CN109149369B - 一种多单管半导体激光器准直合束结构 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及多单管半导体激光器的合束领域,尤其是一种利于散热和光束密排的多单管半导体激光器准直合束结构,其包括放置在平面底板上进行波长合束或偏振合束的多组准直合束单元。每组中的多个准直合束单元进行空间合束。每个准直合束单元包括斜面热沉、激光芯片组件(COS)、快轴准直透镜(FAC)、慢轴准直透镜(SAC)和45度反射镜。通过合理地设计斜面热沉、慢轴准直透镜(SAC)和45度反射镜的角度,可使准直合束单元输出光束的慢轴方向与平面底板的安装面平行,一组准直合束单元输出的光束相互平行且合束后光斑能在快轴方向实现无间距紧密排列。本发明结构不需要台阶,冷却均匀性和散热效率好,光束紧密排列,耦合效率高。
Description
技术领域
本发明涉及多单管半导体激光器的合束领域,尤其是一种利于散热和光束密排的多单管半导体激光器准直合束结构。
背景技术
光纤输出高功率半导体激光器,作为光纤激光器泵浦源和作为工业加工的直接光源得到了越来越广泛的应用,需求功率不断提高。光纤输出高功率半导体激光器的准直耦合结构在提高输出功率方面主要解决两方面的问题,一是提高散热效率,降低激光芯片的温升,二是实现光束密排提高耦合效率,把更多单管半导体激光器的光高效率地耦合到指定的光纤中。在提高散热效率方面,无论采用何种散热方式,缩短发热源与散热面之间的距离都是至关重要的。所谓光束密排,是指在不挡光的情况下将相同数量的光束排列在一起的时候,光束最外侧点的外接圆最小,或者在相同直径的圆中放入最多的光束。如果把单管半导体激光器准直光束的光斑等效为一个矩形,在对多单管半导体激光器准直光束进行合束时,矩形长边之间紧贴并且短边对齐排列,称为正排列,如果矩形长边紧贴但短边没有对齐,称为斜排列,对于相同的准直光束,斜排列所形成的合束光斑外接圆将大于正排列所形成的合束光斑外接圆,因此光束只有正排列才能实现密排。
多单管半导体激光器准直合束结构都是由半导体激光器单芯片准直单元经空间合束、偏振合束或波长合束等方式构成,其中由一列单芯片准直单元进行空间合束组成准直合束阵列是最基本的结构,进一步提高功率可由这种准直合束阵列进行空间合束、偏振合束或波长合束来实现。由于准直合束阵列的空间合束、偏振合束和波长合束技术已经比较成熟,因此设计最优的准直合束阵列结构非常重要。准直合束阵列中的基本单元是单芯片准直单元,所以准直合束阵列的结构主要由单芯片准直单元的结构予以体现。单芯片准直单元主要由热沉、激光芯片组件(COS)、快轴准直透镜(FAC)、慢轴准直透镜(SAC)和45度反射镜等元件构成。
准直合束阵列设计的基本要求是要让一列单芯片准直单元输出的光束在快轴方向进行空间叠加形成空间合束。已有技术在设计准直合束阵列时主要采用两类方案,一类是将单芯片准直单元放置在不同的高度上形成台阶结构,将输出光束进行简单的空间叠加,这种方式能够使用最简单的单芯片准直单元结构实现光束密排,但由于不同单芯片准直单元处于不同高度,与散热面的距离有差异,当单芯片准直单元数量较多时,高度差会很大,从而产生很大的散热差异;另一类是将单芯片准直单元放置在同一个平面上,使所有单芯片准直单元与散热面的距离相同,不同单芯片准直单元之间的散热没有差异,但这样的阵列结构前面的单芯片准直单元会挡住后面单芯片准直单元的光,无法进行光束叠加,要避免挡光,一般采用两种方式,一种是让单芯片准直单元的输出光形成一定的仰角,使后一个单芯片准直单元输出的光能够越过前一个单芯片准直单元的光学元件,另一种是变换光路,让不同单芯片准直单元的输出光产生高度差。如申请号为201120534542.9和201520045376.4的实用新型,采用的就是台阶结构,虽然能够实现光束密排,但不同芯片距离散热面的高度依此增加,当芯片数量比较多时,高度差将很明显,会导致散热的明显差异;申请号为201310322539.4的发明专利,虽然所有单芯片准直单元都安装在同一个平面,但却是一种变相的台阶结构,单芯片准直单元之间不但依然存在高度差,而且还需要将单芯片准直单元的输出光进行旋转,导致合束之后的光束呈斜排列,无法实现光束密排;申请号为201510359284.8的发明专利,所有单芯片准直单元均放置在同一个平面,慢轴准直透镜SAC是有一定的倾角的,并且不同的SAC倾角不一样,通过不一样的倾角折射出不一样的高度差,但不同单芯片准直单元形成输出光束高度差的方式会使光斑发生弯曲,且弯曲半径各不相同的,光束之间无法紧密排列,无法实现光束密排;申请号为201110394648.8的发明专利,所有单芯片准直单元均放置在同一个平面,形成输出光束高度差时也不会导致光束变形,也有可能实现光束密排,但每一个发光单元都需要使用结构复杂价格昂贵的光束变换元件,并且要实现密排时光束变换元件不允许有崩边,加工难度极高,且调节难度大、对位要求非常高,成本和制作难度均大幅增加,不适合用于批量生产。
对于将所有单芯片准直单元安装在同一个平面,采用让单芯片准直单元的输出光形成一定仰角的方式进行空间合束的方案,已有技术形成仰角是通过调整45度反射镜来实现,用这种方式形成仰角,单芯片准直单元输出光束的慢轴方向会发生旋转,导致准直合束阵列的合束光只能形成斜排列,无法实现光束密排。
发明内容
本发明的目的,是提供一种将所有单芯片准直单元均放置在同一个平面且能实现光束密排的低成本的新型多单管半导体激光器准直合束结构。
本发明的具体方案如下。
一种利于散热和光束密排的多单管半导体激光器准直合束结构,由平面底座和安装在平面底座安装面上的多组准直合束单元构成,多组准直合束单元能够进行波长合束或偏振合束。每组准直合束单元中的多个准直合束单元进行空间合束。
每个安装在平面底座安装面上的准直合束单元,包含单芯片激光发射组件(COS)、斜面热沉、快轴准直透镜(FAC)、慢轴准直透镜(SAC)和45度平面反射镜等。斜面热沉设置有一个斜焊接面,激光芯片组件就焊接在该斜焊接面上。激光芯片组件发出的激光经快轴准直透镜进行快轴准直和慢轴准直透镜进行慢轴准直后,由45度反射镜反射输出。输出的光束与平面底座间有一定的仰角。通过合理地设计斜面热沉、慢轴准直透镜(SAC)和45度反射镜之间的角度,能够调节激光芯片组件慢轴方向的旋转角度,从而补偿由于调整45度反射镜形成仰角所导致的慢轴方向发生的旋转,使输出的光束的慢轴方向与平面底板的安装面平行而光束传输方向与平面底座间有一定的仰角,,一组准直合束单元输出的光束相互平行且合束后光斑能够在快轴方向实现无间距紧密排列。
将激光芯片组件发出的激光经快轴准直和慢轴准直后所形成的光束称为发射光束,发射光束的传输方向称为发射方向,发射光束的快轴方向称为发射快轴方向,发射光束的慢轴方向称为发射慢轴方向;将发射光束经45度反射镜反射后的激光束称为输出光束,输出光束的传输方向称为输出方向,输出光束的快轴方向称为输出快轴方向,输出光束的慢轴方向称为输出慢轴方向;所有单芯片准直单元均安装在底座安装面,设置底座安装面的法线方向为Y轴方向,发射方向为Z轴方向,X轴方向按右手法则由Z至Y确定;设置斜面热沉斜焊接面的法线方向为Yh轴方向,发射方向为Zh轴方向,Xh轴的方向按右手法则由Zh至Yh确定;设置慢轴准直透镜的柱面轴为Ys轴方向,发射方向为Zs轴方向,Xs轴的方向按右手法则由Zs至Ys确定;设置45度反射镜反射面法线方向为Zr轴方向,反射面的高度方向设为Yr轴方向,Xr轴方向按右手法则由Zr至Yr确定;设置Xh轴方向与X轴方向的夹角为A1,Ys轴方向与Y轴方向之间的夹角为A2,Xr轴方向与Xz平面之间的夹角为A3,Zr轴方向与XZ平面之间的夹角为A4,发射慢轴方向与XZ平面之间的夹角为A5,输出慢轴方向与XZ平面之间的夹角为A6,输出方向与XZ平面之间的夹角为A7,A7为准直合束单元输出光束的仰角。
由于激光芯片组件焊接在斜面热沉的斜焊接面上,因此发射慢轴方向与Xh轴方向平行,即A5=A1,调节A1就能调节激光芯片组件慢轴的方向A5;慢轴准直透镜的柱面轴要求始终与激光芯片组件慢轴方向垂直,即Ys轴方向与Yh轴方向平行,因而有A2=A1,当改变A1时,慢轴准直透镜的柱面轴将跟随改变;
本发明所涉及的多单管半导体激光器准直合束结构,其准直合束阵列由2个以上安装在底座安装面XZ平面上的相同准直合束单元沿X轴方向排列而成,排列间距为D,该准直合束阵列实现光束密排的条件是后一准直合束单元的输出光束紧贴前一准直合束单元45度反射镜的上沿,使输出光束在输出快轴方向的排列间距等于光束的厚度H并对齐,形成正排列,其中,A1=A2=A5,A1、A3、A4、A6和A7的大小均可按需要调节,在要求光束密排的情况下,A1=A2=A5=A7=arctan(H/D),A3=A4=arctan(tan(A1)/(2^0.5)),A6=0。
本发明所涉及的多单管半导体激光器准直合束结构,对于大小相同的A1,有顺时针和逆时针两种方向取值,相应的,根据A1取顺时针和逆时针的不同,A2、A3、A4、A5、A6和A7的方向取值将分为顺时针和逆时针两组,设置A1取顺时针方向时对应的准直合束单元为顺时针准直合束单元,由一列顺时针准直合束单元组成的准直合束阵列称为顺时针准直合束阵列,A1取逆时针方向时对应的准直合束单元为逆时针准直合束单元,由一列逆时针准直合束单元组成的准直合束阵列称为逆时针准直合束阵列。
本发明所涉及的多单管半导体激光器准直合束结构,斜面热沉的底面焊接在底座安装面XZ平面上,即斜面热沉的底面与底座安装面重合,在斜面热沉上设置了一个安装激光芯片组件的斜焊接面,该斜焊接面在Zh轴方向与斜面热沉底面平行而在Xh轴方向与斜面热沉底面之间的夹角为A1,由于A1可以取顺时针或逆时针两种方向,因此斜面热沉的斜焊接面有两种倾斜方式,分别形成顺时针斜面热沉和逆时针斜面热沉两种斜面热沉;斜面热沉上设置斜焊接面不排斥斜面热沉为实现其它功能而有其它结构设置。
本发明所涉及的多单管半导体激光器准直合束结构,慢轴准直透镜安装在底座安装面XZ平面上时,夹角A2的形成,可以通过安装支架实现,支架可有多种结构,并无局限,也可以将慢轴准直透镜直接以底面接触的方式安装在底座安装面上实现,在以底面接触的方式安装在底座安装面上时,需要将慢轴准直透镜的底部切割成一个斜面,该斜面与Zs轴方向平行,与Xs轴方向的夹角等于A2,由于A2根据A1有两种取值,因而慢轴准直透镜的底部有两种切割方向,从而会形成顺时针慢轴准直透镜和逆时针慢轴准直透镜两种慢轴准直透镜。
本发明所涉及的多单管半导体激光器准直合束结构,45度反射镜安装在底座安装面XZ平面上时,夹角A6和A7的形成,可以通过安装支架实现,支架可有多种结构,并无局限,也可以通过将45度反射镜的底部切割成一个斜面并将该斜面与底座安装面直接接触来实现,在与底座安装面直接接触安装的情况下,45度反射镜切割出的底部斜面与XrYr平面的交线和Xr轴方向的夹角等于A3,与YrZr平面的交线和ZR轴方向的夹角等于A4,虽然A3和A4均随A1取顺时针或逆时针的不同而不同,但考虑到反射镜可旋转180度使用,A3可以只有一种取值,只需A4随A1取向变化即可,由于A3取值方向的不同,会形成两种45度反射镜,分别称为顺时针45度反射镜和逆时针45度反射镜。
附图说明
图1为矩形光斑空间合束正排列和斜排列外接圆大小对比示意图;
图2为A1取顺时针时顺时针准直合束单元的结构示意图;
图3为A1取顺时针时顺时针准直合束单元的光束走向示意图;
图4为斜面热沉斜焊接面不同倾斜方向形成的顺时针斜面热沉和逆时针斜面热沉示意图;
图5为慢轴准直透镜采用底部与底座安装面直接接触安装时底面不同切割方向所形成的顺时针慢轴准直透镜和逆时针慢轴准直透镜示意图;
图6为45度反射镜采用底部与底座安装面直接接触安装时底面不同切割方向所形成的顺时针45度反射镜和逆时针45度反射镜示意图;
图7为一组顺时针准直合束阵列实现光束密排的示意图;
图8为由一组顺时针准直合束阵列和一组逆时针准直合束阵列进行偏振合束的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。
图1(a)为光束正排列情况下外接圆大小,图1(b)为光束斜排列情况下外接圆大小,图1(c)为正排列和斜排列外接圆对比;从图1的对比可以看出,正排列的外接圆小于斜排列的外接圆。
多单管半导体激光器准直合束结构由平面底座和安装在平面底座安装面上的多组准直合束单元构成,多组准直合束单元能够进行波长合束或偏振合束。每组准直合束单元中的多个准直合束单元200进行空间合束。
每个安装在平面底座安装面上的准直合束单元200,包含单芯片激光发射组件(COS)120、斜面热沉210、快轴准直透镜(FAC)130、慢轴准直透镜(SAC)240和45度平面反射镜250等。斜面热沉210设置有一个斜焊接面211,激光芯片组件120就焊接在该斜焊接面211上。激光芯片组件120发出的激光经快轴准直透镜130进行快轴准直和慢轴准直透镜240进行慢轴准直后,由45度反射镜250反射输出。输出光束7与平面底座间有一定的仰角。通过合理地设计斜面热沉210、慢轴准直透镜(SAC)240和45度反射镜250的角度,能够调节激光芯片组件120慢轴方向的旋转角度,从而补偿由于调整45度反射镜250形成仰角所导致的慢轴方向发生的旋转,使输出光束7的慢轴方向与平面底板的安装面平行而光束传输方向与平面底座间有一定的仰角,一组准直合束单元200输出的光束相互平行且合束后光斑能够在快轴方向实现无间距紧密排列。
由于本发明中各元件和光束之间的空间关系比较复杂,为叙述方便,需要在一些主要元件上各自建立直角坐标系并对一些光束及其参考方向和一些夹角关系进行命名,具体规定为:将激光芯片组件120发出的激光经快轴准直和慢轴准直后所形成的光束称为发射光束6,发射光束6的传输方向称为发射方向,发射光束6的快轴方向称为发射快轴方向,发射光束6的慢轴方向称为发射慢轴方向5;将发射光束经45度反射镜250反射后的激光束称为输出光束7,输出光束7的传输方向称为输出方向,输出光束的快轴方向称为输出快轴方向,输出光束的慢轴方向称为输出慢轴方向8;所有单芯片准直单元均安装在平面底座安装面,设置底座安装面的法线方向为Y轴方向,发射方向为Z轴方向,X轴方向按右手法则由Z至Y确定;设置斜面热沉210斜焊接面211的法线方向为Yh轴方向,发射方向为Zh轴方向,Xh轴的方向按右手法则由Zh至Yh确定;设置慢轴准直透镜240的柱面轴为Ys轴方向,发射方向为Zs轴方向,Xs轴的方向按右手法则由Zs至Ys确定;设置45度反射镜250反射面法线方向为Zr轴方向,反射面的高度方向设为Yr轴方向,Xr轴方向按右手法则由Zr至Yr确定;设置Xh轴方向与X轴方向的夹角为A1,Ys轴方向与Y轴方向之间的夹角为A2,Xr轴方向与Xz平面之间的夹角为A3,Zr轴方向与XZ平面之间的夹角为A4,发射慢轴方向5与XZ平面之间的夹角为A5,输出慢轴方向8与XZ平面之间的夹角为A6,输出方向与XZ平面之间的夹角为A7,A7为准直合束单元输出光束的仰角。
如图2所示,A1取顺时针方向时准直合束单元构成顺时针准直合束单元200,它由顺时针斜面热沉210、激光芯片组件120、快轴压缩柱面镜130、慢轴压缩柱面镜240和45度反射镜250等构成。激光芯片组件120以钎焊方式安装在顺时针热沉210的斜焊接面211上。如图3所示,激光芯片组件120发出的激光经快轴压缩柱面镜130和慢轴压缩柱面镜240准直成发射光束6,发射光束6经45度反射镜250反射后成为输出光束7,发射方向与输出方向垂直;改变顺时针热沉210斜焊接面211与热沉底面212的夹角,可以调节发射慢轴方向5和输出慢轴方向8与底座安装面之间的夹角A5和A6,调节45度反射镜250可以改变输出光束7的输出方向与底座安装面之间的夹角A7。
由于激光芯片组件120焊接在斜面热沉210的斜焊接面211上,因此发射慢轴方向5与Xh轴方向平行,即A5=A1,调节A1就能调节A5;慢轴准直透镜240的柱面轴要求始终与激光芯片组件120慢轴方向垂直,即Ys轴方向与Yh轴方向平行,因而有A2=A1,当改变A1时,慢轴准直透镜240的柱面轴将跟随改变;
准直合束阵列由2个以上安装在底座安装面XZ平面上的相同准直合束单元200沿X轴方向排列而成,排列间距为D,该准直合束阵列实现光束密排的条件是后一准直合束单元的输出光束紧贴前一准直合束单元45度反射镜250的上沿,使输出光束7在输出快轴方向的排列间距等于光束的厚度H并对齐,形成正排列,其中,A1=A2=A5,A1、A3、A4、A6和A7的大小均可按需要调节,在要求光束密排的情况下,A1=A2=A5=A7=arctan(H/D),A3=A4=arctan(tan(A1)/(2^0.5)),A6=0。
如图4、图5、图6所示,如果慢轴准直透镜240和45度反射镜250采用直接接触的方式安装在底座安装面上时,所构成的顺时针准直合束单元将需要采用顺时针热沉、顺时针慢轴准直透镜和顺时针45度反射镜,逆时针准直合束单元将需要采用逆时针热沉、逆时针慢轴准直透镜和逆时针45度反射镜。
如图7,当准直合束单元200之间的间距为D,输出光束7的光束厚度为H时,输出光束叠加实现密排的条件是准直合束单元输出光束仰角A7=arctan(H/D)且输出慢轴方向A6=0;调整45度反射镜250使输出光束仰角A7=arctan(H/D)时,输出光束的慢轴方向会发生相应旋转,导致A6≠0,但通过设置斜面热沉210的斜焊接面211的倾斜角度A1,可以调整发射慢轴的方向,当A1=A7时,调整45度反射镜250获得输出光束仰角A7而导致的输出慢轴旋转能够得到补偿,使A6=0。
如图8,一组顺时针准直合束单元和一组逆时针准直合束单元可进行偏振合束。
本发明所涉及的多单管半导体激光器准直合束结构,对于大小相同的A1,有顺时针和逆时针两种方向取值,相应的,根据A1取顺时针和逆时针的不同,A2、A3、A4、A5、A6和A7的方向取值将分为顺时针和逆时针两组,设置A1取顺时针方向时对应的准直合束单元为顺时针准直合束单元,由一列顺时针准直合束单元组成的准直合束阵列称为顺时针准直合束阵列,A1取逆时针方向时对应的准直合束单元为逆时针准直合束单元,由一列逆时针准直合束单元组成的准直合束阵列称为逆时针准直合束阵列。
本发明的多单管半导体激光器准直合束结构,斜面热沉210的底面焊接在底座安装面XZ平面上,即斜面热沉的底面与底座安装面重合,由于A1可以取顺时针或逆时针两种方向,因此斜面热沉210的斜焊接面211有两种倾斜方式,分别形成顺时针斜面热沉和逆时针斜面热沉两种斜面热沉;斜面热沉上设置斜焊接面不排斥斜面热沉为实现其它功能而有其它结构设置。
本发明所涉及的多单管半导体激光器准直合束结构,慢轴准直透镜240安装在底座安装面XZ平面上时,夹角A2的形成,可以通过安装支架实现,支架可有多种结构,并无局限,也可以将慢轴准直透镜240直接以底面接触的方式安装在底座安装面上实现,在以底面接触的方式安装在底座安装面上时,需要将慢轴准直透镜的240底部切割成一个斜面,该斜面与Zs轴方向平行,与Xs轴方向的夹角等于A2,由于A2根据A1有两种取值,因而慢轴准直透镜240的底部有两种切割方向,从而会形成顺时针慢轴准直透镜和逆时针慢轴准直透镜两种慢轴准直透镜。
本发明所涉及的多单管半导体激光器准直合束结构,45度反射镜250安装在底座安装面XZ平面上时,夹角A6和A7的形成,可以通过安装支架实现,支架可有多种结构,并无局限,也可以通过将45度反射镜250的底部切割成一个斜面并将该斜面与底座安装面直接接触来实现,在与底座安装面直接接触安装的情况下,45度反射镜250切割出的底部斜面与XrYr平面的交线和Xr轴方向的夹角等于A3,与YrZr平面的交线和ZR轴方向的夹角等于A4,虽然A3和A4均随A1取顺时针或逆时针的不同而不同,但考虑到反射镜可旋转180度使用,A3可以只有一种取值,只需A4随A1取向变化即可,由于A3取值方向的不同,会形成两种45度反射镜250,分别称为顺时针45度反射镜和逆时针45度反射镜。
Claims (2)
1.一种利于散热和光束密排的多单管半导体激光器准直合束结构,由平面底座和安装在平面底座安装面上的多组准直合束单元构成,每个准直合束单元包含单芯片激光发射组件(COS)、热沉、快轴准直透镜(FAC)、慢轴准直透镜(SAC)和45度平面反射镜,平面底座的安装面为一个平面,其特征是:热沉为斜面热沉,斜面热沉设置有一个斜焊接面,单芯片激光发射组件焊接在该斜焊接面上,准直合束单元通过合理地设计斜面热沉、慢轴准直透镜(SAC)和45度平面反射镜之间的角度,能够调节单芯片激光发射组件慢轴方向的旋转角度,从而补偿由于调整45度平面反射镜形成仰角所导致的慢轴方向发生的旋转,能够使输出光束的慢轴方向与平面底座的安装面平行而光束传输方向与平面底座间有一定的仰角,一组准直合束单元输出的光束相互平行且合束后光斑能够在快轴方向实现无间距紧密排列;
设置底座安装面的法线方向为Y轴方向,发射方向为Z轴方向,X轴方向按右手法则由Z至Y确定;斜面热沉斜焊接面的法线方向为Yh轴方向,发射方向为Zh轴方向,Xh轴的方向按右手法则由Zh至Yh确定;慢轴准直透镜的柱面轴为Ys轴方向,发射方向为Zs轴方向,Xs轴的方向按右手法则由Zs至Ys确定;45度平面反射镜反射面法线方向为Zr轴方向,反射面的高度方向设为Yr轴方向,Xr轴方向按右手法则由Zr至Yr确定;Xh轴方向与X轴方向的夹角为A1,Ys轴方向与Y轴方向之间的夹角为A2,Xr轴方向与XZ平面之间的夹角为A3,Zr轴方向与XZ平面之间的夹角为A4,发射慢轴方向与XZ平面之间的夹角为A5,输出慢轴方向与XZ平面之间的夹角为A6,输出方向与XZ平面之间的夹角为A7,A7为准直合束单元输出光束的仰角;准直合束单元之间的安装间距为D,使输出光束在输出快轴方向的排列间距等于光束的厚度H并对齐,形成正排列,其中,A1=A2=A5,A1、A3、A4、A6和A7的大小按需要调节,在要求光束密排的情况下,A1=A2=A5=A7=arctan(H/D),A3=A4=arctan(tan(A1)/(2^0.5)),A6=0;
A1有顺时针和逆时针两种方向取值,斜面热沉的斜焊接面有两种倾斜方式,分别形成顺时针斜面热沉和逆时针斜面热沉两种斜面热沉,相应的A2、A3、A4、A5、A6和A7的方向取值将分为顺时针和逆时针两组,设置A1取顺时针方向时对应的准直合束单元为顺时针准直合束单元,A1取逆时针方向时对应的准直合束单元为逆时针准直合束单元。
2.根据权利要求1所述的多单管半导体激光器准直合束结构,其特征在于:慢轴准直透镜安装在底座安装面XZ平面上时,夹角A2通过安装支架实现或通过将慢轴准直透镜的底部切割成一个斜面并将该斜面与底座安装面直接接触来实现;45度平面反射镜安装在底座安装面XZ平面上时,夹角A6和A7通过安装支架实现或通过将45度平面反射镜的底部切割成一个斜面并将该斜面与底座安装面直接接触来实现。
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