CN109364700A - 一种多级氟回收系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种多级氟回收系统，包括气体收集装置和顺次连接的多级吸收段，每级吸收段内分别设置有一喷淋装置和一循环槽，含氟气体依次进入各级吸收段内进行喷淋洗涤处理，循环槽用于收集由喷淋装置喷出的洗涤液，且各级吸收段内的喷淋装置的入水口均与循环槽连接；气体收集装置设置在各级吸收段的尾部，气体收集装置用于收集经各级吸收段依次处理后的气体。该多级氟回收系统，结构简单，占地面积小，运行成本低，通过多级的水喷淋处理，利用喷淋装置喷淋的水与含氟尾气反应生成氟硅酸，是一种更为绿色的烟气脱氟工艺，不仅实现了资源回收利用，而且整个氟吸收过程不产生固体废弃物，无二次污染，具有较高的经济效益和环境效益，实用性极强。

Description

一种多级氟回收系统

技术领域

本发明涉及含氟尾气处理技术领域，特别是涉及一种多级氟回收系统。

背景技术

含氟尾气是指含有氟等气体的工业生产尾气。氟气或氟化氢气体是常见的大气污染物之一，其毒性比二氧化硫大得多，如氟化氢对人体的危害作用比二氧化硫大20倍，对植物的毒害作用大10-100倍。如，饮用水中含有1×10^-6的氟时，可防止龋齿发生，但是当氟含量超过1.5×10^-6时，便会损伤牙齿，形成氟斑牙和使牙齿变脆；牲畜饮用含氟高的水和饲料，便会引起慢性中毒。再如，当大气中的氟化物浓度大于1×10^-6时，对人的眼睛、皮肤和呼吸器官会产生直接危害，从而导致呼吸道疾病、皮肤病、眼病等，严重时能引起化学性肝炎、肺水肿、反射性窒息等呼吸功能衰竭死亡症。相应的，当大气中氟化物含量达到45-90mg/m³时，植物的叶组织就会坏死。

目前，大气环境中的氟化物主要来源于电解冰晶石生产铝、钢铁工业使用萤石作助熔剂、磷酸盐矿石的烧结、磷肥生产、水泥陶瓷和砖瓦生产等；当地下水流经含磷灰石的岩层时，可使水中含氟量升高，长期引用含氟高的水，便可造成地方性氟中毒。因此，对含氟尾气的治理应当引起充分重视。

发明内容

本发明的目的是提供一种结构简单、占地面积小、运行成本低、氟回收效率高的多级氟回收系统。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

本发明提供一种多级氟回收系统，包括气体收集装置和顺次连接的多级吸收段，每级所述吸收段内分别设置有一喷淋装置和一循环槽，含氟气体依次进入各级所述吸收段内进行喷淋洗涤处理，所述循环槽用于收集由所述喷淋装置喷出的洗涤液，且各级所述吸收段内的所述喷淋装置的入水口均与所述循环槽连接；所述气体收集装置设置在各级所述吸收段的尾部，所述气体收集装置用于收集经各级所述吸收段依次处理后的气体。

可选的，所述吸收段包括顺次连接的一级吸收段、二级吸收段、三级吸收段和四级吸收段，所述二级吸收段包括二级洗涤塔和二级循环槽，所述二级洗涤塔内分隔为二级洗涤塔上段和二级洗涤塔下段，所述二级洗涤塔上段设置有二级环形喷淋装置，所述二级循环槽的出水管通过二级循环泵与所述二级环形喷淋装置的入水管连接，所述二级洗涤塔上段的底部出口与所述二级循环槽管连接；所述一级吸收段包括一级循环槽、一级管洗器和一级环形喷淋装置，所述一级管洗器内设置有一级喷淋装置，所述一级循环槽的出水管通过一级循环泵与所述一级喷淋装置的入水管连接，所述一级环形喷淋装置设置在所述二级洗涤塔下段内，所述一级管洗器的出水管与所述一级环形喷淋装置的入水管连接，所述二级洗涤塔下段的底端出口与所述一级循环槽管连接，所述二级洗涤塔上段和所述二级洗涤塔下段之间通过第一气帽连通；所述四级吸收段包括四级洗涤塔和四级循环槽，所述四级洗涤塔内分隔为四级洗涤塔上段和四级洗涤塔下段，所述四级洗涤塔上段设置有四级环形喷淋装置，所述四级循环槽的出水管通过四级循环泵与所述四级环形喷淋装置的入水管连接，所述四级洗涤塔上段的底部出口与所述四级循环槽管连接；所述三级吸收段包括三级循环槽、三级管洗器和所述四级洗涤塔下段，所述三级管洗器内设置有三级喷淋装置，所述三级循环槽的出水管通过三级循环泵与所述三级喷淋装置的入水管连接，所述二级洗涤塔上段的顶端出气口与所述三级管洗器的进气口管连接，所述三级管洗器的出水管与所述四级洗涤塔下段的内部连通，所述四级洗涤塔下段的底端出口与所述三级循环槽管连接，所述四级洗涤塔上段和所述四级洗涤塔下段之间通过第二气帽连通；所述四级洗涤塔上段的顶端出气口与所述气体收集装置的进气口连接。

可选的，所述一级管洗器的顶端进气口与一闪蒸室的出气口管连接，所述闪蒸室用于向所述一级管洗器内提供含氟气体。

可选的，所述气体收集装置为除沫塔，所述除沫塔的底端出口与所述循环槽管连接。

可选的，还包括大气冷凝器，所述除沫塔的顶端出气口与所述大气冷凝器的入气口管连接，所述大气冷凝器用于冷凝不凝气体。

可选的，所述一级环形喷淋装置和所述二级环形喷淋装置均为全闭合八边形环形喷淋器，所述全闭合八边形环形喷淋器包括八边形环形分布器，所述八边形环形分布器安装在所述二级洗涤塔的外侧壁，所述八边形环形分布器包括8根中空管状零件，相邻所述中空管状零件之间通过角度连接头可拆卸连接，1根所述中空管状零件上设置有进液口，每根所述中空管状零件上均分布有多个三通出液管，所述三通出液管的出水口位于所述二级洗涤塔的内部。

可选的，所述四级环形喷淋装置为全闭合八边形环形喷淋器，所述全闭合八边形环形喷淋器包括八边形环形分布器，所述八边形环形分布器安装在所述四级洗涤塔上段的外侧壁，所述八边形环形分布器包括8根中空管状零件，相邻所述中空管状零件之间通过角度连接头可拆卸连接，1根所述中空管状零件上设置有进液口，每根所述中空管状零件上均分布有多个三通出液管，所述三通出液管的出水口位于所述四级洗涤塔上段的内部。

可选的，所述一级喷淋装置和所述三级喷淋装置均为气体净化喷淋器，所述气体净化喷淋器上设置有防堵实心锥喷嘴，所述防堵实心锥喷嘴包括导液管和调节套筒，所述调节套筒的内壁为阶梯状，所述调节套筒的大头端与所述导液管的出液端外部螺纹连接，所述导液管的出液端内设置有“S”形右隔板和“S”形左隔板，所述“S”形右隔板和所述“S”形左隔板均与所述导液管的轴线垂直，所述“S”形右隔板和所述“S”形左隔板的宽度均等于所述导液管的内孔半径，所述“S”形左隔板与所述“S”形右隔板中间固定连接，且所述“S”形右隔板的上凸面与所述“S”形左隔板的下凹面相邻，所述“S”形右隔板的下凹面与所述“S”形左隔板的上凸面相邻。

可选的，所述除沫塔为网格面折流除沫塔。

可选的，所述四级循环槽、所述三级循环槽、所述二级循环槽以及所述一级循环槽顺次管连接，且所述一级循环槽还与一贮槽连接，所述贮槽用于收集各循环槽内的洗涤废液。

本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

本发明提供的多级氟回收系统，结构简单，占地面积小，运行成本低，通过多级的水喷淋处理，利用喷淋装置喷淋的水与含氟尾气反应生成氟硅酸，是一种更为绿色的烟气脱氟工艺，不仅实现了资源回收利用，而且整个氟吸收过程不产生固体废弃物，无二次污染，杜绝了氟下游产品生产过程中所存在的环境污染问题和易爆问题，具有较高的经济效益和环境效益，实用性极强。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明多级氟回收系统的整体结构示意图；

图2为本发明防堵实心锥喷嘴的结构示意图；

图3为图2防堵实心锥喷嘴的右视图；

图4为图3防堵实心锥喷嘴的A-A剖视图；

其中，附图标记为：1、一级管洗器；2、一级喷淋装置；3、二级洗涤塔上段；4、二级环形喷淋装置；5、第一气帽；6、一级环形喷淋装置；7、二级洗涤塔下段；8、三级管洗器；9、三级喷淋装置；10、四级洗涤塔上段；11、四级环形喷淋装置；12、第二气帽；13、四级洗涤塔下段；14、除沫塔；15、大气冷凝器；16、闪蒸室；17、贮槽；18、一级循环泵；19、一级循环槽；20、二级循环槽；21、二级循环泵；22、三级循环泵；23、三级循环槽；24、四级循环槽；25、四级循环泵；26、导液管；27、调节套筒；28、“S”形右隔板；29、“S”形左隔板；30、旋涡室。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的目的是提供一种结构简单、占地面积小、运行成本低、氟回收效率高的多级氟回收系统。

基于此，本发明提供一种多级氟回收系统，包括气体收集装置和顺次连接的多级吸收段，每级吸收段内分别设置有一喷淋装置和一循环槽，含氟气体依次进入各级吸收段内进行喷淋洗涤处理，循环槽用于收集由喷淋装置喷出的洗涤液，且各级吸收段内的喷淋装置的入水口均与循环槽连接；气体收集装置设置在各级吸收段的尾部，气体收集装置用于收集经各级吸收段依次处理后的气体。

本发明提供的多级氟回收系统，结构简单，占地面积小，运行成本低，通过多级的水喷淋处理，利用喷淋装置喷淋的水与含氟尾气反应生成氟硅酸，是一种更为绿色的烟气脱氟工艺，不仅实现了资源回收利用，而且整个氟吸收过程不产生固体废弃物，无二次污染，具有较高的经济效益和环境效益，实用性极强。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

实施例一：

如图1所示，本实施例提供一种多级氟回收系统，包括气体收集装置和顺次连接的多级吸收段，每级吸收段内分别设置有一喷淋装置和一循环槽，含氟气体依次进入各级吸收段内进行喷淋洗涤处理，循环槽用于收集由喷淋装置喷出的洗涤液，且各级吸收段内的喷淋装置的入水口均与循环槽连接；气体收集装置设置在各级吸收段的尾部，气体收集装置用于收集经各级吸收段依次处理后的气体。

于本具体实施例中，如图1所示，吸收段包括顺次连接的一级吸收段、二级吸收段、三级吸收段和四级吸收段，其中，二级吸收段包括二级洗涤塔和二级循环槽20，二级洗涤塔内分隔为二级洗涤塔上段3和二级洗涤塔下段7，二级洗涤塔上段3设置有二级环形喷淋装置4，二级循环槽20的出水管通过二级循环泵21与二级环形喷淋装置4的入水管连接，二级洗涤塔上段3的底部出口与二级循环槽20管连接；一级吸收段包括一级循环槽19、一级管洗器1和一级环形喷淋装置6，一级管洗器1内设置有一级喷淋装置2，一级循环槽19的出水管通过一级循环泵18与一级喷淋装置2的入水管连接，一级环形喷淋装置6设置在二级洗涤塔下段7内，一级管洗器1的出水管与一级环形喷淋装置6的入水管连接，二级洗涤塔下段7的底端出口与一级循环槽19管连接，二级洗涤塔上段3和二级洗涤塔下段7之间通过第一气帽5连通；四级吸收段包括四级洗涤塔和四级循环槽24，四级洗涤塔内分隔为四级洗涤塔上段10和四级洗涤塔下段13，四级洗涤塔上段10设置有四级环形喷淋装置11，四级循环槽24的出水管通过四级循环泵25与四级环形喷淋装置11的入水管连接，四级洗涤塔上段10的底部出口与四级循环槽24管连接；三级吸收段包括三级循环槽23、三级管洗器8和四级洗涤塔下段13，三级管洗器8内设置有三级喷淋装置9，三级循环槽23的出水管通过三级循环泵22与三级喷淋装置9的入水管连接，二级洗涤塔上段3的顶端出气口与三级管洗器8的进气口管连接，三级管洗器8的出水管与四级洗涤塔下段13的内部连通，四级洗涤塔下段13的底端出口与三级循环槽23管连接，四级洗涤塔上段10和四级洗涤塔下段13之间通过第二气帽12连通；四级洗涤塔上段10的顶端出气口与气体收集装置的进气口连接。

进一步地，如图1所示，一级管洗器1的顶端进气口与一闪蒸室16的出气口管连接，闪蒸室16用于向一级管洗器1内提供干燥的含氟气体。

进一步地，如图1所示，气体收集装置为除沫塔14，除沫塔14的底端出口与循环槽管连接，本实施例中，优选除沫塔14的底端出口与四级循环槽24管连接。其中，除沫塔14包括塔体和进气管，进气管设于塔体上切线方向，使得经四级洗涤塔上段10的顶端排出的气体切线方向进入除沫塔14内。

进一步地，如图1所示，还包括大气冷凝器15，除沫塔14的顶端出气口与大气冷凝器15的入气口管连接，大气冷凝器用于冷凝经四级洗涤塔上段10的顶端排出的气体中的不凝气体。

进一步地，如图1所示，一级环形喷淋装置6和二级环形喷淋装置4均为全闭合八边形环形喷淋器，全闭合八边形环形喷淋器包括八边形环形分布器，八边形环形分布器安装在二级洗涤塔的外侧壁，八边形环形分布器包括8根中空管状零件，相邻中空管状零件之间通过角度连接头可拆卸连接，1根中空管状零件上设置有进液口，每根中空管状零件上均分布有多个三通出液管，三通出液管的出水口位于二级洗涤塔的内部，其中各角度连接头之间还设有调节段。上述全闭合八边形环形喷淋器为本领域公知的一种喷淋器结构，其具体的结构、工作原理和安装方式均为本领域公知，在此不再赘述。

进一步地，四级环形喷淋装置11同上述一级环形喷淋装置6和二级环形喷淋装置4的结构相同，均为全闭合八边形环形喷淋器，全闭合八边形环形喷淋器包括八边形环形分布器，八边形环形分布器安装在四级洗涤塔上段的外侧壁，八边形环形分布器包括8根中空管状零件，相邻中空管状零件之间通过角度连接头可拆卸连接，1根中空管状零件上设置有进液口，每根中空管状零件上均分布有多个三通出液管，三通出液管的出水口位于四级洗涤塔上段的内部，其中各角度连接头之间还设有调节段。上述全闭合八边形环形喷淋器为本领域公知的一种喷淋器结构，其具体的结构、工作原理和安装方式均为本领域公知，在此不再赘述。

进一步地，本实施例中一级喷淋装置2和三级喷淋装置9均为气体净化喷淋器，气体净化喷淋器上设置有防堵实心锥喷嘴，如图2～4所示，防堵实心锥喷嘴包括导液管和调节套筒，调节套筒的内壁为阶梯状，优选为三阶，调节套筒的大头端与导液管的出液端外部螺纹连接，导液管的出液端内设置有“S”形右隔板和“S”形左隔板，“S”形右隔板和“S”形左隔板均与导液管的轴线垂直，“S”形右隔板和“S”形左隔板的宽度均等于导液管的内孔半径，“S”形左隔板与“S”形右隔板中间固定连接，且“S”形右隔板的上凸面与“S”形左隔板的下凹面相邻，“S”形右隔板的下凹面与“S”形左隔板的上凸面相邻。上述相邻的两“S”形隔板的上凸面和下凹面分别形成两个相邻、方向相反、与导液管轴线垂直的出水口；其中调节套筒的内壁为阶梯状可形成旋涡室，旋转调节套筒，可改变导液管与调节套筒之间的距离，从而改变上述旋涡室的大小，使通过旋涡室的的水流压力发生变化，由于导液管的出水口较大，水流在旋涡室已形成了涡流，使用时能使洗涤液畅通，不容易被堵塞，不偏流，洗涤液喷洒均匀，大大提高了洗涤喷淋效果。上述防堵实心锥喷嘴的具体结构和工作原理已经在专利200720104797.5中公开，在此不再赘述。

进一步地，除沫塔14为网格面折流除沫塔。网格面折流除沫塔包括多个除沫单元，除沫单元是在支承框内设置除沫板，多片除沫板固定连接在支承框内，各片除沫板之间有间隔；其中除沫板沿垂直方向呈直角波纹状，除沫板面不通透，一面为凹凸的网格面,另面为光滑面，连接在支承框内的除沫板的网格面方向一致，由于除沫板上凸的菱形周边形成下凹的网格状，相邻两块除沫板之间形成波纹状的气流通道，气流通道一面为光滑的平面，另一面为网格面。上述网格面折流除沫塔为现有技术中一种常见的除沫塔结构，其具体结构组成以及工作原理均为本领域公知，在此不再赘述。

进一步地，如图1所示，四级循环槽24、三级循环槽23、二级循环槽20以及一级循环槽19顺次管连接，且一级循环槽19还与一贮槽17连接，贮槽17用于收集各循环槽内的洗涤废液，洗涤废液中包含喷淋与含氟气体反应生成的氟硅酸，洗涤废液中18～20％的氟硅酸成品会被储存到贮槽17中。为了保证各循环槽内的水量充足，还可在四级循环槽24后接补水装置，以向各循环槽内及时补水。

下面以喷淋液为水为例对本实施例作具体工艺原理说明。

首先，来自闪蒸室16的含氟气体进入一级吸收段，经过一级管洗器1中的一级喷淋装置2喷淋洗涤后，洗涤废液由一级管洗器1进入一级环形喷淋装置6，气体会顺次进入二级洗涤塔下段7内，由一级环形喷淋装置6再次对气体进行喷淋后，一级环形喷淋装置6喷出形成的洗涤废液回到一级循环槽19内，此吸收段主要完成氟化物的浓缩和取出，其中，期初一级喷淋装置2的喷淋液来源于一级循环槽19；之后含氟气体由第一气帽5上升进入二级洗涤塔上段3内，进入二级吸收段，二级循环槽20内的喷淋液进入到二级环形喷淋装置4内，气体经二级环形喷淋装置4的喷淋洗涤后，由二级吸收段进入到三级管洗器8内，二级洗涤塔上段3内产生的洗涤废液直接回到二级循环槽20，回到二级循环槽20内的洗涤废液中生成的氟化物浓度比一级循环槽19内的稍低；之后来自一级吸收段及二级吸收段洗涤后的含氟气体进入到三级管洗器8后，开始进入三级吸收段，三级循环槽23内的喷淋液进入到三级喷淋装置9内，气体经三级喷淋装置9喷淋洗涤后，气体由三级吸收段进入到四级洗涤塔下段13，而三级管洗器8内产生的洗涤废液也经四级洗涤塔下段13再回到三级循环槽23内，此吸收段主要是将在一、二级吸收段逃逸的氟化物在此处洗涤下来；再之后，气体由四级洗涤塔下段13经过第二气帽12后进入到四级洗涤塔上段10内，进入四级吸收段内进行第四级吸收，四级循环槽24内的喷淋液进入到四级环形喷淋装置11内，含氟气体经四级环形喷淋装置11喷淋洗涤后进入到除沫塔14内，四级洗涤塔上段10内产生的洗涤废液直接再回到四级循环槽24内，此吸收段主要对三级吸收段后气体中微量的氟进行最终清洗。气体在进入到除沫塔14内之后，经过除沫后的不凝气体可排至大气冷凝器15内进行冷凝。

由此可见，本发明提供的多级氟回收系统，结构简单，占地面积小，运行成本低，通过多级的水喷淋处理，利用喷淋装置喷淋的水与含氟尾气反应生成氟硅酸，是一种更为绿色的烟气脱氟工艺，不仅实现了资源回收利用，而且整个氟吸收过程不产生固体废弃物，无二次污染，杜绝了氟下游产品生产过程中所存在的环境污染问题和易爆问题，具有较高的经济效益和环境效益，实用性极强。

需要说明的是，对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

本发明中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种多级氟回收系统，其特征在于：包括气体收集装置和顺次连接的多级吸收段，每级所述吸收段内分别设置有一喷淋装置和一循环槽，含氟气体依次进入各级所述吸收段内进行喷淋洗涤处理，所述循环槽用于收集由所述喷淋装置喷出的洗涤液，且各级所述吸收段内的所述喷淋装置的入水口均与所述循环槽连接；所述气体收集装置设置在各级所述吸收段的尾部，所述气体收集装置用于收集经各级所述吸收段依次处理后的气体。

2.根据权利要求1所述的多级氟回收系统，其特征在于：所述吸收段包括顺次连接的一级吸收段、二级吸收段、三级吸收段和四级吸收段，所述二级吸收段包括二级洗涤塔和二级循环槽，所述二级洗涤塔内分隔为二级洗涤塔上段和二级洗涤塔下段，所述二级洗涤塔上段设置有二级环形喷淋装置，所述二级循环槽的出水管通过二级循环泵与所述二级环形喷淋装置的入水管连接，所述二级洗涤塔上段的底部出口与所述二级循环槽管连接；所述一级吸收段包括一级循环槽、一级管洗器和一级环形喷淋装置，所述一级管洗器内设置有一级喷淋装置，所述一级循环槽的出水管通过一级循环泵与所述一级喷淋装置的入水管连接，所述一级环形喷淋装置设置在所述二级洗涤塔下段内，所述一级管洗器的出水管与所述一级环形喷淋装置的入水管连接，所述二级洗涤塔下段的底端出口与所述一级循环槽管连接，所述二级洗涤塔上段和所述二级洗涤塔下段之间通过第一气帽连通；所述四级吸收段包括四级洗涤塔和四级循环槽，所述四级洗涤塔内分隔为四级洗涤塔上段和四级洗涤塔下段，所述四级洗涤塔上段设置有四级环形喷淋装置，所述四级循环槽的出水管通过四级循环泵与所述四级环形喷淋装置的入水管连接，所述四级洗涤塔上段的底部出口与所述四级循环槽管连接；所述三级吸收段包括三级循环槽、三级管洗器和所述四级洗涤塔下段，所述三级管洗器内设置有三级喷淋装置，所述三级循环槽的出水管通过三级循环泵与所述三级喷淋装置的入水管连接，所述二级洗涤塔上段的顶端出气口与所述三级管洗器的进气口管连接，所述三级管洗器的出水管与所述四级洗涤塔下段的内部连通，所述四级洗涤塔下段的底端出口与所述三级循环槽管连接，所述四级洗涤塔上段和所述四级洗涤塔下段之间通过第二气帽连通；所述四级洗涤塔上段的顶端出气口与所述气体收集装置的进气口连接。

3.根据权利要求2所述的多级氟回收系统，其特征在于：所述一级管洗器的顶端进气口与一闪蒸室的出气口管连接，所述闪蒸室用于向所述一级管洗器内提供含氟气体。

4.根据权利要求1或2所述的多级氟回收系统，其特征在于：所述气体收集装置为除沫塔，所述除沫塔的底端出口与所述循环槽管连接。

5.根据权利要求4所述的多级氟回收系统，其特征在于：还包括大气冷凝器，所述除沫塔的顶端出气口与所述大气冷凝器的入气口管连接，所述大气冷凝器用于冷凝不凝气体。

6.根据权利要求2所述的多级氟回收系统，其特征在于：所述一级环形喷淋装置和所述二级环形喷淋装置均为全闭合八边形环形喷淋器，所述全闭合八边形环形喷淋器包括八边形环形分布器，所述八边形环形分布器安装在所述二级洗涤塔的外侧壁，所述八边形环形分布器包括8根中空管状零件，相邻所述中空管状零件之间通过角度连接头可拆卸连接，1根所述中空管状零件上设置有进液口，每根所述中空管状零件上均分布有多个三通出液管，所述三通出液管的出水口位于所述二级洗涤塔的内部。

7.根据权利要求2所述的多级氟回收系统，其特征在于：所述四级环形喷淋装置为全闭合八边形环形喷淋器，所述全闭合八边形环形喷淋器包括八边形环形分布器，所述八边形环形分布器安装在所述四级洗涤塔上段的外侧壁，所述八边形环形分布器包括8根中空管状零件，相邻所述中空管状零件之间通过角度连接头可拆卸连接，1根所述中空管状零件上设置有进液口，每根所述中空管状零件上均分布有多个三通出液管，所述三通出液管的出水口位于所述四级洗涤塔上段的内部。

8.根据权利要求2所述的多级氟回收系统，其特征在于：所述一级喷淋装置和所述三级喷淋装置均为气体净化喷淋器，所述气体净化喷淋器上设置有防堵实心锥喷嘴，所述防堵实心锥喷嘴包括导液管和调节套筒，所述调节套筒的内壁为阶梯状，所述调节套筒的大头端与所述导液管的出液端外部螺纹连接，所述导液管的出液端内设置有“S”形右隔板和“S”形左隔板，所述“S”形右隔板和所述“S”形左隔板均与所述导液管的轴线垂直，所述“S”形右隔板和所述“S”形左隔板的宽度均等于所述导液管的内孔半径，所述“S”形左隔板与所述“S”形右隔板中间固定连接，且所述“S”形右隔板的上凸面与所述“S”形左隔板的下凹面相邻，所述“S”形右隔板的下凹面与所述“S”形左隔板的上凸面相邻。

9.根据权利要求4所述的多级氟回收系统，其特征在于：所述除沫塔为网格面折流除沫塔。

10.根据权利要求2所述的多级氟回收系统，其特征在于：所述四级循环槽、所述三级循环槽、所述二级循环槽以及所述一级循环槽顺次管连接，且所述一级循环槽还与一贮槽连接，所述贮槽用于收集各循环槽内的洗涤废液。