CN109579733B - 一种激光3d打印成型尺寸精度快速测算方法 - Google Patents

一种激光3d打印成型尺寸精度快速测算方法 Download PDF

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    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures

Abstract

本发明公开了一种激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,涉及激光3D打印技术领域。该方法利用模型比对软件对加工打印工件之前的测量工件模型进行预先计划检测,并基于三维扫描仪测量技术实现快速高精度获取激光3D工件的三维特征尺寸,进而获得该材料及加工工艺3D打印成型精度。同时,该方法通过预先计划检测一类测量工件模型,并能快速应用到多种材料多种工艺加工,从而能够实现快速获取多种材料多种加工工艺的3D打印成型精度及补偿校验,且,尤其可以针对成型件在二维X‑Y平面尺寸精度控制及补偿的快速测算,并且可以实现快速重复多次测量,可以有效地提高作业效率。

Description

一种激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法
技术领域
本发明涉及激光3D打印技术领域,且特别涉及一种激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法。
背景技术
激光3D打印技术,如选区激光熔化(SLM,Selective Laser Melting)和选区激光烧结(SLS,Selective Laser Sintering)分别是金属件和塑料件直接成型的重要方法,这种技术是基于快速成型的最基本思想,基于三维(3D)模型数据,通常通过电脑控制,采用与减式制造技术相反的逐层叠加的增量制造方式生产立体实物成型件。
在激光熔化或烧结的过程中,粉末在激光辐照后快速升温到熔点以上,随后冷却,围绕激光束形成由凝固金属粉末组成的固化区。而光固化区受材料、激光辐照参数等影响,通常不等同于激光束尺寸。为了满足成型件的尺寸精度,必须考虑光固化区影响,并通过激光光斑偏移补偿来精确控制成型精度。另一方面成型件在物理变化过程后因温度变化而引起收缩,收缩行为根据材料而有差异,并且在不同方向上收缩程度也会有差异,为了补偿收缩,通常需要预先放大尺寸。
在实际研究及应用中,3D打印系统用的打印材料通常需要变化,而且激光3D打印的工艺参数也可能因打印性能要求而发生改变,而这些变化势必会影响工件成型精度,特别是在二维X-Y平面成型精度。因此为了有效控制不同材料及加工工艺成型件的尺寸精度,非常有必要探索快速实现激光3D打印成型尺寸精度精确测算方法。
目前通常采用在工件正式打印之前,通过对相同材料及加工工艺打印的测试工件的成型精度评价来决定当前激光工艺和材料下的所需的光斑补偿和尺寸收缩。现有评价尺寸形状精度的常规方法是,首先用三坐标测量仪测量零件表面的若干特征点,再把测量得到的实际尺寸和原始的三维CAD模型进行比较,从而得到其加工误差。但对于复杂零件,特别是具有复杂曲面的零件,常规的评价方法效率较低,而且由于人工取点数目有限,这也会影响评价的精度。另外这种方法在每一次评价试样时都需要重新对特征几何对象进行拟合再测量,在重复测试时效率较低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,该方法主要针对成型件在二维X-Y平面尺寸精度控制及补偿的快速测算,并且可以实现快速重复多次测量,可以有效地提高作业效率。
本发明解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。
本发明提出一种激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,其包括:
S1:利用计算机三维建模软件设计激光3D打印的测量工件的三维模型;
S2:利用模型比对软件对步骤S1中的三维模型中与尺寸精度控制相关的X/Y方向的特征尺寸进行预先计划检测并保存;
S3:将步骤S1中所设计的三维模型导入激光3D打印系统,选择设定材料及加工参数进行加工成型;
S4:利用三维扫描仪对步骤S3加工成型的测量工件进行扫描,获取测量工件表面三维形貌数据,并保存输出;
S5:将步骤S4测得的测量工件的三维扫描数据导入步骤S2保存的预先计划检测程序,检测特征将同导入的测量工件扫描数据进行重建及更新,获得测量工件的实际特征尺寸信息;
S6:按照公式计算设定材料在对应的工艺参数下的光斑偏移补偿量及尺寸收缩率补偿量。
本发明实施例的激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法的有益效果是:
本发明利用模型比对软件对加工打印工件之前的测量工件模型进行预先计划检测,并基于三维扫描仪测量技术实现快速高精度获取激光3D工件的三维特征尺寸,进而获得该材料及加工工艺3D打印成型精度。该方法通过预先计划检测一类测量工件模型,并能快速应用到多种材料多种工艺加工,从而能够实现快速获取多种材料多种加工工艺的3D打印成型精度及补偿校验,尤其可以针对成型件在二维X-Y平面尺寸精度控制及补偿的快速测算,并且可以实现快速重复多次测量,可以有效地提高作业效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本发明的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本发明的实施例的方法步骤流程图;
图2为本发明的实施例提供的测量工件三维模式的结构示意图;
图3为本发明的实施例提供的对测量工件进行预先计划检测的示意图;
图4为本发明的实施例提供的激光3D打印第一测量工件实体的三维扫描点云图。
图5为本发明的实施例提供的激光3D打印第一测量工件实体的特征尺寸数据。
图6为本发明的实施例提供的激光3D打印第二测量工件实体的三维扫描点云图。
图7为本发明的实施例提供的激光3D打印第二测量工件实体的特征尺寸数据。
图标:101-第一凸台;103-第二凸台;105-第三凸台;107-第四凸台;109-第一凹槽;111-第二凹槽;113-第三凹槽;115-第四凹槽;117-第一圆柱;119-第二圆柱;121-第三圆柱;123-第四圆柱。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例中未注明具体条件者,按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者,均为可以通过市售购买获得的常规产品。
下面对本发明实施例的激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法进行具体说明。
一种激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,其包括:
S1:利用计算机三维建模软件设计激光3D打印的测量工件的三维模型;
S2:利用模型比对软件对步骤S1中的三维模型中与尺寸精度控制相关的X/Y方向的特征尺寸进行预先计划检测并保存;
S3:将步骤S1中所设计的三维模型导入激光3D打印系统,选择设定材料及加工参数进行加工成型;
S4:利用三维扫描仪对步骤S3加工成型的测量工件进行扫描,获取测量工件表面三维形貌数据,并保存输出;
S5:将步骤S4测得的测量工件的三维扫描数据导入步骤S2保存的预先计划检测程序,检测特征将同导入的测量工件扫描数据进行重建及更新,获得测量工件的实际特征尺寸信息;
S6:按照公式计算设定材料在对应的工艺参数下的光斑偏移补偿量及尺寸收缩率补偿量。
进一步地,在本发明的较佳实施例中,在步骤S2中,预先计划检测包括以下步骤:
S21:添加对齐,添加初始对齐、转换对齐、最佳拟合对齐指令;
S22:构造几何,提取要测量的特征尺寸的几何特征,包括凸台的侧面、凹槽的侧面;
S23:添加三维测量,测量X或Y方向凸台宽度,测量X或Y方向凹槽宽度,测量X或Y方向几何构造的距离。
进一步地,在本发明的较佳实施例中,步骤S1具体包括:
利用CAD软件设计激光3D打印的测量工件的三维模型得到CAD模型,且包括X方向的第一凸台和第二凸台、X方向的第一凹槽和第二凹槽、Y方向的第三凸台和第四凸台、Y方向的第三凹槽和第四凹槽、第一圆柱、第二圆柱、第三圆柱以及第四圆柱;
其中,第一凸台、第二凸台、第三凸台、第四凸台、第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽以及第四凹槽的宽度均为5-10mm,第一圆柱、第二圆柱、第三圆柱以及第四圆柱的中心间距均为50-100mm。
进一步地,在本发明的较佳实施例中,步骤S2具体包括:
利用Geomagic Control X软件对步骤S1中的测量工件模型进行添加对齐、构建几何、添加三维测量命令,对与成型尺寸精度相关的特征尺寸进行预先计划检测并保存;
其中,特征尺寸包括第一凸台的宽度W1、第二凸台的宽度W2、第三凸台的宽度W3和第四凸台的宽度W4,第一凹槽的宽度W5、第二凹槽的宽度W6、第三凹槽的宽度W7和第四凹槽的宽度W8,以及第一圆柱与第二圆柱之间的中心间距离L12、第二圆柱与第三圆柱的中心间距离L23,第三圆柱与第四圆柱的中心间距离L34,第四圆柱与第一圆柱之间的中心间距离L41
进一步地,在本发明的较佳实施例中,步骤S3具体包括:
将步骤S1中得到的CAD模型输入激光3D打印系统,选用3D打印金属粉末材料包括不锈钢、镍基高温合金、模具钢、钛合金或非金属粉末材料中的任一种,并将3D打印金属粉末材料在基板上打印成型形成成型样品,设置打印工艺参数包括打印层厚、激光功率以及扫描速度。
进一步地,在本发明的较佳实施例中,步骤S4具体包括:
利用AICON PrimeScan三维扫描仪扫描步骤S3加工的成型样品,获得测量工件的表面三维扫描数据,并保存输出。
进一步地,在本发明的较佳实施例中,步骤S5具体包括:
将步骤S4测得的试样的三维扫描数据导入步骤S2保存的预先计划检测程序,更新计算,获得加工试样的实际特征尺寸信息;
其中,加工试样的实际特征尺寸信息包括第一凸台的实际宽度W1’、第二凸台的实际宽度W2’、第三凸台的实际宽度W3’和第四凸台的实际宽度W4’,第一凹槽的实际宽度W5’、第二凹槽的实际宽度W6’、第三凹槽的实际宽度W7’和第四凹槽的实际宽度W8’,以及第一圆柱与第二圆柱之间的实际中心间距离L12’、第二圆柱与第三圆柱的实际中心间距离L23’,第三圆柱与第四圆柱的实际中心间距离L34’,第四圆柱与第一圆柱之间的实际中心间距离L41’
进一步地,在本发明的较佳实施例中,步骤S6具体包括:
按照一定的计算公式对该工艺参数下要调整的光斑补偿量及尺寸收缩比例进行计算;
其中,请参阅图1至图5,X方向收缩率为:(L23-L23’+L41-L41’)/(2×L23);
Y方向收缩率为:(L12-L12’+L34-L34’)/(2×L12);
光斑偏移补偿量为:[(W1’-W5’)+(W2’-W6’)+(W3’-W7’)+(W4’-W8’)]/16。
进一步地,在本发明的较佳实施例中:
当设定材料为316L不锈钢材料,设置参数为打印层厚为20μm,激光功率为195W,扫描速度为1080mm/s,且第一凸台、第二凸台、第三凸台、第四凸台、第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽以及第四凹槽的宽度均为5mm,且第一圆柱、第二圆柱、第三圆柱以及第四圆柱的中心间距均53mm时;
测得L23’=52.951,L41’=52.947,X方向收缩率为0.096%;
L12’=52.961,L34’=52.96,Y方向收缩率为0.075%;
W1’=5.038,W2’=5.024,W3’=5.046,W4’=5.041,W5’=4.96,W6’=4.968,W7’=4.963,W8’=4.953,光斑偏移补偿量为0.019mm。
进一步地,在本发明的较佳实施例中,步骤S3中的设定材料还可以为In625材料;
当设定材料为In625材料时,激光功率为285W,扫描速度为960mm/s,层厚为40μm,且第一凸台、第二凸台、第三凸台、第四凸台、第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽以及第四凹槽的宽度均为5mm,且第一圆柱、第二圆柱、第三圆柱以及第四圆柱的中心间距均53mm时;;
且,请参阅图6至图7,当设定材料为In625材料时,测得L23’=52.965,L41’=52.961,X方向收缩率为0.07%;
L12’=52.956,L34’=52.964,Y方向收缩率为0.075%;
W1’=5.063,W2’=5.048,W3’=5.04,W4’=5.045,W5’=4.944,W6’=4.939,W7’=4.947,W8’=4.946,光斑偏移补偿量为0.026mm。
需要说明的是,在本发明的其他实施例中,设定材料的种类和打印工艺参数还可以根据需求进行选择,并不仅限于In625材料和不锈钢材料。
以下结合实施例对本发明的特征和性能作进一步的详细描述。
实施例1
请参阅图1至图5,本实施例提供了一种激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,包括以下步骤:
S1:设计如图2所示的测量工件模型作为成型尺寸测算模型,其中包括X方向的第一凸台101和第二凸台103、X方向的第一凹槽109和第二凹槽111、Y方向的第三凸台105和第四凸台107、Y方向的第三凹槽113和第四凹槽115、第一圆柱117、第二圆柱119、第三圆柱121以及第四圆柱123;
并且,第一凸台101、第二凸台103、第三凸台105、第四凸台107、第一凹槽109、第二凹槽111、第三凹槽113以及第四凹槽115的宽度均为5mm,第一圆柱117、第二圆柱119、第三圆柱121以及第四圆柱123的中心间距均为53mm;
S2:利用Geomagic Control X软件对步骤S1中的测量工件模型进行添加对齐、构建几何、添加三维测量命令,对与成型尺寸精度相关的特征尺寸进行预先计划检测并保存;
其中,特征尺寸包括第一凸台101的宽度W1、第二凸台103的宽度W2、第三凸台105的宽度W3和第四凸台107的宽度W4,第一凹槽109的宽度W5、第二凹槽111的宽度W6、第三凹槽113的宽度W7和第四凹槽115的宽度W8,以及第一圆柱117与第二圆柱119之间的中心间距离L12、第二圆柱119与第三圆柱121的中心间距离L23,第三圆柱121与第四圆柱123的中心间距离L34,第四圆柱123与第一圆柱117之间的中心间距离L41
S3:将步骤S1中得到的CAD模型输入激光3D打印系统,选用316L不锈钢材料在基板上打印成型形成成型样品,设置参数为打印层厚为20μm,激光功率为195W,扫描速度为1080mm/s:;
S4:利用AICON PrimeScan三维扫描仪扫描步骤S3加工的成型样品,获得测量工件的表面三维扫描数据,并保存输出;
S5:将步骤S4测得的试样的三维扫描数据导入步骤S2保存的预先计划检测程序,更新计算,获得加工试样的实际特征尺寸信息;
其中,加工试样的实际特征尺寸信息包括第一凸台101的实际宽度W1’、第二凸台103的实际宽度W2’、第三凸台105的实际宽度W3’和第四凸台107的实际宽度W4’,第一凹槽109的实际宽度W5’、第二凹槽111的实际宽度W6’、第三凹槽113的实际宽度W7’和第四凹槽115的实际宽度W8’,以及第一圆柱117与第二圆柱119之间的实际中心间距离L12’、第二圆柱119与第三圆柱121的实际中心间距离L23’,第三圆柱121与第四圆柱123的实际中心间距离L34’,第四圆柱123与第一圆柱117之间的实际中心间距离L41’
S6:按照一定的计算公式对该工艺参数下要调整的光斑补偿量及尺寸收缩比例进行计算;
其中,X方向收缩率为:(L23-L23’+L41-L41’)/(2×L23);
Y方向收缩率为:(L12-L12’+L34-L34’)/(2×L12);
光斑偏移补偿量为:[(W1’-W5’)+(W2’-W6’)+(W3’-W7’)+(W4’-W8’)]/16;
请再次参阅图5,L23=L12=L41=L34=53,L23’52.951,L41’=52.947,X方向收缩率为0.096%;L12’=52.961,L34’=52.96,Y方向收缩率为0.075%;W1’=5.038,W2’=5.024,W3’=5.046,W4’=5.041,W5’=4.96,W6’=4.968,W7’=4.963,W8’=4.953,光斑偏移补偿量为0.019mm。
实施例2
请参阅图1、图6与图7,本实施例提供了一种激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,其与实施例1提供的方法的区别在于,该方法中,步骤S3中的设定材料为In625材料。
并且,当设定材料为In625材料时,激光功率为285W,扫描速度为960mm/s,层厚为40μm;同时,当设定材料为In625材料时,L23=L12=L41=L34=53,L23’=52.965,L41’=52.961,X方向收缩率为0.07%;L12’=52.956,L34’=52.964,Y方向收缩率为0.075%;W1’=5.063,W2’=5.048,W3’=5.04,W4’=5.045,W5’=4.944,W6’=4.939,W7’=4.947,W8’=4.946,光斑偏移补偿量为0.026mm。
综上所述,本发明实施例提供的一种激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,主要针对成型件在二维X-Y平面尺寸精度控制及补偿的快速测算,并且可以实现快速重复多次测量,可以有效地提高作业效率。
以上所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围,而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

Claims (10)

1.一种激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,其特征在于,其包括:
S1:利用计算机三维建模软件设计激光3D打印的测量工件的三维模型;
S2:利用模型比对软件对步骤S1中所述的三维模型中与尺寸精度控制相关的X/Y方向的特征尺寸进行预先计划检测并保存;
S3:将步骤S1中所设计的三维模型导入激光3D打印系统,选择设定材料及加工参数进行加工成型;
S4:利用三维扫描仪对步骤S3加工成型的测量工件进行扫描,获取测量工件表面三维形貌数据,并保存输出;
S5:将步骤S4测得的测量工件的三维扫描数据导入步骤S2保存的预先计划检测程序,检测特征将同导入的测量工件扫描数据进行重建及更新,获得测量工件的实际特征尺寸信息;
S6:按照公式计算所述设定材料在对应的工艺参数下的光斑偏移补偿量及尺寸收缩率补偿量。
2.根据权利要求1所述的激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,其特征在于,在步骤S2中,所述预先计划检测包括以下步骤:
S21:添加对齐,添加初始对齐、转换对齐、最佳拟合对齐指令;
S22:构造几何,提取要测量的特征尺寸的几何特征,包括凸台的侧面、凹槽的侧面;
S23:添加三维测量,测量X或Y方向凸台宽度,测量X或Y方向凹槽宽度,测量X或Y方向几何构造的距离。
3.根据权利要求1所述的激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,其特征在于,步骤S1具体包括:
利用CAD软件设计激光3D打印的测量工件的三维模型得到CAD模型,且包括X方向的第一凸台和第二凸台、X方向的第一凹槽和第二凹槽、Y方向的第三凸台和第四凸台、Y方向的第三凹槽和第四凹槽、第一圆柱、第二圆柱、第三圆柱以及第四圆柱;
其中,所述第一凸台、所述第二凸台、所述第三凸台、所述第四凸台、所述第一凹槽、所述第二凹槽、所述第三凹槽以及所述第四凹槽的宽度均为5-10mm,所述第一圆柱、所述第二圆柱、所述第三圆柱以及所述第四圆柱的中心间距均为50-100mm。
4.根据权利要求3所述的激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,其特征在于,步骤S2具体包括:
利用Geomagic Control X软件对步骤S1中的所述测量工件模型进行添加对齐、构建几何、添加三维测量命令,对与成型尺寸精度相关的特征尺寸进行预先计划检测并保存;
其中,所述特征尺寸包括所述第一凸台的宽度W1、所述第二凸台的宽度W2、所述第三凸台的宽度W3和所述第四凸台的宽度W4,所述第一凹槽的宽度W5、所述第二凹槽的宽度W6、所述第三凹槽的宽度W7和所述第四凹槽的宽度W8,以及所述第一圆柱与所述第二圆柱之间的中心间距离L12、所述第二圆柱与所述第三圆柱的中心间距离L23,所述第三圆柱与所述第四圆柱的中心间距离L34,所述第四圆柱与所述第一圆柱之间的中心间距离L41
5.根据权利要求4所述的激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,其特征在于,步骤S3具体包括:
将步骤S1中得到的所述CAD模型输入激光3D打印系统,选用3D打印金属粉末材料包括不锈钢、镍基高温合金、模具钢、钛合金或非金属粉末材料中的任一种,并将所述3D打印金属粉末材料在基板上打印成型形成成型样品,设置打印工艺参数包括打印层厚、激光功率以及扫描速度。
6.根据权利要求5所述的激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,其特征在于,步骤S4具体包括:
利用AICON PrimeScan三维扫描仪扫描步骤S3加工的所述成型样品,获得测量工件的表面三维扫描数据,并保存输出。
7.根据权利要求6所述的激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,其特征在于,步骤S5具体包括:
将步骤S4测得的试样的三维扫描数据导入步骤S2保存的预先计划检测程序,更新计算,获得加工试样的实际特征尺寸信息;
其中,加工试样的实际特征尺寸信息包括所述第一凸台的实际宽度W1’、所述第二凸台的实际宽度W2’、所述第三凸台的实际宽度W3’和所述第四凸台的实际宽度W4’,所述第一凹槽的实际宽度W5’、所述第二凹槽的实际宽度W6’、所述第三凹槽的实际宽度W7’和所述第四凹槽的实际宽度W8’,以及所述第一圆柱与所述第二圆柱之间的实际中心间距离L12’、所述第二圆柱与所述第三圆柱的实际中心间距离L23’,所述第三圆柱与所述第四圆柱的实际中心间距离L34’,所述第四圆柱与所述第一圆柱之间的实际中心间距离L41’
8.根据权利要求7所述的激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,其特征在于,步骤S6具体包括:
按照一定的计算公式对该工艺参数下要调整的光斑补偿量及尺寸收缩比例进行计算;
其中,X方向收缩率为:(L23-L23’+L41-L41’)/(2×L23);
Y方向收缩率为:(L12-L12’+L34-L34’)/(2×L12);
光斑偏移补偿量为:[(W1’-W5’)+(W2’-W6’)+(W3’-W7’)+(W4’-W8’)]/16。
9.根据权利要求8所述的激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,其特征在于:
当所述设定材料为316L不锈钢材料,设置参数为打印层厚为20μm,激光功率为195W,扫描速度为1080mm/s,且所述第一凸台、所述第二凸台、所述第三凸台、所述第四凸台、所述第一凹槽、所述第二凹槽、所述第三凹槽以及所述第四凹槽的宽度均为5mm,且所述第一圆柱、所述第二圆柱、所述第三圆柱以及所述第四圆柱的中心间距均53mm时;
测得L23’=52.951,L41’=52.947,X方向收缩率为0.096%;
L12’=52.961,L34’=52.96,Y方向收缩率为0.075%;
W1’=5.038,W2’=5.024,W3’=5.046,W4’=5.041,W5’=4.96,W6’=4.968,W7’=4.963,W8’=4.953,光斑偏移补偿量为0.019mm。
10.根据权利要求1所述的激光3D打印成型尺寸精度快速测算方法,其特征在于:
步骤S3中的设定材料还可以为In625材料;
当设定材料为In625材料时,激光功率为285W,扫描速度为960mm/s,层厚为40μm,且第一凸台、第二凸台、第三凸台、第四凸台、第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽以及第四凹槽的宽度均为5mm,且第一圆柱、第二圆柱、第三圆柱以及第四圆柱的中心间距均53mm时;
测得L23’=52.965,L41’=52.961,X方向收缩率为0.07%;
L12’=52.956,L34’=52.964,Y方向收缩率为0.075%;
W1’=5.063,W2’=5.048,W3’=5.04,W4’=5.045,W5’=4.944,W6’=4.939,W7’=4.947,W8’=4.946,光斑偏移补偿量为0.026mm。
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