CN109817557A - 一种传送硅片水道线装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种传送硅片水道线装置，包括主输送线、回流线、机械手、循环过滤水箱、阻挡截停机构和上料机构，主输送线与回流线并列设置，主输送线分别插片与清洗一体机和脱胶机连通，回流线分别与插片清洗一体机和脱胶机连通，机械手与插片清洗一体机均设于主输送线的一侧，机械手与插片清洗一体机相配合，上料机构与脱胶机均设于主输送线的另一侧，上料机构与脱胶机相配合，阻挡截停机构分别设于主输送线和回流线上，循环过滤水箱与主输送线连接。本发明的有益效果是具有主输送线和回流线，实现脱胶后的硅片的输送和空载载具的回流，自动化程度高，节约人工成本，降低了劳动强度，方便过程管控，提高了工作效率。

Description

一种传送硅片水道线装置

技术领域

本发明属于硅片生产技术领域，尤其是涉及一种传送硅片水道线装置。

背景技术

硅片脱胶后，现有技术通过人工将硅片装入载具，放置到插片机中进行插片，无法达到自动化目的，人工成本高，劳动强度大，工作效率低。

发明内容

鉴于上述问题，本发明要解决的问题是提供一种传送硅片水道线装置，应用于硅片脱胶后由脱胶机处运动至插片清洗一体机处使用，实现脱胶后硅片装入载具后，经过主输送线运送至插片清洗机，并经过机械手的作用自动进入插片清洗一体机，空的载具进行回流，自动化程度高，降低劳动强度，降低了人工成本，提高了工作效率。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种传送硅片水道线装置，包括主输送线、回流线、机械手、循环过滤水箱、阻挡截停机构和上料机构，主输送线与回流线并列设置，主输送线分别插片与清洗一体机和脱胶机连通，回流线分别与插片清洗一体机和脱胶机连通，机械手与插片清洗一体机均设于主输送线的一侧，机械手与插片清洗一体机相配合，上料机构与脱胶机均设于主输送线的另一侧，上料机构与脱胶机相配合，阻挡截停机构分别设于主输送线和回流线上，循环过滤水箱与主输送线连接。

进一步的，主输送线包括第一侧板、第二侧板和传送线，第一侧板与第二侧板分别设于传送线的两侧，第一侧板和/或第二侧板设有进水孔，进水孔与循环过滤水箱出水口连接，第一侧板和/或第二侧板设有出水孔，出水孔与循环过滤水箱进水口连接。

进一步的，回流线包括回流线驱动装置和回流线输送带，回流线输送带与回流线驱动装置连接。

进一步的，机械手包括安装支架、机械手控制装置、横向移动装置、纵向伸缩装置、横向伸缩装置和夹持装置，横向移动装置、纵向伸缩装置与横向伸缩装置分别与机械手控制装置电连接，纵向伸缩装置设于横向移动装置上，横向伸缩装置与纵向伸缩装置连接，夹持装置与横向伸缩装置连接，横向移动装置设于安装支架上，机械手控制装置分别与主输送线和回流线电连接。

进一步的，阻挡截停机构包括多个主输送线阻挡截停结构和多个回流线阻挡截停结构，多个主输送线阻挡截停结构均设于主输送线上，多个回流线阻挡截停结构均设于回流线上。

进一步的，主输送线阻挡截停结构包括主支架、第一开关、第二开关、第三开关、第四开关、第一阻挡、第二阻挡和第三阻挡，第一阻挡、第二阻挡和第三阻挡依次设于主支架上，第一开关与第二开关设于主支架上，第一开关与第二开关设于第一阻挡与第二阻挡之间，第三开关与第四开关设于主支架上，第三开关与第四开关设于第二阻挡与第三阻挡之间。

进一步的，回流线阻挡截停结构包括阻挡和开关，阻挡与开关均设于回流线上，阻挡包括伸缩装置和阻挡杆，伸缩装置与阻挡杆连接，伸缩装置与回流线连接。

进一步的，上料机构包括上料平台、上料控制装置和载具识别装置，上料控制装置与载具识别装置均与上料平台连接，载具识别装置与上料控制装置电连接。

进一步的，传送硅片水道线装置还包括推料机构，推料机构设于主输送线上，推料机构包括推料伸缩装置、推料连接板和推料板，推料伸缩装置与主输送线连接，推料连接板的一端与推料伸缩装置连接，推料板与推料连接板的另一端连接。

进一步的，传送硅片水道线装置还包括控制装置，控制装置分别与主输送线、回流线、机械手、阻挡截停机构、上料机构和循环过滤水箱电连接。

本发明具有的优点和积极效果是：

1.由于采用上述技术方案，使得该传动硅片水道线装置结构简单，便于安装和拆卸，具有主输送线和回流线，且主输送线和回流线贯通多个脱胶机和插片清洗一体机，脱胶后的硅片装入载具后，在主输送线的作用下运送至插片清洗一体机，机械手将满载的载具放入插片清洗机内，硅片进行清洗，同时，空的载具在回流线的作用下回流至脱胶机处再次使用，自动化程度高，节约人工成本，降低了劳动强度，方便过程管控，提高了工作效率；

2.机械手的设置，将主输送线上满载的载具放入插片清洗机内，同时，将插片清洗一体机内的空的载具取出，放入回流线上，提高了该水道线的自动化程度，降低了劳动强度；

3.具有阻挡截停机构，对主输送线上的满载的载具进行阻挡截停，便于机械手对满载的载具进行夹取，提高了该水道线的自动化程度，降低了劳动强度，提高了工作效率；

4.具有循环过滤水箱，能够对主输送线上的水进行循环过滤沉淀，使得主输送线上的水能够进行循环，保持主输送线上的水清洁，防止满载载具中的硅片粘片，利于硅片的传送。

附图说明

图1是本发明的一实施例的结构示意图；

图2是本发明的一实施例的推料机构的结构示意图；

图3是本发明的一实施例的上料机构结构示意图；

图4是本发明的一实施例的循环过滤水箱结构示意图；

图5是本发明的一实施例的机械手的结构示意图；

图6是本发明的一实施例的阻挡截停机构的结构示意图；

图7是本发明的一实施例的主输送线的结构示意图。

图中：

1、主输送线 2、回流线 3、阻挡截停机构

4、机械手 5、循环过滤水箱 6、上料机构

7、推料机构 8、载具 31、第一阻挡

32、第二阻挡 33、第三阻挡 34、第一开关

35、第二开关 36、第三开关 37、第四开关

41、横向移动装置 42、纵向伸缩装置 43、横向伸缩装置

44、夹持装置 51、水循环动力装置 52、水箱

53、进水口 54、出水口 55、过滤网

56、小槽体 61、载具识别装置 62、上料台

71、推料伸缩装置 72、推料连接板 73、推料挡板

10、第一侧板 11、传送线 12、第二侧板

13、插片清洗一体机 14、脱胶机

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的说明。

图1示出了本发明一实施例的结构，具体示出了本实施例的结构及连接关系，本实施例涉及一种传送硅片水道线装置，用于硅片在脱胶机14脱胶后，经过该传送硅片水道线装置的传送，将装入载具的硅片(满载载具)送入硅片插片清洗一体机13内，同时将空的载具(空载载具)回流至脱胶机14处，进行二次使用，该传送硅片水道线装置的设置，缩短了硅片由脱胶机14出来进入插片清洗一体机13内的时间，且具有主输送线和回流线，能够进行满载载具的输送和空载具的回流，自动化程度高，降低劳动强度，提高工作效率，降低人工成本，同时便于管控。

如图1所示，上述的传送硅片水道线装置，包括主输送线1、回流线2、机械手4、循环过滤水箱5、阻挡截停机构3、上料机构6和控制装置，主输送线1用于输送装载在载具内的经过脱胶机14脱胶后的硅片，即满载载具，将该满载载具传送至插片清洗一体机13内，回流线2用于回流从插片清洗一体机13内出来的空载具，将该空载具回流传送至脱胶机14处，进行二次使用，该主输送线1与回流线2并列设置，主输送线1与插片清洗一体机13和脱胶机14连通，回流线2与插片清洗一体机13和脱胶机14连通，便于满载载具的传送和空载具的回流；机械手4与上料机构6均安装在回流线2的一侧，机械手4与插片清洗一体机13相配合，上料机构6与脱胶机14相配合，机械手4用于将主输送线1上的满载载具夹持放入插片清洗一体机13内，同时，机械手4用于将从插片清洗一体机13中流出的空载具放入回流线2上；阻挡截停机构3分别安装在主输送线1和回流线2上，阻挡截停机构3用于对主输送线1上的满载载具进行阻挡截停，防止主输送线1上满载载具过多，造成主输送线1拥堵，造成硅片损坏，同时，防止回流线2上空载具过多，造成回流线2拥堵，造成回流线2工作故障；循环过滤水箱5与主输送线1连接，循环过滤水箱5用于为主输送线1提供水，使得满载载具能够在主输送线1上传送时，主输送线1上充满水，使得满载载具在输送过程中时时处在水中，防止硅片粘片，循环过滤水箱5对主输送线1进行供水循环，同时使得主输送线1上的水时时保持清洁状态，对主输送线1上的水进行循环过滤、沉淀和清洁；控制装置分别与主输送线1、回流线2、机械手4、循环过滤水箱5、阻挡截停机构3和上料机构6电连接，控制主输送线1、回流线2、机械手4、循环过滤水箱5、阻挡截停机构3和上料机构6动作，使得整个传送硅片水道线装置实现自动化控制，降低劳动强度，提高工作效率。

具体地，如图7所示，上述的主输送线1包括第一侧板10、第二侧板12和传送线11，传送线11通过支架安装在地面上，第一侧板10与第二侧板12分别安装在传送线11的两侧，支架的设置，便于传送线11的安装，且支架的高度与插片清洗一体机13的进料端的高度相一致，便于主输送线1将满载载具运送至插片清洗一体机13处，传送线11为长条状的带传动结构，包括具有一定长度的输送带和动力驱动装置，该输送带的长度根据插片清洗一体机13的数量和脱胶机14的数量之和来选择，输送带贯穿多个脱胶机14和多个插片清洗一体机13，将多个脱胶机14和多个插片清洗一体机13连通，便于满载载具的运输，输送带与动力驱动装置连接，输送带安装在支架上，通过驱动装置为输送带提供动力，带动输送带运动，实现满载载具的输送，这里，优选的，输送带为链板式网带，该链板式网带的宽度与载具8的宽度相适应，便于对载具8的输送，使得载具8不会卡在输送带上，动力驱动装置为电机，电机与链板式网带连接，通过电机的转动带动链板式网带循环转动，实现满载载具运输，这里，链板式网带与电机均为市售产品，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。

第一侧板10与第二侧板12分别安装在输送带的两侧，且在第一侧板11与第二侧板12的底端安装有底板，第一侧板11与第二侧板12均高于输送带，使得第一侧板11、底板和第二侧板12构成一个槽体，输送带位于槽体中，支架安装在槽体内部，并穿过底板与地面固定连接，对输送带进行支撑，且在第一侧板11或第二侧板12上设有进水孔，或者第一侧板11和第二侧板12上均设有进水孔，进水孔通过管道与循环过滤水箱5连接，循环过滤水箱5通过进水孔对该槽体内进行供水；在第一侧板11或第二侧板12上设有出水孔，或者在第一侧板11和第二侧板12上均设有出水孔，出水孔通过管道与循环过滤水箱5连接，主输送线1上的水通过出水孔和管道进入循环过滤水箱5内，循环过滤水箱5对该水进行过滤、沉淀；通过出水孔和进水孔的设置，实现对槽体内的水进行循环更换，且槽体内的水高于输送带11，使得位于输送带11的满载载具时时处于水中，防止脱胶后的硅片粘片。进水孔与出水孔的数量为多个，根据实际需求进行选择，且在本实施例中，优选的，进水孔位于第一侧板10上，出水孔位于第二侧板12上，便于水的进入和流出。

上述的回流线2安装在主输送线1的一侧，回流线2与主输送线1并列设置安装，使得满载载具的输送和空载载具的回流同时进行。该回流线2包括回流线支架、回流线驱动装置和回流线输送带，回流线输送带与回流线驱动装置连接，回流线输送带安装在回流线支架上，使得回流线输送带在回流线驱动装置的带动下进行运动。该回流线2的长度与主输送线1的长度相一致，将多个插片清洗一体机13和多个脱胶机14贯通，进行从插片清洗一体机13中出来的空载载具的回流，将空载载具运输至脱胶机14处，进行再次使用。这里，优选的，回流线驱动装置为电机，回流线输送带为链板式网带，由电机带动链板式网带运动，实现空载载具的回流，电机和链板式网带均为市售产品，根据实际需求进行选择。

该主输送线1和回流线2并列设置，可以是直线型设置，也可以是U型设置，或者是其他设置方式，根据实际需求进行选择，优选的，这里，主输送线1和回流线2呈U型设置，多个插片清洗一体机13均匀设置在主输送线1和回流线2的同一侧，多个脱胶机14均匀设置在主输送线1和回流线2的另一侧，使得多个插片清洗一体机13与多个脱胶机14相对设置，节省该传送硅片水道线装置占用的空间，降低劳动成本，提高工作效率。插片清洗一体机13的数量根据实际生产需求进行选择，脱胶机14的数量根据实际生产需求进行选择。

上述的机械手4的数量为多个，与插片清洗一体机13的数量相一致，每一个机械手与一个插片清洗一体机13相配合，位于插片清洗一体机13的进料端，将主输送线1上的满载载具拿取放置进插片清洗一体机13中，将从该插片清洗一体机13出来的空载载具拿取放置在回流线上，实现插片清洗一体机13上料和下料的自动化，降低人工成本，降低劳动强度，提高工作效率。

如图5所示，上述的机械手4包括安装支架、机械手控制装置、横向移动装置41、纵向伸缩装置42、横向伸缩装置43和夹持装置44，该安装支架的设置，便于机械手控制装置和横向移动装置41的安装，横向移动装置41、纵向伸缩装置42与横向伸缩装置43分别与机械手控制装置电连接，由机械手控制装置控制横向移动装置41、纵向伸缩装置42和横向伸缩装置43的动作，同时，机械手控制装置与主输送线1的动力驱动装置的电机电连接，机械手控制装置与回流线动力驱动装置的电机电连接，由机械手控制装置分别控制主输送线1的动力驱动装置和回流线动力驱动装置的动作，使得主输送线1的输送带11的运动和回流线输送带的运动与机械手4的夹持动作相配合，使得主输送线1的输送带11的运送速度、回流线输送带的运送速度与机械手4的夹持装置44的夹持动作频率相配合，实现对满载载具的夹持和空载载具的夹持不会造成主输送线1上和回流线2上载具的过多而堵塞。

该机械手4还包括支线水箱，该支线水箱与安装支架连接，且支线水箱位于机械手4的前端，位于机械手4与主输送线1之间，用于机械手4从主输送线1上夹取满载载具后，将满载载具放置在支线水箱内，并从支线水箱内夹取之前放置的满载载具放置于插片清洗一体机13内，支线水箱用于满载载具的暂时存放，遵循先放先出的原则，多个满载载具放置在支线水箱内，夹取装置44再次将主输送线1上的满载载具放在支线水箱内的多个满载载具的后边，并同时将支线水箱内的前端的满载载具夹取放置在插片清洗一体机13内。

上述的横向移动装置41安装在安装支架上，纵向伸缩装置42安装在横向移动装置41上，使得纵向伸缩装置42在横向移动装置41上自由移动，横向伸缩装置43与纵向伸缩装置42连接，使得横向伸缩装置43在纵向伸缩装置42的带动下进行上下移动，夹持装置44与横向伸缩装置43连接，使得夹持装置44在横向伸缩装置43的带动下实现夹紧与松开，通过横向移动装置41、纵向伸缩装置42和横向伸缩装置43相配合，实现夹持装置44在横向上前后移动和纵向上的上下移动，便于将满载载具从主输送线1上拿取放入插片清洗一体机13内，同时将插片清洗一体机13内空载载具放入回流线2上。具体地，上述的横向移动装置41为气动导轨，在气动导轨上安装有多个限位开关，根据机械手4在插片清洗一体机13内放置满载载具和取空载载具的位置、在主输送线1上夹取满载载具的位置、在回流线2上放置空载载具的位置、在支线水箱内放置满载载具的位置和在支线水箱内夹取满载载具的位置进行安装，并与上述位置相对应，便于机械手准确动作，实现满载载具的放置和空载载具的夹取，纵向伸缩装置42为气缸，横向伸缩装置43为气缸，纵向伸缩装置42与气动导轨的滑块连接，使得纵向伸缩装置42能够在气动导管上自由移动，横向伸缩装置43安装在纵向伸缩装置42的气缸的伸缩杆上，纵向伸缩装置42竖直设置，使得横向伸缩装置43能够进行上下运动，夹持装置44安装在横向伸缩装置43的气缸的伸缩杆端，实现夹持装置44的夹紧与松开，该横向伸缩装置43包括第一横向伸缩装置和第二横向伸缩装置，第一横向伸缩装置与第二横向伸缩装置相对安装在纵向伸缩装置42的气缸的伸缩杆的端部，且第一横向伸缩装置与第二横向伸缩装置均为气缸，夹持装置44包括第一夹持板和第二夹持板，第一夹持板与第一横向伸缩装置的气缸的伸缩杆端部连接，第二夹持板与第二横向伸缩装置的气缸的伸缩杆的端部连接，通过第一横向伸缩装置与第二横向伸缩装置的伸缩杆的伸出与缩回，实现第一夹持板与第二夹持板的靠近与离开，实现夹持装置的夹紧与离开。这里，第一夹持板与第二夹持板的结构相同，以第一夹持板为例进行说明。第一夹持板为L型结构，包括竖直夹持板和水平夹持板，竖直夹持板与水平夹持板垂直设置，且竖直夹持板远离水平夹持板的一端与第一横向伸缩装置连接，实现第一夹持板在水平方向上前后运动，水平夹持板的宽度与载具8上的夹持孔的宽度相一致，便于对载具8的夹持。

上述的横向移动装置41的气动导轨、纵向伸缩装置42的气缸、第一横向伸缩装置的气缸和第二横向伸缩装置的气缸均通过管道与气泵连接，且在每一个连接管道上均设有电磁阀，多个电磁阀均与机械手控制装置电连接，同时，横向移动装置41上的限位开关与机械手控制装置电连接，该机械手控制装置内预设有编辑好的程序，机械手控制装置按照编辑好的程序控制横向移动装置41、纵向伸缩装置42、第一横向伸缩装置和第二横向伸缩装置动作，同时控制主输送线1的驱动装置和回流线驱动装置动作，实现从主输送线1上夹取满载载具放入插片清洗一体机13内，同时将插片清洗一体机13内的空载载具放入回流线2上，实现硅片由脱胶机14进入插片清洗一体机13内，同时载具8的回流再使用，实现此过程自动化，提高工作效率，降低劳动强度，节省了人工成本。

此外，上述的机械手控制装置与控制装置电连接，将机械手4的信息传送至控制装置，便于控制装置对多个机械手4的动作进行控制。该机械手控制装置优选为PLC控制器，为市售产品，根据实际需求进行选择。

该机械手4还包括显示屏和警示灯，机械手控制装置分别与显示屏和警示灯电连接，显示屏用于显示机械手4的设备信息，警示灯用于显示机械手的工作状态，便于操作者时时掌握机械手4的工作状态。

上述的阻挡截停机构3包括多个主输送线阻挡截停结构和多个回流线阻挡截停结构，多个主输送线阻挡截停结构均安装在主输送线1上，多个回流线阻挡截停结构均安装在回流线2上，且主输送线阻挡截停结构的数量与插片清洗一体机13的数量相适应，每一个插片清洗一体机13对应的主输送线1的位置安装有一个主输送线阻挡截停结构，对运动至该插片清洗一体机13处的满载载具进行阻挡截停，机械手4动作，对满载载具进行夹取；回流线阻挡截停结构的数量与脱胶机14的数量相一致，且每一个脱胶机14对应的回流线2的位置安装有一个回流线阻挡截停结构，操作人员将运动至此的空载载具放入脱胶机14内。也就是，每一个主输送线阻挡截停结构的安装位置与每一个插片清洗一体机13的位置相对应，每一个回流线阻挡截停结构的安装位置与每一个脱胶机14的位置相对应，便于满载载具进入插片清洗一体机13，空在载具进入脱胶机14。

如图6所示，上述的主输送线阻挡截停结构包括主支架、第一开关34、第二开关35、第三开关36、第四开关37、第一阻挡31、第二阻挡32和第三阻挡33，第一阻挡31、第二阻挡32和第三阻挡33依次安装在主支架上，主支架安装在主输送线1的第一侧板10或第二侧板12上，第一开关34与第二开关35安装在主支架上，且第一开关34与第二开关35位于第一阻挡31与第二阻挡32之间，第三开关36与第四开关37安装在主支架上，且第三开关36与第四开关37位于第二阻挡32与第三阻挡33之间，也就是，第一阻挡31、第一开关34、第二开关35、第二阻挡32、第三开关36、第四开关37和第三阻挡33依次安装在主支架上。这里，第一阻挡31、第二阻挡32和第三阻挡33结构相同，以第一阻挡31为例进行结构说明。该第一阻挡31包括第一支架、第一伸缩装置、第一摆杆、第一转轴和第一挡板，第一伸缩装置安装在第一支架上，第一支架安装在主支架上，第一支架包括安装底板、第一支臂和第二支臂，安装底板呈L型结构，通过螺栓等固定件安装在主支架上，在安装底板位于主输送线1的第一侧板10或第二侧板12的内壁上垂直安装有第一支臂和第二支臂，第一支臂与第二支臂相互平行设置，且第一支臂与第二支臂位于同一直线上，在第一支臂和第二支臂的自由端均设有通孔，第一转轴通过两个通孔与第一支架连接，且第一转轴能够自由转动，第一转轴的一端与第一摆杆的一端连接，第一转轴的另一端与第一挡板固定连接，第一摆杆的另一端与第一伸缩装置连接，通过第一伸缩装置的伸缩动作，带动第一摆杆摆动，通过第一摆杆摆动带动第一转轴转动，进而带动第一挡板摆动，实现对满载载具的阻挡。这里，第一伸缩装置为气缸，在气缸的伸缩杆的末端安装有第一摆杆，当气缸的伸缩杆伸出时，第一摆杆面向第一侧板10或第二侧板12的内壁摆动，带动第一转轴逆时针转动，进而使得第一挡板面向第一侧板10或第二侧板12的内壁摆动，第一挡板远离主输送线1的中间位置，此时对满载载具不阻挡；当第一伸缩装置的气缸的伸缩杆缩回，第一摆杆向主输送线1的中间位置摆动，带动第一转轴顺时针转动，带动第一挡板向主输送线1中间位置摆动，对满载载具进行阻挡。

第二阻挡32和第三阻挡33的结构与第一阻挡31的结构均相同，这里不再赘述。第一阻挡31的伸缩装置、第二阻挡32的伸缩装置和第三阻挡33的伸缩装置均通过管道与气泵连接，且在连接管道上均设置电磁阀，控制第一阻挡31的伸缩装置、第二阻挡32的伸缩装置和第三阻挡33的伸缩装置的动作，且这些电磁阀分别与控制装置电连接，第一开关34、第二开关35、第三开关36和第四开关37分别与控制装置电连接，控制装置内预设有编辑好的程序，第一开关34、第二开关35、第三开关36和第四开关37分别将检测到的信号传递给控制装置，控制装置对第一开关34、第二开关35、第三开关36和第四开关37的信号进行分析，进而控制第一阻挡31、第二阻挡32和第三阻挡33动作，对满载载具进行阻挡。第一开关34用于控制第一阻挡31伸出用，第二开关35用于到位检测用，同时与第一开关34和第三开关36相配合控制第二阻挡32伸出用，第三开关36用于控制第二阻挡32的伸出用，第四开关37用于到位检测，控制第三阻挡33的伸出用。具体的工作过程为：第四开关37检测到满载载具到位，将到位信号传递给控制装置，控制装置对该信号进行分析，控制第三阻挡33动作，对满载载具进行阻挡，且第三开关36检测到该满载载具，当下一个满载载具到来后，当第二开关32检测到该满载载具到位后，将信号传递给控制装置，控制装置分析第三开关36的信号和第二开关35的信号，控制第二阻挡32伸出，对该满载载具进行阻挡；同时第一开关34检测到该满载载具，第一开关34将信号传递给控制装置，控制装置对该信号进行分析，控制第一阻挡31伸出，对后续的满载载具进行阻挡。这里，第一开关34、第二开关35、第三开关36和第四开关37均为位置传感器，为市售产品，根据实际需求进行选择，第一阻挡31的伸缩装置、第二阻挡32的伸缩装置和第三阻挡33的伸缩装置均为气缸，均为市售产品，根据实际需求进行选择。

上述的回流线阻挡截停结构3包括阻挡和开关，阻挡通过支架安装在回流线2上，开关安装在回流线2上，回流线阻挡截停结构与脱胶机14的位置相对应，阻挡包括伸缩装置和阻挡杆，伸缩装置与阻挡杆连接，伸缩装置安装在支架上，该伸缩装置为气缸，阻挡杆与气缸的伸缩杆连接，在气缸的作用下进行伸缩，对空载载具进行阻挡，气缸通过管道与气泵连接，且在管道上安装有电磁阀，该电磁阀与控制装置电连接，控制装置通过电磁阀控制电磁阀的动作，进而控制伸缩装置的气缸动作。开关与控制装置电连接，开关将信号传递给控制装置，控制装置对该信号进行分析，进而控制阻挡动作，对空载载具进行阻挡。当开关检测到空载载具后，将信号传递给控制装置，控制装置对该信号进行分析，控制阻挡动作，对空载载具进行阻挡，上述的开关为光电开关，为市售产品，根据实际需求进行选择。

上述的控制装置优选为PLC控制器，为市售产品，根据实际需求进行选择。

如图3所示，上料机构6包括上料平台62、上料控制装置和载具识别装置61，上料控制装置安装在控制箱内，且控制箱与上料平台62连接，载具识别装置61与上料控制装置电连接，且载具识别装置61位于上料平台62的顶部，载具识别装置61与上料控制装置电连接，上料控制装置与控制装置电连接，载具识别装置61用于识别载具8上的标签，载具识别装置62优选为RFID阅读器，RFID阅读器对载具上的RFID标签进行扫描，将RFID标签信息传递给上料控制装置，上料控制装置内预设有编辑好的程序，上料控制装置按照预设的程序进行，将将时间和脱胶机14的编号等信息传送被RFID阅读器，RFID阅读器将该信息写入该RFID标签内，并将写入信息的标签的信号传递给控制装置，便于控制装置后续对有该标签的载具进行监控。这里，上料控制装置内预设有编辑好的程序，按照程序控制各个部件工作，该控制装置优选为PLC控制器，为市售产品，根据实际需求进行选择。

该传送硅片水道线装置还包括推料机构7，如图2所示，推料机构7安装在主输送线1上，主要位于满载载具容易堵塞卡顿的地方，根据实际需求进行选择，推料机构7用于对主输送线1上的满载载具施加推力，减少满载载具在主输送线1上造成堵塞。该推料机构7包括推料伸缩装置71、推料连接板72和推料板73，推料伸缩装置71通过安装支架安装在主输送线1的上，推料连接板72的一端与推料伸缩装置71连接，推料板73与推料连接板72的另一端连接，这里，推料伸缩装置71包括第一推料伸缩装置和第二推料伸缩装置，第一推料伸缩装置与第二推料伸缩装置平行安装在支架上，且第一推料伸缩装置和第二推料伸缩装置均为气缸，为市售产品，根据实际需求进行选择。推料连接板72的左右两侧端分别与第一推料伸缩装置的气缸的伸缩杆的端部和第二推料伸缩装置的气缸的伸缩杆的端部连接，使得推料连接板72在第一推料伸缩装置和第二推料伸缩装置的作用下进行前后运动，且推料板73通过连接杆与推料连接板72连接，通过推料连接板72的前后运动带动推料板73的运动，实现推料板73对满载载具施加推力，使得满载载具在主输送线1上运行平稳。上述的推料连接板72为板状结构，具有多个通孔，减少主输送线1上水对推料连接板72的阻力。

上述的循环过滤水箱5与主输送线1连接，为主输送线1提供水，同时主输送线1的水流入循环过滤水箱5内，对该流入水箱中的水进行循环过滤、沉淀、清洁，使得主输送线1上的水能够循环使用，提高水的利用率。如图4所示，该循环过滤水箱5包括水箱52和水循环动力装置51，水箱52的进水口53与主输送线1的出水孔通过管道连接，水箱52的出水口54通过管道与主输送线1的进水孔连接，水箱52的进水口53与出水口54均设于水箱52的一端，水循环动力装置51与水箱52连接，设于水箱52的另一端，这里水循环动力装置51为水泵，水箱52为槽体结构，水箱52内部具有多个隔板，多个隔板将水箱52内部分隔成多个小槽体56，且在每一个小槽体56内安装有过滤网55，从水箱52的进水口53进入的水进入第一个小槽体56内，待第一个小槽体56的水满后，经过第一个小槽体56内的过滤网55过滤后，进入第二个小槽体56，第二个小槽体56水满后，进过过滤网55过滤后，进入第三个小槽体56，依次进行，将水箱52中的各个小槽体56中的充满水，同时，水箱52中的水从水箱的出水口54流出，进入主输送线1内，为主输送线1供水。该水循环动力装置51与控制装置电连接，由控制装置控制水循环动力装置51动作，控制装置根据主输送线1的驱动装置的信号、阻挡截停机构3的信号和机械手4的信号进行分析，控制水循环动力装置51动作，使得水循环动力装置51与主输送线1的运动相配合。

本实施例的工作过程：将空载载具放置在上料机构6的上料平台62上，载具识别装置61对该空载载具的RFID标签进行识别，上料控制装置将脱胶机14的编号和时间等信息写入该RFID标签中，并将该空载载具的信息传送给控制装置，信息写入后，将该空载载具放入对应的脱胶机14内，经过该脱胶机14脱胶后的硅片装入该空的载具内，空载载具装满硅片后，工作人员将该满载载具放入主输送线1上，在主输送线1的转动和推料机构7的推力作用下，运动至插片清洗一体机13相对应处，该处的阻挡截停机构3对该满载载具进行阻挡截停，控制装置接收到该满载载具截停的信号后，将该信号传递给相对应的机械手4的机械手控制装置，机械手控制装置接收信号后，机械手4动作，纵向伸缩装置42在横向移动装置41作用下移动至该满载载具的正上方，纵向伸缩装置42动作，带动横向伸缩装置43和夹持装置44向下运动，使得夹持装置44的第一夹持板和第二夹持板位于满载载具的两侧，横向伸缩装置43动作，第一夹持板与第二夹持板相配合将满载载具夹紧，纵向伸缩装置42的气缸伸缩杆缩回，横向移动装置43带动纵向伸缩装置42动作，将满载载具放入插片清洗一体机13内，对硅片进行插片清洗，同时，机械手4将插片清洗机内的空载载具取出，放置在回流线2上，空载载具在回流线2的作用下，运动至脱胶机14处，操作人员将空载载具取出放在上料机构6的上料平台上，进行再次使用，以此完成硅片经脱胶机14后，通过载具8装载硅片经主输送线1运动，把满载载具经过机械手4送入插片清洗一体机13，同时把一体机中的空载载具经机械手4送至回流线2上，回流进行至脱胶机14处进行二次利用。

本发明具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，使得该传动硅片水道线装置结构简单，便于安装和拆卸，具有主输送线和回流线，且主输送线和回流线贯通多个脱胶机和插片清洗一体机，脱胶后的硅片装入载具后，在主输送线的作用下运送至插片清洗一体机，机械手将满载的载具放入插片清洗机内，硅片进行清洗，同时，空的载具在回流线的作用下回流至脱胶机处再次使用，自动化程度高，节约人工成本，降低了劳动强度，方便过程管控，提高了工作效率；机械手的设置，将主输送线上满载的载具放入插片清洗机内，同时，将插片清洗一体机内的空的载具取出，放入回流线上，提高了该水道线的自动化程度，降低了劳动强度；具有阻挡截停机构，对主输送线上的满载的载具进行阻挡截停，便于机械手对满载的载具进行夹取，提高了该水道线的自动化程度，降低了劳动强度，提高了工作效率；具有循环过滤水箱，能够对主输送线上的水进行循环过滤沉淀，使得主输送线上的水能够进行循环，保持主输送线上的水清洁，防止满载载具中的硅片粘片，利于硅片的传送。

以上对本发明的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。

Claims (10)

1.一种传送硅片水道线装置，其特征在于：包括主输送线、回流线、机械手、循环过滤水箱、阻挡截停机构和上料机构，所述主输送线与所述回流线并列设置，所述主输送线分别插片与清洗一体机和脱胶机连通，所述回流线分别与所述插片清洗一体机和所述脱胶机连通，所述机械手与所述插片清洗一体机均设于所述主输送线的一侧，所述机械手与所述插片清洗一体机相配合，所述上料机构与所述脱胶机均设于所述主输送线的另一侧，所述上料机构与所述脱胶机相配合，所述阻挡截停机构分别设于所述主输送线和所述回流线上，所述循环过滤水箱与所述主输送线连接。

2.根据权利要求1所述的传送硅片水道线装置，其特征在于：所述主输送线包括第一侧板、第二侧板和传送线，所述第一侧板与所述第二侧板分别设于所述传送线的两侧，所述第一侧板和/或第二侧板设有进水孔，所述进水孔与所述循环过滤水箱出水口连接，所述第一侧板和/或第二侧板设有出水孔，所述出水孔与所述循环过滤水箱进水口连接。

3.根据权利要求2所述的传送硅片水道线装置，其特征在于：所述回流线包括回流线驱动装置和回流线输送带，所述回流线输送带与所述回流线驱动装置连接。

4.根据权利要求1-3任一项所述的传送硅片水道线装置，其特征在于：所述机械手包括安装支架、机械手控制装置、横向移动装置、纵向伸缩装置、横向伸缩装置和夹持装置，所述横向移动装置、所述纵向伸缩装置与所述横向伸缩装置分别与所述机械手控制装置电连接，所述纵向伸缩装置设于所述横向移动装置上，所述横向伸缩装置与所述纵向伸缩装置连接，所述夹持装置与所述横向伸缩装置连接，所述横向移动装置设于所述安装支架上，所述机械手控制装置分别与所述主输送线和所述回流线电连接。

5.根据权利要求4所述的传送硅片水道线装置，其特征在于：所述阻挡截停机构包括多个主输送线阻挡截停结构和多个回流线阻挡截停结构，多个所述主输送线阻挡截停结构均设于所述主输送线上，多个所述回流线阻挡截停结构均设于所述回流线上。

6.根据权利要求5所述的传送硅片水道线装置，其特征在于：所述主输送线阻挡截停结构包括主支架、第一开关、第二开关、第三开关、第四开关、第一阻挡、第二阻挡和第三阻挡，所述第一阻挡、所述第二阻挡和所述第三阻挡依次设于所述主支架上，所述第一开关与所述第二开关设于所述主支架上，所述第一开关与所述第二开关设于所述第一阻挡与所述第二阻挡之间，所述第三开关与所述第四开关设于所述主支架上，所述第三开关与所述第四开关设于所述第二阻挡与所述第三阻挡之间。

7.根据权利要求5或6所述的传送硅片水道线装置，其特征在于：所述回流线阻挡截停结构包括阻挡和开关，所述阻挡与所述开关均设于所述回流线上，所述阻挡包括伸缩装置和阻挡杆，所述伸缩装置与所述阻挡杆连接，所述伸缩装置与所述回流线连接。

8.根据权利要求7所述的传送硅片水道线装置，其特征在于：所述上料机构包括上料平台、上料控制装置和载具识别装置，所述上料控制装置与所述载具识别装置均与所述上料平台连接，所述载具识别装置与所述上料控制装置电连接。

9.根据权利要求8所述的传送硅片水道线装置，其特征在于：所述传送硅片水道线装置还包括推料机构，所述推料机构设于所述主输送线上，所述推料机构包括推料伸缩装置、推料连接板和推料板，所述推料伸缩装置与所述主输送线连接，所述推料连接板的一端与所述推料伸缩装置连接，所述推料板与所述推料连接板的另一端连接。

10.根据权利要求1所述的传送硅片水道线装置，其特征在于：所述传送硅片水道线装置还包括控制装置，所述控制装置分别与所述主输送线、所述回流线、所述机械手、所述阻挡截停机构、所述上料机构和所述循环过滤水箱电连接。