CN109373882B - 一种直线位移传感器的校准方法 - Google Patents

一种直线位移传感器的校准方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109373882B
CN109373882B CN201811274794.5A CN201811274794A CN109373882B CN 109373882 B CN109373882 B CN 109373882B CN 201811274794 A CN201811274794 A CN 201811274794A CN 109373882 B CN109373882 B CN 109373882B
Authority
CN
China
Prior art keywords
displacement sensor
linear displacement
abbe
reading
linear
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201811274794.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109373882A (zh
Inventor
杨菲
郑宗光
张重远
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Metal Research of CAS
Original Assignee
Institute of Metal Research of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Metal Research of CAS filed Critical Institute of Metal Research of CAS
Priority to CN201811274794.5A priority Critical patent/CN109373882B/zh
Publication of CN109373882A publication Critical patent/CN109373882A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109373882B publication Critical patent/CN109373882B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/042Calibration or calibration artifacts

Abstract

本发明的目的在于提供一种直线位移传感器的校准方法,以保证直线位移传感器的准确性。具体为:将直线位移传感器与阿贝比长仪夹持固定在一起;直线位移传感器与信号处理器连接;信号处理器与数字万用表连接;阿贝比长仪移动带动直线位移传感器探头移动,获得精确量化的相同位移量;读取阿贝比长仪读数以及直线位移传感器初始位置显示在数字万用表的读数;使阿贝比长仪滑动轨道及置物台移动一个已知量,由此带动直线位移传感器移动相同的位移量,并在数字万用表上获得新的读数;两个读数的差即为直线位移传感器位移变化引起电信号的变化量;通过信号处理器的比例系数换算得到直线位移传感器的位移量。该方法操作简单、方便,适合推广应用。

Description

一种直线位移传感器的校准方法
技术领域
本发明涉及直线位移传感器的校准,特别提供一种利用性能稳定的高精度机械光学长度测量装置对直线位移传感器的校准方法。
背景技术
直线位移传感器属于电磁感应线性器件,它的作用是把被测长度物理量转换为电量。直线位移传感器种类繁多,其中LVDT(Linear Variable Differential Transformer)即线性可变差动变压器,通常应用于材料的热膨胀测量。
LVDT的准确性对于材料的热膨胀测量起着至关重要的作用。尤其某些低膨胀材料,对LVDT的准确性要求更高。
LVDT由一个初级线圈,两个次级线圈,铁芯,线圈骨架,外壳等部件组成。LVDT工作过程中,铁心的运动不能超出线圈的线性范围,LVDT的非线性值将影响热膨胀测量结果的准确性。
发明内容
本发明的目的在于提供一种直线位移传感器的校准方法,以保证直线位移传感器的准确性。
为实现上述目标,本发明提供如下技术方案:
一种直线位移传感器的校准方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)将阿贝比长仪的滑动轨道、置物台与防转动约束板设为移动部分,阿贝比长仪的基准光杠与基座设为固定部分;使用紧固件将直线位移传感器与阿贝比长仪的固定部分夹持固定在一起,固定位置使直线位移传感器探头接触到阿贝比长仪的移动部分,并保证直线位移传感器探头轴向与阿贝比长仪移动方向一致或在其延长线上;
2)直线位移传感器与信号处理器连接并选择合适的放大倍数;
3)信号处理器与高精度数字万用表连接;
4)阿贝比长仪移动部分的移动带动直线位移传感器探头移动,获得精确量化的相同位移量;阿贝比长仪移动的位移量引起直线位移传感器位移量的变化,通过信号处理器转换为电信号传输给数字万用表;
5)分别读取阿贝比长仪读数以及直线位移传感器初始位置通过电信号显示在数字万用表的读数①;旋转阿贝比长仪微动手轮,使其滑动轨道及置物台移动一个已知量,由此带动直线位移传感器移动相同的位移量,并在数字万用表上获得新的读数②;
6)读数①与读数②的差即为直线位移传感器位移变化引起电信号的变化量;通过信号处理器的比例系数可换算得到直线位移传感器的位移量。如采用可直接读出长度值的直线位移传感器(如数显直线位移传感器),则无需换算,两次读数差即为数显直线位移传感器的位移量。
本发明所述该方法适用于校准不同类型的直线位移传感器,如电容式位移传感器、直线可变差动变压器、磁致伸缩式传感器。直线位移传感器可以与任何标准信号处理器连接。直线位移传感器经过信号处理器可以与任何数字读数器、毫伏表、数显仪表或电脑采集系统连接。
本发明所述直线位移传感器的校准方法,其特征在于:所述紧固件为夹具或钕铁硼磁铁吸附架,以起到固定夹持作用。
本发明所述直线位移传感器的校准方法,其特征在于:阿贝比长仪移动部分的移动带动直线位移传感器探头移动的位移量在位移传感器的电压-位移直线范围内。
本发明提供了一种利用阿贝比长仪测量装置对直线位移传感器的校准方法,用于校准直线位移传感器的线性度、重复性、基本误差、回程误差等重要指标,该方法可以校准直线位移传感器的正、反两个行程方向,为材料工程和科学研究提供可靠数据。且该方法操作简单、方便,适合推广应用。
附图说明
图1为本发明实施例1所用装置结构简图。
图2为本发明实施例2所用装置结构简图。
图3为阿贝比长仪局部结构简图。
附图标记:A、阿贝比长仪移动部分;B、阿贝比长仪固定部分;
1、笔式直线位移传感器;2、钕铁硼磁铁吸附架;3、信号处理器;4、数字万用表;5、数显直线位移传感器;6、夹具;B-1、基座;B-2、准直光杠;A-3、滑动轨道约束轴承;A-4、置物台;A-5、紧固螺钉;A-6、防转动约束板;A-7、防转动约束轴承;A-8、滑动轨道。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步描述。
一种直线位移传感器的校准方法,采用的装置包括阿贝比长仪、直线位移传感器、信号处理器、紧固件、数字万用表。
阿贝比长仪为高精度机械光学长度测量装置,其读数显微镜分度值达0.001mm(1μm),可估读到0.5μm。如图1所示,阿贝比长仪的置物台A-4、防转动约束板A-6与滑动轨道A-8设为移动部分A,阿贝比长仪的基准光杠B-2与基座B-1设为固定部分B。
实施例1
(1)使用紧固件—钕铁硼磁铁吸附架2将笔式直线位移传感器1与阿贝比长仪的基准光杠B-2固定夹持,固定位置使笔式直线位移传感器探头接触到阿贝比长仪的置物台A-4边缘。保证笔式直线位移传感器探头轴向与阿贝比长仪移动方向一致。
(2)笔式直线位移传感器1与信号处理器3连接并选择合适的放大倍数。
(3)信号处理器3与数字万用表4连接。
(4)阿贝比长仪置物台A-4的移动将带动直线位移传感器探头移动,可获得精确量化的相同位移量。阿贝比长仪移动的位移量引起直线位移传感器位移量的变化,通过信号处理器转换为电信号传输给高精度数字万用表4。
(5)分别读取阿贝比长仪读数以及直线位移传感器初始位置通过电信号显示在高精度数字万用表的读数①(阿贝比长仪读数:152.2230mm;数字万用表读数:+3.319V)。旋转阿贝比长仪微动手轮,使其置物台A-4移动一个已知量,由此带动笔式直线位移传感器1也移动了相同的位移量,并在高精度数字万用表上获得新的读数②(阿贝比长仪读数:152.2240mm;数字万用表读数:+3.324V)。
(6)读数①与读数②的差(数字万用表读数差:0.005V)即为笔式直线位移传感器1位移变化引起电信号的变化量。通过信号处理器3的比例系数可换算得到笔式直线位移传感器1的位移量(0.00125mm)。
实施例2
(1)使用紧固件—夹具6将数显直线位移传感器5与阿贝比长仪的防转动约束板A-6固定夹持,固定位置使数显直线位移传感器探头接触到阿贝比长仪的基准光杠B-2边缘。保证数显直线位移传感器探头轴向与阿贝比长仪移动方向的延长线一致。
(2)数显直线位移传感器1与信号处理器3连接并选择合适的放大倍数。
(3)信号处理器3与数字万用表4连接。
(4)阿贝比长仪防转动约束板A-6的移动将带动数显直线位移传感器5移动,从而引起数显位移传感器5探测量的改变,获得与阿贝比长仪相同的位移量。
(5)分别读取阿贝比长仪读数以及数显直线位移传感器5初始位置的读数①(阿贝比长仪读数:151.2210mm;数显直线位移传感器读数:+1.991mm)。旋转阿贝比长仪微动手轮,使其防转动约束板A-6移动一个已知量,由此带动数显直线位移传感器5也移动了相同的位移量,并获得新的读数②(阿贝比长仪读数:151.2200mm;数显直线位移传感器读数:+1.990mm)。
(6)读数①与读数②的差(数显直线位移传感器读数差:0.001mm)即为数显直线位移传感器的位移变化量。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施,并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种直线位移传感器的校准方法,所述直线位移传感器为电容式位移传感器、直线可变差动变压器、磁致伸缩式传感器,其特征在于,包括以下步骤:
1)将阿贝比长仪的滑动轨道、置物台与防转动约束板设为移动部分,阿贝比长仪的基准光杠与基座设为固定部分;使用紧固件将直线位移传感器与阿贝比长仪的固定部分夹持固定在一起,固定位置使直线位移传感器探头接触到阿贝比长仪的任意移动部分,并保证直线位移传感器探头轴向与阿贝比长仪移动方向一致或在其延长线上;
2)直线位移传感器与信号处理器连接并选择合适的放大倍数;
3)信号处理器与高精度数字万用表连接;
4)阿贝比长仪移动部分的移动带动直线位移传感器探头移动,获得精确量化的相同位移量;阿贝比长仪移动的位移量引起直线位移传感器位移量的变化,通过信号处理器转换为电信号传输给数字万用表;
5)分别读取阿贝比长仪读数以及直线位移传感器初始位置通过电信号显示在数字万用表的读数①;旋转阿贝比长仪微动手轮,使其滑动轨道及置物台移动一个已知量,由此带动直线位移传感器移动相同的位移量,并在数字万用表上获得新的读数②;
6)读数①与读数②的差即为直线位移传感器位移变化引起电信号的变化量;通过信号处理器的比例系数可换算得到直线位移传感器的位移量。
2.按照权利要求1所述直线位移传感器的校准方法,其特征在于:所述紧固件为夹具或钕铁硼磁铁吸附架。
3.按照权利要求1所述直线位移传感器的校准方法,其特征在于:阿贝比长仪移动部分的移动带动直线位移传感器探头移动的位移量在位移传感器的电压-位移直线范围内。
CN201811274794.5A 2018-10-30 2018-10-30 一种直线位移传感器的校准方法 Active CN109373882B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811274794.5A CN109373882B (zh) 2018-10-30 2018-10-30 一种直线位移传感器的校准方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811274794.5A CN109373882B (zh) 2018-10-30 2018-10-30 一种直线位移传感器的校准方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109373882A CN109373882A (zh) 2019-02-22
CN109373882B true CN109373882B (zh) 2020-08-11

Family

ID=65390510

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811274794.5A Active CN109373882B (zh) 2018-10-30 2018-10-30 一种直线位移传感器的校准方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109373882B (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012083275A (ja) * 2010-10-14 2012-04-26 Okamoto Machine Tool Works Ltd 被加工物の真直度校正方法
CN202304740U (zh) * 2011-09-29 2012-07-04 中国航空工业第六一八研究所 拉杆式位移传感器校准用工装
CN203908525U (zh) * 2013-12-02 2014-10-29 常州市计量测试技术研究所 直线位移传感器自动化校准装置
CN206311086U (zh) * 2016-11-15 2017-07-07 江苏方天电力技术有限公司 一种大量程位移传感器校准装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201364144Y (zh) * 2009-03-05 2009-12-16 吉林大学 便携型位移传感器的检定装置
CN203642896U (zh) * 2013-12-17 2014-06-11 王德岭 线位移传感器在线校准夹具
CN106370142B (zh) * 2016-11-15 2023-12-15 江苏方天电力技术有限公司 一种大量程位移传感器校准装置和校准方法
CN107014330A (zh) * 2017-05-22 2017-08-04 四川大学 一种直线位移计量标定仪
CN107830808B (zh) * 2017-12-01 2023-10-10 中国计量大学 一种高低温环境光栅位移传感器的校准方法及装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012083275A (ja) * 2010-10-14 2012-04-26 Okamoto Machine Tool Works Ltd 被加工物の真直度校正方法
CN202304740U (zh) * 2011-09-29 2012-07-04 中国航空工业第六一八研究所 拉杆式位移传感器校准用工装
CN203908525U (zh) * 2013-12-02 2014-10-29 常州市计量测试技术研究所 直线位移传感器自动化校准装置
CN206311086U (zh) * 2016-11-15 2017-07-07 江苏方天电力技术有限公司 一种大量程位移传感器校准装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Design and experimental validation of an ultra-precisionAbbe-compliant linear encoder-based position measurement system;Niels Bosmans;《Precision Engineering》;20160825;全文 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN109373882A (zh) 2019-02-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101535772B (zh) 线性位移传感器
CN201449240U (zh) 钢管椭圆度、弯曲度检测装置
CN102538652B (zh) 一种涡流传感器校准装置
CN105547126A (zh) 一种电涡流位移传感器
CN205537488U (zh) 一种电涡流位移传感器
CN103644835B (zh) 一种电涡流位移传感器温度漂移系数的测量装置
CN108151689B (zh) 高精度位移传感器
CN103017642A (zh) 位移计标定仪
CN102707248A (zh) 一种双通道电容法测量磁致伸缩的装置及其方法
CN109373882B (zh) 一种直线位移传感器的校准方法
Aldenkamp et al. Frictionless recording torque magnetometer
CN102032846B (zh) 电机线圈卡尺压力检定装置
CN201945274U (zh) 电机线圈卡尺压力检定装置
CN1313502A (zh) 图像式千分表百分表自动检定仪
CN201828228U (zh) 小尺寸沟槽深度测量装置
CN103148987A (zh) 一种轴承密封状态测量装置及其方法
CN211576232U (zh) 一种光栅式指示表检定仪标准装置
CN202189037U (zh) 基于电涡流传感器的金属材质分析仪
CN201141760Y (zh) 一种测位移多芯电感传感器
CN101149247B (zh) 多芯串接电感传感器
CN204240971U (zh) 一种简单有效的引伸计固定装置
CN208505271U (zh) 一种用于位移传感器标定和校准的装置
CN204730802U (zh) 对称式非整圆短圆柱直径快速测量仪
CN107869948B (zh) 一种差动式位移传感器的测试系统及其测试方法
CN202994074U (zh) 一种新型高精度电子测量尺

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant