CN109827381A - 一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置，涉及蚀刻加工设备领域，包括储液罐、一级冷却装置以及二级冷却装置，所述储液罐包括储液内层和夹层；所述一级冷却装置包括有冷却夹套，所述冷却夹套从上而下环绕在所述储液内层的外壁上；所述二级冷却装置包括进液环管、冷却管以及出液环管；所述进液环管和所述出液环管通过多个所述冷却管连通；所述进液环管通过管道与水泵的出水口相通；所述水泵的进水口通过管道与冷却液箱的出水口相通；过将储液罐分为储液内层和夹层，通过在储液内层外壁上环绕内设有冷凝液的冷却夹套和在夹层设置通有冷却液的冷却管对储液内层进行两级的冷却，使其温度维持在正常范围内，保证蚀刻机的正常运行。

Description

一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置

技术领域

本发明涉及蚀刻加工设备领域，具体涉及一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置。

背景技术

蚀刻加工工艺常使用蚀刻机，而现有的蚀刻机中存储蚀刻液的存储罐内在夏天使用时，经常出现温度过高现象，造成蚀刻机需停机降温，影响蚀刻加工的效率。

发明内容

为解决上述问题，本发明通过在蚀刻液存储罐罐壁外增加两级的冷却装置，保证蚀刻液存储罐的温度维持在正常范围内。

本发明提供的一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置，包括用于存储蚀刻液的储液罐、用于冷却蚀刻液的一级冷却装置以及二级冷却装置；

所述储液罐分为储液内层和夹层；

所述一级冷却装置包括有冷却夹套，所述冷却夹套从上而下环绕在所述储液内层的外壁上；所述冷却夹套内设置有冷凝液；

所述二级冷却装置包括进液环管、冷却管以及出液环管；所述进液环管和所述出液环管均为方形环管；

所述进液环管、所述冷却管以及所述出液环管均设置在所述夹层中；所述进液环管设置在所述储液内层的上方；所述出液环管设置在所述储液内层的下方；所述进液环管和所述出液环管通过多个所述冷却管连通；

所述进液环管通过管道与水泵的出水口相通；所述水泵的进水口通过管道与冷却液箱的出水口相通。

作为本发明的一种改进，所述冷却管自上而下等间距焊接有多个散热片。

作为本发明的一种改进，所述冷却管为铜管；所述散热片为铜散热片。

作为本发明的一种改进，所述冷却液箱通过隔板分为循环室和储液室。

作为本发明的一种改进，所述储液室充满有冷却液，所述冷却液为纯水或者硅油或者液态钠的一种或多种。

作为本发明的一种改进，所述循环室内部设置有循环管和冷风管；所述循环管的一端通过水管所述出液环管的出水口相连；所述循环管的另一端与所述储液室相通。

作为本发明的一种改进，所述循环管呈螺旋状，所述循环管环绕在所述冷风管上，所述冷风管的一端与冷风机的出风口通过管道相连通；所述冷风管上设置有多个出风孔。

作为本发明的一种改进，所述储液内层设置有温度传感器，所述温度传感器的型号为KZW/P-010。

本发明的有益效果：通过将储液罐分为储液内层和夹层，通过在储液内层外壁上环绕内设有冷凝液的冷却夹套和在夹层设置通有冷却液的冷却管对储液内层进行两级的冷却，使其温度维持在正常范围内，保证蚀刻机的正常运行；通过将冷却液箱分为循环室和储液室，并在循环室中设置冷风机并连接冷风管，使冷却液通过水泵进入夹层对储液内层进行冷却后通过出液环管排出并经冷风管冷却散热后回流到冷却室中，实现冷却液的循环使用；通过温度传感器可时刻监测储液内层的温度是否超出正常范围。

附图说明

图1为本发明一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置的结构示意图；

图2为本发明中二级冷却装置的结构示意图；

图3为本发明中冷风管的结构示意图；

附图标注：1-储液罐；11-储液内层；111-温度传感器；12-夹层；2-冷却夹套；31-进液环管；32-冷却管；321-散热片；33-出液环管；34-水泵；35-冷却液箱；351-循环室；3511-循环管；3512-冷风管；352-储液室；4-冷风机；5-出风孔。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1-3所示，本发明的一个实施例公开了一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置，包括用于存储蚀刻液的储液罐1、用于冷却蚀刻液的一级冷却装置以及二级冷却装置；所述储液罐1包括储液内层11和夹层12；所述一级冷却装置包括有冷却夹套2，所述冷却夹套2从上而下环绕在所述储液内层11的外壁上；所述冷却夹套2内设置有冷凝液；所述二级冷却装置包括进液环管31、冷却管32以及出液环管33；所述进液环管31和所述出液环管33均为方形环管；所述进液环管31、所述冷却管32以及所述出液环管33均设置在所述夹层12中；所述进液环管31设置在所述储液内层11的上方；所述出液环管33设置在所述储液内层11的下方；所述进液环管31和所述出液环管33通过多个所述冷却管32连通；所述进液环管31通过管道与水泵34的出水口相通；所述水泵34的进水口通过管道与冷却液箱35的出水口相通。通过将储液罐分为储液内层和夹层，通过在储液内层外壁上环绕内设有冷凝液的冷却夹套和在夹层通过水泵将冷却液箱的冷却液抽入到进液环管，并流经冷却管和对储液内层进行两级的冷却，使其温度维持在正常范围内，保证了蚀刻机的正常运行。

在本实施例中，所述冷却管32自上而下等间距焊接有多个散热片321。在对储液内层冷却的同时进行散热。

在本实施例中，所述冷却管32为铜管；所述散热片321为铜散热片。通过铜的良好的导热性增强冷却和散热的效果。

在本实施例中，所述冷却液箱35通过隔板分为循环室351和储液室352。将不同温度的冷却液分隔开，保证冷却的效果。

在本实施例中，所述储液室352充满有冷却液，所述冷却液为纯水或者硅油或者液态钠的一种或多种。采用比热容较大的液体作为冷却液可增强冷却的效果。

在本实施例中，所述循环室351内部设置有循环管3511和冷风管3512；所述循环管3511的一端通过水管所述出液环管33的出水口相连；所述循环管3511的另一端与所述储液室352相通。实现冷却液对储液内层冷却回流到储液室中。

在本实施例中，所述循环管3511呈螺旋状，所述循环管3511环绕在所述冷风管3512上，所述冷风管3512的一端与冷风机4的出风口通过管道相连通；所述冷风管3511上设置有多个出风孔5。对储液内层已完成冷却且温度已升高的冷却液进行风冷却，实现冷却液的循环使用。

在本实施例中，所述储液内层11设置有温度传感器111，所述温度传感器的型号为KZW/P-010。可时刻监测储液内层的温度是否超出蚀刻正常运行所需的范围。

最后说明的是，以上仅对本发明具体实施例进行详细描述说明。但本发明并不限制于以上描述具体实施例。本领域的技术人员对本发明进行的等同修改和替代也都在本发明的范畴之中。因此，在不脱离本发明的精神和范围下所作的均等变换和修改，都涵盖在本发明范围内。

Claims (8)

1.一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置，包括用于存储蚀刻液的储液罐(1)、用于冷却蚀刻液的一级冷却装置以及二级冷却装置，其特征在于：

所述储液罐(1)分为储液内层(11)和夹层(12)；

所述一级冷却装置包括有冷却夹套(2)，所述冷却夹套(2)从上而下环绕在所述储液内层(11)的外壁上；所述冷却夹套(2)内设置有冷凝液；

所述二级冷却装置包括进液环管(31)、冷却管(32)以及出液环管(33)；所述进液环管(31)和所述出液环管(33)均为方形环管；

所述进液环管(31)、所述冷却管(32)以及所述出液环管(33)均设置在所述夹层(12)中；所述进液环管(31)设置在所述储液内层(11)的上方；所述出液环管(33)设置在所述储液内层(11)的下方；所述进液环管(31)和所述出液环管(33)通过多个所述冷却管(32)连通；

所述进液环管(31)通过管道与水泵(34)的出水口相通；所述水泵(34)的进水口通过管道与冷却液箱(35)的出水口相通。

2.根据权利要求1所述的一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置，其特征在于：

所述冷却管(32)自上而下等间距焊接有多个散热片(321)。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置，其特征在于：

所述冷却管(32)为铜管；所述散热片(321)为铜散热片。

4.根据权利要求1所述的一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置，其特征在于：

所述冷却液箱(35)通过隔板分为循环室(351)和储液室(352)。

5.根据权利要求4所述的一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置，其特征在于：

所述储液室(352)充满有冷却液，所述冷却液为纯水或者硅油或者液态钠的一种或多种。

6.根据权利要求1或4所述的一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置，其特征在于：

所述循环室(351)内部设置有循环管(3511)和冷风管(3512)；所述循环管(3511)的一端通过水管所述出液环管(33)的出水口相连；所述循环管(3511)的另一端与所述储液室(352)相通。

7.根据权利要求1所述的一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置，其特征在于：

所述循环管(3511)呈螺旋状，所述循环管(3511)环绕在所述冷风管(3512)上，所述冷风管(3512)的一端与冷风机(4)的出风口通过管道相连通；所述冷风管(3511)上设置有多个出风孔(5)。

8.根据权利要求1所述的一种用于蚀刻机的蚀刻液冷却装置，其特征在于：

所述储液内层(11)设置有温度传感器(111)，所述温度传感器的型号为KZW/P-010。