CN109304818A - 一种用于晶圆流片制造的切段装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 28
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 33
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 33
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 33
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 33
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 9
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000002224 dissection Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 4
- 230000004224 protection Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
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Abstract
本发明涉及晶圆流片制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片制造的切段装置，其可以方便将单晶硅棒按照要求切割成规定长度的单晶硅段，降低使用局限性；并且可以方便控制切割刀移动的方向，减少切割偏移的现象，减少资源浪费，提高使用可靠性；包括工作台、四组支腿、切割刀和两组刀柄；还包括左弧形连接板、右弧形连接板、四组限位螺纹杆、支撑板和四组固定螺母，工作台包括上平台和下平台，还包括压板、四组固定弹簧和缓冲垫；还包括前调节螺纹杆、后调节螺纹杆、两组前齿轮、两组后齿轮、两组传动齿轮、两组固定杆和两组固定球，两组刀柄上分别设置有两组移动环。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆流片制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片制造的切段装置。
背景技术
众所周知，用于晶圆流片制造的切段装置是一种用于晶圆流片生产制造过程中，在将多晶硅融解拉出单晶硅棒后，对其进行切段处理，以方便其后续切割成晶圆流片的附属装置，其在晶圆流片生产的领域中得到了广泛的使用；现有的用于晶圆流片制造的切段装置包括工作台、四组支腿、切割刀和两组刀柄，四组支腿顶端分别安装在工作台底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧，两组刀柄分别安装在切割刀前端和后端；现有的用于晶圆流片制造的切段装置使用时，将所需要进行切段的单晶硅棒放置于工作台上，工作人员手持刀柄，将切割刀靠近单晶硅棒，使用切割刀对单晶硅棒进行切段处理；现有的用于晶圆流片制造的切段装置使用中发现，其不方便将单晶硅棒按照要求切割成规定长度的单晶硅段，使用局限性较高；并且其不方便控制切割刀移动的方向，容易出现切割偏移的现象，造成资源浪费，从而导致其使用可靠性较差。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种可以方便将单晶硅棒按照要求切割成规定长度的单晶硅段，降低使用局限性；并且可以方便控制切割刀移动的方向，减少切割偏移的现象，减少资源浪费，提高使用可靠性的用于晶圆流片制造的切段装置。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，包括工作台、四组支腿、切割刀和两组刀柄，两组刀柄分别安装在切割刀前端和后端；还包括左弧形连接板、右弧形连接板、四组限位螺纹杆、支撑板和四组固定螺母，所述工作台包括上平台和下平台，所述左弧形连接板和右弧形连接板两端分别与上平台和下平台左端和右端连接，所述四组支腿顶端分别与下平台底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述四组限位螺纹杆顶端分别与下平台底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述支撑板左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组通孔，所述四组限位螺纹杆底端分别穿过四组通孔，所述四组固定螺母分别螺装至四组限位螺纹杆上，所述上平台和下平台上分别设置有多组上穿孔和多组下穿孔，还包括压板、四组固定弹簧和缓冲垫，所述四组固定弹簧顶端和底端分别与压板底部和上平台顶部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述缓冲垫安装在压板底部；还包括前调节螺纹杆、后调节螺纹杆、两组前齿轮、两组后齿轮、两组传动齿轮、两组固定杆和两组固定球，所述左弧形连接板和右弧形连接板前半区域和后半区域分别设置有两组左连接孔和两组右连接孔，所述前调节螺纹杆和后调节螺纹杆左端和右端分别穿过两组左连接孔和两组右连接孔，所述两组前齿轮和两组后齿轮分别安装在前调节螺纹杆和后调节螺纹杆左端和右端，所述左弧形连接板和右弧形连接板中央区域分别设置有两组固定孔，所述两组固定杆一端分别与两组传动齿轮中央区域连接，并且两组固定杆另一端分别穿过两组固定孔并与两组固定球连接，所述两组传动齿轮分别与两组前齿轮和两组后齿轮啮合，所述两组前齿轮和两组后齿轮上分别设置有两组前旋转把手和两组后旋转把手，所述两组刀柄上分别设置有两组移动环，所述两组移动环上分别设置有与前调节螺纹杆和后调节螺纹杆相对应的内螺纹，所述前调节螺纹杆和后调节螺纹杆分别螺装通过两组移动环，所述切割刀位于上平台和下平台之间。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括两组左拉绳、两组右拉绳、两组固定板和卷轴，所述压板左半区域和右半区域分别设置有两组左抽拉孔和两组右抽拉孔，所述两组左拉绳和两组右拉绳一端分别穿过两组左抽拉孔和两组右抽拉孔并与上台面顶部连接，所述两组固定板分别安装在压板顶部前半区域和后半区域，并在两组固定板上分别设置有两组圆孔，所述卷轴前端和后端分别穿过两组圆孔，并在卷轴前端和后端分别设置有两组旋转板，所述两组旋转板底部分别设置有两组转动把手，所述两组左拉绳和两组右拉绳另一端均缠绕固定在卷轴上。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括多组第一滚珠，所述两组左连接孔、两组右连接孔和两组固定孔内侧壁上分别设置有多组第一弧形槽，所述多组第一滚珠分别位于多组第一弧形槽内，并且多组第一滚珠分别与前调节螺纹杆、后调节螺纹杆和两组固定杆外壁接触。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括连接齿轮、连接轴和挡块，所述支撑板中央区域设置有连接孔，所述连接轴顶端穿过连接孔并与挡块底部中央区域连接，所述连接齿轮安装在连接轴底端，所述四组固定螺母外壁上均设置有与连接齿轮相对应的齿纹，并且四组固定螺母均与连接齿轮啮合。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括多组第二滚珠，所述挡块底部和连接孔处内侧壁上分别设置有多组第二弧形槽，所述多组第二滚珠分别位于多组第二弧形槽内，并且多组第二滚珠分别与支撑板顶部和连接轴外壁接触。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括多组防滑垫，所述多组防滑垫分别安装在多组上穿孔和多组下穿孔内侧壁上。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括四组挡板，所述四组挡板分别安装在四组限位螺纹杆底端。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括两组左保护垫和两组右保护垫，所述两组左保护垫和两组右保护垫分别安装在两组左抽拉孔和两组右抽拉孔内侧壁上，并且两组左保护垫和两组右保护垫分别与两组左拉绳和两组右拉绳接触。
与现有技术相比本发明的有益效果为：可以上抬压板，拉伸四组固定弹簧，将多组单晶硅棒分别穿过多组上穿孔和多组下穿孔，使多组单晶硅棒底端均与支撑板顶部接触，并放松压板，压板在四组支撑弹簧的弹力作用下向下移动并与多组单晶硅棒顶部接触，并同时转动四组固定螺母，使支撑板沿四组限位螺纹杆向上或向下移动，调节单晶硅棒底端与所需要切割处之间的距离，即与规定长度相同，进而可以方便将单晶硅棒按照要求切割成规定长度的单晶硅段，降低使用局限性；并且可以在固定多组单晶硅棒的位置后，转动两组前旋转把手或两组后旋转把手，从而转动两组前齿轮或两组后齿轮，使两组后齿轮或两组前齿轮在两组传动齿轮的带动下随两组前齿轮和两组后齿轮一同转动，从而可以使两组移动环沿前调节螺纹杆和后调节螺纹杆向左移动，从而可以使两组刀柄带动切割刀沿前调节螺纹杆和后调节螺纹杆在上平台和下平台之间移动，方便控制切割刀移动的方向，通过切割刀对多组单晶硅棒进行切割，切割刀在移动过程中不会发生偏移，从而可以减少切割偏移的现象，减少资源浪费，提高使用可靠性。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是左弧形连接板、传动齿轮、固定杆、固定球和第一滚珠的连接示意图；
图3是切割刀、两组刀柄和两组移动环的连接示意俯视图；
图4是图1中A部的局部放大图；
附图中标记：1、支腿；2、切割刀；3、刀柄；4、左弧形连接板；5、限位螺纹杆；6、支撑板；7、固定螺母；8、上平台；9、压板；10、固定弹簧；11、缓冲垫；12、前调节螺纹杆；13、前齿轮；14、传动齿轮；15、固定杆；16、固定球；17、前旋转把手；18、移动环；19、右拉绳；20、固定板；21、卷轴；22、转动把手；23、第一滚珠；24、连接齿轮；25、连接轴；26、挡块；27、第二滚珠；28、防滑垫；29、挡板；30、右保护垫；31、旋转板。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1至图4所示，本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，包括工作台、四组支腿1、切割刀2和两组刀柄3，两组刀柄3分别安装在切割刀2前端和后端；还包括左弧形连接板4、右弧形连接板、四组限位螺纹杆5、支撑板6和四组固定螺母7，工作台包括上平台8和下平台，左弧形连接板4和右弧形连接板两端分别与上平台8和下平台左端和右端连接，四组支腿1顶端分别与下平台底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，四组限位螺纹杆5顶端分别与下平台底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，支撑板6左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组通孔，四组限位螺纹杆5底端分别穿过四组通孔，四组固定螺母7分别螺装至四组限位螺纹杆5上，上平台8和下平台上分别设置有多组上穿孔和多组下穿孔，还包括压板9、四组固定弹簧10和缓冲垫11，四组固定弹簧10顶端和底端分别与压板9底部和上平台8顶部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，缓冲垫11安装在压板9底部；还包括前调节螺纹杆12、后调节螺纹杆、两组前齿轮13、两组后齿轮、两组传动齿轮14、两组固定杆15和两组固定球16，左弧形连接板4和右弧形连接板前半区域和后半区域分别设置有两组左连接孔和两组右连接孔，前调节螺纹杆12和后调节螺纹杆左端和右端分别穿过两组左连接孔和两组右连接孔，两组前齿轮13和两组后齿轮分别安装在前调节螺纹杆12和后调节螺纹杆左端和右端，左弧形连接板4和右弧形连接板中央区域分别设置有两组固定孔，两组固定杆15一端分别与两组传动齿轮14中央区域连接，并且两组固定杆15另一端分别穿过两组固定孔并与两组固定球16连接，两组传动齿轮14分别与两组前齿轮13和两组后齿轮啮合，两组前齿轮13和两组后齿轮上分别设置有两组前旋转把手17和两组后旋转把手，两组刀柄3上分别设置有两组移动环18，两组移动环18上分别设置有与前调节螺纹杆12和后调节螺纹杆相对应的内螺纹，前调节螺纹杆12和后调节螺纹杆分别螺装通过两组移动环18，切割刀2位于上平台8和下平台之间；可以上抬压板，拉伸四组固定弹簧，将多组单晶硅棒分别穿过多组上穿孔和多组下穿孔，使多组单晶硅棒底端均与支撑板顶部接触，并放松压板，压板在四组支撑弹簧的弹力作用下向下移动并与多组单晶硅棒顶部接触，并同时转动四组固定螺母，使支撑板沿四组限位螺纹杆向上或向下移动，调节单晶硅棒底端与所需要切割处之间的距离，即与规定长度相同，进而可以方便将单晶硅棒按照要求切割成规定长度的单晶硅段，降低使用局限性；并且可以在固定多组单晶硅棒的位置后，转动两组前旋转把手或两组后旋转把手，从而转动两组前齿轮或两组后齿轮，使两组后齿轮或两组前齿轮在两组传动齿轮的带动下随两组前齿轮和两组后齿轮一同转动，从而可以使两组移动环沿前调节螺纹杆和后调节螺纹杆向左移动，从而可以使两组刀柄带动切割刀沿前调节螺纹杆和后调节螺纹杆在上平台和下平台之间移动，方便控制切割刀移动的方向，通过切割刀对多组单晶硅棒进行切割，切割刀在移动过程中不会发生偏移，从而可以减少切割偏移的现象，减少资源浪费，提高使用可靠性。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括两组左拉绳、两组右拉绳19、两组固定板20和卷轴21，压板9左半区域和右半区域分别设置有两组左抽拉孔和两组右抽拉孔，两组左拉绳和两组右拉绳19一端分别穿过两组左抽拉孔和两组右抽拉孔并与上台面顶部连接，两组固定板20分别安装在压板9顶部前半区域和后半区域，并在两组固定板20上分别设置有两组圆孔，卷轴21前端和后端分别穿过两组圆孔，并在卷轴21前端和后端分别设置有两组旋转板31，两组旋转板31底部分别设置有两组转动把手22，两组左拉绳和两组右拉绳19另一端均缠绕固定在卷轴21上；在单晶硅棒较短时，可以转动两组旋转把手，使两组旋转板带动卷轴转动并将两组左拉绳和两组右拉绳缠绕在卷轴上，从而使压板压缩四组支撑弹簧，方便固定较短的单晶硅棒的位置。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括多组第一滚珠23，两组左连接孔、两组右连接孔和两组固定孔内侧壁上分别设置有多组第一弧形槽，多组第一滚珠23分别位于多组第一弧形槽内，并且多组第一滚珠23分别与前调节螺纹杆12、后调节螺纹杆和两组固定杆15外壁接触；在转动前调节螺纹杆、后调节螺纹杆和两组固定杆时，可以通过多组第一滚珠的滚动减小前调节螺纹杆、后调节螺纹杆和两组固定杆与左弧形连接板和右弧形连接板之间的摩擦力，从而可以方便前调节螺纹杆、后调节螺纹杆和两组固定杆的转动。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括连接齿轮24、连接轴25和挡块26，支撑板6中央区域设置有连接孔，连接轴25顶端穿过连接孔并与挡块26底部中央区域连接，连接齿轮24安装在连接轴25底端，四组固定螺母7外壁上均设置有与连接齿轮24相对应的齿纹，并且四组固定螺母7均与连接齿轮24啮合；由于连接齿轮与四组固定螺母同时啮合，故在转动任意一组固定螺母时，连接齿轮随转动的一组固定螺母一同转动，从而带动另外三组固定螺母同时转动，即可使四组固定螺母同时上升或下降等同的距离，以方便支撑板水平上升或下降。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括多组第二滚珠27，挡块26底部和连接孔处内侧壁上分别设置有多组第二弧形槽，多组第二滚珠27分别位于多组第二弧形槽内，并且多组第二滚珠27分别与支撑板6顶部和连接轴25外壁接触；在连接齿轮转动时，可以通过多组第二滚珠的滚动减小连接轴与连接孔处内侧壁之间和挡块与支撑板顶部之间的摩擦力，从而可以方便连接齿轮的转动。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括多组防滑垫28，多组防滑垫28分别安装在多组上穿孔和多组下穿孔内侧壁上；可以通过多组防滑垫增强插入多组上穿孔和多组下穿孔内的单晶硅棒与多组上穿孔和多组下穿孔内侧壁之间的摩擦力，并且可以减少单晶硅棒的左右晃动，提高切割效果。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括四组挡板29，四组挡板29分别安装在四组限位螺纹杆5底端；可以通过四组挡板减少四组固定螺母由四组限位螺纹杆上掉落。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，还包括两组左保护垫和两组右保护垫30，两组左保护垫和两组右保护垫30分别安装在两组左抽拉孔和两组右抽拉孔内侧壁上，并且两组左保护垫和两组右保护垫30分别与两组左拉绳和两组右拉绳19接触；可以通过两组左保护垫和两组右保护垫对两组左拉绳和两组右拉绳起到一定的保护作用，在两组左拉绳和两组右拉绳反复通过两组左抽拉孔和两组右抽拉孔时，减少对两组左拉绳和两组右拉绳的损坏。
本发明的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其在工作时，可以上抬压板，拉伸四组固定弹簧，将多组单晶硅棒分别穿过多组上穿孔和多组下穿孔，使多组单晶硅棒底端均与支撑板顶部接触，并放松压板，压板在四组支撑弹簧的弹力作用下向下移动并与多组单晶硅棒顶部接触，并同时转动四组固定螺母，使支撑板沿四组限位螺纹杆向上或向下移动，调节单晶硅棒底端与所需要切割处之间的距离，即与规定长度相同，进而可以方便将单晶硅棒按照要求切割成规定长度的单晶硅段，降低使用局限性；并且可以在固定多组单晶硅棒的位置后，转动两组前旋转把手或两组后旋转把手，从而转动两组前齿轮或两组后齿轮，使两组后齿轮或两组前齿轮在两组传动齿轮的带动下随两组前齿轮和两组后齿轮一同转动，从而可以使两组移动环沿前调节螺纹杆和后调节螺纹杆向左移动，从而可以使两组刀柄带动切割刀沿前调节螺纹杆和后调节螺纹杆在上平台和下平台之间移动，方便控制切割刀移动的方向，通过切割刀对多组单晶硅棒进行切割，切割刀在移动过程中不会发生偏移，从而可以减少切割偏移的现象，减少资源浪费，提高使用可靠性，在单晶硅棒较短时，可以转动两组旋转把手，使两组旋转板带动卷轴转动并将两组左拉绳和两组右拉绳缠绕在卷轴上，从而使压板压缩四组支撑弹簧，方便固定较短的单晶硅棒的位置，在转动前调节螺纹杆、后调节螺纹杆和两组固定杆时，可以通过多组第一滚珠的滚动减小前调节螺纹杆、后调节螺纹杆和两组固定杆与左弧形连接板和右弧形连接板之间的摩擦力，从而可以方便前调节螺纹杆、后调节螺纹杆和两组固定杆的转动，由于连接齿轮与四组固定螺母同时啮合，故在转动任意一组固定螺母时，连接齿轮随转动的一组固定螺母一同转动，从而带动另外三组固定螺母同时转动，即可使四组固定螺母同时上升或下降等同的距离，以方便支撑板水平上升或下降，在连接齿轮转动时，可以通过多组第二滚珠的滚动减小连接轴与连接孔处内侧壁之间和挡块与支撑板顶部之间的摩擦力，从而可以方便连接齿轮的转动，可以通过多组防滑垫增强插入多组上穿孔和多组下穿孔内的单晶硅棒与多组上穿孔和多组下穿孔内侧壁之间的摩擦力，并且可以减少单晶硅棒的左右晃动，提高切割效果，可以通过四组挡板减少四组固定螺母由四组限位螺纹杆上掉落，可以通过两组左保护垫和两组右保护垫对两组左拉绳和两组右拉绳起到一定的保护作用，在两组左拉绳和两组右拉绳反复通过两组左抽拉孔和两组右抽拉孔时，减少对两组左拉绳和两组右拉绳的损坏。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
Claims (8)
1.一种用于晶圆流片制造的切段装置，包括工作台、四组支腿（1）、切割刀（2）和两组刀柄（3），两组刀柄（3）分别安装在切割刀（2）前端和后端；其特征在于，还包括左弧形连接板（4）、右弧形连接板、四组限位螺纹杆（5）、支撑板（6）和四组固定螺母（7），所述工作台包括上平台（8）和下平台，所述左弧形连接板（4）和右弧形连接板两端分别与上平台（8）和下平台左端和右端连接，所述四组支腿（1）顶端分别与下平台底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述四组限位螺纹杆（5）顶端分别与下平台底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述支撑板（6）左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组通孔，所述四组限位螺纹杆（5）底端分别穿过四组通孔，所述四组固定螺母（7）分别螺装至四组限位螺纹杆（5）上，所述上平台（8）和下平台上分别设置有多组上穿孔和多组下穿孔，还包括压板（9）、四组固定弹簧（10）和缓冲垫（11），所述四组固定弹簧（10）顶端和底端分别与压板（9）底部和上平台（8）顶部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述缓冲垫（11）安装在压板（9）底部；还包括前调节螺纹杆（12）、后调节螺纹杆、两组前齿轮（13）、两组后齿轮、两组传动齿轮（14）、两组固定杆（15）和两组固定球（16），所述左弧形连接板（4）和右弧形连接板前半区域和后半区域分别设置有两组左连接孔和两组右连接孔，所述前调节螺纹杆（12）和后调节螺纹杆左端和右端分别穿过两组左连接孔和两组右连接孔，所述两组前齿轮（13）和两组后齿轮分别安装在前调节螺纹杆（12）和后调节螺纹杆左端和右端，所述左弧形连接板（4）和右弧形连接板中央区域分别设置有两组固定孔，所述两组固定杆（15）一端分别与两组传动齿轮（14）中央区域连接，并且两组固定杆（15）另一端分别穿过两组固定孔并与两组固定球（16）连接，所述两组传动齿轮（14）分别与两组前齿轮（13）和两组后齿轮啮合，所述两组前齿轮（13）和两组后齿轮上分别设置有两组前旋转把手（17）和两组后旋转把手，所述两组刀柄（3）上分别设置有两组移动环（18），所述两组移动环（18）上分别设置有与前调节螺纹杆（12）和后调节螺纹杆相对应的内螺纹，所述前调节螺纹杆（12）和后调节螺纹杆分别螺装通过两组移动环（18），所述切割刀（2）位于上平台（8）和下平台之间。
2.如权利要求1所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括两组左拉绳、两组右拉绳（19）、两组固定板（20）和卷轴（21），所述压板（9）左半区域和右半区域分别设置有两组左抽拉孔和两组右抽拉孔，所述两组左拉绳和两组右拉绳（19）一端分别穿过两组左抽拉孔和两组右抽拉孔并与上台面顶部连接，所述两组固定板（20）分别安装在压板（9）顶部前半区域和后半区域，并在两组固定板（20）上分别设置有两组圆孔，所述卷轴（21）前端和后端分别穿过两组圆孔，并在卷轴（21）前端和后端分别设置有两组旋转板（31），所述两组旋转板（31）底部分别设置有两组转动把手（22），所述两组左拉绳和两组右拉绳（19）另一端均缠绕固定在卷轴（21）上。
3.如权利要求2所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括多组第一滚珠（23），所述两组左连接孔、两组右连接孔和两组固定孔内侧壁上分别设置有多组第一弧形槽，所述多组第一滚珠（23）分别位于多组第一弧形槽内，并且多组第一滚珠（23）分别与前调节螺纹杆（12）、后调节螺纹杆和两组固定杆（15）外壁接触。
4.如权利要求3所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括连接齿轮（24）、连接轴（25）和挡块（26），所述支撑板（6）中央区域设置有连接孔，所述连接轴（25）顶端穿过连接孔并与挡块（26）底部中央区域连接，所述连接齿轮（24）安装在连接轴（25）底端，所述四组固定螺母（7）外壁上均设置有与连接齿轮（24）相对应的齿纹，并且四组固定螺母（7）均与连接齿轮（24）啮合。
5.如权利要求4所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括多组第二滚珠（27），所述挡块（26）底部和连接孔处内侧壁上分别设置有多组第二弧形槽，所述多组第二滚珠（27）分别位于多组第二弧形槽内，并且多组第二滚珠（27）分别与支撑板（6）顶部和连接轴（25）外壁接触。
6.如权利要求5所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括多组防滑垫（28），所述多组防滑垫（28）分别安装在多组上穿孔和多组下穿孔内侧壁上。
7.如权利要求6所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括四组挡板（29），所述四组挡板（29）分别安装在四组限位螺纹杆（5）底端。
8.如权利要求7所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括两组左保护垫和两组右保护垫（30），所述两组左保护垫和两组右保护垫（30）分别安装在两组左抽拉孔和两组右抽拉孔内侧壁上，并且两组左保护垫和两组右保护垫（30）分别与两组左拉绳和两组右拉绳（19）接触。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811208663.7A CN109304818B (zh) | 2018-10-17 | 一种用于晶圆流片制造的切段装置 |
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109304818A true CN109304818A (zh) | 2019-02-05 |
| CN109304818B CN109304818B (zh) | 2024-10-22 |
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