CN109767969A - 离子注入机高压绝缘件及制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种由复合材料及镶件组合制造离子注入机高压绝缘件及制造方法，可实现强度高，绝缘性强，化学性能稳定，可高精度机械加工的产品性能，可有效地进行防辐射，并优化和降低了制造成本。

Description

离子注入机高压绝缘件及制造方法

技术领域

本发明涉及半导体器件制造设备，特别涉及离子注入机高压绝缘件及制造方法。

背景技术

离子注入机是半导体器件制造工序中的关键设备，将需注入离子经电离获取，聚焦成离子束，经电场加速获得极高的动能，注入半导体晶圆中，以实现掺杂。

离子注入机，工艺及设备设计要求设备部件之间添加高压差，以实现高压差电场，对注入离子进行加速。高压差部件之间需要高压绝缘件以实现固定或连通，如实现部件固定的绝缘固定件；真空腔室互联的绝缘套筒；高压电位传导的绝缘真空电极等。

现有的离子注入机使用的绝缘件多为工程塑料或陶瓷件，工程塑料强度低，易老化；陶瓷机械性能差，加工难度大等问题影响实际应用，均不具备抗辐射性能。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，针对现有技术不足，提供一种离子注入机高压绝缘件及制造方法。

本发明提供一种由复合材料和镶件制造离子注入机高压绝缘件，可实现强度高，绝缘性强，化学性能稳定，可高精度机械加工的产品性能，并优化和降低了制造成本。

为达到上述目的，本发明采用了如下技术方案：

离子注入机高压绝缘件组成物包含以下组份：

A 高分子聚合物

B 绝缘材料

C 防辐射材料

D 颜料

E 镶件

A高分子聚合物包含树脂及固化剂；B绝缘材料包含陶瓷或石英等绝缘材料；C防辐射材料包含硫酸钡或氧化铋等防反辐射材料；D颜料包含各种材料的颜色染料；E镶件为各类材质镶件，多为金属材质。

ABCD为复合材料部分。E为离子注入机高压绝缘件固定件或金属电极。

其中：

A高分子聚合物包含树脂及固化剂，树脂及固化剂的种类和剂量可根据高压绝缘件的要求进行调整比例20%--70%；

B绝缘材料和C防辐射材料可根据高压绝缘件的要求选择添加至少其中一种，并根据要求调整其一或两者的比例0—80%；

D颜料需根据绝缘件的颜色要求进行种类，调整颜色及比例0—5%；

E镶件需根据绝缘件的要求进行镶件材质和形状类型的调整。

本发明提供的离子注入机高压绝缘件，制造方法为：

1.按一定体积或重量比例进行混合A高分子聚合物，B绝缘材料，C 防辐射材料和D 颜料；

2.充分混合均匀后，并脱离混合液中气体；

3.浇注或注射于已配合镶件的模具中；

4.将材料和模具放入加温加压的环境下固化，温度及压力随混合材料性能，大小等因素调整；

5.产品经机械加工等后道处理，制得离子注入机高压绝缘件。

工序根据离子注入机高压绝缘件的要求可重复或部分循环以上步骤。

附图说明

图1为本发明实例的复合材料配比关系图；

图2为本发明实例制造方法流程图；

具体实施方式

下面结合附图及实施案例对本发明做进一步说明。

本发明实施案例一：高压绝缘板。

本发明实施案例配方由高分子聚合物和绝缘材料组成。

本发明实施案例配方由体积比份60%的树脂和固化剂，体积比份40%的氧化铝制造绝缘板。绝缘板具有良好的绝缘性，15KV高压测得阻值为930GΩ；高真空性能，氦气检漏1漏率；机械加工性能强且化学性能稳定。

本发明实施案例二：高压绝缘板（含镶件为螺母）

本发明实施案例配方由高分子聚合物，绝缘材料，防辐射材料和螺母镶件组成。

本发明实施案例配方比例由体积比份60%的树脂和固化剂，体积比份20%的氧化铝，体积比份20%的硫酸钡和螺母镶件组成。测试效果表明防辐射性良好，螺母镶件与复合材料结合牢固，电气性能及机械加工性能稳定。

本发明实施案例三：高压电极（含镶件为电极和螺母）

本发明实施案例配方由高分子聚合物，绝缘材料，防辐射材料，电极及螺母镶件组成。

本发明实施案例配方比例由体积比份58%的树脂和固化剂，体积比份20%的氧化铝，体积比份20%的硫酸钡，体积比份2%的颜料和电极及螺母镶件组成。测试效果表明电极电阻值低，导电效果良好，真空性能高，防辐射性良好，螺母镶件结合牢固，电气性能及机械加工性能稳定。

Claims (6)

1.离子注入机高压绝缘件及制造方法，由复合材料和镶件组成。

2.根据权利要求1所述的离子注入机高压绝缘件及制造方法，复合材料由高分子聚合物，绝缘材料，防辐射材料，颜料组成。

3.根据权利要求2所述的离子注入机高压绝缘件及制造方法，复合材料中高分子聚合物即树脂和固化剂的体积比份20%--70%。

4.根据权利要求2所述的离子注入机高压绝缘件及制造方法，复合材料中绝缘材料包含但不限于陶瓷或石英等绝缘材料，体积比份0-80%。

5.根据权利要求2所述的离子注入机高压绝缘件及制造方法，复合材料中防辐射材料包含但不限于硫酸钡或氧化锑等防辐射材料，体积比份0-80%。

6.根据权利要求2所述的离子注入机高压绝缘件及制造方法，复合材料中颜料体积比份0-5%。