CN109373933A - 一种衍射光栅垂直度的检测装置与方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种衍射光栅垂直度的检测装置与方法，其中所述装置包括激光单元、环形器、待测光栅、光束导向单元和检测单元；激光单元发出的第一信号光通过环形器照射在待测光栅上，待测光栅将第一信号光分束为第二信号光束发出；光束导向单元用于对第二信号光束进行整形和反射，使得第二信号光束能够原路返回待测光栅；待测光栅还用于将第二信号光束合束为第三信号光发出；第三信号光通过环形器射入检测单元，检测单元用于检测第三信号光的波长相关损耗；波长相关损耗用于获取待测光栅的垂直度，和/或判断待测光栅的垂直度是否合格。本发明实施例提供的装置与方法，实现了衍射光栅垂直度的非接触式检测，不易造成衍射光栅的损坏。

Description

一种衍射光栅垂直度的检测装置与方法

技术领域

本发明实施例涉及光通信技术领域，尤其涉及一种衍射光栅垂直度的检测装置与方法。

背景技术

衍射光栅是波长选择开关中的关键光学元件，用来将入射光信号分解成按照波长分布的单通道光信号，基于衍射光栅的分光作用，才能对各个波长通道的光信号进行独立的衰减、切换操作。

衍射光栅的性能，特别是衍射光栅垂直度，很大程度上影响着波长选择开关器件的性能。此处，垂直度即衍射光栅的光栅刻线与光栅底面之间的角度，光栅底面为基准面。若光栅刻线与光栅底面不垂直，则会造成不可忽略的圆锥衍射(Conic Diffraction)，且衍射光栅垂直度造成的问题无法通过简单的光路调试手段来解决。因此，衍射光栅垂直度是需要重点关注的光栅性能指标。

然而，衍射光栅表面容易因为触碰而遭受破坏，衍射光栅线垂直度的检测不宜采用传统的仪器接触测量方法，为衍射光栅垂直度的检测带来了困难。

发明内容

本发明实施例提供一种衍射光栅垂直度的检测装置与方法，用以解决衍射光栅垂直度的检测无法通过仪器接触测量方法实现的问题。

第一方面，本发明实施例提供一种衍射光栅垂直度的检测装置，包括激光单元、环形器、待测光栅、光束导向单元和检测单元；

其中，环形器分别与激光单元和检测单元连接；

激光单元发出的第一信号光通过环形器照射在待测光栅上，待测光栅将第一信号光分束为第二信号光束发出；

光束导向单元用于对第二信号光束进行整形和反射，使得第二信号光束能够原路返回待测光栅；

待测光栅还用于将第二信号光束合束为第三信号光发出；

第三信号光通过环形器射入检测单元，检测单元用于检测第三信号光的波长相关损耗；波长相关损耗用于获取待测光栅的垂直度，和/或判断待测光栅的垂直度是否合格。

第二方面，本发明实施例提供一种基于如第一方面所提供的装置的衍射光栅垂直度的检测方法，包括：

控制激光单元发出第一信号光，以使得第一信号光能够通过环形器后经待测光栅分束为第二信号光束，通过光束导向单元的整形和反射后原路返回至待测光栅，经过待测光栅合束为第三信号光并通过环形器射入检测单元；

获取检测单元检测的第三信号光的波长相关损耗；

基于波长相关损耗获取待测光栅的垂直度，和/或基于波长相关损耗判断待测光栅的垂直度是否合格。

第三方面，本发明实施例提供一种基于如第一方面所提供的装置的衍射光栅垂直度的检测系统，包括：

装置控制单元，用于控制激光单元发出第一信号光，以使得第一信号光能够通过环形器后经待测光栅分束为第二信号光束，通过光束导向单元的整形和反射并原路返回至待测光栅，经过待测光栅合束为第三信号光并通过环形器射入检测单元；

损耗获取单元，用于获取检测单元检测的第三信号光的波长相关损耗；

垂直度获取单元，用于基于波长相关损耗获取待测光栅的垂直度，和/或基于波长相关损耗判断待测光栅的垂直度是否合格。

第四方面，本发明实施例提供一种电子设备，包括处理器、通信接口、存储器和总线，其中，处理器，通信接口，存储器通过总线完成相互间的通信，处理器可以调用存储器中的逻辑指令，以执行如第二方面所提供的方法的步骤。

第五方面，本发明实施例提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如第二方面所提供的方法的步骤。

本发明实施例提供的一种衍射光栅垂直度的检测装置与方法，通过测量第三信号光的波长相关损耗，获取待测光栅的垂直度，实现了衍射光栅垂直度的非接触式检测，不易造成衍射光栅的损坏。此外，装置所需的均为常用光学设备，不需要额外添置专用设备，操作简单，成本低廉。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的衍射光栅垂直度的检测装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的光束导向单元的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的衍射光栅垂直度的检测方法的流程示意图；

图4为本发明实施例提供的衍射光栅垂直度的检测系统的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的电子设备的结构示意图；

附图标记说明：

110-激光单元； 120-环形器； 130-待测光栅；

140-光束导向单元； 150-检测单元； 141-柱透镜；

142-反射镜。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

针对衍射光栅垂直度的检测无法通过仪器接触测量进行的问题，本发明实施例提供了一种衍射光栅垂直度的检测装置，用于实现非接触式的衍射光栅垂直度的测量。图1为本发明实施例提供的衍射光栅垂直度的检测装置的结构示意图，如图1所示，该装置包括激光单元110、环形器120、待测光栅130、光束导向单元140和检测单元150；其中，环形器120分别与激光单元110和检测单元150连接；激光单元110发出的第一信号光通过环形器120照射在待测光栅130上，待测光栅130将第一信号光分束为第二信号光束发出；光束导向单元140用于对第二信号光束进行整形和反射，使得第二信号光束能够原路返回待测光栅130；待测光栅130还用于将第二信号光束合束为第三信号光发出；第三信号光通过环形器120射入检测单元150，检测单元150用于检测第三信号光的波长相关损耗；波长相关损耗用于获取待测光栅130的垂直度，和/或判断待测光栅130的垂直度是否合格。

具体地，激光单元110用于发出包含多个波长的信号光，激光单元110可以是多波长光纤激光器，也可以是由多个单波长激光器构成的激光源，本发明实施例对此不作具体限定。环形器120是一种使电磁波单向环形传输的器件，本发明实施例中环形器120用于将传播方向不同的第一信号光和第三信号光隔离开，并分别传输至待测光栅130和检测单元150。待测光栅130是需要进行垂直度检测的衍射光栅，待测光栅130可以是图1中示出的反射式衍射光栅，还可以是透射式衍射光栅，本发明实施例对此不作具体限定。检测单元150用于获取第三信号光的波长相关损耗，检测单元150可以是光谱仪，还可以是其他能够获取波长相关损耗的设备。波长相关损耗(Wavelength Dependent Loss，WDL)是指当传输光信号的波长在工作波长范围内变化时，器件输出端口输出光功率的最大变化量。

为便于说明，以下将信号光进出环形器120的端口分别记为第一端口、第二端口和第三端口。首先，激光单元110发出第一信号光，此处第一信号光为包含多个波长的信号光。第一信号光通过激光单元110与环形器120连接的端口，即第一端口进入环形器120后，从环形器120的第二端口输出，照射在待测光栅130上。待测光栅130按照波长对第一信号光进行分束，分束后的第一信号光即多束不同波长的信号光构成了第二信号光束。第二信号光束呈发散状从待测光栅130射出，射入光束导向单元140。第二信号光束进入光束导向单元140后，经过光束导向单元140的整形和反射，呈会聚状从光束导向单元140射出，沿第二信号光束从待测光栅130射入光束导向单元140的光路返回至待测光栅130。待测光栅130对第二信号光束进行合束，合束后的第二信号光束即第三信号光从待测光栅130射出，沿第一信号光从环形器120照射在待测光栅130的光路，反向射入环形器120的第二端口。第三信号光从环形器120的第三端口射出，并射入检测单元150。检测单元150接收到第三信号光后，通过检测第三信号光得到第三信号光的波长相关损耗。

在待测光栅130的光栅刻线与光栅底面垂直时，各个波长的信号光即第二信号光束仅在与光栅底面平行的分光平面内按照波长对应的角度分开，分光平面上的第一信号光的分光，并不会导致第三信号光的波长相关损耗的产生。此处，图1中光栅底面即Y-Z平面，分光平面与Y-Z平面平行。在待测光栅130的光栅刻线与光栅底面不垂直时，会导致圆锥衍射，即第二信号光束不仅在分光平面有角度分布，在与分光平面垂直的方向即X方向上也有角度分布，第二信号光束合束后得到第三信号光，第三信号光中各个波长的信号光在X方向上的角度差异导致了第三信号光的波长相关损耗。因此，第三信号光的波长相关损耗能够反映第三信号光中各个波长的信号光在与分光平面垂直的方向的角度差，进而反映待测光栅130的垂直度。

此处，根据波长相关损耗获取待测光栅130的垂直度的方法有多种，可以通过预设的波长相关损耗和对应的垂直度的表格直接获取待测光栅130的垂直度，还可以通过预设的波长相关损耗与第三信号光中各个波长的信号光在与分光平面垂直的方向的角度差之间的关系曲线，得到第三信号光中各个波长的信号光在与分光平面垂直的方向的角度差，进而通过预设的第三信号光中各个波长的信号光在与分光平面垂直的方向的角度差与垂直度之间的关系曲线，得到待测光栅130的垂直度，本发明实施例对此不作具体限定。

同样地，根据波长相关损耗判断待测光栅130的垂直度是否合格的方法有多种，例如将波长相关损耗与预设的合格的垂直度对应的波长相关损耗阈值进行比较，如果大于波长相关损耗阈值，则待测光栅130的垂直度不合格，否则合格。

本发明实施例提供的装置，通过测量第三信号光的波长相关损耗，获取待测光栅130的垂直度，实现了衍射光栅垂直度的非接触式检测，不易造成衍射光栅的损坏。此外，装置所需的均为常用光学设备，不需要额外添置专用设备，操作简单，成本低廉。

基于上述实施例，图2为本发明实施例提供的光束导向单元的结构示意图，如图2所示，光束导向单元140包括柱透镜141和反射镜142；待测光栅130设置在柱透镜141的前焦面处，反射镜142设置在柱透镜141的后焦面处。

具体地，柱透镜141用于会聚第二信号光束，反射镜142用于反射第二信号光束。进一步地，柱透镜141的前焦面是指过柱透镜141的前焦点且垂直于柱透镜141主光轴的平面，柱透镜141的后焦面是指过柱透镜141的后焦点且垂直于柱透镜141的主光轴的平面。在第二信号光光束射入光束导向单元140后，首先经过柱透镜141，柱透镜141对第二信号光束进行整形，将发散状的第二信号光束整形为平行光束，并射向反射镜142。反射镜142将平行的第二信号光束反射向柱透镜141，柱透镜141再次对第二信号光束进行整形，将平行的第二信号光束整形为会聚状的光束，使得第二信号光束能够沿着射入光束导向单元140的光路返回待测光栅130，并在待测光栅130会聚为一个光点。

基于上述任一实施例，该装置还包括准直单元，准直单元设置在环形器与待测光栅之间的光路上。

具体地，准直单元用于对环形器与待测光栅之间的光路上的信号光进行准直，即准直单元可以对第一信号光和第三信号光进行准直。此处，准直单元是具备光束准直功能的设备，例如激光经纬仪或者波带板激光准直系统等，本发明实施例对此不作具体限定。

基于上述任一实施例，该装置还包括控制单元，控制单元与检测单元连接。控制单元用于基于波长相关损耗获取待测光栅的垂直度，和/或基于波长相关损耗判断待测光栅的垂直度是否合格。

基于上述任一实施例，图3为本发明实施例提供的衍射光栅垂直度的检测方法的流程示意图，如图3所示，该方法包括：

310，控制激光单元发出第一信号光，以使得第一信号光能够通过环形器后经待测光栅分束为第二信号光束，通过光束导向单元的整形和反射后原路返回至待测光栅，经过待测光栅合束为第三信号光并通过环形器射入检测单元。

具体地，首先控制激光单元发出第一信号光。第一信号光通过激光单元与环形器连接的端口，即第一端口进入环形器后，从环形器的第二端口输出，照射在待测光栅上。待测光栅按照波长对第一信号光进行分束，分束后的第一信号光，即多束不同波长的信号光构成了第二信号光束。第二信号光束呈发散状从待测光栅射出，射入光束导向单元。第二信号光束进入光束导向单元后，经过光束导向单元的整形和反射，呈会聚状从光束导向单元射出，沿第二信号光束从待测光栅射入光束导向单元的光路返回至待测光栅。待测光栅对第二信号光束进行合束，合束后的第二信号光束即第三信号光从待测光栅射出，沿第一信号光从环形器照射在待测光栅的光路，反向射入环形器的第二端口。第三信号光从环形器的第三端口射出，并射入检测单元。

320，获取检测单元检测的第三信号光的波长相关损耗。

具体地，检测单元接收到第三信号光后，通过检测第三信号光得到第三信号光的波长相关损耗。随后，获取检测单元得到的第三信号光的波长相关损耗。第三信号光的波长相关损耗能够反映第三信号光中各个波长的信号光在与分光平面垂直的方向的角度差，进而反映待测光栅的垂直度。

330，基于波长相关损耗获取待测光栅的垂直度，和/或基于波长相关损耗判断待测光栅的垂直度是否合格。

具体地，在待测光栅的光栅刻线与光栅底面不垂直时，会导致圆锥衍射，即第二信号光束不仅在分光平面有角度分布，在与分光平面垂直的方向也有角度分布，第二信号光束合束后得到第三信号光，第三信号光中各个波长的信号光在与分光平面垂直的方向上的角度差异导致了第三信号光的波长相关损耗。因此，第三信号光的波长相关损耗能够反映第三信号光中各个波长的信号光在与分光平面垂直的方向的角度差，进而反映待测光栅的垂直度。

根据波长相关损耗获取待测光栅的垂直度的方法有多种，可以通过预设的波长相关损耗和对应的垂直度的表格直接获取待测光栅的垂直度，还可以通过预设的波长相关损耗与第三信号光中各个波长的信号光在与分光平面垂直的方向的角度差之间的关系曲线，得到第三信号光中各个波长的信号光在与分光平面垂直的方向的角度差，进而通过预设的第三信号光中各个波长的信号光在与分光平面垂直的方向的角度差与垂直度之间的关系曲线，得到待测光栅的垂直度，本发明实施例对此不作具体限定。同样地，根据波长相关损耗判断待测光栅的垂直度是否合格的方法有多种，例如将波长相关损耗与预设的合格的垂直度对应的波长相关损耗阈值进行比较，如果大于波长相关损耗阈值，则待测光栅的垂直度不合格，否则合格。

本发明实施例提供的方法，通过测量第三信号光的波长相关损耗，获取待测光栅的垂直度，实现了衍射光栅垂直度的非接触式检测，不易造成衍射光栅的损坏。此外，实现该方法所需的均为常用光学设备，不需要额外添置专用设备，操作简单，成本低廉。

基于上述任一实施例，步骤330中，基于波长相关损耗获取待测光栅的垂直度，具体包括：基于波长相关损耗获取角度差；其中，角度差为第三信号光在与待测光栅的分光平面垂直方向的角度差值；基于角度差获取待测光栅的垂直度。

具体地，角度差是指第三信号光中各个波长的信号光在与分光平面垂直的方向上的角度差值。首先，基于波长相关损耗获取角度差，可以是通过预设的波长相关损耗与角度差之间的关系曲线或者表格，获取波长相关损耗对应的角度差，还可以是基于波长相关损耗计算得到角度差。其次，基于角度差获取待测光栅的垂直度，可以是通过预设的角度差和垂直度之间的关系曲线或者表格，获取角度差对应的垂直度，还可以是基于角度差计算得到垂直度，本发明实施例对此不作具体限定。

基于上述任一实施例，步骤330中，基于波长相关损耗判断待测光栅的垂直度是否合格，具体包括：若波长相关损耗大于预设损耗值，则确认待测光栅的垂直度不合格；否则，确认待测光栅的垂直度合格。

基于上述任一实施例，步骤310之前，还包括：将衍射光栅垂直度的检测装置的插入损耗调节至最小。

具体地，在控制激光单元发出第一信号光之前，需要先对衍射光栅垂直度的检测装置中的检测光路进行调节，使得衍射光栅垂直度的检测方法是在光路插入损耗最小的条件下执行的，基于该方法得到的波长相关损耗也是光路插入损耗最小时的波长相关损耗。

基于上述任一方法实施例，图4为本发明实施例提供的衍射光栅垂直度的检测系统的结构示意图，如图4所示，该系统包括装置控制单元410、损耗获取单元420和垂直度获取单元430；

其中，装置控制单元410用于控制激光单元发出第一信号光，以使得第一信号光能够通过环形器后经待测光栅分束为第二信号光束，通过光束导向单元的整形和反射并原路返回至待测光栅，经过待测光栅合束为第三信号光并通过环形器射入检测单元；

损耗获取单元420用于获取检测单元检测的第三信号光的波长相关损耗；

垂直度获取单元430用于基于波长相关损耗获取待测光栅的垂直度，和/或基于波长相关损耗判断待测光栅的垂直度是否合格。

本发明实施例提供的系统，通过测量第三信号光的波长相关损耗，获取待测光栅的垂直度，实现了衍射光栅垂直度的非接触式检测，不易造成衍射光栅的损坏。此外，实现该方法所需的均为常用光学设备，不需要额外添置专用设备，操作简单，成本低廉。

基于上述任一实施例，垂直度获取单元430包括获取子单元，获取子单元具体用于：基于所述波长相关损耗获取角度差；其中，所述角度差为第三信号光在与所述待测光栅的分光平面垂直方向的角度差值；基于所述角度差获取待测光栅的垂直度。

基于上述任一实施例，垂直度获取单元430包括判断子单元，判断子单元具体用于：若所述波长相关损耗大于预设损耗值，则确认所述待测光栅的垂直度不合格；否则，确认所述待测光栅的垂直度合格。

基于上述任一实施例，衍射光栅垂直度的检测系统还包括调节单元，调节单元用于将装置的插入损耗调节至最小。

图5为本发明实施例提供的电子设备的实体结构示意图，如图5所示，该电子设备可以包括：处理器(processor)501、通信接口(Communications Interface)502、存储器(memory)503和通信总线504，其中，处理器501，通信接口502，存储器503通过通信总线504完成相互间的通信。处理器501可以调用存储在存储器503上并可在处理器501上运行的计算机程序，以执行上述各实施例提供的衍射光栅垂直度的检测方法，例如包括：控制激光单元发出第一信号光，以使得第一信号光能够通过环形器后经待测光栅分束为第二信号光束，通过光束导向单元的整形和反射后原路返回至待测光栅，经过待测光栅合束为第三信号光并通过环形器射入检测单元；获取检测单元检测的第三信号光的波长相关损耗；基于波长相关损耗获取待测光栅的垂直度，和/或基于波长相关损耗判断待测光栅的垂直度是否合格。

此外，上述的存储器503中的逻辑指令可以通过软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明实施例的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

本发明实施例还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以执行上述各实施例提供的衍射光栅垂直度的检测方法，例如包括：控制激光单元发出第一信号光，以使得第一信号光能够通过环形器后经待测光栅分束为第二信号光束，通过光束导向单元的整形和反射后原路返回至待测光栅，经过待测光栅合束为第三信号光并通过环形器射入检测单元；获取检测单元检测的第三信号光的波长相关损耗；基于波长相关损耗获取待测光栅的垂直度，和/或基于波长相关损耗判断待测光栅的垂直度是否合格。

以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。基于这样的理解，上述技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如ROM/RAM、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行各个实施例或者实施例的某些部分所述的方法。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种衍射光栅垂直度的检测装置，其特征在于，包括激光单元、环形器、待测光栅、光束导向单元和检测单元；

其中，所述环形器分别与所述激光单元和所述检测单元连接；

所述激光单元发出的第一信号光通过所述环形器照射在所述待测光栅上，所述待测光栅将所述第一信号光分束为第二信号光束发出；

所述光束导向单元用于对所述第二信号光束进行整形和反射，使得所述第二信号光束能够原路返回所述待测光栅；

所述待测光栅还用于将所述第二信号光束合束为第三信号光发出；

所述第三信号光通过所述环形器射入所述检测单元，所述检测单元用于检测所述第三信号光的波长相关损耗；所述波长相关损耗用于获取所述待测光栅的垂直度，和/或判断所述待测光栅的垂直度是否合格。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光束导向单元包括柱透镜和反射镜；所述待测光栅设置在所述柱透镜的前焦面处，所述反射镜设置在所述柱透镜的后焦面处。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括准直单元，所述准直单元设置在所述环形器与所述待测光栅之间的光路上。

4.一种基于权利要求1至3中任一项所述的装置的衍射光栅垂直度的检测方法，其特征在于，包括：

控制激光单元发出第一信号光，以使得所述第一信号光能够通过环形器后经待测光栅分束为第二信号光束，通过光束导向单元的整形和反射后原路返回至所述待测光栅，经过所述待测光栅合束为第三信号光并通过所述环形器射入检测单元；

获取所述检测单元检测的所述第三信号光的波长相关损耗；

基于所述波长相关损耗获取所述待测光栅的垂直度，和/或基于所述波长相关损耗判断所述待测光栅的垂直度是否合格。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于所述波长相关损耗获取所述待测光栅的垂直度，具体包括：

基于所述波长相关损耗获取角度差；其中，所述角度差为所述第三信号光在与所述待测光栅的分光平面垂直方向的角度差值；

基于所述角度差获取所述待测光栅的垂直度。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于所述波长相关损耗判断所述待测光栅的垂直度是否合格，具体包括：

若所述波长相关损耗大于预设损耗值，则确认所述待测光栅的垂直度不合格；否则，确认所述待测光栅的垂直度合格。

7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述控制激光单元发出第一信号光，以使得所述第一信号光能够通过环形器后经待测光栅分束为第二信号光束，通过光束导向单元的整形和反射并原路返回至所述待测光栅，经过所述待测光栅合束为第三信号光并通过所述环形器射入检测单元，之前还包括：

将所述装置的插入损耗调节至最小。

8.一种基于权利要求1至3中任一项所述的装置的衍射光栅垂直度的检测系统，其特征在于，包括：

装置控制单元，用于控制激光单元发出第一信号光，以使得所述第一信号光能够通过环形器后经待测光栅分束为第二信号光束，通过光束导向单元的整形和反射并原路返回至所述待测光栅，经过所述待测光栅合束为第三信号光并通过所述环形器射入检测单元；

损耗获取单元，用于获取所述检测单元检测的所述第三信号光的波长相关损耗；

垂直度获取单元，用于基于所述波长相关损耗获取所述待测光栅的垂直度，和/或基于所述波长相关损耗判断所述待测光栅的垂直度是否合格。

9.一种电子设备，其特征在于，包括处理器、通信接口、存储器和总线，其中，处理器，通信接口，存储器通过总线完成相互间的通信，处理器可以调用存储器中的逻辑指令，以执行如权利要求4至7任一所述的方法。

10.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该计算机程序被处理器执行时实现如权利要求4至7任一所述的方法。