CN109031891B - 曝光机的照明机构及其曝光方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种曝光机的照明机构及其曝光方法，照明机构包括具有透镜切换系统的发光单元，透镜切换系统包括透镜固定部件、固定设置在所述透镜固定部件上的用于阵列基板制程的第一透镜、固定设置在透镜固定部件上的用于彩色滤光片制程的第二透镜、用于驱动透镜固定部件转动或移动的驱动部件以及电性连接于驱动部件的用于控制驱动部件启动的控制模块。通过透镜切换系统的设置，实现了第一透镜和第二透镜的切换操作，进而满足同一曝光机可以进行阵列基板制程和彩色滤光片制程，提高了设备的利用率。

Description

曝光机的照明机构及其曝光方法

技术领域

本发明涉及一种曝光机技术领域，特别涉及一种曝光机的照明机构以及曝光方法。

背景技术

随着显示面板的迅速发展，在制作显示面板的工艺上也在不断改进和创新，其中制作显示面板通常需要进行阵列基板制程和彩色滤光片制程，而进行这两种制程需要曝光机进行曝光。

现有的制作工艺中，阵列基板制程和彩色滤光片制程用的是两个不同的曝光机，对应的分别为阵列曝光机和彩色滤光片曝光机，两种曝光机因精度与光阻材料的不同在光源频谱方面有所差异，阵列曝光机为了保证高精度采用滤波透镜过滤掉了波长小于350nm的波段，但是彩色滤光片色阻材料中光起始剂主要在波长小于350nm的波段作用下才能激发完全，直接采用阵列曝光机不适于做彩色滤光片制，彩色滤光片材料交联反应不完全，容易导致面板起泡问题，导致面板品质下降甚至报废。

因此采用两种不同的曝光机应对两种制程，浪费了设备的利用率，加大了产品的生产成本。

发明内容

本发明实施例提供一种提高曝光机及其曝光方法利用率的、节约生产成本的曝光机的照明机构；以解决现有的显示面板采用两种不同的曝光机分别应对两种阵列基板制程和彩色滤光片制程，浪费了设备的利用率，加大了产品的生产成本的技术问题。

本发明实施例提供一种曝光机的曝光机的照明机构，包括用于提供光源的发光单元和用于将所述发光单元发出的光线投射于阵列基板或彩色滤光片基板的光投射单元，所述发光单元包括光源、用于将所述光源发出的光线反射至透镜切换系统的反射部件以及用于汇聚所述反射部件的光线并将光线发射至所述光投射单元的所述透镜切换系统，

所述透镜切换系统包括：

透镜固定部件，用于固定第一透镜和第二透镜；

所述第一透镜，固定设置在所述透镜固定部件上，用于阵列基板制程；

所述第二透镜，固定设置在所述透镜固定部件上，用于彩色滤光片制程；

驱动部件，用于驱动所述透镜固定部件转动或移动，以实现切换所述第一透镜和所述第二透镜；以及

控制模块，用于控制所述驱动部件启动，电性连接于所述驱动部件。

在本发明的曝光机的照明机构的第一技术方案中，所述透镜固定部件包括一位于所述透镜固定部件中心位置的中心孔和分布在所述中心孔外圆周的至少两个固定孔，

所述驱动部件为驱动电机，所述驱动部件的转轴固定连接在所述中心孔内，用于驱动所述透镜固定部件旋转；所述第一透镜和第二透镜分别固定设置在所述固定孔内。

在本发明的曝光机的照明机构的第二技术方案中，所述透镜固定部件包括对称设置在所述透镜固定部件上的两个固定孔、以及设置在所述透镜固定部件一侧的连接部；所述连接部的中心点位于两个所述固定孔中心点的连线的中垂线上，

所述驱动部件为驱动电机，所述驱动部件的转轴固定连接于所述连接部，用于驱动所述透镜固定部件翻转；所述第一透镜和第二透镜分别固定设置在所述固定孔内，且所述第一透镜的入光面的朝向和第二透镜的入光面的朝向相反。

在本发明的曝光机的照明机构的第三技术方案中，所述透镜固定部件包括呈直线排布的设置在所述透镜固定部件上的两个固定孔、以及设置在所述透镜固定部件背面的螺母，所述透镜切换系统还包括一位于所述透镜固定部件两侧的底板、设置在所述底板上的导轨和设置在所述导轨之间的丝杆，

所述驱动部件为一驱动电机，所述驱动部件的转轴连接于所述丝杆，所述丝杆螺纹连接于所述螺母，所述透镜固定部件滑动设置在所述导轨上，所述第一透镜和第二透镜分别固定设置在所述固定孔内。

在本发明的曝光机的照明机构中，所述固定孔的内壁设置有一沿着所述固定孔圆周方向延伸的环型的凹槽，所述第一透镜和第二透镜的外周壁均设置有一凸环，

所述凸环过盈设置在所述凹槽内。

在本发明的曝光机的照明机构中，所述发光单元还包括一用于进行光路传递的且所述第一透镜或所述第二透镜在固定位置进行光传递的设定位，所述透镜切换系统包括一用于检查判断所述设定位上为所述第一透镜还是所述第二透镜的检测判断模块，所述检测判断模块电性连接于所述控制模块。

在本发明的曝光机的照明机构中，所述第一透镜和第二透镜的曲率相同。

在本发明的曝光机的照明机构中，所述第一透镜为滤波透镜，所述第二透镜为隔热透镜。

本发明还涉及一种基于上述的曝光机的照明机构的曝光方法，所述曝光机的照明机构包括用于制作阵列基板的第一工作状态和用于制作彩色滤光片的第二工作状态；所述曝光方法包括以下步骤：

S1：控制模块获取工作信号，并将所述工作信号发送给检测判断模块，所述工作信号为启动所述第一工作状态的第一信号或启动所述第二工作状态的第二信号；

S2：所述检测判断模块判断位于所述设定位的透镜是否与相应所述工作信号匹配，并将相应的判断信号发送给所述控制模块；

S3：所述控制模块根据相应的判断信号，发送截止信号或启动信号给驱动部件；

S4：所述控制模块发出截止信号，则所述驱动部件不启动；所述控制模块发出启动信号，所述驱动部件启动，并驱动所述透镜固定部件转动或移动，以切换另一透镜位于所述设定位。

在本发明的曝光方法中，所述第一透镜和第二透镜的曲率相同。

相较于现有技术的曝光机的照明机构，本发明的曝光机的照明机构及其曝光方法通过透镜切换系统的设置，实现了第一透镜和第二透镜的切换操作，进而满足同一曝光机可以进行阵列基板制程和彩色滤光片制程，提高了设备的利用率；解决了现有的显示面板采用两种不同的曝光机分别应对两种阵列基板制程和彩色滤光片制程，浪费了设备的利用率，加大了产品的生产成本的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍。下面描述中的附图仅为本发明的部分实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。

图1为本发明的曝光机的照明机构的第一优选实施的结构示意图；

图2为本发明的曝光机的照明机构的第一优选实施例的透镜切换系统的结构示意图；

图3为本发明的曝光机的照明机构的第二优选实施例的透镜切换系统的结构示意图；

图4为本发明的曝光机的照明机构的第三优选实施例的透镜切换系统的结构示意图；

图5为本发明的曝光机的照明机构的曝光方法的流程示意图。

具体实施方式

请参照附图中的图式，其中相同的组件符号代表相同的组件。以下的说明是基于所例示的本发明具体实施例，其不应被视为限制本发明未在此详述的其它具体实施例。

请参照图1和图2，图1为本发明的曝光机的照明机构的第一优选实施的结构示意图；图2为本发明的曝光机的照明机构的第一优选实施例的透镜切换系统的结构示意图。

本第一实施例的曝光机的曝光机的照明机构包括用于提供光源的发光单元D1和用于将发光单元D1发出的光线投射于阵列基板或彩色滤光片基板的光投射单元D2，发光单元D1包括光源11、用于将光源11发出的光线反射至透镜切换系统的反射部件12以及用于汇聚反射部件12的光线并将光线发射至光投射单元D2的透镜切换系统，

透镜切换系统包括透镜固定部件13、第一透镜14、第二透镜15、驱动部件16、控制模块17和检测判断模块18。

其中，透镜固定部件13用于固定第一透镜14和第二透镜15；第一透镜14固定设置在透镜固定部件13上，用于阵列基板制程；第二透镜15固定设置在透镜固定部件13上，用于彩色滤光片制程；驱动部件16用于驱动透镜固定部件13转动或移动，以实现切换第一透镜14和第二透镜15；控制模块17电性连接于驱动部件16，用于控制驱动部件16启动，检测判断模块18电性连接于控制模块17用于检测判断设定位上是第一透镜14还是第二透镜15。

设定位为发光单元D1中用于进行光路传递的，第一透镜14或第二透镜15在固定位置进行光传递的工作位。

光投射单元D2包括依次设置在透镜切换系统的出光方向上的第一复眼透镜、第一聚光透镜组合、第二复眼透镜、第三聚光透镜、反射镜和第四聚光投影。

本第一实施例中，当需要进行阵列基板制程时，检测判断模块18检测判断第一透镜14是否在设定位上，若在，则控制模块17不需要发送启动信号给驱动部件16，驱动部件16静止，让第一透镜14继续在设定位上即可；若第一透镜14不在设定位上，则控制模块17发送启动信号给驱动部件16，驱动部件16启动并驱动透镜固定部件13转动或移动，以使第一透镜14定位在设定位。

当需要进行彩色滤光片制程时，检测判断模块18检测判断第二透镜15是否在设定位上，若在，则控制模块17不需要发送启动信号给驱动部件16，驱动部件16静止，让第二透镜15继续在设定位上即可；若第二透镜15不在设定位上，则控制模块17发送启动信号给驱动部件16，驱动部件16启动并驱动透镜固定部件13转动或移动，以使第二透镜15定位在设定位。

本实施例通过透镜切换系统的设置，实现了第一透镜14和第二透镜15的切换操作，进而满足同一曝光机可以进行阵列基板制程和彩色滤光片制程，提高了设备的利用率。

具体的，透镜固定部件13包括一位于透镜固定部件13中心位置的中心孔131和分布在中心孔131外圆周的至少两个固定孔132，驱动部件16为驱动电机，驱动部件16的转轴固定连接在中心孔131内，用于驱动透镜固定部件13旋转；第一透镜14和第二透镜15分别固定设置在固定孔132内。

通过旋转方式实现第一透镜14和第二透镜15的切换，节省了透镜固定部件13所需的空间。

在本实施例中，固定孔132具有四个，四个固定孔132关于中心孔的中点两两对称设置，其中两个用于固定安装第一透镜14和第二透镜15，另外两个固定孔132作为备用。且第一透镜14和第二透镜15关于中心孔131的中心对称设置，且所述透镜固定部件13为圆盘状。

第一透镜14和第二透镜15的对称设置，提高了透镜固定部件13在重力方向整体重量均匀性，避免驱动部件16因透镜固定部件13重量不均而产生驱动劳损。

在本实施例中，固定孔132的内壁设置有一沿着固定孔132圆周方向延伸的环型的凹槽133，第一透镜14和第二透镜15的外周壁均设置有一凸环，凸环过盈设置在凹槽133内。优选的，凸环的表面为圆弧面，相应的凹槽133的槽底面为圆弧面，这样的设置便于凸环和凹槽133的装配。

进一步的，凸环分为设置在第一透镜14上的第一凸环141和设置在第二透镜15上的第二凸环151，第一凸环141和第一透镜14一体成型，第二凸环151和第二透镜15的一体成型，提高了第一透镜14和第二透镜15整体的稳定性。

另外，第一凸环141的宽度为第一透镜14的宽度的1/3～1/2，第二凸环151的宽度为第二透镜15的宽度的1/3～1/2，这样的设置，第一，保证第一凸环141和第一透镜14连接的稳定性和第二凸环151和第二透镜15连接的稳定性；第二，节省材料，第三便于装配。

在第一实施例中，第一透镜14和第二透镜15的曲率相同。这样的设置，保证光路相同，使得光汇聚功能等效。第一透镜14为滤波透镜，第二透镜15为隔热透镜。第一透镜14用于实现J/K波段过滤且具有隔热和光源汇聚功能，第二透镜15具有隔热和光源汇聚功能。

请参照图3，在本发明的曝光机的照明机构的第二优选实施例中，本实施例和第一优选实施例的不同之处在于：透镜固定部件23包括对称设置在透镜固定部件23上的两个固定孔231、以及设置在透镜固定部件23一侧的连接部232；连接部232的中心点位于两个固定孔231中心点的连线的中垂线上，

驱动部件26为驱动电机，驱动部件26的转轴固定连接于连接部232，用于驱动透镜固定部件23翻转；第一透镜24和第二透镜25分别固定设置在固定孔232内，且第一透镜24的入光面的朝向和第二透镜25的入光面的朝向相反。

本实施例采用驱动部件26驱动透镜固定部件23翻转的方式，以实现第一透镜24和第二透镜25的切换。

本第二优选实施例的工作原理和第一优选实施例的工作原理相似或相同。

请参照图4，在本发明的曝光机的照明机构的第三优选实施例中，本实施例和第一优选实施例的不同之处在于：透镜固定部件33包括呈直线排布的设置在透镜固定部件33上的两个固定孔331、以及设置在透镜固定部件33背面的螺母332，透镜切换系统还包括一位于透镜固定部件33两侧的底板31、设置在底板31上的导轨32和设置在导轨32之间的丝杆37，

驱动部件36为一驱动电机，驱动部件36的转轴连接于丝杆37，丝杆37螺纹连接于螺母332，透镜固定部件33滑动设置在导轨32上，第一透镜34和第二透镜35分别固定设置在固定孔331内。

本实施例采用驱动部件36驱动透镜固定部件33作线性移动的方式，以实现第一透镜34和第二透镜35的切换。

本第三优选实施例的工作原理和第一优选实施例的工作原理相似或相同。

本发明还涉及一种基于上述的曝光机的照明机构的曝光方法，曝光机的照明机构包括用于制作阵列基板的第一工作状态和用于制作彩色滤光片的第二工作状态；请参照图5，曝光方法包括以下步骤：

S1：控制模块获取工作信号，并将所述工作信号发送给检测判断模块，所述工作信号为启动所述第一工作状态的第一信号或启动所述第二工作状态的第二信号；

S2：所述检测判断模块判断位于所述设定位的透镜是否与相应所述工作信号匹配，并将相应的判断信号发送给所述控制模块；

S3：所述控制模块根据相应的判断信号，发送截止信号或启动信号给驱动部件；

S4：所述控制模块发出截止信号，则所述驱动部件不启动；所述控制模块发出启动信号，所述驱动部件启动，并驱动所述透镜固定部件转动或移动，以切换另一透镜位于所述设定位。

具体的，在步骤S1中，控制模块17获取工作信号，并将工作信号发送给检测判断模块18。其中工作信号为启动第一工作状态的第一信号或启动第二工作状态的第二信号。

第一信号对应制作阵列基板制程，第二信号对应着制作彩色滤光片制程。当控制模块17获取第一信号时，则需要第一透镜14位于设定位上；当控制模块17获取第二信号时，则需要第二透镜15位于设定位上。

在步骤S2中，检测判断模块18判断位于设定位的透镜是否与相应工作信号匹配，并将相应的判断信号发送给控制模块17。透镜分为第一透镜14和第二透镜15。

当检测判断模块18接收到控制模块17的第一信号后，检测判断模块18检测设定位上的透镜是否为第一透镜14，若是，则发送第一判断信号；若否，则发出第二判断信号。

当检测判断模块18接收到控制模块17的第二信号后，检测判断模块18检测设定位上的透镜是否为第二透镜15，若是，则发送第一判断信号；若否，则发出第二判断信号。

在步骤S3中，控制模块17根据相应的判断信号，发送截止信号或启动信号给驱动部件16。当控制模块17接收到第一判断信号时，控制模块17发送截止信号给驱动部件16；当控制模块17接收到第二判断信号时，控制模块17发送启动信号给驱动部件16。

在步骤S4中，控制模块17发出截止信号，则驱动部件16不启动；控制模块17发出启动信号，驱动部件17启动，并驱动透镜固定部件13转动或移动，以切换另一透镜位于设定位。

这样便可同一曝光机中完成阵列基板制程和彩色滤光片制程。提高了设备的利用率。

另外，第一透镜14和第二透镜15的曲率相同。这样的设置，保证光路相同，使得光汇聚功能等效。第一透镜14为滤波透镜，第二透镜15为隔热透镜。第一透镜14用于实现J/K波段过滤且具有隔热和光源汇聚功能，第二透镜15具有隔热和光源汇聚功能。

相较于现有技术的曝光机的照明机构，本发明的曝光机的照明机构通过透镜切换系统的设置，实现了第一透镜和第二透镜的切换操作，进而满足同一曝光机可以进行阵列基板制程和彩色滤光片制程，提高了设备的利用率；解决了现有的显示面板采用两种不同的曝光机分别应对两种阵列基板制程和彩色滤光片制程，浪费了设备的利用率，加大了产品的生产成本的技术问题。

本发明尽管已经相对于一个或多个实现方式示出并描述了本公开，但是本领域技术人员基于对本说明书和附图的阅读和理解将会想到等价变型和修改。本公开包括所有这样的修改和变型，并且仅由所附权利要求的范围限制。此外，尽管本公开的特定特征已经相对于若干实现方式中的仅一个被公开，但是这种特征可以与如可以对给定或特定应用而言是期望和有利的其他实现方式的一个或多个其他特征组合。而且，就术语“包括”、“具有”、“含有”或其变形被用在具体实施方式或权利要求中而言，这样的术语旨在以与术语“包含”相似的方式包括。

综上所述，虽然本发明已以实施例揭露如上，实施例前的序号，如“第一”、“第二”等仅为描述方便而使用，对本发明各实施例的顺序不造成限制。并且，上述实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (9)

1.一种曝光机的照明机构，包括用于提供光源的发光单元和用于将所述发光单元发出的光线投射于阵列基板或彩色滤光片基板的光投射单元，其特征在于，所述发光单元包括光源、用于将所述光源发出的光线反射至透镜切换系统的反射部件以及用于汇聚所述反射部件的光线并将光线发射至所述光投射单元的所述透镜切换系统；

所述透镜切换系统包括：

透镜固定部件，用于固定第一透镜和第二透镜；

所述第一透镜，具有汇聚光线的作用，固定设置在所述透镜固定部件上，用于阵列基板制程；

所述第二透镜，具有汇聚光线的作用，固定设置在所述透镜固定部件上，用于彩色滤光片制程；

驱动部件，用于驱动所述透镜固定部件转动或移动，以实现所述第一透镜和所述第二透镜的位置切换；以及

控制模块，用于控制所述驱动部件启动，电性连接于所述驱动部件；

所述发光单元还包括一用于进行光路传递的且所述第一透镜或所述第二透镜在固定位置进行光传递的设定位，所述透镜切换系统包括一用于检查判断所述设定位上为所述第一透镜还是所述第二透镜的检测判断模块，所述检测判断模块电性连接于所述控制模块。

2.根据权利要求1所述的曝光机的照明机构，其特征在于，所述透镜固定部件包括一位于所述透镜固定部件中心位置的中心孔和分布在所述中心孔外圆周的至少两个固定孔；

所述驱动部件为驱动电机，所述驱动部件的转轴固定连接在所述中心孔内，用于驱动所述透镜固定部件旋转；所述第一透镜和第二透镜分别固定设置在所述固定孔内。

3.根据权利要求1所述的曝光机的照明机构，其特征在于，所述透镜固定部件包括对称设置在所述透镜固定部件上的两个固定孔、以及设置在所述透镜固定部件一侧的连接部；所述连接部的中心点位于两个所述固定孔中心点的连线的中垂线上；

所述驱动部件为驱动电机，所述驱动部件的转轴固定连接于所述连接部，用于驱动所述透镜固定部件翻转；所述第一透镜和第二透镜分别固定设置在所述固定孔内，且所述第一透镜的入光面的朝向和第二透镜的入光面的朝向相反。

4.根据权利要求1所述的曝光机的照明机构，其特征在于，所述透镜固定部件包括呈直线排布的设置在所述透镜固定部件上的两个固定孔、以及设置在所述透镜固定部件背面的螺母，所述透镜切换系统还包括一位于所述透镜固定部件两侧的底板、设置在所述底板上的导轨和设置在所述导轨之间的丝杆；

所述驱动部件为一驱动电机，所述驱动部件的转轴连接于所述丝杆，所述丝杆螺纹连接于所述螺母，所述透镜固定部件滑动设置在所述导轨上，所述第一透镜和第二透镜分别固定设置在所述固定孔内。

5.根据权利要求2-4任一项所述的曝光机的照明机构，其特征在于，所述固定孔的内壁设置有一沿着所述固定孔圆周方向延伸的环型的凹槽，所述第一透镜和第二透镜的外周壁均设置有一凸环；

所述凸环过盈设置在所述凹槽内。

6.根据权利要求1所述的曝光机的照明机构，其特征在于，所述第一透镜和第二透镜的曲率相同。

7.根据权利要求1所述的曝光机的照明机构，其特征在于，所述第一透镜为滤波透镜，所述第二透镜为隔热透镜。

8.一种基于权利要求1所述的曝光机的照明机构的曝光方法，其特征在于，所述曝光机的照明机构包括用于制作阵列基板的第一工作状态和用于制作彩色滤光片的第二工作状态；所述曝光方法包括以下步骤：

S1：控制模块获取工作信号，并将所述工作信号发送给检测判断模块，所述工作信号为启动所述第一工作状态的第一信号或启动所述第二工作状态的第二信号；

S2：所述检测判断模块判断位于所述设定位的透镜是否与相应所述工作信号匹配，并将相应的判断信号发送给所述控制模块；

S3：所述控制模块根据相应的判断信号，发送截止信号或启动信号给所述驱动部件；

S4：所述控制模块发出截止信号，则所述驱动部件不启动；所述控制模块发出启动信号，所述驱动部件启动，并驱动所述透镜固定部件转动或移动，以切换另一透镜位于所述设定位。

9.根据权利要求8所述的曝光方法，其特征在于，所述第一透镜和第二透镜的曲率相同。

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