CN109738043A - 一种用于排放指定体积液体的方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种用于排放指定体积液体的方法，无须知道容器底部的截面积以及化学液的密度值，且不依赖于高精准度的模拟传感器；利用排液时间‑实际排液体积关系模型ν＝ΔV/T，并配合采用模拟传感器和排液阀，对化学液进行分步排液，有效减轻了传统排液方法中因仅依赖模拟传感器计量导致的体积误差较大的问题，大大提高了排液体积的准确度，适于各种化学液的配取；排液过程中通过模拟传感器在计量槽中液体液面趋于稳定的情况下对液体体积进行精确测量，进一步确保测试结果准确性；此外，在校准过程中仅需用水进行校准，大大增加了校准人员的人身安全，且只需校准一次，在后期使用过程中则由控制系统自动完成校准任务，有利于工作效率的提高。

Description

一种用于排放指定体积液体的方法

技术领域

本发明涉及排液技术领域，尤其涉及一种用于排放指定体积液体的方法。

背景技术

在半导体、LED、太阳能电池以及其它工业制造过程中，常常需要利用一定比例的酸性或碱性混合化学液，对产品进行清洗或刻蚀等湿法处理。在湿法处理工艺中，对化学液用量的精度通常要求较高，若采用用量或配比不准确的化学液对产品进行处理，常常会导致不良品的产生。

目前大多数用于湿法处理的工艺设备，通常利用离散水平传感器和液位检测装置对储液容器中的液体体积进行测量。常用的离散水平传感器包括电容式传感器、光学传感器、背压式液位传感器、浮子式传感器等等，然而，仅仅依赖这些传感器的测量对化学液进行配取，总会或多或少存在一些缺陷：现有的一些传感器须基于容器底部的截面积以及化学液的密度值，进行体积测量，当需要对不同种类的化学液进行排液时，都要事先利用化学液进行校准，导致工作效率低，且不利于操作人员的人身安全；对于一些易产生气泡的化学液，例如双氧水和氨水，液面处的气泡可能会导致液位读数产生偏差；在将化学液从外部注入储液容器的过程中，常常会引起液面的振荡，由此可能会使传感器提前或推迟触发；对于储液容器的供液系统而言，在其供液过程中供液速率可能会发生变化，有时甚至会存在暂停的情况，这些也同样会影响配液结果的精确度；此外，对于同一设备，可能会需要配制不同的化学液配方以应用于不同工艺过程，通常是通过设置多个传感器或移动传感器的位置来实现，而储液容器的最大容量不同、传感器的种类不同以及关闭排液阀时产生的无法避免的时间延迟，有时也会导致最终配制的化学液的精度并不能满足使用者的需求。

由于现有的化学液计量系统存在上述诸多限制，迫切需要开发出更加精确、且适用于各种化学液的计量方法。

发明内容

针对上述存在的技术问题，本发明的目的是提供一种用于排放指定体积液体的方法，相对于仅仅依赖于模拟传感器测量结果进行排液的传统方法，具有准确度高、适用范围广等优点。

本发明的技术方案是：一种用于排放指定体积液体的方法，采用排液装置，所述排液装置可以安装在任何配液设备上，所述排液装置包括排液阀、模拟传感器和控制系统，所述排液阀用于排放储液容器中的液体，所述模拟传感器用于获取储液容器或接收容器中液体的体积，模拟传感器可以是任何类型的采用直接或间接方式获取液体体积的模拟传感器，所述控制系统分别控制连接模拟传感器和排液阀，控制系统能够读取模拟传感器的信号输出，以及控制排液阀的启闭；

所述一种用于排放指定体积液体的方法包括：

(1)预排液：控制系统控制排液阀开启和关闭，进行至少一次预排液，以预先排出体积少于目标排液体积V_t的一定量液体；

(2)二次排液：控制系统控制排液阀开启和关闭，进行二次排液，以排出累计排液体积少于目标排液体积ΔV，同时控制系统记录下累计排液体积ΔV_s、二次排液的体积变化ΔV以及二次排液时排液阀持续开启的时间T，通过排液时间-实际排液体积关系，计算得到排液速率ν，所述排液时间-实际排液体积关系根据实验室结果数据拟合得到，排液时间-实际排液体积关系为ν＝ΔV/T；

(3)计时排液：通过T’＝(V_t-ΔV_s)/ν进一步预算得到利用排液阀排出剩余体积液体所需要持续开启的理论时间T’，控制系统随后控制排液阀再次开启，当排液阀持续开启的时间达到上述理论时间T’时，控制系统控制排液阀关闭，完成排液，此时累计排出的液体体积即等于目标排液体积V_t。

进一步的，所述控制系统还与配液设备的进料装置控制连接，在进行预排液之前还包括步骤A0、控制进液，具体为，

A01、控制系统首先设定一个分步排液容量值V_r，V_r的值略小于储液容器的最大工作容量V_m,判断目标排液体积V_t与储液容器的最大工作容量V_m之间的大小，若V_t<V_m，则令V_r＝V_t，依次执行步骤A02、预排液、二次排液和计时排液，若V_t>＝V_m，则重复依次执行步骤A02、预排液、二次排液和计时排液，直至储液容器中累计排出的液体体积之和等于目标排液体积V_t；

A02、控制系统控制进液装置开启，化学液开始注入储液容器内，当储液容器内液体体积V满足V>V_r时,控制系统控制进料装置关闭。

进一步的，还包括步骤(4)排液体积检验，具体为，利用模拟传感器精确测量得到计时排液步骤中得到的储液容器或接收容器中的液体体积，通过计算此时的液体体积与预排液前储液容器或接收容器中液体的初始体积之差，并与目标排液体积V_t进行对比。

进一步的，优选地，所述模拟传感器用于获取储液容器中液体的体积，步骤预排液、二次排液和计时排液的具体操作分别为：

(1)预排液：

利用模拟传感器精确测量得到储液容器中液体的初始体积值为V₁；

随后控制系统控制排液阀开启，储液容器内的液体开始排出，当模拟传感器测量得到储液容器中液体体积V满足V<＝V₁-V_r+V_c1时，控制系统控制排液阀关闭，其中V_c1为当储液容器内的液体累计排出体积为V_r时，储液容器内剩余液体液面上方约2cm处的体积；

(2)二次排液：

利用模拟传感器精确测量得到储液容器中液体的体积值为V₂，控制系统控制排液阀开启，储液容器内的化学液开始排出，当模拟传感器测量得到储液容器中液体体积V满足V<＝V₁-V_r+V_c2时，控制系统控制排液阀关闭，其中V_c2为当储液容器内的液体累计排出体积为V_r时，储液容器内剩余液体液面上方约1cm处的体积；

利用模拟传感器精确测量得到储液容器中液体的体积值为V₃，同时控制系统记录累计排液体积ΔV_s、二次排液后的体积变化值ΔV和二次排液时排液阀持续开启的时间T，其中ΔV_s＝V₁-V₃，ΔV＝V₂-V₃，通过排液时间-实际排液体积关系ν＝ΔV/T，计算得到排液速率ν，并根据得到的排液速率ν与剩余未排出的液体体积V_r-ΔV_s，计算得出利用排液阀排出剩余体积液体所需的时间T’，T’＝(V_r-ΔV_s)/ν；

(3)计时排液：

控制系统控制排液阀开启，经过T’时间后，控制系统控制排液阀关闭，完成排液，此时累计排出的液体体积即等于V_r。

更进一步的，所述利用模拟传感器精确测量，即待储液容器或接收容器中的液体静置片刻后采用模拟传感器对体积进行读取。

进一步的，所述排液阀为气动阀或电动阀。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：无须知道容器底部的截面积以及化学液的密度值，且不依赖于高精准度的模拟传感器；利用排液时间-实际排液体积关系模型ν＝ΔV/T，并配合采用模拟传感器和排液阀，对化学液进行分步排液，有效减轻了传统排液方法中因仅依赖模拟传感器计量导致的体积误差较大的问题，大大提高了排液体积的准确度，适于各种化学液的配取；排液过程中通过模拟传感器在计量槽中液体液面趋于稳定的情况下对液体体积进行精确测量，进一步确保测试结果准确性；此外，在校准过程中仅需用水进行校准，大大增加了校准人员的人身安全，且只需校准一次，在后期使用过程中则由控制系统自动完成校准任务，有利于工作效率的提高。

附图说明

表1为各种不同因素下实际排液体积结果对比；

图1为本发明实施例1所采用的配液设备结构示意图；

图2为本发明排液时间-实际排液体积关系模型图；

图中：1-储液容器，2-进液装置，3-排液阀，4-模拟压力传感器，5-PLC控制系统，6-接收容器，7-气泡管，8-带有压力调节阀的气源，9-气流节流阀，10-节流阀。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述，本发明的实施方式包括但不限于下列实施例。

实施例1

一种用于排放指定体积液体的方法，采用排液装置，所述排液装置可以安装在任何配液设备上，本实施例中，将该排液装置安装于如图1所示的配液设备上，该配液设备包括储液容器1、进液装置2、接收容器6、气泡管7、带有压力调节阀的气源8、气流节流阀9和节流阀10，其中储液容器1具有均匀的横截面积，储液容器1通过管道分别与进液装置2和接收容器6相连，所述气泡管7的底端设于储液容器1底部，另一端连接气源8，所述气流节流阀9设于气泡管7与气源8之间，对气体起限流及恒流作用，所述节流阀10设于储液容器1和接收容器6之间的管道上，所述排液装置包括排液阀3、模拟传感器和PLC控制系统5，排液阀3设于储液容器1与节流阀10之间的管道上，排液阀3用于排放储液容器1中的液体，模拟传感器用于获取储液容器1或接收容器6中液体的体积，模拟传感器可以是任何类型的采用直接或间接方式获取液体体积的模拟传感器，本实施例中优选采用模拟压力传感器4，该模拟压力传感器4设于气泡管7内，用于读取储液容器1内气泡管7底端上方的液体体积，所述PLC控制系统5分别控制连接模拟压力传感器4和排液阀3，PLC控制系统5能够读取模拟压力传感器4的信号输出，以及控制排液阀3的启闭，PLC控制系统5还控制连接进液装置2。

所述一种用于排放指定体积液体的方法包括：

A0、控制进液：

A01、首先设定一个分步排液容量值V_r，V_r的值略小于储液容器的最大工作容量V_m,判断目标排液体积V_t与储液容器的最大工作容量V_m之间的大小，若V_t<V_m，则令V_r＝V_t，执行步骤A02、预排液、二次排液和计时排液，若V_t>＝V_m，则重复依次执行步骤A02、预排液、二次排液和计时排液，直至储液容器中累计排出的液体体积之和等于目标排液体积V_t，可以理解的，当重复依次执行步骤A02、预排液、二次排液和计时排液时，每次步骤计时排液结束后，将重新对V_t赋值，以减去已排出的部分液体的体积；

A02、PLC控制系统5控制进液装置2开启，化学液开始注入储液容器1内，当模拟压力传感器4测量得到的储液容器1内气泡管7底端上方液体的体积V满足V>＝V_r+V_c0时,PLC控制系统5控制进料装置2关闭，其中A表示储液容器1的横截面积，单位为mL，V、V_r和V_c0单位均为mL，V_c0为储液容器中液体体积为V_r时，液体液面上方约2cm处的体积，可以理解的，本实施例中应当满足条件V_r+V_c0<V_m；

(1)预排液：

待步骤A02得到的储液容器1中的液体静置片刻，利用模拟压力传感器4精确测量得到此时气泡管7底端上方液体体积值为V₁，V₁单位为mL，下同；

随后PLC控制系统5控制排液阀3开启，储液容器1内的化学液开始排出，当模拟压力传感器4测量得到的气泡管7底端上方液体的体积V满足V<＝V₁-V_r+V_c1时，PLC控制系统5控制排液阀3关闭，其中V_c1为当储液容器内的液体累计排出体积为V_r时，储液容器内剩余液体液面上方约2cm处的体积，V_c1单位为mL；

(2)二次排液：

待预排液得到的储液容器1中的液体静置片刻，利用模拟压力传感器4精确测量得到此时气泡管7底端上方液体体积值为V₂，V₂单位为mL，下同；

随后PLC控制系统5控制排液阀3开启并开始计时，储液容器1内的化学液开始排出，当模拟压力传感器4测量得到的气泡管7底端上方液体的体积V满足V<＝V₁-V_r+V_c2时，PLC控制系统5控制排液阀3关闭，其中V_c2为当储液容器内的液体累计排出体积为V_r时，储液容器内剩余液体液面上方约1cm处的体积，V_c2单位为mL；

待上述得到的储液容器1中的液体静置片刻，利用模拟传感器4精确测量得到此时位于气泡管7底端上方液体体积值为V₃，V₃单位为mL，下同，同时,PLC控制系统5记录累计排液体积ΔV_s、二次排液后的体积变化值ΔV和二次排液时排液阀持续开启的时间T，其中ΔV_s＝V₁-V₃，ΔV＝V₂-V₃，通过排液时间-实际排液体积关系ν＝ΔV/T，计算得到排液速率ν，并根据得到的排液速率ν与剩余未排出的液体体积V_r-ΔV_s，计算得出利用排液阀排出剩余体积液体所需的时间T’，T’＝(V_r-ΔV_s)/ν＝[T/(V₂-V₃)]×[V_r-(V₁-V₃)]；

(3)计时排液：

PLC控制系统5控制排液阀3开启，经过T’时间后，PLC控制系统5控制排液阀5关闭，完成排液，此时累计排出的液体体积即等于目标排液体积V_r。

进一步的，为了验证储液容器1中实际累积排出的液体体积值的精确度，还包括步骤(4)排液体积检验，具体为：待计时排液后得到的储液容器1中的液体静置片刻，利用模拟压力传感器4精确测量得到此时位于气泡管7底端上方液体体积值为V₄，计算V₁-V₄，并将计算结果与目标排液体积V_t进行对比。

进一步的，所述排液阀3可以是气动阀或者电动阀，本实施例中采用气动阀。

可以理解的，由于本实施例中采用模拟压力传感器4对储液容器1中的液体体积进行测量，为了确保模拟压力传感器4能够正常工作，储液容器1内的液体液面高度应当始终高于气泡管7底端高度，因此步骤A02中设定“V>＝V_r+V_c0”，当储液容器1中排出体积为V_r的化学液后，储液容器1内剩余的液体液面高度仍高于气泡管7底端高度，使气泡管7底端被液体浸没，基于上述原因，步骤A02中对于“V”的值并不需要模拟压力传感器4进行精确测量获取，同样的，“V_c0”的值也无需过于精确。

可以理解的，预排液步骤中设定“V<＝V₁-V_r+V_c1”，以及二次排液步骤中设定“V<＝V₁-V_r+V_c2”是因为在PLC控制系统5控制排液阀3关闭的实际操作过程中会存在一定时间上的延迟，导致实际排出的液体体积轻微超出理论值，基于上述原因，预排液步骤和二次排液步骤中对于V的值并不需要模拟压力传感器4进行精确测量获取，同样的，“V_c1”和“V_c2”的值也无需过于精确。

可以理解的，在本实施例中,二次排液步骤中“V_c2”的值理论上应当是步骤预排液步骤中的“V_c1”的值的0.5倍，但由于“V_c1”和“V_c2”均由模拟压力传感器4在非精确测量的情况下测得，基于此测试条件下化学液液面不稳定导致的测试结果误差相对较大，因此二次排液步骤中“V_c2”的实际值可以是预排液步骤中的“V_c1”的实际值的10％-90％。

可以理解的，计时排液步骤是整个排液过程的最后一步，同时也是决定测试结果准确性的最关键的一步，计时排液步骤中利用了排液时间-实际排液体积关系模型进行排液,最终排出的液体体积取决于计时排液步骤中排液阀3持续开启的时间T’，由于V₁、V₂和V₃是由模拟压力传感器4在液面趋于稳定的状态下获取的测试结果，而T的值与液面的稳定程度无关，因此T’的值精确度相对较高，由于计时排液步骤中液体排液体积并不依赖于该步骤中模拟压力传感器4的测量结果，即使在操作过程中液面存在气泡或者振荡情况，又或者存在储液容器1容量大小、传感器种类等因素的影响，也不会影响最终的排液体积值。

可以理解的，预排液步骤中至少包括一次预排液操作，本实施例中优选进行了1次预排液操作，除此之外，在其他实施例中，也可以采用类似方法进行2次或2次以上的预排液操作。

可以理解的，本实施例中采用的模拟压力传感器4用于测试储液容器1内的液体体积，除此之外，在其他实施例中，也可以采用类似的操作步骤及具体算法，利用模拟传感器对接收容器6中的液体体积进行测量，同样可以达到相同排液效果。

可以理解的，本发明中所采用的排液时间-实际排液体积关系模型ν＝ΔV/T，即为通过排液阀3实际排出的液体体积与PLC控制系统5控制排液阀3打开至关闭之间的时间差刚好成正比。在实际操作过程中，由于从PLC控制系统5发出指令到排液阀3响应以及排液阀3完全打开或完全关闭之间，会存在一个时间过程，从而导致液体实际开始排出以及实际停止排出的时间点与理想时间点相比会有一定的延迟，此外，当排液阀3打开后，液体流动在达到稳定状态之前也存在一个过程。为了对通过排液阀3实际排出的液体体积与PLC控制系统5控制排液阀3打开至关闭之间时间差的关系进行验证，发明人进行了多次相关试验，具体参照图2，实验数据表明，通过排液阀3实际排出的液体体积与PLC控制系统5控制排液阀3打开至关闭之间的时间差非常接近于正比关系，即使在排液阀3打开至关闭之间的时间差非常短，以至于排液阀3在该时间段中无法完全打开的情况下，上述两者之间的实际关系依然几乎成正比。分析其原因是，排液阀3打开时产生的时间延迟导致的液体排放量的减少与因排液阀3关闭时产生的时间延迟而导致的液体排放量的增加几乎相互抵消。

需要说明的是，本实施例中提供的一种用于排放指定体积液体的方法，是基于储液容器1的横截面积A、模拟压力传感器4读数的ADC数据输出值和模拟压力传感器4测得的压力值P之间的比例常数K、被测液体体积与模拟压力传感器4读数的ADC数据输出值校正值之间的比例常数C、化学液的密度D以及模拟压力传感器4的零偏移值Q_z(即当储液容器1为空时，模拟压力传感器4读数的ADC数据输出值)均已知的条件下进行的，储液容器1中的液体体积则通过将模拟压力传感器4测得的压力值P转换而得，具体转换方法如下：

i)首先由模拟压力传感器4将测得的水压压力值P传递给PLC控制系统5，PLC控制系统5利用模数转换器对压力值P进行转换后，得到此时模拟传感器读数的ADC数据输出值Q＝K×P+Q_z，其中P的单位为Pa；

ii)PLC控制器通过计算公式V＝(Q-Q_z)×C，将ADC数据输出值Q再次转换为体积V，及被测液体的体积值，其中，参数C的单位为ml/ADC数字，V的单位为mL。虽然通过上述公式可知，参数C＝[A/(K×D×G)]×(10g·m/kg·cm),其中G为引力常数980cm/s²，D的单位为g/mL,但是参数C可以通过现有技术中公开的方法直接测得，无需在A、K、D以及G已知的情况下测得。

可以理解的，为了获取更精确的测试结果，上述i)和ii)中的测量可以重复进行多次，然后通过计算平均值、快速傅里叶转换、最大值法或其它算法对测试结果进行处理。除上述已知参数外，在其他实施例中，也可以采用其他一些合理的已知参数组合，以得到最终结果。

需要说明的是，上述具体算法是基于本实施例所采用的模拟压力传感器4而设，除此之外，本发明还可以采用其他模拟传感器替代模拟压力传感器4，以对储液容器1或接受容器6中液体体积进行获取，这些模拟传感器包括但不限于具有不同量程范围、电阻条类型或者电容类型的模拟传感器，又或者是声波式或雷达式的模拟传感器等，当采用其他模拟传感器时，其读数最终转化为体积所采用的具体算法取决于实际所采用的模拟传感器的类型。

由此可见，采用本发明所提供的排液方法，对于本发明而言，在排液过程中无须知道容器底部的截面积以及每种化学液的密度值，且不依赖于高精准度的模拟传感器；利用了排液时间-实际排液体积关系模型ν＝ΔV/T，并配合使用模拟传感器和排液阀，克服了传统排液方法中因仅依赖于模拟传感器计量导致的排液体积误差较大的问题，从而大大提高了配液结果的准确性，模拟传感器可以采用各类传感器，且适用于各种类型及配方的化学液的配取，包括各类酸液、碱液以及易产生气泡的化学液等；排液过程中通过模拟传感器在储液容器中液体液面趋于稳定的情况下对液体体积进行精确测量，进一步确保了测试结果的准确性；此外，由于本方法适用于各种不同种类的化学液，在校准过程中仅需用水进行校准，大大增加了校准人员的人身安全，且只需校准一次，在后期使用过程中则由控制系统自动完成校准任务，有利于工作效率的提高。

为了验证采用本发明提供的方法进行排液的准确性，发明人分别采用实施例1中的具体步骤对不同目标排液体积、不同种类的化学液、不同排液速率、不同类型的排液阀以及易产生气泡的液体(苏打水)进行了多组实验，具体实验结果参照表1，其中每个编号的实验分别重复进行了10次，通过计算分别得到每个编号实验的实际排液体积平均值和标准偏差值，并将最终结果进行了对比。

表1：各种不同因素下实际排液体积结果对比

注：表1中①表示1/2寸PFA气动调节阀，由美国Entegris公司提供，②表示CDK 1/2寸PFA气动阀(上孔口4mm)，由日本CDK公司提供，③表示1/2寸PFA气动阀(下孔口4mm)，由日本CDK公司提供，④表示1/2寸PFA气动阀(下孔口5mm)，由日本CDK公司提供。

对本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于排放指定体积液体的方法，采用排液装置，所述排液装置可以安装在任何配液设备上，其特征在于：所述排液装置包括排液阀、模拟传感器和控制系统，所述排液阀用于排放储液容器中的液体，所述模拟传感器用于获取储液容器或接收容器中液体的体积，模拟传感器可以是任何类型的采用直接或间接方式获取液体体积的模拟传感器，所述控制系统分别控制连接模拟传感器和排液阀，控制系统能够读取模拟传感器的信号输出，以及控制排液阀的启闭；

所述一种用于排放指定体积液体的方法包括：

(1)预排液：控制系统控制排液阀开启和关闭，进行至少一次预排液，以预先排出体积少于目标排液体积V_t的一定量液体；

(2)二次排液：控制系统控制排液阀开启和关闭，进行二次排液，以排出累计排液体积少于目标排液体积ΔV，同时控制系统记录下累计排液体积ΔV_s、二次排液的体积变化ΔV以及二次排液时排液阀持续开启的时间T，通过排液时间-实际排液体积关系，计算得到排液速率ν，所述排液时间-实际排液体积关系根据实验室结果数据拟合得到，排液时间-实际排液体积关系为ν＝ΔV/T；

(3)计时排液：通过T’＝(V_t-ΔV_s)/ν进一步预算得到利用排液阀排出剩余体积液体所需要持续开启的理论时间T’，控制系统随后控制排液阀再次开启，当排液阀持续开启的时间达到上述理论时间T’时，控制系统控制排液阀关闭，完成排液，此时累计排出的液体体积即等于目标排液体积V_t。

2.如权利要求1所述的一种用于排放指定体积液体的方法，其特征在于：所述控制系统还与配液设备的进料装置控制连接，在进行预排液之前还包括步骤A0、控制进液，具体为，

A01、控制系统首先设定一个分步排液容量值V_r，V_r的值略小于储液容器的最大工作容量V_m,判断目标排液体积V_t与储液容器的最大工作容量V_m之间的大小，若V_t<V_m，则令V_r＝V_t，依次执行步骤A02、预排液、二次排液和计时排液，若V_t>＝V_m，则重复依次执行步骤A02、预排液、二次排液和计时排液，直至储液容器中累计排出的液体体积之和等于目标排液体积V_t；

A02、控制系统控制进液装置开启，化学液开始注入储液容器内，当储液容器内液体体积V满足V>V_r时,控制系统控制进料装置关闭。

3.如权利要求1所述的一种用于排放指定体积液体的方法，其特征在于：还包括步骤(4)排液体积检验，具体为，利用模拟传感器精确测量得到计时排液步骤中得到的储液容器或接收容器中的液体体积，通过计算此时的液体体积与预排液前储液容器或接收容器中液体的初始体积之差，并与目标排液体积V_t进行对比。

4.如权利要求2所述的一种用于排放指定体积的方法，其特征在于：优选地，所述模拟传感器用于获取储液容器中液体的体积，步骤预排液、二次排液和计时排液的具体操作分别为：

(1)预排液：

利用模拟传感器精确测量得到储液容器中液体的初始体积值为V₁；

随后控制系统控制排液阀开启，储液容器内的液体开始排出，当模拟传感器测量得到储液容器中液体体积V满足V<＝V₁-V_r+V_c1时，控制系统控制排液阀关闭，其中V_c1为当储液容器内的液体累计排出体积为V_r时，储液容器内剩余液体液面上方约2cm处的体积；

(2)二次排液：

利用模拟传感器精确测量得到储液容器中液体的体积值为V₂，控制系统控制排液阀开启，储液容器内的化学液开始排出，当模拟传感器测量得到储液容器中液体体积V满足V<＝V₁-V_r+V_c2时，控制系统控制排液阀关闭，其中V_c2为当储液容器内的液体累计排出体积为V_r时，储液容器内剩余液体液面上方约1cm处的体积；

利用模拟传感器精确测量得到储液容器中液体的体积值为V₃，同时控制系统记录累计排液体积ΔV_s、二次排液后的体积变化值ΔV和二次排液时排液阀持续开启的时间T，其中ΔV_s＝V₁-V₃，ΔV＝V₂-V₃，通过排液时间-实际排液体积关系ν＝ΔV/T，计算得到排液速率ν，并根据得到的排液速率ν与剩余未排出的液体体积V_r-ΔV_s，计算得出利用排液阀排出剩余体积液体所需的时间T’，T’＝(V_r-ΔV_s)/ν；

(3)计时排液：

控制系统控制排液阀开启，经过T’时间后，控制系统控制排液阀关闭，完成排液，此时累计排出的液体体积即等于V_r。

5.如权利要求3或4所述的一种用于排放指定体积液体的方法，其特征在于：所述利用模拟传感器精确测量，即待储液容器或接收容器中的液体静置片刻后采用模拟传感器对体积进行读取。

6.如权利要求1所述的一种用于排放指定体积液体的方法，其特征在于：所述排液阀为气动阀或电动阀。