CN109412426A - 一种延时稳定型等离子中频电源 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种延时稳定型等离子中频电源，包括：三相18脉波可控整流电路、整流滤波延时启动电路、滤波储能电路、IGBT驱动电路、LC串联谐振电路、中频变压器、可变电容器以及EMC管理电路；三相18脉波可控整流电路的第一输出端与滤波储能电路的输入端连接，三相18脉波可控整流电路的第二输出端与整流滤波延时启动电路的输入端连接，滤波储能电路的第一输出端与IGBT驱动电路的输入端连接，IGBT驱动电路的输出端与LC串联谐振电路的输入端连接，LC串联谐振电路的输出端与中频变压器的输入端连接；EMC管理电路的输入端与作为电源的三相交流电源的输出端，EMC管理电路的第一输出端与三相18脉波可控整流电路的输入端连接；本发明可提高延时电路的稳定性。

Description

一种延时稳定型等离子中频电源
技术领域
本发明涉及等离子中频电源领域，特别涉及一种延时稳定型等离子中频电源。
背景技术
常规中频电源一般包括两个环节，即前极为稳压部分，后极为中频逆变部分，基本上采用分离元件，虽无传统的旋转部件，但体积仍然较大，效率较低，结构繁杂，不可靠因素较多，直接影响了设备乃至整个系统的可靠性；传统中频电源中频频率的生成，大部分要依靠RC振荡器或者L、R、C自谐振振荡产生，产生的频率不稳定；现有等离子中频电源为采用可控硅控制的工频电源，其输出性能较差。
此外，在对电路的保护中，目前所用延时电路较为复杂，影响产品的故障率，且体积较大，适用性不佳。
发明内容
发明目的：为了克服背景技术中的缺点，本发明实施例提供了一种延时稳定型等离子中频电源，能够有效解决上述背景技术中涉及的问题。
技术方案：
一种延时稳定型等离子中频电源，包括：三相18脉波可控整流电路、整流滤波延时启动电路、滤波储能电路、IGBT驱动电路、LC串联谐振电路、中频变压器、可变电容器以及EMC管理电路；
所述三相18脉波可控整流电路的输入端采用三相交流380V输入，所述三相18脉波可控整流电路的第一输出端与所述滤波储能电路的输入端连接，所述三相18脉波可控整流电路的第二输出端与所述整流滤波延时启动电路的输入端连接，所述滤波储能电路的第一输出端与所述IGBT驱动电路的输入端连接，所述IGBT驱动电路的输出端与所述LC串联谐振电路的输入端连接，所述LC串联谐振电路的输出端与所述中频变压器的输入端连接，所述中频变压器的输出端经所述可变电容器与电解池内的阴极和阳极分别连接；
所述EMC管理电路的输入端与作为电源的三相交流电源的输入端，所述EMC管理电路的第一输出端与所述三相18脉波可控整流电路的输入端连接，所述EMC管理电路包括分别与三相电源输入串联的电容C5、电容C6以及电容C7，分别与三相电源输出串联的电阻R6、电阻R7以及电阻R8，连接所述电容C5与所述电阻R6的第一电感L1，连接所述电容C6与所述电阻R7的第二电感L2，连接所述电容C7与所述电阻R8的第三电感L3，以及串联在三相线与地级之间的电容C8、电容C9以及电容C10，用于过滤来自三相交流380V的高频干扰信号以及电源产生的高次谐振波，当存在辅助电源时，所述EMC管理电路的第二输出端连接所述辅助电源的输入端。
作为本发明的一种优选方式，还包括反馈控制电路，所述反馈控制电路通过变频电路与所述滤波储能电路连接，其中，所述变频电路的输入端与所述滤波储能电路的第二输出端连接，所述变频电路的输出端与所述反馈控制电路的输入端连接，所述反馈控制电路的输出端与所述中频变压器连接，所述反馈控制电路包括两个串联的分压电阻R9、R10、串联在分压电阻R9、R10之间的稳压二极管D6、与稳压二极管负极相连的光耦OC，当输出电压经过分压电阻R9、R10时获取分压值，通过所述分压值与稳压二极管D6提供的基准电压的比较结果调控电压。
作为本发明的一种优选方式，所述IGBT驱动电路由四个IGBT模块组成全桥逆变电路，IGBT模块吸收恢复二极管D1、D2、D3、D4和电容C1、C2、C3、C4形成保护电路。
作为本发明的一种优选方式，所述整流滤波延时启动电路由三极管Q1、Q2、电阻R1、R2、R3、R4组成，其中，在脉冲信号接入点与电容C13以及三极管Q1的基级之间并联电阻R1，电阻R2与三极管Q1的基级串联，在三极管Q1的集电极与负载的正极之间串联电阻R3，在三极管Q1的集电极与三极管Q2的基级之间串联电阻R4，三极管Q2的集电极与负载的负极连接，三极管Q1的发射级以及三极管Q2的发射级共用负极，延时期间，三相交流电源通过所述电阻R1、R2、R3、R4逐渐对电解电容充电，用于延缓电流的瞬间增大。
作为本发明的一种优选方式，所述LC串联谐振电路由滤波电抗器LD1、LD2、滤波电容器Cd1、Cd2、振荡线圈L、整流二极管D5-9、谐振电容器Cn1、Cn2、可控硅SCR1-5组成，其中，所述滤波电抗器LD1、LD2分别与三相电源输入串联，在三相电源输入与滤波电抗器LD1、LD2之间分别串联可控硅SCR1-3以及二极管D5-7，在滤波电抗器LD1、LD2与谐振电容器Cn1、Cn2之间并联滤波电容器Cd1、Cd2、可控硅SCR4、SCR5、二极管D8、D9，在可控硅SCR4、SCR5、二极管D8、D9与谐振电容器Cn1、Cn2之间并联振荡线圈L。
作为本发明的一种优选方式，所述整流滤波延时启动电路的输入端串联电阻R5接三极管Q1的基级，电阻R1再串联二极管D5。
本发明实现以下有益效果：
1、反馈控制电路中采用电流控制的PWM脉宽调制来保持输出电压的稳定，获取经过分压电阻的分压值，当分压值升高/降低时，稳压二极管阴极的电位降低/升高，经过光耦的电流升高/降低，经过光耦CE级的电流升高/降低，控制脚C的电位降低/升高，空占比降低/升高，以此平衡电压，具有良好的电压调整率和负载调整率，改善了系统的稳定性；
2、由四个IGBT模块组成全桥逆变电路，可快速吸收恢复二极管以及电容形成保护电路；
3、使用LC串联谐振开关电路，当发生谐振时，LC两端的等效阻抗减小，电流增大，能够避免线路出现短路或过载等故障现象，提高了开关电源功率，元器件功率损耗小，降低了发热量，提高了稳定性和可靠性；
4、简化了延时电路，利用脉冲控制负载通电与断电，降低了电路的故障率，同时减小了产品体积，能够最大程度保护电路且不影响延时效果。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并于说明书一起用于解释本公开的原理。
图1为本发明提供的一种延时稳定型等离子中频电源连接框图；
图2为本发明提供的EMC管理电路连接示意图；
图3为本发明提供的LC串联谐振电路连接示意图；
图4为本发明提供的反馈控制电路连接框图；
图5为本发明提供的反馈控制电路连接示意图；
图6为本发明提供的整流滤波延时启动电路连接示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例一
如图1所示，本实施例提供一种延时稳定型等离子中频电源，包括：三相18脉波可控整流电路1、整流滤波延时启动电路2、滤波储能电路3、IGBT驱动电路4、LC串联谐振电路5、中频变压器6、可变电容器7以及EMC管理电路8。
所述三相18脉波可控整流电路1的输入端采用三相交流380V输入，所述三相18脉波可控整流电路1的第一输出端与所述滤波储能电路3的输入端连接，所述三相18脉波可控整流电路1的第二输出端与所述整流滤波延时启动电路2的输入端连接，所述滤波储能电路3的第一输出端与所述IGBT驱动电路4的输入端连接，所述IGBT驱动电路4的输出端与所述LC串联谐振电路5的输入端连接，所述LC串联谐振电路5的输出端与所述中频变压器6的输入端连接，所述中频变压器6的输出端经所述可变电容器7与电解池内的阴极和阳极分别连接。
所述EMC管理电路8的输入端与作为电源的三相交流电源的输出端，所述EMC管理电路8的第一输出端与所述三相18脉波可控整流电路1的输入端连接，用于过滤来自三相交流380V的高频干扰信号以及电源产生的高次谐振波，当存在辅助电源时，所述EMC管理电路8的第二输出端作为所述辅助电源的输入端。所述IGBT驱动电路4由四个IGBT模块组成全桥逆变电路，吸收恢复二极管D1、D2、D3、D4和电容C1、C2、C3、C4形成保护电路。
所述LC串联谐振电路5由滤波电抗器LD1、LD2、滤波电容器Cd1、Cd2、振荡线圈L、整流二极管D5-9、谐振电容器Cn1、Cn2、可控硅SCR1-5组成。还包括过电流保护电路以及过电压保护电路，当中频电源出现负载短路或逆变桥直通时，直流电流和电网输入电流迅速增加，将测到所述信号后，增大整流移向角，此时，电流开始减小，滤波电感中的能量全部反馈回电网。
具体地，所述三相18脉波可控整流电路1通过所述整流滤波延时启动电路2、所述滤波储能电路3、所述IGBT驱动电路4、所述LC串联谐振电路5与所述中频变压器6串联，所述三相18脉波可控整流电路1包括三个晶闸管以及与所述晶闸管并联的电阻R13，三个晶闸管分别接入A、B、C三相电源，采用共阴极接法相连成型，在工作时，三相电压在自然换相点处依次循环完成A、B、C相电压的转换，同时对应的三个晶闸管也依次导通，每晶闸管各导通120度；本实施例提供的滤波储能电路3为二阶低通有源滤波器，其加入一节RC低通滤波环节，使得输出电压在高频段能够以更快的速率下降，以改善滤波效果，滤波储能电路3还包括导纳Y1-5、电阻R14、R15，其中，导纳Y1、Y2、Y3、Y4并联，导纳Y5接于所述导纳Y1、Y2、Y3、Y4与所述RC低通滤波环节之间，电阻R15与所述RC低通滤波环节以及所述电阻R14并联，导纳Y3、Y5、电阻R R15接地；所述IGBT驱动电路4由四个IGBT模块组成全桥逆变电路，IGBT模块型号为HCPL-3120，上桥臂驱动HCPL-3120是由磷砷化镓光耦合器和功率输出单元组成，具有宽限的工作电压范围，适用于额定容量为1200V/100A的IGBT。
如图2所示，所述EMC管理电路8包括分别与三相电源输入串联的电容C5、电容C6以及电容C7，分别与三相电源输出串联的电阻R6、电阻R7以及电阻R8，连接所述电容C5与所述电阻R6的第一电感L1，连接所述电容C6与所述电阻R7的第二电感L2，连接所述电容C7与所述电阻R8的第三电感L3，以及串联在三相线与地级之间的电容C8、电容C9以及电容C10，通过所述电感L1-3、电容C5-10、电阻R6-8组成滤波器，所述滤波器主要具有两种功能，其一，对高频干扰信号进行滤波处理，能够消除电网扰动对电源的负面影响；其二，对电源本身产生的高次谐波进行滤波处理，能够消除电源对电网的反向污染。
如图3所示，在所述LC串联谐振电路5中，所述滤波电抗器LD1、LD2分别与三相电源输入串联，所述滤波电容器Cd1、Cd2分别与所述滤波电抗器LD1、LD2以及谐振电容器Cn1、Cn2连接，当输入信号频率等于谐振频率时，电路发生谐振，LC串联谐振电路5的阻抗处于最小状态，且可等效于纯电阻，此时流过这个谐振电路的信号电流最大。
针对中频电源的各种异常和故障设定有保护电路，所述保护电路包括电流互感器I、第一功率开关管T1、第二功率开关管T2以及运算放大器A，其中，第一功率开关管T1以及第二功率开关管T2分别串联两各二极管，第一功率开关管T1以及第二功率开关管T2与所述运算放大器A的负极并联，运算放大器A的正极接一二极管通地，电流互感器I接于所述第一功率开关管T1以及第二功率开关管T2之间，且所述电流互感器I的二级侧接地，例如，当中频电源出现负载短路或逆变桥直通时，直流电流和电网输入电流会快速增大，保护电路检测到电流增大信号时，立刻将整流移向角增大大于20度，一般为150度左右，此时，电流开始减小，滤波电路中存储的能量均反馈给电网，从而起到保护作用，过流保护电路剪式三相进线电网电流，当电流大于整定值时，比较电路输出负脉冲，将触发器的输出值为高电平“1”，该信号使压控振荡器停振，将整流桥进入逆变工作状态，同时点亮过流指示灯报警。
实施例二
如图4所示，还包括反馈控制电路9，所述反馈控制电路9通过变频电路10与所述滤波储能电路3连接，其中，所述变频电路10的输入端与所述滤波储能电路3的第二输出端连接，所述变频电路10的输出端与所述反馈控制电路9的输入端连接，所述反馈控制电路9的输出端与所述中频变压器6连接。
所述反馈控制电路9包括电流反馈以及电压反馈，用于在负载变化的情况下保证输出电压、输出电流的稳定，使用PWM脉宽调制来保持输出电压的稳定。
具体地，如图5所示，当输出电压经过电阻R9、电阻R10分别得到采样电压，则采样电压与稳压二极管D6的基准电压同步，稳压二极管D6的阴极电位保持不变，流过光耦OC中的发光二极管的电流也保持不变，从而芯片的控制脚C的电压稳定，则控制驱动占空比不变，输出的电压就保持稳定；当输出电压偏低时，经过分压电阻R9、电阻R10的电压就小于基准电压，稳压二极管D6的阴极电位升高，经过光耦OC中发光二极管的电流减小，则流过光耦OC的CE级的电流也降低，控制脚C的电位升高，使占空比增大，从而导致输出电压增大，使输出保持稳定；当输出电压偏高时，经过分压电阻R9、电阻R10的电阻大于基准电压，稳压二极管D6的阴极电位降低，经过光耦OC中发光二极管的电流增大，则流过光耦OC的CE级的电流也升高，控制脚C的电位降低，使占空比减小，从而导致输出电压减小，使输出稳定。本实施例经过实验验证，其中，在所述反馈控制电路的输出端接入电压表，并在不同时刻记录输出电压的数值，在电源的输入端接入三相交流380V，即进线电压为380V，启动0.5h时，电压表测得电压为569V；启动1h时，电压表测得电压为571V；启动1.5h时，电压表测得电压为572V；启动2h时，电压表测得电压为569V；启动2.5h时，电压表测得电压为567V，电压浮动范围稳定在5V之内。
实施例三
如图6所示，所述整流滤波延时启动电路2由三极管Q1、Q2、电阻R1、R2、R3、R4组成，延时期间，三相交流电源通过所述电阻R1、R2、R3、R4逐渐对电解电容充电，用于延缓电流的瞬间增大。
所述整流滤波延时启动电路2的输入端串联电阻R5接三极管Q1的基级，电阻R1再串联二极管D5，用于最大程度保护电路且不影响延时。
具体地，延时期间，三相交流电源通过所述电阻R1、R2、R3、R4对储能电容缓慢充电，当接入点出现脉冲信号时，能在瞬间将Q1导通，脉冲信号消失时，C13能够维持导通若干时间，在实验过程中，整流滤波延时启动电路2多次接入50V 5Hz的脉冲，5Hz内高电平2.5s、低电平2.5s,利用5Hz脉冲控制负载的工作与断电；第一次接入脉冲时，Q1瞬间导通，负载停运，当脉冲消失时，2.4秒后负载重新充电运行；第二次接入脉冲时，负载再次中断运行，当脉冲消失时，2.6秒后负载再次充电运行；第三次接入脉冲时，负载第三次中断运行，当脉冲消失时，2.7秒后负载再次充电运行；第四次接入脉冲时，负载继续中断运行，当脉冲消失时，2.5秒后负载再次充电运行；经过多次实验测量，负载运行稳定,延时稳定在2-3秒内，延时不受影响。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的是让熟悉该技术领域的技术人员能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此来限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种延时稳定型等离子中频电源，其特征在于，包括：三相18脉波可控整流电路(1)、整流滤波延时启动电路(2)、滤波储能电路(3)、IGBT驱动电路(4)、LC串联谐振电路(5)、中频变压器(6)、可变电容器(7)以及EMC管理电路(8)；
所述三相18脉波可控整流电路(1)的输入端采用三相交流380V输入，所述三相18脉波可控整流电路(1)的第一输出端与所述滤波储能电路(3)的输入端连接，所述三相18脉波可控整流电路(1)的第二输出端与所述整流滤波延时启动电路(2)的输入端连接，所述滤波储能电路(3)的第一输出端与所述IGBT驱动电路(4)的输入端连接，所述IGBT驱动电路(4)的输出端与所述LC串联谐振电路(5)的输入端连接，所述LC串联谐振电路(5)的输出端与所述中频变压器(6)的输入端连接，所述中频变压器(6)的输出端经所述可变电容器(7)与电解池内的阴极和阳极分别连接；
所述EMC管理电路(8)的输入端与作为电源的三相交流电源的输入端，所述EMC管理电路(8)的第一输出端与所述三相18脉波可控整流电路(1)的输入端连接，所述EMC管理电路(8)包括分别与三相电源输入串联的电容C5、电容C6以及电容C7，分别与三相电源输出串联的电阻R6、电阻R7以及电阻R8，连接所述电容C5与所述电阻R6的第一电感L1，连接所述电容C6与所述电阻R7的第二电感L2，连接所述电容C7与所述电阻R8的第三电感L3，以及串联在三相线与地级之间的电容C8、电容C9以及电容C10，用于过滤来自三相交流380V的高频干扰信号以及电源产生的高次谐振波，当存在辅助电源时，所述EMC管理电路(8)的第二输出端连接所述辅助电源的输入端。
2.根据权利要求1所述的一种延时稳定型等离子中频电源，其特征在于：还包括反馈控制电路(9)，所述反馈控制电路(9)通过变频电路(10)与所述滤波储能电路(3)连接，其中，所述变频电路(10)的输入端与所述滤波储能电路(3)的第二输出端连接，所述变频电路(10)的输出端与所述反馈控制电路(9)的输入端连接，所述反馈控制电路(9)的输出端与所述中频变压器(6)连接，所述反馈控制电路(9)包括两个串联的分压电阻R9、R10、串联在分压电阻R9、R10之间的稳压二极管D6、与稳压二极管负极相连的光耦OC，当输出电压经过分压电阻R9、R10时获取分压值，通过所述分压值与稳压二极管D6提供的基准电压的比较结果调控电压。
3.根据权利要求1所述的一种延时稳定型等离子中频电源，其特征在于：所述IGBT驱动电路(4)由四个IGBT模块组成全桥逆变电路，IGBT模块吸收恢复二极管D1、D2、D3、D4和电容C1、C2、C3、C4形成保护电路。
4.根据权利要求1所述的一种延时稳定型等离子中频电源，其特征在于：所述整流滤波延时启动电路(2)由三极管Q1、Q2、电阻R1、R2、R3、R4组成，其中，在脉冲信号接入点与电容C13以及三极管Q1的基级之间并联电阻R1，电阻R2与三极管Q1的基级串联，在三极管Q1的集电极与负载的正极之间串联电阻R3，在三极管Q1的集电极与三极管Q2的基级之间串联电阻R4，三极管Q2的集电极与负载的负极连接，三极管Q1的发射级以及三极管Q2的发射级共用负极，延时期间，三相交流电源通过所述电阻R1、R2、R3、R4逐渐对电解电容充电，用于延缓电流的瞬间增大。
5.根据权利要求1所述的一种延时稳定型等离子中频电源，其特征在于：所述LC串联谐振电路(5)由滤波电抗器LD1、LD2、滤波电容器Cd1、Cd2、振荡线圈L、整流二极管D5-9、谐振电容器Cn1、Cn2、可控硅SCR1-5组成，其中，所述滤波电抗器LD1、LD2分别与三相电源输入串联，在三相电源输入与滤波电抗器LD1、LD2之间分别串联可控硅SCR1-3以及二极管D5-7，在滤波电抗器LD1、LD2与谐振电容器Cn1、Cn2之间并联滤波电容器Cd1、Cd2、可控硅SCR4、SCR5、二极管D8、D9，在可控硅SCR4、SCR5、二极管D8、D9与谐振电容器Cn1、Cn2之间并联振荡线圈L。
6.根据权利要求4所述的一种延时稳定型等离子中频电源，其特征在于：所述整流滤波延时启动电路(2)的输入端串联电阻R5接三极管Q1的基级，电阻R1再串联二极管D5。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102562640A (zh) * 2012-03-20 2012-07-11 赵跃斌 隔爆型对旋双风机双电源光电对接自动换机集控器
CN103475242A (zh) * 2013-09-09 2013-12-25 中国船舶重工集团公司第七二三研究所 等离子体高频高压电源
US20150078045A1 (en) * 2012-04-20 2015-03-19 Guangdong East Power Co., Ltd. Non-isolated symmetric self-coupling 18-pulse rectifier power supply system
CN206135741U (zh) * 2016-01-22 2017-04-26 南京威登等离子科技设备有限公司 高压等离子体电源
CN207251486U (zh) * 2017-10-11 2018-04-17 山西聚星辰制动科技有限公司 一种等离子微弧氧化中频电源
CN108432117A (zh) * 2015-12-23 2018-08-21 张大明 具有lccl或lcc滤波器和其他修改形式的电压源dc/ac变换器电路，以及具有这种电路的微电网操作

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102562640A (zh) * 2012-03-20 2012-07-11 赵跃斌 隔爆型对旋双风机双电源光电对接自动换机集控器
US20150078045A1 (en) * 2012-04-20 2015-03-19 Guangdong East Power Co., Ltd. Non-isolated symmetric self-coupling 18-pulse rectifier power supply system
CN103475242A (zh) * 2013-09-09 2013-12-25 中国船舶重工集团公司第七二三研究所 等离子体高频高压电源
CN108432117A (zh) * 2015-12-23 2018-08-21 张大明 具有lccl或lcc滤波器和其他修改形式的电压源dc/ac变换器电路，以及具有这种电路的微电网操作
CN206135741U (zh) * 2016-01-22 2017-04-26 南京威登等离子科技设备有限公司 高压等离子体电源
CN207251486U (zh) * 2017-10-11 2018-04-17 山西聚星辰制动科技有限公司 一种等离子微弧氧化中频电源

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