CN109679790A - 半导体芯片用粘结蜡清洗剂 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种半导体芯片用粘结蜡清洗剂,所用原料及质量备份比如下:C8碳氢溶剂或C9碳氢溶剂5%~10%,C10碳氢溶剂、C11碳氢溶剂或C12碳氢溶剂50%~70%,C13碳氢溶剂或C14碳氢溶剂5%~10%,二丙二醇二甲醚20%~30%。各组分相互配合,可完全溶解粘结蜡的组分,清除芯片表面的粘结蜡等污垢,免除后续化学品清洗的操作,清洗工艺简单,效率高,气味轻且对半导体芯片和清洗设备无腐蚀。
Description
技术领域
本发明属于专用清洗剂技术领域,尤其涉及一种半导体芯片用粘结蜡的清洗剂。
背景技术
半导体芯片制造过程中用粘结蜡的主要成分为石蜡和松香衍生物,需要清洗剂去除芯片表面覆的粘结蜡等污垢。目前进口去蜡清洗剂可溶解粘结蜡中的石蜡成分,但松香衍生物还需依靠后续化学品去除,清洗工艺复杂、效率低。国产去蜡清洗剂选用含芳香族衍生物的溶剂油,因芳香族衍生物与松香衍生物具有更为相似的结构,除碳氢溶剂对石蜡的溶解作用外,可以增强对松香衍生物的清洗功效,但依然需要后续化学品清洗,才能达到彻底清洗污垢的目的,同样存在着清洗工艺复杂及效率低等问题。此外,芳香族衍生物有刺激性气味,有损人体健康,现实应用受限。
发明内容
本发明是为了解决现有技术所存在的上述技术问题,提供一种半导体芯片用粘结蜡清洗剂。
本发明的技术解决方案是:一种半导体芯片用粘结蜡清洗剂,所用原料及质量备份比如下:C8碳氢溶剂或C9碳氢溶剂5%~10%,C10碳氢溶剂、C11碳氢溶剂或C12碳氢溶剂50%~70%,C13碳氢溶剂或C14碳氢溶剂5%~10%,二丙二醇二甲醚20%~30%。
本发明所选用的C8碳氢溶剂或C9碳氢溶剂,具有优异的渗透能力,可加速粘结蜡的清洗;C13碳氢溶剂或C14碳氢溶剂,较长碳链提供优异的锁蜡能力,防止粘结蜡回沾于芯片上;C10碳氢溶剂、C11碳氢溶剂或C12碳氢溶剂是清洗剂的主体,可平衡渗透和洗蜡性能;二丙二醇二甲醚具有多个醚基团和支链结构,更易于在芯片表面铺展,可以溶解松香衍生物。本发明各组分相互配合,可完全溶解粘结蜡的组分,清除芯片表面的粘结蜡等污垢,免除后续化学品清洗的操作,清洗工艺简单,效率高,气味轻且对半导体芯片和清洗设备无腐蚀。
具体实施方式
实施例1:
本发明的半导体芯片用粘结蜡清洗剂,所用原料及质量备份比如下:C8碳氢溶剂6%,C10碳氢溶剂58%,C13碳氢溶剂8%,二丙二醇二甲醚28%。
实施例2:
本发明的半导体芯片用粘结蜡清洗剂,所用原料及质量备份比如下:C9碳氢溶剂5%,C12碳氢溶剂70%, C14碳氢溶剂5%,二丙二醇二甲醚20%。
实施例3:
本发明的半导体芯片用粘结蜡清洗剂,所用原料及质量备份比如下:质量组成为:C8碳氢溶剂10%,C11碳氢溶剂50%,C14碳氢溶剂10%,二丙二醇二甲醚含量为30%。
本发明实施例1、2、3的产品为无色透明液体,气味极其轻微。分别使用本发明实施例1、实施例2、实施例3、进口去蜡清洗剂及国产去蜡清洗剂,在80℃条件下,浸泡覆粘结蜡芯片。结果本发明实施例1、实施例2、实施例3浸泡10分钟,芯片及设备无腐蚀,芯片表面未见残蜡,清洗彻底。进口去蜡清洗剂浸泡20分钟,芯片及设备无腐蚀,芯片表面肉眼可见蜡残留,清洗不彻底;国产去蜡清洗剂,浸泡15分钟,芯片和设备未见腐蚀,芯片表面肉眼可见少量蜡残留。
Claims (1)
1.一种半导体芯片用粘结蜡清洗剂,其特征在于所用原料及质量百分比如下:C8碳氢溶剂或C9碳氢溶剂5%~10%,C10碳氢溶剂、C11碳氢溶剂或C12碳氢溶剂50%~70%,C13碳氢溶剂或C14碳氢溶剂5%~10%,二丙二醇二甲醚20%~30%。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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