CN109234675A - 一种太阳能真空管选择性吸收涂层及其制备方法 - Google Patents

一种太阳能真空管选择性吸收涂层及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109234675A
CN109234675A CN201811009800.4A CN201811009800A CN109234675A CN 109234675 A CN109234675 A CN 109234675A CN 201811009800 A CN201811009800 A CN 201811009800A CN 109234675 A CN109234675 A CN 109234675A
Authority
CN
China
Prior art keywords
layer
solar energy
vacuum tube
selective absorption
coating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201811009800.4A
Other languages
English (en)
Inventor
芮唐明
黄华叶
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu Jing Zhan Energy Technology Co Ltd
Original Assignee
Jiangsu Jing Zhan Energy Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Jing Zhan Energy Technology Co Ltd filed Critical Jiangsu Jing Zhan Energy Technology Co Ltd
Priority to CN201811009800.4A priority Critical patent/CN109234675A/zh
Publication of CN109234675A publication Critical patent/CN109234675A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/28Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
    • C23C14/30Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0635Carbides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • C23C14/0652Silicon nitride
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明公开了一种太阳能真空管选择性吸收涂层及其制备方法,所述涂层包括依次涂布于基体表面的粘结层、红外反射层、吸收层和减反射层,其特征在于,所述红外反射层为Cu‑Cr薄膜,所述吸收层为Cr3C2和Si3N4的金属陶瓷层,所述减反射层为Si3N4膜。所述涂层吸收效率高,光学性能优异,原料成本低。其制备方法采用电子束蒸发镀膜工艺,成本低廉,适于推广。

Description

一种太阳能真空管选择性吸收涂层及其制备方法
技术领域
本发明属于太阳能真空管制备领域,具体涉及一种太阳能真空管选择性吸收涂层及其制备方法。
背景技术
太阳能是一种取之不尽用之不竭的清洁能源,然而由于其到达地球后的能量密度比较低,给大规模的开发利用带来一定的困难,这就决定了将太阳能直接用于日常生活和工业生产之前,必须提高其能量密度。太阳能选择性吸收涂层对可见光的吸收率很高,而自身的红外辐射率却很低,能够把能量密度较低的太阳能转换为高能量密度的热能,对太阳能起到富集的作用。因此,制备高效的太阳能选择性吸收涂层是太阳能热利用中的关键技术,对提高集热器效率至关重要。
太阳能热水器就是一种常见的集热器,太阳能热水器真空管是太阳能热水器的核心元件,被誉为太阳能热水器的“心脏”,真空管质量的优劣直接影响到太阳能热水器的使用寿命和性能。而选择性吸收涂层一般涂布于真空管的内玻璃管的外表面,其吸收效率直接影响太阳能真空管的性能。
现有技术中的选择性吸收涂层大都生产设备昂贵,原料成本偏高,某些原料甚至会产生环境污染。解决这些问题,需要对材料、结构以及制备工艺进行更深入、系统地研究和分析。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供了一种太阳能真空管选择性吸收涂层及其制备方法,所述涂层吸收效率高,其制备方法简单,原料成本低,易于推广。
本发明是通过以下技术方案实现的:
一种太阳能真空管选择性吸收涂层,包括依次涂布于基体表面的粘结层、红外反射层、吸收层和减反射层,所述红外反射层为Cu-Cr薄膜,所述吸收层为Cr3C2和Si3N4的金属陶瓷层,所述减反射层为Si3N4膜。
进一步地,所述基体为Cu片。
进一步地,所述粘结层为Cu-Cr合金。
进一步地,所述吸收层中,Cr3C2的含量为30~35wt%。
一种太阳能真空管选择性吸收涂层的制备方法,包括以下步骤:
步骤1)对基体继续预处理;
步骤2)将经步骤1)处理过的基体置于电子束加热装置中,将粘结层和红外反射层材料置于水冷的坩埚中,对装置进行抽真空处理,在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料,使材料气化并向基体输运,在基体表面镀上粘结层和红外反射层;
步骤3)再运用电子束蒸发镀膜工艺在步骤2)所述红外反射层上镀上吸收层;
步骤4)最后将剩余的吸收层材料沉积在吸收层表面形成减反射层。
进一步地,步骤2)所述抽真空处理,真空度为1×10-4Pa以下。
本发明的有益效果如下:
本发明的太阳能真空管选择性吸收涂层,采用Cu-Cr合金薄膜作为红外反射层,降低了涂层的热发射率,采用Cr3C2/Si3N4复合材料作为吸收层,有效提高了涂层的吸收率。该制备方法采用电子束蒸发镀膜工艺,工艺简单,成本低廉,适于推广。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明做进一步阐述。
实施例1
一种太阳能真空管选择性吸收涂层,包括基体,基体表面由内至外依次涂布有粘结层、红外反射层、吸收层和减反射层。
所述基体可采用Cu片,所述粘结层为Cu-Cr合金,所述红外反射层为Cu-Cr薄膜,所述吸收层为Cr3C2和Si3N4的金属陶瓷层,所述减反射层为Si3N4膜。
其中,所述吸收层中,Cr3C2的含量约为30wt%。
其制备方法包括以下步骤:
(1)对基体Cu片进行预处理,先将Cu片表面抛光,再用去离子水进行超声波清洗,时间约5~10min,最后烘干。
(2)将预处理过的Cu片置于电子束加热装置中,将Cu-Cr合金材料置于水冷的坩埚中,对装置进行抽真空至1×10-4Pa以下,以确保镀膜过程和成膜质量,在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发Cu-Cr合金材料,使材料气化并向Cu片输运,在Cu片表面镀上Cu-Cr合金粘结层,厚度约为20nm,再继续镀上Cu-Cr薄膜作为红外反射层,厚度约为100nm。
(3)将配比好的Cr3C2和Si3N4材料(Cr3C2的含量约为30wt%)置于电子束加热装置中的水冷坩埚中,对装置进行抽真空至1×10-4Pa以下,继续运用电子束蒸发镀膜工艺在红外反射层上镀上Cr3C2/Si3N4金属陶瓷层作为吸收层,厚度约为60nm。
(4)最后将剩余的Si3N4沉积在吸收层表面形成减反射层,厚度约为40nm。
实施例2
一种太阳能真空管选择性吸收涂层,与实施例1的不同之处在于,所述吸收层中,Cr3C2的含量约为35wt%。
其制备方法包括以下步骤:
(1)对基体Cu片进行预处理,先将Cu片表面抛光,再用去离子水进行超声波清洗,时间约5~10min,最后烘干。
(2)将预处理过的Cu片置于电子束加热装置中,将Cu-Cr合金材料置于水冷的坩埚中,对装置进行抽真空至1×10-4Pa以下,以确保镀膜过程和成膜质量,在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发Cu-Cr合金材料,使材料气化并向Cu片输运,在Cu片表面镀上Cu-Cr合金粘结层,厚度约为50nm,再继续镀上Cu-Cr薄膜作为红外反射层,厚度约为350nm。
(3)将配比好的Cr3C2和Si3N4材料(Cr3C2的含量约为35wt%)置于电子束加热装置中的水冷坩埚中,对装置进行抽真空至1×10-4Pa以下,继续运用电子束蒸发镀膜工艺在红外反射层上镀上Cr3C2/Si3N4金属陶瓷层作为吸收层,厚度约为180nm。
(4)最后将剩余的Si3N4沉积在吸收层表面形成减反射层,厚度约为80nm。
实施例3
一种太阳能真空管选择性吸收涂层,与实施例1的不同之处在于,所述吸收层中,Cr3C2的含量约为32wt%。
其制备方法包括以下步骤:
(1)对基体Cu片进行预处理,先将Cu片表面抛光,再用去离子水进行超声波清洗,时间约5~10min,最后烘干。
(2)将预处理过的Cu片置于电子束加热装置中,将Cu-Cr合金材料置于水冷的坩埚中,对装置进行抽真空至1×10-4Pa以下,以确保镀膜过程和成膜质量,在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发Cu-Cr合金材料,使材料气化并向Cu片输运,在Cu片表面镀上Cu-Cr合金粘结层,厚度约为40nm,再继续镀上Cu-Cr薄膜作为红外反射层,厚度约为280nm。
(3)将配比好的Cr3C2和Si3N4材料(Cr3C2的含量约为35wt%)置于电子束加热装置中的水冷坩埚中,对装置进行抽真空至1×10-4Pa以下,继续运用电子束蒸发镀膜工艺在红外反射层上镀上Cr3C2/Si3N4金属陶瓷层作为吸收层,厚度约为120nm。
(4)最后将剩余的Si3N4沉积在吸收层表面形成减反射层,厚度约为60nm。
测试例1
对实施例1~3制得的太阳能真空管选择性吸收涂层进行吸收性能测试,测试结果如下表1。
表1吸收性能测试
项目 实施例1 实施例2 实施例3
吸收率(α) 0.924 0.938 0.941
发射率(ε) 0.076 0.062 0.059

Claims (6)

1.一种太阳能真空管选择性吸收涂层,包括依次涂布于基体表面的粘结层、红外反射层、吸收层和减反射层,其特征在于,所述红外反射层为Cu-Cr薄膜,所述吸收层为Cr3C2和Si3N4的金属陶瓷层,所述减反射层为Si3N4膜。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能真空管选择性吸收涂层,其特征在于,所述基体为Cu片。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能真空管选择性吸收涂层,其特征在于,所述粘结层为Cu-Cr合金。
4.根据权利要求1所述的一种太阳能真空管选择性吸收涂层,其特征在于,所述吸收层中,Cr3C2的含量为30~35wt%。
5.权利要求1所述的一种太阳能真空管选择性吸收涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1)对基体继续预处理;
步骤2)将经步骤1)处理过的基体置于电子束加热装置中,将粘结层和红外反射层材料置于水冷的坩埚中,对装置进行抽真空处理,在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料,使材料气化并向基体输运,在基体表面镀上粘结层和红外反射层;
步骤3)再运用电子束蒸发镀膜工艺在步骤2)所述红外反射层上镀上吸收层;
步骤4)最后将剩余的吸收层材料沉积在吸收层表面形成减反射层。
6.根据权利要求5所述的一种太阳能真空管选择性吸收涂层的制备方法,其特征在于,步骤2)所述抽真空处理,真空度为1×10-4Pa以下。
CN201811009800.4A 2018-08-31 2018-08-31 一种太阳能真空管选择性吸收涂层及其制备方法 Pending CN109234675A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811009800.4A CN109234675A (zh) 2018-08-31 2018-08-31 一种太阳能真空管选择性吸收涂层及其制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811009800.4A CN109234675A (zh) 2018-08-31 2018-08-31 一种太阳能真空管选择性吸收涂层及其制备方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109234675A true CN109234675A (zh) 2019-01-18

Family

ID=65068132

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811009800.4A Pending CN109234675A (zh) 2018-08-31 2018-08-31 一种太阳能真空管选择性吸收涂层及其制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109234675A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109825829A (zh) * 2019-04-11 2019-05-31 新余学院 一种双相碳化物金属陶瓷太阳能选择性吸收复合涂层的制备方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102615879A (zh) * 2012-03-23 2012-08-01 北京桑达太阳能技术有限公司 NiCr系平板太阳能光谱选择性吸收涂层及其制备方法
CN103808048A (zh) * 2012-11-12 2014-05-21 北京有色金属研究总院 一种高温太阳光谱选择性吸收涂层
CN104976802A (zh) * 2014-04-11 2015-10-14 太浩科技有限公司 一种太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法
US20150316289A1 (en) * 2014-04-11 2015-11-05 Tahoe Technologies, Ltd. Solar spectrum selective absorption coating and its manufacturing method
CN105177497A (zh) * 2014-06-12 2015-12-23 佛山圣哥拉太阳能科技有限公司 一种干涉型太阳能选择性吸热涂层

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102615879A (zh) * 2012-03-23 2012-08-01 北京桑达太阳能技术有限公司 NiCr系平板太阳能光谱选择性吸收涂层及其制备方法
CN103808048A (zh) * 2012-11-12 2014-05-21 北京有色金属研究总院 一种高温太阳光谱选择性吸收涂层
CN104976802A (zh) * 2014-04-11 2015-10-14 太浩科技有限公司 一种太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法
US20150316289A1 (en) * 2014-04-11 2015-11-05 Tahoe Technologies, Ltd. Solar spectrum selective absorption coating and its manufacturing method
CN105177497A (zh) * 2014-06-12 2015-12-23 佛山圣哥拉太阳能科技有限公司 一种干涉型太阳能选择性吸热涂层

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109825829A (zh) * 2019-04-11 2019-05-31 新余学院 一种双相碳化物金属陶瓷太阳能选择性吸收复合涂层的制备方法
CN109825829B (zh) * 2019-04-11 2020-10-09 新余学院 一种双相碳化物金属陶瓷太阳能选择性吸收复合涂层的制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101561194B (zh) 太阳能集热器
CN101762081B (zh) 金属-玻璃套装集热管集热模块
CN101769648A (zh) 一种选择性太阳能光热吸收涂层
CN105970175B (zh) 一种碳化钛-碳化锆高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法
CN109234675A (zh) 一种太阳能真空管选择性吸收涂层及其制备方法
CN105779926B (zh) 制备用于大气环境下高温太阳能选择性吸收涂层的新工艺
CN102109236A (zh) 铜铝复合涂层蒸汽驱动式太阳真空集热管
CN211503324U (zh) 均流正压单排式太阳能/空气能蒸发集热器
CN105568238B (zh) 具有太阳能选择性吸收薄膜膜系的制备方法
CN201344668Y (zh) 一种选择性太阳能光热吸收复合涂层
CN103525377B (zh) 集热材料的制备方法及具有该集热材料的集热板和集热器
CN103963387B (zh) 一种高吸热低反射蓝膜镀膜玻璃及其制造方法
CN102494412A (zh) 一种平板型太阳能集热器
CN103234292B (zh) 一种太阳能光热转换薄膜的膜系结构的制备方法
CN106086882A (zh) 一种碳化钛‑碳化钨紫色太阳能选择性吸收涂层及其制备方法
CN201917132U (zh) 一种太阳能集热器用防过热膜层
CN101423934A (zh) 一种太阳集热管增透涂层的制备方法
CN201344667Y (zh) 一种选择性太阳能光热吸收涂层
CN106568207A (zh) 高温太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法
CN203680933U (zh) 一种高吸热低反射蓝膜镀膜玻璃
CN202463055U (zh) 太阳能集热采暖玻璃
CN211372788U (zh) 一种太阳能真空集热管
CN207797433U (zh) 一种磁控溅射吸热式平板太阳能吸热膜
CN115261779B (zh) 一种太阳能热水器用金属微纳复合材料及其制备方法
CN106556171B (zh) 一种蚀刻生成耐高温选择性吸收功能膜

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20190118

RJ01 Rejection of invention patent application after publication