CN109226970A - 一种微纳尺度高温激光冲击压印装置及方法 - Google Patents
一种微纳尺度高温激光冲击压印装置及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109226970A CN109226970A CN201811296631.7A CN201811296631A CN109226970A CN 109226970 A CN109226970 A CN 109226970A CN 201811296631 A CN201811296631 A CN 201811296631A CN 109226970 A CN109226970 A CN 109226970A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- laser
- temperature
- micro
- nano
- pulse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 10
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 4
- 239000005030 aluminium foil Substances 0.000 claims description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000005336 cracking Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 2
- 210000001367 artery Anatomy 0.000 claims 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 210000003462 vein Anatomy 0.000 claims 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 abstract description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 3
- 101150030337 CCD7 gene Proteins 0.000 description 2
- 238000004093 laser heating Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/352—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
- B23K26/356—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment by shock processing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
- B23K26/123—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an atmosphere of particular gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
- B23K26/127—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an enclosure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/18—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using absorbing layers on the workpiece, e.g. for marking or protecting purposes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
本发明公开了一种微纳尺度高温激光冲击压印装置及方法，涉及激光冲击压印技术领域。本发明包括气氛保护模块、高温激光冲击压印模块、监测模块和夹具模块；气氛保护模块包括靶室，靶室具有进气口和排气口，进气口通过管路依次连接进气阀、气泵和储气系统，排气口通过管路连接氧传感器和排气阀；且所述氧传感器与气泵相连接；高温激光冲击压印模块由聚焦镜、脉冲激光器、脉冲激光控制器、脉冲延迟发生器、红外激光控制器、红外激光器依次连接构成；监测模块由CCD和计算机依次连接；夹具模块由上而下依次为约束层、吸收层、样品和模具；夹具模块设置在靶室内。实现了金属材料表面高精度微纳米复杂结构的激光冲击压印快速制造。
Description
技术领域
本发明涉及激光冲击压印技术领域，具体是一种微纳尺度高温激光冲击压印装置及方法。
背景技术
随着微机电系统、纳机电系统、微流控芯片等的迅速发展，对器件的微型化和高精度也提出了越来越高的要求。在以金属材料为基础的微器件制造上，如何在材料表面获得微纳尺度的复杂结构是一个比较大的挑战。激光冲击压印技术利用激光烧蚀吸收层产生的高能冲击波作用于金属材料表面，金属材料在冲击波的作用下产生超塑性变形，可以进行微纳米复杂结构的快速复制。但是，在激光冲击压印的过程中，目前还存在两个问题：第一，在室温下或较高温度下(低于金属材料的再结晶温度)进行激光冲击压印时，获得的金属材料微纳结构的深宽比较小，复型精度较差，当进一步提高激光焦点能量时，又会因较大的冲击力使材料发生拉裂等方面缺陷；第二，如果将激光冲击压印的温度提高到再结晶温度以上，尽管可以提高微纳米结构的成型精度，但由于金属材料表面的高温氧化和材料的晶粒长大等将导致微纳米器件的性能大大降低。因此，如果获得具有高精度的微纳米结构变得非常重要。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点，本发明提供一种微纳尺度高温激光冲击压印装置及方法，力学性能好、制造精度高，实现了金属材料表面高精度微纳米复杂结构的激光冲击压印快速制造。
本发明是以如下技术方案实现的：一种微纳尺度高温激光冲击压印装置，包括气氛保护模块、高温激光冲击压印模块、监测模块和夹具模块；所述气氛保护模块包括靶室，所述靶室具有进气口和排气口，进气口通过管路依次连接进气阀、气泵和储气系统，排气口通过管路连接氧传感器和排气阀；且所述氧传感器与气泵相连接；
所述高温激光冲击压印模块由聚焦镜、脉冲激光器、脉冲激光控制器、脉冲延迟发生器、红外激光控制器、红外激光器依次连接构成；
所述监测模块由CCD和计算机依次连接；
所述夹具模块由上而下依次为约束层、吸收层、样品和模具；
所述夹具模块设置在靶室内；所述高温激光冲击压印模块设置在靶室外部上方。
进一步，所述约束层为厚度2～4mm的K9玻璃。
进一步，所述吸收层为厚度10～50μm的黑铝箔。
进一步，储气系统内的保护气体为氩气或其它惰性气体。
进一步，所述脉冲激光器的脉冲宽度介于5～20ns之间，聚焦后光斑的功率密度大于1GW/cm2。
进一步，所述红外激光器发射波长为1064nm的红外激光，光束直径大于脉冲激光的焦点直径。
一种微纳尺度高温激光冲击压印方法，采用上述任一项微纳尺度高温激光冲击压印装置，
1)夹具模块的准备：由上而下依次放置约束层、吸收层、样品和模具，保证各层之间贴合紧密；并将夹具模块放入靶室中；
2)调节气氛保护模块：开启气泵，通过进气阀将储气系统内的保护气体泵入靶室，靶室内的气体依次通过氧传感器和排气阀的管路排出；氧传感器检测到靶室内的氧气含量低于一定值时，控制气泵停止工作；
3)高温激光冲击压印光路的调整：通过脉冲激光控制器打开脉冲激光器导引光，经聚焦镜聚焦后入射到靶室内，通过计算机和CCD检测保证激光焦点落在吸收层表面；同时通过红外激光控制器打开红外激光器，使红外激光器发出的导引光照射到脉冲激光焦点区域；关闭红外激光器和脉冲激光器。
4)高温激光冲击压印：通过脉冲延迟发生器分别控制红外激光器和脉冲激光器发射激光的时间间隔，实现激光冲击压印微区域的加温、冲击、降温过程。
进一步，进气阀和排气阀的开启压力分别为0.2MPa和0.15MPa，氧传感器检测到靶室内的氧气体积分数低于1％时，控制气泵停止工作。
进一步，脉冲延迟发生器控制红外激光器先发射红外激光，用于加热吸收层和样品，间隔时间大于100ns后，再打开脉冲激光器用于激光冲击压印。
工作原理：在激光冲击压印的过程中，通过红外激光对激光冲击微区进行瞬时的加热，并在冲击结束后关闭红外激光快速冷却冲击区域，通过调节红外激光的功率密度和作用时间可以选择性的调控激光冲击压印区域的环境温度，从而控制了激光冲击压印过程中金属材料晶粒的长大。同时，通过往激光冲击压印靶室内注入惰性保护气体，避免激光冲击压印区域由于高温引起的金属材料表面氧化，从而获得表面质量良好的微纳米结构。本发明利用气氛保护和高温辅助方法，克服了因高温导致的晶粒长大和高温导致的表面氧化等技术难题，获得了力学性能好、制造精度高的金属材料表面微纳米结构。
相比现有的技术，本发明的有益效果如下：
(1)目前，对于激光冲击压印技术而言，普遍在室温下或再结晶温度以下进行，由于温度相对较低，样品还具有较高的硬度、强度和较差的塑性，因此激光冲击压印得到的样品深度较小、内应力较大，容易导致样品的拉裂和破坏，本发明在高温下进行激光压印冲击，能够获得较大的压印深度、更均匀的内应力分布。
(2)相比采用传统的加热方式进行样品的加热，样品处在高温下的时间较长，容易使样品内的晶粒在高温下迅速长大，导致样品的力学性能变差，本发明采用激光加热的方式，通过脉冲延时发生器精确的调控样品加热的时间，可以保证样品被加热的时间处在纳秒量级，这样既能保证高温下激光冲击压印的优势，又可避免样品内部的晶粒长大。
(3)样品在高温下极易氧化，从而改变了其本身的各种性能，本发明采用惰性气体保护的方式，通过氧传感器精确的控制靶室内的氧气含量，避免样品加热过程中的氧化，从而获得高表面质量的激光冲击压印。
附图说明
图1是本发明结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，一种微纳尺度高温激光冲击压印装置，包括气氛保护模块、高温激光冲击压印模块、监测模块和夹具模块。其中，气氛保护模块包括靶室6，所述靶室6具有进气口和排气口，进气口通过管路依次连接进气阀1、气泵2和储气系统3，排气口通过管路连接氧传感器5和排气阀4；且所述氧传感器5与气泵2相连接。高温激光冲击压印模块由聚焦镜9、脉冲激光器10、脉冲激光控制器11、脉冲延迟发生器12、红外激光控制器13、红外激光器14依次连接构成；监测模块由CCD7和计算机8依次连接；夹具模块由上而下依次为约束层15、吸收层16、样品17和模具18；夹具模块设置在靶室内；所述高温激光冲击压印模块设置在靶室6外部上方。
一种微纳尺度高温激光冲击压印方法，采用图1中的微纳尺度高温激光冲击压印装置，
1)夹具模块的准备：由上而下依次放置约束层15、吸收层16、样品17和模具18，保证各层之间贴合紧密；并将夹具模块放入靶室6中。其中，约束层15为厚度2～4mm的K9玻璃。吸收层16为厚度10～50μm的黑铝箔。储气系统3内的保护气体为氩气或其它惰性气体。
2)调节气氛保护模块：开启气泵2，通过进气阀1将储气系统3内的保护气体泵入靶室6，靶室6内的气体依次通过氧传感器5和排气阀4的管路排出；氧传感器5检测到靶室6内的氧气含量低于一定值时，控制气泵2停止工作；进气阀和排气阀的开启压力分别为0.2MPa和0.15MPa，氧传感器检测到靶室内的氧气体积分数低于1％时，控制气泵停止工作。
3)高温激光冲击压印光路的调整：通过脉冲激光控制器11打开脉冲激光器10导引光，经聚焦镜9聚焦后入射到靶室内，通过计算机8和CCD7检测保证激光焦点落在吸收层16表面；同时通过红外激光控制器13打开红外激光器14，使红外激光器14发出的导引光照射到脉冲激光焦点区域；关闭红外激光器14和脉冲激光器10。脉冲激光器10的脉冲宽度介于5～20ns之间，聚焦后光斑的功率密度大于1GW/cm2。红外激光器14发射波长为1064nm的红外激光，光束直径大于脉冲激光的焦点直径。
4)高温激光冲击压印：通过脉冲延迟发生器12分别控制红外激光器14和脉冲激光器10发射激光的时间间隔，实现激光冲击压印微区域的加温、冲击、降温过程。脉冲延迟发生器12控制红外激光器14先发射红外激光，用于加热吸收层16和样品17，间隔时间大于100ns后，再打开脉冲激光器10用于激光冲击压印，通过严格的控制时间间隔，可以精确调控激光冲击压印的温度。
Claims (9)
1.一种微纳尺度高温激光冲击压印装置，其特征在于：包括气氛保护模块、高温激光冲击压印模块、监测模块和夹具模块；
所述气氛保护模块包括靶室(6)，所述靶室(6)具有进气口和排气口，进气口通过管路依次连接进气阀(1)、气泵(2)和储气系统(3)，排气口通过管路连接氧传感器(5)和排气阀(4)；且所述氧传感器(5)与气泵(2)相连接；
所述高温激光冲击压印模块由聚焦镜(9)、脉冲激光器(10)、脉冲激光控制器(11)、脉冲延迟发生器(12)、红外激光控制器(13)、红外激光器(14)依次连接构成；
所述监测模块由CCD(7)和计算机(8)依次连接；
所述夹具模块由上而下依次为约束层(15)、吸收层(16)、样品(17)和模具(18)；
所述夹具模块设置在靶室内；所述高温激光冲击压印模块设置在靶室(6)外部上方。
2.根据权利要求1所述的一种微纳尺度高温激光冲击压印装置，其特征在于：所述约束层(15)为厚度2～4mm的K9玻璃。
3.根据权利要求1所述的一种微纳尺度高温激光冲击压印装置，其特征在于：所述吸收层(16)为厚度10～50μm的黑铝箔。
4.根据权利要求1所述的一种微纳尺度高温激光冲击压印装置，其特征在于：储气系统(3)内的保护气体为氩气或其它惰性气体。
5.根据权利要求1所述的一种微纳尺度高温激光冲击压印装置，其特征在于：所述脉冲激光器(10)的脉冲宽度介于5～20ns之间，聚焦后光斑的功率密度大于1GW/cm2。
6.根据权利要求1所述的一种微纳尺度高温激光冲击压印装置，其特征在于：所述红外激光器(14)发射波长为1064nm的红外激光，光束直径大于脉冲激光的焦点直径。
7.一种微纳尺度高温激光冲击压印方法，采用权利要求1-6任一项微纳尺度高温激光冲击压印装置，其特征在于：
1)夹具模块的准备：由上而下依次放置约束层(15)、吸收层(16)、样品(17)和模具(18)，保证各层之间贴合紧密；并将夹具模块放入靶室(6)中；
2)调节气氛保护模块：开启气泵(2)，通过进气阀(1)将储气系统(3)内的保护气体泵入靶室(6)，靶室(6)内的气体依次通过氧传感器(5)和排气阀(4)的管路排出；氧传感器(5)检测到靶室(6)内的氧气含量低于一定值时，控制气泵(2)停止工作；
3)高温激光冲击压印光路的调整：通过脉冲激光控制器(11)打开脉冲激光器(10)导引光，经聚焦镜(9)聚焦后入射到靶室内，通过计算机(8)和CCD(7)检测保证激光焦点落在吸收层(16)表面；同时通过红外激光控制器(13)打开红外激光器(14)，使红外激光器(14)发出的导引光照射到脉冲激光焦点区域；关闭红外激光器(14)和脉冲激光器(10)。
4)高温激光冲击压印：通过脉冲延迟发生器(12)分别控制红外激光器(14)和脉冲激光器(10)发射激光的时间间隔，实现激光冲击压印微区域的加温、冲击、降温过程。
8.根据权利要求7所述的一种微纳尺度高温激光冲击压印方法，其特征在于：进气阀和排气阀的开启压力分别为0.2MPa和0.15MPa，氧传感器检测到靶室内的氧气体积分数低于1％时，控制气泵停止工作。
9.根据权利要求7所述的一种微纳尺度高温激光冲击压印方法，其特征在于：脉冲延迟发生器(12)控制红外激光器(14)先发射红外激光，用于加热吸收层(16)和样品(17)，间隔时间大于100ns后，再打开脉冲激光器(10)用于激光冲击压印。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811296631.7A CN109226970A (zh) | 2018-11-01 | 2018-11-01 | 一种微纳尺度高温激光冲击压印装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811296631.7A CN109226970A (zh) | 2018-11-01 | 2018-11-01 | 一种微纳尺度高温激光冲击压印装置及方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109226970A true CN109226970A (zh) | 2019-01-18 |
Family
ID=65080414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811296631.7A Pending CN109226970A (zh) | 2018-11-01 | 2018-11-01 | 一种微纳尺度高温激光冲击压印装置及方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109226970A (zh) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110411629A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-11-05 | 东莞材料基因高等理工研究院 | 一种多功能焊接原位测试装置 |
| CN110560888A (zh) * | 2019-10-23 | 2019-12-13 | 山东大学 | 利用激光冲击成形技术将金属材料表面粗糙功能化的方法及其应用 |
| CN110640323A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-01-03 | 山东大学 | 利用激光冲击技术制备表面微纳米结构的方法及其应用 |
| CN110936022A (zh) * | 2019-12-16 | 2020-03-31 | 山东大学 | 一种阵列式微织构成形系统及方法 |
| CN111605347A (zh) * | 2020-06-11 | 2020-09-01 | 南京工业职业技术学院 | 一种激光加热辊型微细压印装置 |
| CN112975135A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-06-18 | 武汉大学 | 超精细金属三维纳米结构的激光冲击制备方法 |
| CN113102893A (zh) * | 2021-05-13 | 2021-07-13 | 山东大学 | 一种适用于大气环境的热力复合激光冲击的材料表面改性方法 |
| CN113564342A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-10-29 | 苏州健雄职业技术学院 | 一种热力载荷连续交替冲击强化的装置及其工作方法 |
| CN114346444A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-15 | 江苏大学 | 一种类复眼双尺度曲面结构表面的激光冲击成形方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1931467A (zh) * | 2006-09-27 | 2007-03-21 | 江苏大学 | 一种板材成形的方法和装置 |
| CN101219770A (zh) * | 2008-01-07 | 2008-07-16 | 江苏大学 | 半导体材料微纳多尺度功能表面激光造型方法 |
| CN102513440A (zh) * | 2011-12-16 | 2012-06-27 | 江苏大学 | 获取优越高温力学性能镁合金成形件的方法及装置 |
| CN106493366A (zh) * | 2016-12-07 | 2017-03-15 | 中北大学 | 多种金属粉末材料选择性激光熔化成形装置 |
| CN107520538A (zh) * | 2017-08-16 | 2017-12-29 | 江苏大学 | 一种新型激光间接冲击微成形的装置及方法 |
| CN108489414A (zh) * | 2018-05-07 | 2018-09-04 | 中国矿业大学 | 一种微纳尺度记忆合金双程记忆应变测试装置及测试方法 |
| CN209006880U (zh) * | 2018-11-01 | 2019-06-21 | 徐州工程学院 | 一种微纳尺度高温激光冲击压印装置 |
-
2018
- 2018-11-01 CN CN201811296631.7A patent/CN109226970A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1931467A (zh) * | 2006-09-27 | 2007-03-21 | 江苏大学 | 一种板材成形的方法和装置 |
| CN101219770A (zh) * | 2008-01-07 | 2008-07-16 | 江苏大学 | 半导体材料微纳多尺度功能表面激光造型方法 |
| CN102513440A (zh) * | 2011-12-16 | 2012-06-27 | 江苏大学 | 获取优越高温力学性能镁合金成形件的方法及装置 |
| CN106493366A (zh) * | 2016-12-07 | 2017-03-15 | 中北大学 | 多种金属粉末材料选择性激光熔化成形装置 |
| CN107520538A (zh) * | 2017-08-16 | 2017-12-29 | 江苏大学 | 一种新型激光间接冲击微成形的装置及方法 |
| CN108489414A (zh) * | 2018-05-07 | 2018-09-04 | 中国矿业大学 | 一种微纳尺度记忆合金双程记忆应变测试装置及测试方法 |
| CN209006880U (zh) * | 2018-11-01 | 2019-06-21 | 徐州工程学院 | 一种微纳尺度高温激光冲击压印装置 |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110411629A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-11-05 | 东莞材料基因高等理工研究院 | 一种多功能焊接原位测试装置 |
| CN110560888A (zh) * | 2019-10-23 | 2019-12-13 | 山东大学 | 利用激光冲击成形技术将金属材料表面粗糙功能化的方法及其应用 |
| CN110640323A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-01-03 | 山东大学 | 利用激光冲击技术制备表面微纳米结构的方法及其应用 |
| CN110560888B (zh) * | 2019-10-23 | 2020-07-10 | 山东大学 | 利用激光冲击成形技术将金属材料表面粗糙功能化的方法及其应用 |
| CN110936022A (zh) * | 2019-12-16 | 2020-03-31 | 山东大学 | 一种阵列式微织构成形系统及方法 |
| CN111605347A (zh) * | 2020-06-11 | 2020-09-01 | 南京工业职业技术学院 | 一种激光加热辊型微细压印装置 |
| CN111605347B (zh) * | 2020-06-11 | 2022-07-15 | 南京工业职业技术大学 | 一种激光加热辊型微细压印装置 |
| CN112975135A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-06-18 | 武汉大学 | 超精细金属三维纳米结构的激光冲击制备方法 |
| CN113102893A (zh) * | 2021-05-13 | 2021-07-13 | 山东大学 | 一种适用于大气环境的热力复合激光冲击的材料表面改性方法 |
| CN113102893B (zh) * | 2021-05-13 | 2022-01-18 | 山东大学 | 一种适用于大气环境的热力复合激光冲击的材料表面改性方法 |
| CN113564342A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-10-29 | 苏州健雄职业技术学院 | 一种热力载荷连续交替冲击强化的装置及其工作方法 |
| CN114346444A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-15 | 江苏大学 | 一种类复眼双尺度曲面结构表面的激光冲击成形方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109226970A (zh) | 一种微纳尺度高温激光冲击压印装置及方法 | |
| CN209006880U (zh) | 一种微纳尺度高温激光冲击压印装置 | |
| CN104591549B (zh) | 一种用飞秒激光脉冲序列在玻璃表面加工微阵列的方法 | |
| CN106735947A (zh) | 一种高效可控加工大面积硅微纳结构的方法 | |
| EP2772333A8 (en) | Laser selective cutting by impulsive heat deposition in the ir wavelength range for direct-drive ablation | |
| CN102581483B (zh) | 一种激光驱动非金属飞片的方法及实现装置 | |
| TW200631718A (en) | Division starting point forming method in body to be divided, dividing method for body to be divided, and method of processing work by pulse laser beam | |
| CN103688427A (zh) | 以能量有效方式干燥薄膜的方法 | |
| WO2005043696A3 (en) | Laser thermal annealing of lightly doped silicon substrates | |
| WO2010077018A3 (en) | Laser firing apparatus for high efficiency solar cell and fabrication method thereof | |
| CN111548023B (zh) | 一种利用红光纳秒激光对玻璃表面微细加工的方法 | |
| CN103090644A (zh) | 一种牙科炉具 | |
| CN106868471B (zh) | 一种双光束快速制备石墨烯图形的方法及装置 | |
| CN201677135U (zh) | 具有气体保护装置的激光聚焦头 | |
| CN109454334A (zh) | 一种激光冲击温强化系统及方法 | |
| TWI375498B (en) | High perfromance laser-assisted transferring system and transfer component | |
| CN110095561A (zh) | 一种防钛火涂层的激光点火试验装置及其试验方法 | |
| CN104625422A (zh) | 基于电子动态调控乙醇溶液辅助金属加工方法 | |
| CN105364308A (zh) | 激光切割机器人聚焦镜的冷却装置 | |
| CN113720720B (zh) | 一种用于研究激光破岩技术的室内实验装置 | |
| CN101726512A (zh) | 一种外加恒热流源的煤最短自然发火期快速测试方法 | |
| WO2012129012A1 (en) | Gas-assisted laser machining | |
| CN110877003B (zh) | 一种基于双脉冲强激光技术的孔类零件内壁喷涂方法和装置 | |
| Yaseen et al. | Nanosecond pulsed laser ablation of Ge investigated by employing photoacoustic deflection technique and SEM analysis | |
| CN208328076U (zh) | 一种高温激光冲击强化装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |