CN109187445A - 一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法，该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成，通过改变入射激光与待测样品表面的夹角为10°‑30°，而达到避免激发激光二次谐波影响目的。本发明所述方法具有操作简单、效率高、无需任何其他滤光片等特点。解决了目前存在的问题。
Description
技术领域
本发明属于光电器件测试技术领域，涉及一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法。
背景技术
光致发光测试是确定半导体材料与器件光学性能的重要手段之一，能提供材料禁带宽度和组份等重要参数。为了提高样品发出的光致发光的收集效率，一般将入射激发激光和样品表面的入射角设为45°，确保从样品表面反射的激光与收集光致发光的两个凸透镜中心线重合，直接进入单色仪中。为了消除反射激光对测试光谱的影响，通常使用一个长通滤光片截止反射激光。
然而，再好的滤光片也不能100％截止激光，只是将激光强度衰减几个数量级。因为激光强度很强，即使衰减几个数量级，其强度仍然不可忽略。更为严重的是，当激光通过单色仪时产生二次和三次谐波，比如，如果使用的激光波长为532nm，从单色仪出来后在532nm，1064nm和1596nm等波长位置都能探测到激光。这个现象影响光致发光准确测量。当样品信号相对微弱时，激发激光带来的二次谐波影响更为严重，根本无法测试在这些波长附近的弱光信号。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法，该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成，通过改变入射激光与待测样品表面的夹角为10°-30°，而达到避免激发激光二次谐波影响目的。本发明所述方法具有操作简单、效率高、无需任何其他滤光片等特点。解决了目前存在的问题。
本发明所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法，该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成，待测样品(2)垂直固定在样品室内，在样品室与单色仪之间设有两个凸透镜(4)，单色仪(7)入口处设有滤光片(6)，单色仪(7)出口处设有探测器(8)，具体操作按下列步骤进行：
a、使用标准光致发光测试系统，先调整光路使得入射激光(1)光束高度与两个凸透镜(4)中心线和单色仪(7)入口中心高度保持一致；
b、待测样品(2)垂直固定在样品室内，入射激光(1)与待测样品(2)表面的夹角设为10°-30°；
c、入射激光(1)打在待测样品(2)后反射激光(3)偏离凸透镜(4)中心线；
d、从待测样品(2)发出的光致发光(5)通过两个凸透镜(4)后聚焦在单色仪(7)入口处，进入单色仪(7)，并由连接在单色仪(7)出口的探测器(8)接收。
本发明所述的方法将原光致发光测试光路中入射激光与待测样品表面的夹角由原来的45°改为10°-30°，这样可以使待测样品表面反射的激光偏离凸透镜中心线，不会进入单色仪内，不需要滤光片来截止反射激光。在整个光谱波长范围内彻底避免激发激光二次谐波影响，便于测试弱光信号。具有操作非常简单，效果非常好的特点。
附图说明
图1为本发明光路示意图。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步描述：
实施例1
本发明所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法，该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成，待测样品2垂直固定在样品室内，在样品室与单色仪7之间设有两个凸透镜4，单色仪7入口处设有滤光片6，单色仪7出口处设有探测器8，具体操作按下列步骤进行：
a、使用标准光致发光测试系统，先调整光路使得入射激光1光束高度与两个凸透镜4中心线和单色仪7入口中心高度保持一致；
b、待测样品2垂直固定在样品室内，入射激光1与待测样品2表面的夹角设为10°；
c、入射激光1打在待测样品2后反射激光3偏离凸透镜4中心线，不会进入单色仪7内；
d、从待测样品2发出的光致发光5通过两个凸透镜4后聚焦在单色仪7入口处，进入单色仪7，并由连接在单色仪7出口的探测器8接收。
实施例2
本发明所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法，该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成，待测样品2垂直固定在样品室内，在样品室与单色仪7之间设有两个凸透镜4，单色仪7入口处设有滤光片6，单色仪7出口处设有探测器8，具体操作按下列步骤进行：
a、使用标准光致发光测试系统，先调整光路使得入射激光1光束高度与两个凸透镜4中心线和单色仪7入口中心高度保持一致；
b、待测样品2垂直固定在样品室内，入射激光1与待测样品2表面的夹角设为20°；
c、入射激光1打在待测样品2后反射激光3偏离凸透镜4中心线，不会进入单色仪7内；
d、从待测样品2发出的光致发光5通过两个凸透镜4后聚焦在单色仪7入口处，进入单色仪7，并由连接在单色仪7出口的探测器8接收。
实施例3
本发明所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法，该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成，待测样品2垂直固定在样品室内，在样品室与单色仪7之间设有两个凸透镜4，单色仪7入口处设有滤光片6，单色仪7出口处设有探测器8，具体操作按下列步骤进行：
a、使用标准光致发光测试系统，先调整光路使得入射激光1光束高度与两个凸透镜4中心线和单色仪7入口中心高度保持一致；
b、待测样品2垂直固定在样品室内，入射激光1与待测样品2表面的夹角设为30°；
c、入射激光1打在待测样品2后反射激光3偏离凸透镜4中心线，不会进入单色仪7内；
d、从待测样品2发出的光致发光5通过两个凸透镜4后聚焦在单色仪7入口处，进入单色仪7，并由连接在单色仪7出口的探测器8接收。
实施例4
本发明所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法，该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成，待测样品2垂直固定在样品室内，在样品室与单色仪7之间设有两个凸透镜4，单色仪7入口处设有滤光片6，单色仪7出口处设有探测器8，具体操作按下列步骤进行：
a、使用标准光致发光测试系统，先调整光路使得入射激光1光束高度与两个凸透镜4中心线和单色仪7入口中心高度保持一致；
b、待测样品2垂直固定在样品室内，入射激光1与待测样品2表面的夹角设为15°；
c、入射激光1打在待测样品2后反射激光3偏离凸透镜4中心线，不会进入单色仪7内；
d、从待测样品2发出的光致发光5通过两个凸透镜4后聚焦在单色仪7入口处，进入单色仪7，并由连接在单色仪7出口的探测器8接收。
实施例5
本发明所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法，该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成，待测样品2垂直固定在样品室内，在样品室与单色仪7之间设有两个凸透镜4，单色仪7入口处设有滤光片6，单色仪7出口处设有探测器8，具体操作按下列步骤进行：
a、使用标准光致发光测试系统，先调整光路使得入射激光1光束高度与两个凸透镜4中心线和单色仪7入口中心高度保持一致；
b、待测样品2垂直固定在样品室内，入射激光1与待测样品2表面的夹角设为25°；
c、入射激光1打在待测样品2后反射激光3偏离凸透镜4中心线，不会进入单色仪7内；
d、从待测样品2发出的光致发光5通过两个凸透镜4后聚焦在单色仪7入口处，进入单色仪7，并由连接在单色仪7出口的探测器8接收。
本发明所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法，通过该方法也可以适用于低温光致发光测试。
Claims (1)
1.一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法，其特征在于：该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成，待测样品（2）垂直固定在样品室内，在样品室与单色仪（7）之间设有两个凸透镜（4），单色仪（7）入口处设有滤光片（6），单色仪（7）出口处设有探测器（8），具体操作按下列步骤进行：
a、使用标准光致发光测试系统，先调整光路使得入射激光（1）光束高度与两个凸透镜（4）中心线和单色仪（7）入口中心高度保持一致；
b、待测样品（2）垂直固定在样品室内，入射激光（1）与待测样品（2）表面的夹角设为10°-30°；
c、入射激光（1）打在待测样品（2）后反射激光（3）偏离凸透镜（4）中心线；
d、从待测样品（2）发出的光致发光（5）通过两个凸透镜（4）后聚焦在单色仪（7）入口处，进入单色仪（7），并由连接在单色仪（7）出口的探测器（8）接收。
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