CN109163837B - 一种微尺度柔性复合式超高压力传感器及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种微尺度柔性复合式超高压力传感器及其制造方法,传感器包括基底,基底上通过MEMS工艺溅射有康铜敏感元件及第一电极；康铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第一电极；康铜敏感元件及第一电极的表面上覆盖有绝缘层；绝缘层上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件及第二电极；锰铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第二电极；锰铜敏感元件和康铜敏感元件采用上下对齐方式布置，第二电极与第一电极采用横轴线垂直方式布置，锰铜敏感元件及第二电极的表面上涂覆有保护层；传感器具有敏感元件尺寸小、量程大、精度高、输出信号大、柔性化等特点，适用于多工况下微尺度装药爆轰压力的测量，也可以拓展到其他微尺度轴对称动态高压流场压力的测量。

Description

一种微尺度柔性复合式超高压力传感器及其制造方法
技术领域
本发明属于柔性传感器和超高压力传感器技术领域，具体涉及一种微尺度柔性复合式超高压力传感器及其制造方法。
背景技术
随着MEMS火工品和小型武器弹药的发展，微尺度下爆轰压力的测量已经成为一项亟待解决的问题。具有压阻效应的锰铜由于表现出灵敏度高、响应快、线性较好、电阻温度系数小等优点，而被广泛应用于武器弹药爆炸冲击波、炸药爆轰波产生的超高压力测量等国防领域。但是，在微尺度装药情况下，炸药爆轰波波阵面的弯曲效应增强，成为二维凸球形波阵面。因此，处于其中的锰铜敏感元件除了压力使其电阻率发生变化进而引起电阻变化外，爆轰波的非一维性使其发生的侧向拉伸或扭曲变形，同样也会引起电阻变化，两者叠加在一起，使传感器不能测出真正的轴向压力值。康铜具有与锰铜相近的物理和力学性能，但其没有压阻效应，它在二维爆轰波中只有拉伸或扭曲变形所产生的电阻变化。当将康铜与锰铜敏感元件对称组合进行测量时，利用康铜敏感元件就可排除二维爆轰波导致的拉伸误差，从而较准确地测量出微尺度装药爆轰波产生的超高压力。
现有的锰铜-康铜复合拉式压力传感器是将几何尺寸与形状完全相同的锰铜箔与康铜箔复合而成，中间隔有水溶性抗蚀干膜作为绝缘层。这种传感器的敏感元件尺寸较大，不适合于微尺度爆压的测量；较厚的绝缘层使得上层锰铜敏感元件与下层康铜敏感元件处于不同的受压环境，这将导致无法利用康铜敏感元件很好地排除锰铜敏感元件中的侧向拉伸误差；而且有机绝缘层在高压下绝缘性能较差，会导致上下层电流泄露，从而造成信号失真。此外，若需要测量曲面上某位置处所承受的超高压力时，硬质基底(如陶瓷基底或云母基底)超高压力传感器并不适用。而且，在传感器的安装与对准过程中，柔性基底传感器比硬质基底传感器操作更简单、方便。
综上所述，设计制造一种微尺度柔性复合式超高压力传感器是非常必要的。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的是提供一种微尺度柔性复合式超高压力传感器及其制造方法,该传感器具有敏感元件尺寸小、量程大、精度高、输出信号大、柔性化等特点，适用于多工况下微尺度装药爆轰压力的测量。
为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：
一种微尺度柔性复合式超高压力传感器，包括基底1,基底1上通过MEMS工艺溅射有康铜敏感元件2-2及第一电极2-1；康铜敏感元件2-2的输入端和输出端分别连接两个第一电极2-1，康铜敏感元件2-2和第一电极2-1构成康铜层2；康铜敏感元件2-2及第一电极2-1的表面上覆盖有绝缘层3；绝缘层3上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件4-2及第二电极4-1；锰铜敏感元件4-2的输入端和输出端分别连接两个第二电极4-1，锰铜敏感元件4-2和第二电极4-1构成锰铜层4；锰铜敏感元件4-2和康铜敏感元件2-2采用上下对齐方式布置，第二电极4-1与第一电极2-1采用横轴线垂直方式布置，锰铜敏感元件4-2及第二电极4-1的表面上涂覆有保护层5。
所述的锰铜敏感元件4-2和康铜敏感元件2-2具有相同的形状和尺寸，第二电极4-1和第一电极2-1具有相同的形状和尺寸，其中康铜敏感元件2-2和锰铜敏感元件4-2呈圆形，直径均为0.2mm，厚度均为2μm。
所述的绝缘层3采用氧化铝陶瓷材料，通过MEMS工艺溅射而成，厚度为5μm。
所述的基底1和保护层5均采用聚酰亚胺材料，通过匀胶固化工艺制成，厚度均为25μm。
所述的锰铜敏感元件4-2和康铜敏感元件2-2构成两个相互独立的锰铜传感器和康铜传感器，传感器都采用四端电路，其中两端作为电源输入端，另外两端作为信号输出端；两个电源端使用同一恒流源供电，来消除锰铜传感器与康铜传感器之间的电位差，两个信号输出端接同一示波器进行信号采集，在微尺度装药爆轰波作用下，锰铜传感器和康铜传感器处于相同的受压环境。
所述的一种微尺度柔性复合式超高压力传感器的制造方法，包括以下步骤：
步骤1：在硅片载体6上包覆一层Parylene薄膜7作为释放层；
步骤2：在Parylene薄膜7上多次旋涂液态聚酰亚胺(PI)预聚物，加热固化后形成聚酰亚胺(PI)薄膜作为基底1；
步骤3：在基底1上用磁控溅射的方法依次沉积康铜敏感元件2-2及对应的第一电极2-1；
步骤4：在康铜敏感元件2-2以及第一电极2-1表面上溅射一层氧化铝陶瓷作为绝缘层3，利用掩模板形成溅射区域并露出第一电极2-1的焊盘；
步骤5：在绝缘层3上用磁控溅射的方法依次沉积锰铜敏感元件4-2及对应的第二电极4-1；
步骤6：在锰铜敏感元件4-2以及第二电极4-1表面上多次旋涂液态聚酰亚胺(PI)预聚物，然后湿法腐蚀聚酰亚胺(PI)预聚物，以露出第一电极2-1和第二电极4-1的焊盘，接着，加热固化聚酰亚胺(PI)预聚物形成保护层5；
步骤7：沿着划片槽预先将每个传感器划开，然后浸泡到丙酮溶液中，使Parylene薄膜7与硅片载体6分离，传感器被释放，从而得到微尺度柔性复合式超高压力传感器。
本发明的有益效果为：
本发明的微尺度柔性复合式超高压力传感器，通过MEMS技术实现了锰铜敏感元件4-2和康铜敏感元件2-2的微型化，使其减小对微尺度装药爆轰波的影响，从而提高测量精度；锰铜敏感元件4-2和康铜敏感元件2-2呈圆形，可以更好地适应微尺度装药产生的二维凸球形爆轰波，使其受压均匀；锰铜敏感元件4-2和康铜敏感元件2-2采用上下对齐方式布置，中间隔有较薄的绝缘层3，利用康铜敏感元件2-2的输出信号可很好地排除锰铜敏感元件4-2输出信号中的侧向拉伸误差；第二电极4-1和第一电极2-1采用横轴线垂直方式布置，可以方便焊盘引线。此外，本发明利用与MEMS兼容的柔性制造工艺实现了传感器的柔性化，使其可应用于曲面等多种工况下超高压的测量且使其安装与对准过程更加方便、简单。基底1和保护层5均采用聚酰亚胺材料，使其与一般的凝聚炸药阻抗近似匹配，减小了冲击波在界面处反射造成的误差。
综上所述，本发明微尺度柔性复合式超高压力传感器具有敏感元件尺寸小、量程大、精度高、输出信号大、柔性化等特点，适用于微尺度装药爆轰压力的测量，也可以拓展到其他微尺度轴对称动态高压流场压力的测量。
附图说明
图1为本发明微尺度柔性复合式超高压力传感器的爆炸图。
图2为本发明微尺度柔性复合式超高压力传感器的俯视图。
图3为本发明微尺度柔性复合式超高压力传感器中康铜层2或锰铜层4的俯视图。
图4(a)～(g)为本发明微尺度柔性复合式超高压力传感器制造方法的工艺流程图。
图5为本发明微尺度柔性复合式超高压力传感器输出信号记录曲线的一个实例图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明做详细说明。
参照图1、图2和图3，一种微尺度柔性复合式超高压力传感器，包括基底1,基底1上通过MEMS工艺溅射有康铜敏感元件2-2及第一电极2-1；康铜敏感元件2-2的输入端和输出端分别连接两个第一电极2-1，康铜敏感元件2-2和第一电极2-1构成康铜层2；康铜敏感元件2-2及第一电极2-1的表面上覆盖有绝缘层3；绝缘层3上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件4-2及第二电极4-1；锰铜敏感元件4-2的输入端和输出端分别连接两个第二电极4-1，锰铜敏感元件4-2和第二电极4-1构成锰铜层4；锰铜敏感元件4-2和康铜敏感元件2-2采用上下对齐方式布置，第二电极4-1与第一电极2-1采用横轴线垂直方式布置，锰铜敏感元件4-2及第二电极4-1的表面上涂覆有保护层5；第二电极4-1和第一电极2-1采用横轴线垂直方式布置，这样可方便焊盘引线；锰铜敏感元件4-2和康铜敏感元件2-2采用上下对齐方式布置，中间隔有较薄的绝缘层3，这样能保证它们在微尺度装药爆轰波作用下具有同样的受压环境，进而可利用康铜敏感元件2-2的输出信号很好地排除锰铜敏感元件4-2输出信号中的侧向拉伸误差；此外，通过MEMS技术实现了锰铜敏感元件4-2和康铜敏感元件2-2的微型化与薄膜化，使其可减小对高压流场的影响，从而提高测量精度，也可使其适用于微尺度下超高压力的测量。
所述的锰铜敏感元件4-2和康铜敏感元件2-2具有相同的形状和尺寸，第二电极4-1和第一电极2-1具有相同的形状和尺寸，其中康铜敏感元件2-2和锰铜敏感元件4-2呈圆形，直径均为0.2mm，厚度均为2μm，可以很好地适应微尺度装药产生的二维凸球形爆轰波，使其受压均匀。
所述的绝缘层3采用在高压下具有良好绝缘性能的氧化铝陶瓷材料，通过MEMS工艺溅射而成，厚度为5μm。
所述的基底1和保护层5采用聚酰亚胺材料，通过匀胶固化工艺制成，厚度均为25μm左右；由于聚酰亚胺(PI)的冲击阻抗与炸药爆轰产物的冲击阻抗相近，所以聚酰亚胺用作传感器的基底1和保护层5可以使得冲击波在传播过程中近似达到阻抗匹配，减小了因阻抗不匹配带来的误差。
所述的一种微尺度柔性复合式超高压力传感器采用与MEMS兼容的柔性制造工艺实现了传感器的柔性化，使其可应用于曲面等多种工况下超高压力的测量，制造方法包括以下步骤：
步骤1：参照图4(a)，在干净的硅片载体6上包覆一层Parylene薄膜7作为释放层；
步骤2：参照图4(b)，在Parylene薄膜7表面上四次重叠旋涂液态聚酰亚胺(PI)预聚物，第一次的旋涂速度为2000rpm,旋涂后在热板上75℃预烘5min；为了提高聚酰亚胺(PI)薄膜的性能，每次重叠旋涂的转速比前一次转速提高200rpm，每次重叠旋涂后的预烘温度比前一次提高5℃；最后一次旋涂后，将聚酰亚胺(PI)预聚物涂覆层在热板上从90℃缓慢上升到145℃，并保温1h，然后再缓慢上升到200℃，并保温2h，最后将试样随热板冷却到室温，形成一定厚度的聚酰亚胺(PI)薄膜作为基底1；接着将基底1在氧等离子体系统中进行表面活化处理，处理参数为：功率200W，压强10mbar，时间为1min；
步骤3：参照图4(c)，在基底1上涂覆一层AZ4620光刻胶，然后光刻显影图形化，用磁控溅射方法沉积2μm康铜，通过剥离工艺形成康铜敏感元件2-2以及对应的第一电极2-1；
步骤4：参照图4(d)，在康铜敏感元件2-2以及第一电极2-1上面涂覆一层AZ4620光刻胶，然后光刻显影图形化，接着溅射5μm厚的氧化铝陶瓷作为绝缘层3，剥离后露出第一电极2-1的焊盘；
步骤5：参照图4(e)，在绝缘层3上涂覆一层AZ4620光刻胶，然后光刻显影图形化，同步骤3，用磁控溅射的方法依次形成锰铜敏感元件4-2及对应的第二电极4-1；
步骤6：参照图4(f)，同步骤2，在锰铜敏感元件4-2以及第二电极4-1表面上四次旋涂液态聚酰亚胺(PI)预聚物，旋涂完后在热板上90℃预烘5min，接着涂覆一层AZ4620光刻胶，在85℃热板上前烘15min，利用掩模板对准曝光30s,然后在正胶显影液中腐蚀40s聚酰亚胺(PI)预聚物，以露出第一电极2-1和第二电极4-1的焊盘，接着，将未曝光的光刻胶进行一次无掩模板曝光，然后放入正胶显影液中腐蚀10s左右去掉光刻胶层，最后，将聚酰亚胺(PI)预聚物加热固化形成保护层5；
步骤7：参照图4(g)，沿着划片槽预先将每个传感器划开，然后浸泡到丙酮溶液中，过15min后，Parylene薄膜7与硅片载体6分离，传感器被释放；采用氧等离子体刻蚀去掉传感器背面的Parylene薄膜7，然后在焊盘上用导电银胶粘贴引线，并在120℃烘箱中固化30min即获得微尺度柔性复合式超高压力传感器。
本发明微尺度柔性复合式超高压力传感器的工作原理为：
锰铜敏感元件4-2和康铜敏感元件2-2构成的两个相互独立的锰铜传感器和康铜传感器，传感器都采用四端电路，其中两端作为电源输入端，另外两端作为信号输出端；两个电源端使用同一恒流源供电，来消除锰铜传感器与康铜传感器之间的电位差，两个信号输出端接同一示波器进行信号采集；由于锰铜传感器的锰铜敏感元件4-2和康铜传感器的康铜敏感元件2-2采用上下对齐方式布置，中间隔有较薄的绝缘层3，所以在微尺度装药爆轰波作用下，可以认为它们处于相同的受压环境。
在微尺度装药爆轰波作用下，锰铜传感器的输出信号可表示为：
Figure BDA0001805115590000091
式中，下标M表示锰铜，2D表示二维轴对称条件，1D表示平面对称一维应变条件，Z表示垂直于冲击波作用的方向，
Figure BDA0001805115590000092
表示敏感元件受压之后的电阻。
由于康铜传感器在平面对称一维应变条件下，无电阻增量输出。故，在微尺度装药爆轰波作用下，康铜传感器的输出信号可表示为：
Figure BDA0001805115590000093
式中，下标C表示康铜。
在塑性范围内，二维轴对称条件下，锰铜敏感元件4-2与康铜敏感元件2-2在Z方向的应变有一定的关系，记为：
εZM＝f(εZC) (3)
又有，锰铜传感器在平面对称一维应变条件下的标定曲线：
联立公式(1)、(2)、(3)、(4)可得：
Figure BDA0001805115590000102
根据公式(5)就可以求解出微尺度装药爆轰压力值。
参照图5，图5为本发明微尺度柔性复合式超高压力传感器输出信号记录曲线的一个实例图，从图中可以看出锰铜传感器和康铜传感器同时供电，且同时受到微尺度装药爆轰压力的作用后产生电阻变化。将两个输出信号中的电阻变化值代入到公式(5)中即可计算出微尺度装药爆轰压力值。

Claims (6)

1.一种微尺度柔性复合式超高压力传感器，包括基底(1),其特征在于：基底(1)上通过MEMS工艺溅射有康铜敏感元件(2-2)及第一电极(2-1)；康铜敏感元件(2-2)的输入端和输出端分别连接两个第一电极(2-1)，康铜敏感元件(2-2)和第一电极(2-1)构成康铜层(2)；康铜敏感元件(2-2)及第一电极(2-1)的表面上覆盖有绝缘层(3)；绝缘层(3)上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件(4-2)及第二电极(4-1)；锰铜敏感元件(4-2)的输入端和输出端分别连接两个第二电极(4-1)，锰铜敏感元件(4-2)和第二电极(4-1)构成锰铜层(4)；锰铜敏感元件(4-2)和康铜敏感元件(2-2)采用上下对齐方式布置，第二电极(4-1)与第一电极(2-1)采用横轴线垂直方式布置，锰铜敏感元件(4-2)及第二电极(4-1)的表面上涂覆有保护层(5)；
所述的锰铜敏感元件(4-2)和康铜敏感元件(2-2)具有相同的形状和尺寸，康铜敏感元件(2-2)和锰铜敏感元件(4-2)呈圆形，直径均为0.2mm，厚度均为2μm。
2.根据权利要求1所述的一种微尺度柔性复合式超高压力传感器，其特征在于：所述的第二电极(4-1)和第一电极(2-1)具有相同的形状和尺寸。
3.根据权利要求1所述的一种微尺度柔性复合式超高压力传感器，其特征在于：所述的绝缘层(3)采用氧化铝陶瓷材料，通过MEMS工艺溅射而成，厚度为5μm。
4.根据权利要求1所述的一种微尺度柔性复合式超高压力传感器，其特征在于：所述的基底(1)和保护层(5)均采用聚酰亚胺材料，通过匀胶固化工艺制成，厚度均为25μm。
5.根据权利要求1所述的一种微尺度柔性复合式超高压力传感器，其特征在于：所述的锰铜敏感元件(4-2)和康铜敏感元件(2-2)构成两个相互独立的锰铜传感器和康铜传感器，传感器都采用四端电路，其中两端作为电源输入端，另外两端作为信号输出端；两个电源端使用同一恒流源供电，来消除锰铜传感器与康铜传感器之间的电位差，两个信号输出端接同一示波器进行信号采集，在微尺度装药爆轰波作用下，锰铜传感器和康铜传感器处于相同的受压环境。
6.根据权利要求1所述的一种微尺度柔性复合式超高压力传感器的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：在硅片载体(6)上包覆一层Parylene薄膜(7)作为释放层；
步骤2：在Parylene薄膜(7)上多次旋涂液态聚酰亚胺(PI)预聚物，加热固化后形成聚酰亚胺(PI)薄膜作为基底(1)；
步骤3：在基底(1)上用磁控溅射的方法依次沉积康铜敏感元件(2-2)及对应的第一电极(2-1)；
步骤4：在康铜敏感元件(2-2)以及第一电极(2-1)表面上溅射一层氧化铝陶瓷作为绝缘层(3)，利用掩模板形成溅射区域并露出第一电极(2-1)的焊盘；
步骤5：在绝缘层(3)上用磁控溅射的方法依次沉积锰铜敏感元件(4-2)及对应的第二电极(4-1)；
步骤6：在锰铜敏感元件(4-2)以及第二电极(4-1)表面上多次旋涂液态聚酰亚胺(PI)预聚物，然后湿法腐蚀聚酰亚胺(PI)预聚物，以露出第一电极(2-1)和第二电极(4-1)的焊盘，接着，加热固化聚酰亚胺(PI)预聚物形成保护层(5)；
步骤7：沿着划片槽预先将每个传感器划开，然后浸泡到丙酮溶液中，使Parylene薄膜(7)与硅片载体(6)分离，传感器被释放，从而得到微尺度柔性复合式超高压力传感器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109855687B (zh) * 2019-02-27 2021-05-11 中国工程物理研究院化工材料研究所 一种柔性温度-应变集成传感器阵列及制备方法
CN110926281B (zh) * 2019-12-19 2021-02-02 西安交通大学 一种基于mems压导探针的微尺度装药爆压与爆速测试系统
CN111780908B (zh) * 2020-07-04 2021-04-27 西安交通大学 一种测定微尺度装药爆轰波阵面曲率的mems压电式传感器
CN112945446B (zh) * 2021-02-01 2023-10-24 西安交通大学 一种具有电磁屏蔽功能的高透光柔性锰铜计

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1039113A (zh) * 1988-06-30 1990-01-24 北京理工大学 二维轴对称流场的拉氏测量方法
EP1298109A2 (en) * 2001-10-01 2003-04-02 Dowa Mining Co., Ltd. Metal/ceramic bonding article and method for producing same
CN1546969A (zh) * 2003-12-01 2004-11-17 湖南大学 锰铜－康铜复合拉氏压力传感器及其制造方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8357858B2 (en) * 2008-11-12 2013-01-22 Simon Fraser University Electrically conductive, thermosetting elastomeric material and uses therefor

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1039113A (zh) * 1988-06-30 1990-01-24 北京理工大学 二维轴对称流场的拉氏测量方法
EP1298109A2 (en) * 2001-10-01 2003-04-02 Dowa Mining Co., Ltd. Metal/ceramic bonding article and method for producing same
CN1546969A (zh) * 2003-12-01 2004-11-17 湖南大学 锰铜－康铜复合拉氏压力传感器及其制造方法

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