CN109116274A - 一种四自由度磁场测试装置 - Google Patents

一种四自由度磁场测试装置 Download PDF

Info

Publication number
CN109116274A
CN109116274A CN201710485717.3A CN201710485717A CN109116274A CN 109116274 A CN109116274 A CN 109116274A CN 201710485717 A CN201710485717 A CN 201710485717A CN 109116274 A CN109116274 A CN 109116274A
Authority
CN
China
Prior art keywords
magnetic field
probe
connecting rod
degree
module
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710485717.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109116274B (zh
Inventor
贾晓亮
王凯波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Zhongkexin Electronic Equipment Co Ltd
Original Assignee
Beijing Zhongkexin Electronic Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Zhongkexin Electronic Equipment Co Ltd filed Critical Beijing Zhongkexin Electronic Equipment Co Ltd
Priority to CN201710485717.3A priority Critical patent/CN109116274B/zh
Publication of CN109116274A publication Critical patent/CN109116274A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109116274B publication Critical patent/CN109116274B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/10—Plotting field distribution ; Measuring field distribution
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/12—Measuring magnetic properties of articles or specimens of solids or fluids
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D3/00—Control of position or direction
    • G05D3/12—Control of position or direction using feedback

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Abstract

本发明公开了一种四自由度磁场测量装置，包括：龙门运动平台模块(1)、探头连杆模块(2)、旋转平台模块(3)。其中龙门运动模块(1)由三个直线运动平台连接而成，可以通过电机实现沿X、Y、Z三个方向的运动，从而准确控制探头的移动位置及坐标；探头连杆模块(2)由连杆底座、连杆、高斯探头组成。高斯探头位于连杆前端，可作360°转动，以便于测量磁场的不同分量；旋转平台模块(3)由水平平台、旋转台组成，旋转台用于固定龙门运动平台，其能够实现一定角度的旋转，从而调整磁测角度。本发明涉及磁铁测量装置，隶属于半导体制造领域。

Description

一种四自由度磁场测试装置
技术领域
本发明涉及一种半导体器件制造装备，即离子注入机，特别地涉及一种用于离子注入机各个磁铁磁场测量的装置。
背景技术
随着集成电路工艺的不断进步，离子注入设备也在随之不断更新换代。离子注入设备可用于各种材料改性、半导体元器件制造、电子器件制造等领域。离子注入机主要由各种不同结构的磁铁组成。其中包括分析磁铁、平行透镜、四极透镜等。
磁铁属于离子注入设备的核心部件，直接决定了离子注入设备的性能高低。而不同磁铁结构不同、磁场不同，其存在机械结构复杂、磁场分布复杂等特点。因此在磁铁生产完成后，需要专业的磁场测量设备测试磁铁不同位置的磁场，以准确掌握磁铁的工作能力。
发明内容
本发明公开了一种四自由度磁场测试装置，可用于绝大部分离子注入设备所用磁铁的磁场测试。其可以在三维空间实现准确定位，并且可以在一定角度内旋转测量，测量范围大、位置控制准确。
本发明公开了一种四自由度磁场测试装置，包括：龙门运动平台模块、探头连杆模块、旋转平台模块。其可以通过电机实现沿X、Y、Z三个方向的运动，从而准确控制探头的移动位置及坐标；高斯探头位于连杆前端，可作360°转动，以便于测量磁场的不同分量；旋转台用于固定龙门运动平台，其能够实现一定角度的旋转，从而调整磁测角度，实现大范围准确磁场测量。
本发明通过以下技术方案实现：
1.一种四自由度磁场测试装置，包括：龙门运动平台模块(1)、探头连杆模块(2)、旋转平台模块(3)。其特征在于：龙门运动平台可在三维空间内准确定位坐标，旋转台可准确控制探头与磁铁平行度，探头可360°旋转，易于测试磁场分量。
2.一种四自由度磁场测试装置，龙门运动平台模块(1)由三个直线运动平台连接而成，可以通过电机实现沿X、Y、Z三个方向的运动，从而准确控制探头的移动位置及坐标。其X(左右)方向运动范围为800mm，Y(垂直)方向运动范围为500mm，Z(前后)方向运动范围为1500mm。能够实现大范围精确坐标控制。
3.一种四自由度磁场测试装置，探头连杆模块(2)分为连杆底座、连杆、高斯探头三部分。探头连杆全长为1800mm，高斯探头镶嵌在连杆前端，可进行360°转动，从而精确测量磁场的不同分量。
4.一种四自由度磁场测试装置，旋转平台模块(3)由水平平台、旋转台组成，旋转台用于固定龙门运动平台，其能够实现一定角度的旋转，从而调整磁测角度。
本发明具有如下显著优点：
1.结构简单，拆装维护方便。
2.测量范围大，磁测通用性强。
附图说明
图1磁场测量装置总装图
图2龙门运动平台模块结构图
图3探头连杆模块结构图
图4旋转平台模块结构图
具体实施方式
下面结合附图1、附图2、附图3、附图4对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。
参见图1、图2、图3、图4，一种四自由度磁场测试装置，包括：龙门运动平台模块(1)、探头连杆模块(2)、旋转平台模块(3)。本磁场测量装置采用龙门结构控制探头在三维空间中的坐标。探杆前端的探头可进行360°旋转，以测试不同分量的磁场。龙门结构直接控制在可旋转平台上，旋转平台可使磁测装置进行整体旋转，方便测试。
在该实施方案中，龙门运动平台模块(1)由三个直线运动平台连接而成，可以通过电机实现沿X、Y、Z三个方向的运动，电机由单片机控制，并通过光栅尺进行反馈调节，从而准确控制探头的移动位置及坐标。其X(左右)方向运动范围为800mm，Y(垂直)方向运动范围为500mm，Z(前后)方向运动范围为1500mm。该运动范围可以覆盖绝大多数离子注入设备所需磁铁的测试范围。
在该实施方案中，探头连杆模块(2)分为连杆底座、连杆、高斯探头三部分。探头连杆全长为1800mm，高斯探头镶嵌在连杆前端，可进行360°转动，在实际测量中，可以根据需要旋转探头方向，从而精确测量磁场的不同分量。
在该实施方案中，旋转平台模块(3)由水平平台、旋转台组成，旋转台用于固定龙门运动平台，其能够实现一定角度的旋转，从而调整磁测角度。该平台可以通过四脚的水平调节装置调节磁测机构的水平度，通过旋转平台调节探头与被测磁铁的平行度，从而做到准确测量磁场。
本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。

Claims (4)

1.一种四自由度磁场测量装置，包括：龙门运动平台模块(1)、探头连杆模块(2)、旋转平台模块(3)，其特征在于：龙门运动平台可在三维空间内准确定位坐标，旋转台可准确控制探头与磁铁平行度，探头可360°旋转，易于测试磁场分量。
2.如权利要求1所述的一种四自由度磁场测量装置，龙门运动平台模块(1)由三个直线运动平台连接而成，可以通过电机实现沿X、Y、Z三个方向的运动，从而准确控制探头的移动位置及坐标，其X(左右)方向运动范围为800mm，Y(垂直)方向运动范围为500mm，Z(前后)方向运动范围为1500mm，能够实现大范围精确坐标控制。
3.如权利要求1所述的一种四自由度磁场测量装置，探头连杆模块(2)分为连杆底座、连杆、高斯探头三部分，探头连杆全长为1800mm，高斯探头镶嵌在连杆前端，可进行360°转动，从而精确测量磁场的不同分量。
4.如权利要求1所述的一种四自由度磁场测量装置，旋转平台模块(3)由水平平台、旋转台组成，旋转台用于固定龙门运动平台，其能够实现一定角度的旋转，从而调整磁测角度。
CN201710485717.3A 2017-06-23 2017-06-23 一种四自由度磁场测试装置 Active CN109116274B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710485717.3A CN109116274B (zh) 2017-06-23 2017-06-23 一种四自由度磁场测试装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710485717.3A CN109116274B (zh) 2017-06-23 2017-06-23 一种四自由度磁场测试装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109116274A true CN109116274A (zh) 2019-01-01
CN109116274B CN109116274B (zh) 2021-06-11

Family

ID=64732171

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710485717.3A Active CN109116274B (zh) 2017-06-23 2017-06-23 一种四自由度磁场测试装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109116274B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110082694A (zh) * 2019-04-29 2019-08-02 上海东软医疗科技有限公司 磁场测量装置、磁共振设备及磁场测量方法
CN110426657A (zh) * 2019-02-20 2019-11-08 哈尔滨工业大学（威海） 旋转电机超薄气隙磁场测试装置及方法
CN114167328A (zh) * 2022-02-10 2022-03-11 北京高能锐新科技有限责任公司 二极偏转磁铁借位磁测方法

Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101017194A (zh) * 2007-02-12 2007-08-15 西安交通大学 一种测量三维动态磁场的装置及方法
CN101074984A (zh) * 2007-06-22 2007-11-21 吉林大学 高压霍尔效应测量装置和测量方法
JP2008286723A (ja) * 2007-05-21 2008-11-27 Ims:Kk 磁気測定装置と磁気測定方法
CN201322791Y (zh) * 2008-12-23 2009-10-07 中国科学院电工研究所 一种用于超导磁体磁场分布测量装置
CN201883328U (zh) * 2010-05-21 2011-06-29 中纺标(北京)检验认证中心有限公司 纺织品表面磁感应强度的测试装置
CN102353914A (zh) * 2011-07-07 2012-02-15 贵州大学 三维脉冲磁场测量装置
US20130033255A1 (en) * 2011-08-05 2013-02-07 Thad Gilbert Walker Gas Magnetometer
CN103091646A (zh) * 2012-10-31 2013-05-08 吴江市宏达探伤器材有限公司 旋转磁场探头
CN203870233U (zh) * 2014-06-06 2014-10-08 辽宁工业大学 一种三维静态磁场分布检测装置
CN104215919A (zh) * 2014-09-30 2014-12-17 北京卫星环境工程研究所 用于测量磁场梯度张量的装置及其测量方法
CN105527592A (zh) * 2016-02-17 2016-04-27 浙江和也健康科技有限公司 一种空间磁场测试仪
CN105652219A (zh) * 2014-12-03 2016-06-08 浙江工业职业技术学院 一种连杆驱动三维磁场测量探头
CN106249179A (zh) * 2016-08-20 2016-12-21 湖南科技大学 自动多自由度磁场测试实验台
CN206057540U (zh) * 2016-10-12 2017-03-29 广东电网有限责任公司电力科学研究院 一种三维磁场测量装置
CN106601096A (zh) * 2016-12-15 2017-04-26 北京原力辰超导技术有限公司 一种多模型磁场扫描系统
CN106842075A (zh) * 2017-04-10 2017-06-13 华中科技大学 一种测量控制系统
US9927501B2 (en) * 2014-10-24 2018-03-27 Korea Research Institute Of Standards And Science Atomic magnetometer and operating method of the same

Patent Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101017194A (zh) * 2007-02-12 2007-08-15 西安交通大学 一种测量三维动态磁场的装置及方法
JP2008286723A (ja) * 2007-05-21 2008-11-27 Ims:Kk 磁気測定装置と磁気測定方法
CN101074984A (zh) * 2007-06-22 2007-11-21 吉林大学 高压霍尔效应测量装置和测量方法
CN201322791Y (zh) * 2008-12-23 2009-10-07 中国科学院电工研究所 一种用于超导磁体磁场分布测量装置
CN201883328U (zh) * 2010-05-21 2011-06-29 中纺标(北京)检验认证中心有限公司 纺织品表面磁感应强度的测试装置
CN102353914A (zh) * 2011-07-07 2012-02-15 贵州大学 三维脉冲磁场测量装置
US20130033255A1 (en) * 2011-08-05 2013-02-07 Thad Gilbert Walker Gas Magnetometer
CN103091646A (zh) * 2012-10-31 2013-05-08 吴江市宏达探伤器材有限公司 旋转磁场探头
CN203870233U (zh) * 2014-06-06 2014-10-08 辽宁工业大学 一种三维静态磁场分布检测装置
CN104215919A (zh) * 2014-09-30 2014-12-17 北京卫星环境工程研究所 用于测量磁场梯度张量的装置及其测量方法
US9927501B2 (en) * 2014-10-24 2018-03-27 Korea Research Institute Of Standards And Science Atomic magnetometer and operating method of the same
CN105652219A (zh) * 2014-12-03 2016-06-08 浙江工业职业技术学院 一种连杆驱动三维磁场测量探头
CN105527592A (zh) * 2016-02-17 2016-04-27 浙江和也健康科技有限公司 一种空间磁场测试仪
CN106249179A (zh) * 2016-08-20 2016-12-21 湖南科技大学 自动多自由度磁场测试实验台
CN206057540U (zh) * 2016-10-12 2017-03-29 广东电网有限责任公司电力科学研究院 一种三维磁场测量装置
CN106601096A (zh) * 2016-12-15 2017-04-26 北京原力辰超导技术有限公司 一种多模型磁场扫描系统
CN106842075A (zh) * 2017-04-10 2017-06-13 华中科技大学 一种测量控制系统

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
王国安: "三座标磁场测量装置", 《原子能科学技术》 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110426657A (zh) * 2019-02-20 2019-11-08 哈尔滨工业大学（威海） 旋转电机超薄气隙磁场测试装置及方法
CN110426657B (zh) * 2019-02-20 2021-10-22 哈尔滨工业大学（威海） 旋转电机超薄气隙磁场测试装置及方法
CN110082694A (zh) * 2019-04-29 2019-08-02 上海东软医疗科技有限公司 磁场测量装置、磁共振设备及磁场测量方法
CN114167328A (zh) * 2022-02-10 2022-03-11 北京高能锐新科技有限责任公司 二极偏转磁铁借位磁测方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN109116274B (zh) 2021-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100588983C (zh) 小型永磁体空间磁场的三维测量装置及其测量方法
CN102620684B (zh) 三维形貌痕迹比对测量仪
CN106017366B (zh) 一种直线度综合检测装置
CN109116274A (zh) 一种四自由度磁场测试装置
CN102103192B (zh) 单方向磁场自动定位测量装置
CN104215919A (zh) 用于测量磁场梯度张量的装置及其测量方法
CN108168450A (zh) 一种精密回转体零件直径自动测量仪
CN106813696A (zh) 六自由度的控制装置
CN206593607U (zh) 自动光学白光扫描仪
CN104091748B (zh) 电离室调节装置
CN107462181A (zh) 一种三维高精度多功能热变形试验装置
CN109188323A (zh) 一种新型的磁钢磁场特性自动化检测装置
CN208419960U (zh) 垂直水平度测量仪
CN112816546B (zh) 一种三轴漏磁内检测器整机传感器校正装置及校正方法
Campmany et al. New improvements in magnetic measurements laboratory of the ALBA synchrotron facility
CN108169698B (zh) 一种利用合成标量磁场测量磁场线圈的磁轴正交度方法
CN204575833U (zh) 一种基于霍尔效应的磁感应强度矢量测量装置
CN205138490U (zh) 一种吸附式隧道直线卡控测量激光指示仪
CN207502706U (zh) 基于电磁感应实现回旋加速器磁测系统的校准装置
CN107340001A (zh) 地磁测量误差补偿试验装置
CN207395940U (zh) 一种二维电磁激励器的力标定装置
CN104075660B (zh) 一种用于固定导磁性工件的工作台及其光学计
CN208721006U (zh) 一种检测定位装置及生产线
CN204064239U (zh) 一种用于固定导磁性工件的工作台及其光学计
Beltrán et al. An instrument for precision magnetic measurements of large magnetic structures

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant