方式以两个伸缩连杆进行连接，以达到分别受力与限制的效果。

其中一种实施方式中，每个所述伸缩连杆包括两个第一连杆71、两个第二连杆72与若干中间连杆73，两个第一连杆71的第一端相交后连接于所述第一连接点，两个第二连杆72的第一端相交后连接于所述第二连接点；所述第一连杆71的第二端连接中间连杆73；所述第二连杆72的第二端连接中间连杆73；所述若干中间连杆73成对连接，且成对的两个中间连杆73交叉连接。

其中一种具体实施方式中，若仅采用一对中间连杆73，则两个中间连杆73与两个第一连接杆71之间、以及两个中间连杆73与两个第二连杆72之间，分别形成平行四边形；该实施方式下，可以理解为：其中一个第一连接杆71与一个第二连接杆72连接于同一个中间连杆73，另一个第一连接杆71与另一个第二连接杆72连接于另一个中间连杆73。

另一具体实施方式中，两个中间连杆73与两个第一连接杆71之间、两个中间连杆73与两个第二连杆72之间，以及所述中间连杆73与两个中间连杆73之间，分别形成平行四边形，其具体可理解为如图1所示的连接方式。

具体实施过程中，所述中间连杆73的数量为两对，分别为第一连杆对与第二连杆对，所述第一连杆对中的中间连杆73的第一端连接所述第一连杆71的第二端，所述第一连杆对中的中间连杆73的第二端连接所述第二连杆对中的中间连杆73的第一端；所述第二连杆对中的中间连杆73的第二端连接所述第二连杆72的第二端。

所述平行四边形随所述伸缩连杆的压缩与伸展变化夹角。

通过平行四边形的连接方式，可使得连杆之间互相产生制约，以限制工件台1相对于线缆台2的旋转位置。

为了实现前文提到的导向组件的功能，请参考图1，所述导向组件可以包括连接杆10、导向杆4以及设于所述线缆台2上的导向槽5，所述连接杆10沿第二方向分别连接所述两个伸缩连杆，所述导向杆4的一端与所述连接杆10连接，另一端插入所述导向槽5内，所述导向杆4可在导向槽5内沿第一方向移动，即沿Y方向移动，为两个伸缩连杆伸缩提供导向。

其中，所述连接杆10可沿Y方向连接两组所述伸缩连杆对应的交叉连接点，交叉连接点不会因压缩与伸展沿Y方向发生变化。导向杆4与连接杆10可连接形成T型，具体的，导向杆4与连接杆10可以为一体成型的T型结构。

其中一种实施方式下，为了满足连杆之间传动所需求的尺寸匹配，请参考图1，所述第一连杆71与所述第二连杆72的长度相同，所述中间连杆73的长度为所述第一连杆71与所述第二连杆72的长度的两倍，交叉连接的两个中间连杆73的交叉连接点处于对应中间连杆73的中点位置。

请参考图2，其中一种实施方式中，所述交叉伸缩连杆组件7为轴对称结构，且对称轴沿第一方向布置，即X方向布置。所述两个第一连接点可以关于所述对称轴所在直线对称，所述两个第二连接点可以关于所述对称轴所在直线对称。

通过以上实施方式，在保障旋转限制的基础上，可以均衡受力，保障结构的稳定性，进一步提高限位效果。

具体的，所述交叉伸缩连杆组件7包括两个长连杆、四个中连杆与两个短连杆，分别为第一长连杆707、第二长连杆703、第一中连杆701、第二中连杆702、第三中连杆705、第四中连杆706、第一短连杆704与第二短连杆708。

所述第一中连杆701的第一端连接一个所述第一连接点，所述第一中连杆702的第二端连接所述第二中连杆702的第一端，所述第三中连杆705的第一端连接另一个所述第一连接点，所述第三中连杆705的第二端连接所述第四中连杆706的第一端；

所述第一长连杆707的第一端连接所述第一中连杆701，且连接于所述第一中连杆701的两端之间，所述第一长连杆707的第二端连接所述第一短连杆708的第一端，所述第一短连杆708的第二端连接一个所述第二连接点；所述第二长连杆703的第一端连接所述第三中连杆705，且连接于所述第三中连杆705的两端之间，所述第二长连杆703的第二端连接所述第二短连杆704的第一端，所述第二短连杆704的第二端连接另一个所述第二连接点；

所述第一长连杆707与所述第二长连杆703交叉连接于交叉连接点，所述第二中连杆702的第二端连接所述第二长连杆703，且连接于所述交叉连接点与所述第二长连杆703的第二端之间，所述第四中连杆706的第二端连接所述第一长连杆707，且连接于所述交叉连接点与所述第一长连杆707的第二端之间，并使得第一中连杆701、第二长连杆703、第四中连杆706、第一短连杆708相互平行，第三中连杆705、第一长连杆707、第二中连杆702、第二短连杆704相互平行。

为了实现导向功能，请参考图2，所述导向组件可以包括导向杆4和设于所述线缆台2上的导向槽5，所述导向杆4一端连接所述第一长连杆707与所述第二长连杆703交叉连接的交叉连接点，另一端插入所述导向槽5内，所述导向杆4可在导向槽5内沿第一方向移动为所述交叉伸缩连杆组件7伸缩提供导向。即：所述导向杆4的第一端可连接所述交叉连接点，其中，导向杆4可以为一字型的杆。

通过以上连杆间的组合，可以保障连杆的整体稳定性能，使得连杆间互相支撑与限制，同时，还可实现工件台1相对线缆台2的非预期旋转限制。

此外，连杆之间，以及连杆与第一连接点、第二连接点的连接方式为可为通过连接转轴进行连接的方式。针对不同的应用，工件台1与交叉伸缩连杆组件7间可以为刚性连接(此时连接转轴与工件台1相应第一连接点间无间隙)、柔性连接(此时连接转轴与工件台1相应第一连接点间采用柔性结构或橡胶垫圈等方式固定连接)，或者留有一定间隙(此时连接转轴外套一定厚度橡胶层，与工件台1相应连接点间留下一定的间隙，间隙大小根据工件台10所需预留转动角度±3°～10°确定)。

导向杆4与线缆台2可采用导向滑动结构，也可采用主动运动机构，如圆筒形直线电机、电动丝杆结构等，采用主动运动机构的好处是，在工件台1与交叉伸缩连杆组件7的连接转轴间预留间隙的情况下，可完全避免正常工作时对工件台1的影响。

本实施例还提供了一种运动台系统，包括以上实施例及其可选方案涉及的防转装置、所述工件台、所述线缆台与导轨，所述导轨沿第二方向，即Y方向设置，所述线缆台能够跟随工件台1沿第二方向同步沿所述导轨移动。所述工件台通过一平面磁性定位装置进行定位。

所述运动台系统，还包括：位置检测装置8，所述位置检测装置用于检测所述工件台1与所述线缆台2之间沿第一方向，即X方向的相对位置。

所述位置检测装置8包括传感器81与衍射光栅82，衍射光栅82沿第一方向，即X方向设置，且一端固定在所述工件台1上，传感器81沿第一方向，即X方向固定在所述交叉伸缩连杆组件7上。

传感器81可通过连接结构连接于交叉伸缩连杆组件7，以图1的实施方式举例，连接结构可分别连接于交叉伸缩连杆组件7的对应的两个交叉连接点，以保障连接结构以及传感器81不会随压缩与伸展变化Y方向的位置。

基于检测的结果，可以对工件台1与线缆台2的运动进行控制。

本实施例还提供了一种光刻设备，包括以上实施例及其可选方案涉及的运动台系统。

正常工作时，工件台1主要的运动方向为Y向扫描运动和X向步进运动。工件台10进行Y向扫描运动时，线缆台2、交叉伸缩连杆组件7和导向杆4须跟随其运动。交叉伸缩连杆组件7和导向杆4皆由线缆台2驱动，而线缆台2与工件台1在Y向的相对位置可以有2种方式确定：

其一是线缆台2可自带增量或线性编码器，由于工件台1配有相应的编码器进行定位，因此初始时，系统可根据工件台1、线缆台2各自的编码器可确定相对位置，工件台1作Y向扫描运动时，系统可以给线缆台2同样的运动控制指令，以保持两者间的相对位置不变，即导向杆4插入导向槽5的位置不变；

其二是采用增量或线性编码器(即检测装置8包括传感器81和衍射光栅82)直接检测两者间的相对位置，根据检测量控制线缆台2的位置，可实现位置的调节。

综上所述，本发明提供的防转装置、运动台系统与光刻设备，通过所述工件台沿第一方向运动时，所述交叉伸缩连杆组件能够沿相同方向压缩或伸展，以及所述交叉伸缩连杆组件与工件台和线缆台的连接位置在第二方向上保持不变，本发明限制了工件台相对于线缆台的旋转运动，避免了运动台发生非预期旋转运动。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (16)

1.一种防转装置，连接于工件台与线缆台之间，用于限制工件台相对线缆台绕垂直工件台所在平面的轴发生非预期角度旋转运动，其特征在于，所述防转装置包括交叉伸缩连杆组件，所述交叉伸缩连杆组件的两端分别与工件台与线缆台转动连接；所述工件台沿第一方向运动时，所述交叉伸缩连杆组件能够沿相同方向压缩或伸展，所述交叉伸缩连杆组件与工件台和线缆台的连接位置在第二方向上保持不变，所述第一方向为工件台与线缆台之间连线方向，所述第二方向在同一平面内与第一方向垂直。

2.根据权利要求1所述的防转装置，其特征在于，所述交叉伸缩连杆组件具有四个连接端部，其中两个连接端部转动连接于所述工件台的两个第一连接点；另两个连接端部转动连接于所述线缆台的两个第二连接点，所述两个第一连接点、所述两个第二连接点均沿第二方向分布。

3.根据权利要求2所述的防转装置，其特征在于，所述交叉伸缩连杆组件包括两个伸缩连杆，两个伸缩连杆沿第二方向平行设置，每个伸缩连杆具有两个连接端部，分别连接所述第一连接点和所述第二连接点。

4.根据权利要求3所述的防转装置，其特征在于，每个所述伸缩连杆包括两个第一连杆、两个第二连杆与若干中间连杆，两个第一连杆的第一端相交后连接于所述第一连接点，两个第二连杆的第一端相交后连接于所述第二连接点；两个第一连杆的第二端连接中间连杆；两个第二连杆的第二端连接中间连杆；所述若干中间连杆成对连接，且成对的两个中间连杆交叉连接；

两个中间连杆与两个第一连接杆之间、以及两个中间连杆与两个第二连杆之间，分别形成平行四边形；或者：两个中间连杆与两个第一连接杆之间、两个中间连杆与两个第二连杆之间，以及两个中间连杆与两个所述中间连杆之间，分别形成平行四边形，所述平行四边形随所述伸缩连杆的压缩与伸展变化夹角。

5.根据权利要求4所述的防转装置，其特征在于，所述第一连杆与所述第二连杆的长度相同，所述中间连杆的长度为所述第一连杆与所述第二连杆的长度的两倍，交叉连接的两个中间连杆的交叉连接点处于对应中间连杆的中点位置。

6.根据权利要求4或5所述的防转装置，其特征在于，所述中间连杆的数量为两对。

7.根据权利要求2所述的防转装置，其特征在于，所述交叉伸缩连杆组件为轴对称结构，且对称轴沿第一方向布置。

8.根据权利要求7所述的防转装置，其特征在于，所述交叉伸缩连杆组件包括两个长连杆、四个中连杆与两个短连杆，分别为第一长连杆、第二长连杆、第一中连杆、第二中连杆、第三中连杆、第四中连杆、第一短连杆与第二短连杆；

所述第一中连杆的第一端连接一个所述第一连接点，所述第一中连杆的第二端连接所述第二中连杆的第一端，所述第三中连杆的第一端连接另一个所述第一连接点，所述第三中连杆的第二端连接所述第四中连杆的第一端；

所述第一长连杆的第一端连接所述第一中连杆，且连接于所述第一中连杆的两端之间，所述第一长连杆的第二端连接所述第一短连杆的第一端，所述第一短连杆的第二端连接一个所述第二连接点；所述第二长连杆的第一端连接所述第三中连杆，且连接于所述第三中连杆的两端之间，所述第二长连杆的第二端连接所述第二短连杆的第一端，所述第二短连杆的第二端连接另一个所述第二连接点；

所述第一长连杆与所述第二长连杆交叉连接于交叉连接点，所述第二中连杆的第二端连接所述第二长连杆，且连接于所述交叉连接点与所述第二长连杆的第二端之间，所述第四中连杆的第二端连接所述第一长连杆，且连接于所述交叉连接点与所述第一长连杆的第二端之间。

9.根据权利要求1-5、7、8任一所述的防转装置，其特征在于，所述防转装置还包括导向组件，所述导向组件包括导向杆和与之配合的导向槽，所述导向杆和导向槽分别设置在所述交叉伸缩连杆组件和所述线缆台上或相反设置；当所述交叉伸缩连杆组件伸缩时，所述导向杆可在导向槽内沿第一方向移动为所述交叉伸缩连杆组件伸缩提供导向。

10.根据权利要求4所述的防转装置，其特征在于，所述防转装置还包括导向组件，所述导向组件包括连接杆、导向杆以及设于所述线缆台上的导向槽，所述连接杆沿第二方向分别连接所述两个伸缩连杆，所述导向杆的一端与所述连接杆连接，另一端插入所述导向槽内，所述导向杆可在导向槽内沿第一方向移动为两个伸缩连杆伸缩提供导向。

11.根据权利要求8所述的防转装置，其特征在于，所述防转装置还包括导向组件，所述导向组件包括导向杆和设于所述线缆台上的导向槽，所述导向杆一端连接所述第一长连杆与所述第二长连杆交叉连接的交叉连接点，另一端插入所述导向槽内，所述导向杆可在导向槽内沿第一方向移动为所述交叉伸缩连杆组件伸缩提供导向。

12.根据权利要求1所述的防转装置，其特征在于，所述非预期角度旋转运动为所述工件台绕垂直工件台所在平面的轴旋转超过±10°。

13.一种运动台系统，其特征在于，包括权利要求1-5、7、8、10-12任一项所述的防转装置、所述工件台、所述线缆台与导轨，所述导轨沿第二方向设置，所述线缆台能够沿所述导轨跟随工件台沿第二方向同步移动。

14.根据权利要求13所述的运动台系统，其特征在于，还包括：位置检测装置，所述位置检测装置用于检测所述工件台与所述线缆台之间沿第一方向的相对位置。

15.根据权利要求14所述的运动台系统，其特征在于，所述位置检测装置包括传感器与衍射光栅，衍射光栅沿第一方向设置，且一端固定在所述工件台上，传感器沿第一方向固定在所述交叉伸缩连杆组件上。

16.一种光刻设备，其特征在于，包括权利要求12-15任一所述的运动台系统。