CN108963745A - 长寿命免维护的绿光激光器 - Google Patents
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Abstract
一种长寿命免维护的绿光激光器,包括:主光路机构、及连接主光路机构的第一电动位移平台;主光路机构包括泵浦源、聚焦组件、前端镜、激光晶体、调Q晶体、分色镜、二倍频晶体、尾端镜、及第一反射镜;泵浦源用于发出泵浦光;前端镜及尾端镜组成激光谐振腔;调Q晶体、分色镜、及二倍频晶体依次设置于激光晶体与尾端镜之间;二倍频晶体安装在第一电动位移平台上,第一电动位移平台以平行二倍频晶体端面的方向,带动二倍频晶体进行移动。因长期工作而导致通光点损坏,通过第一电动位移平台对二倍频晶体进行移动,调整激光打在倍频组件上的点位置,从而能提升二倍频晶体及绿光激光器整体的使用寿命,减少二倍频晶体的更换处理。
Description
技术领域
本发明涉及激光技术,特别是涉及一种长寿命免维护的绿光激光器。
背景技术
激光是近代科学技术中的重大发明之一,其中,532nm绿光激光应用于冷加工领域,在非金属以及精密加工中的应用价值尤其突出。随着全球对精细加工的需求日益增加,使得绿光激光器的应用领域不断扩大。现有技术基本以808nm或880nm半导体激光器泵浦激光晶体产生1064nm脉冲光,1064nm光倍频产生532nm绿光。绿光激光由于波长短,光子能量强,经过的器件都容易损坏,损坏程度与绿光激光的的功率密度成正比,特别在高功率绿光激光器上尤为严重。由于倍频晶体的材料的缺陷,激光器本身倍频晶体的使用寿命受到限制,在使用过程中倍频晶体上通光点处容易损坏,令绿光激光器整体无法保证长期稳定运行。
发明内容
基于此,有必要针对倍频晶体上通光点处在长期运行后损坏问题,提供一种长寿命免维护的绿光激光器。
一种长寿命免维护的绿光激光器,包括:主光路机构、及连接主光路机构的第一电动位移平台;所述主光路机构包括泵浦源、聚焦组件、前端镜、激光晶体、调Q晶体、分色镜、二倍频晶体、尾端镜、及第一反射镜;所述泵浦源用于发出泵浦光;所述前端镜及所述尾端镜组成激光谐振腔;所述激光晶体及所述调Q晶体设置在所述前端镜与所述转折镜之间;所述调Q晶体、所述分色镜、及所述二倍频晶体依次设置于所述激光晶体与所述尾端镜之间;所述泵浦源发出的泵浦光经所述聚焦组件聚焦整形后,入射到所述激光晶体;泵浦光进入所述激光晶体后,在所述激光谐振腔内产生1064nm基频连续光,通过对所述调Q晶体进行控制与调制,得到在所述前端镜与所述尾端镜之间来回反射的1064nm脉冲光;在沿所述前端镜到所述尾端镜的方向,1064nm脉冲光经过所述二倍频晶体后,产生倍频效应,部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光,532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过所述尾端镜的反射,再一次经过所述二倍频晶体,又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光,所有532nm绿光及未转化的1064nm脉冲光一起经过所述分色镜,利用所述分色镜全反532nm绿光、全透1064nm脉冲光的特性,未转化的1064nm脉冲光沿原路返回,继续在所述前端镜与所述尾端镜之间来回反射直至全部转化成532nm绿光,532nm绿光全反至所述第一反射镜上;所述二倍频晶体安装在所述第一电动位移平台上;当所述二倍频晶体的通光点受损时,所述第一电动位移平台以平行所述二倍频晶体端面的方向,带动所述二倍频晶体进行移动。
上述长寿命免维护的绿光激光器,通过二倍频晶体及三倍频晶体安装在第一电动位移平台上,第一电动位移平台以平行三倍频晶体输出端端面的方向,带动二倍频晶体及三倍频晶体进行移动,绿光激光器使用一段时间后,二倍频晶体及三倍频晶体因长期工作而导致通光点损坏后,通过对二倍频晶体及三倍频晶体进行移动,调整激光打在倍频组件上的点位置,避开损坏的通光点,继续工作,从而能提升倍频组件及绿光激光器整体的使用寿命,减少倍频组件的更换处理。
在其中一个实施例中,所述第一电动位移平台包括第一驱动组件,第一驱动组件包括第一基座、安装在所述第一基座一侧的第一驱动电机、转动设置在所述第一基座中的第一传动丝杆、及连接所述第一传动丝杆的第一滑座;所述第一驱动电机的输出轴与所述第一传动丝杆的一端连接;当需要对所述二倍频晶体进行移动时,所述第一传动丝杆通过螺纹驱动所述第一滑座相对所述第一基座移动;所述第一传动丝杆的延伸方向与所述二倍频晶体的端面平行;所述二倍频晶体安装在第一滑座上。
在其中一个实施例中,所述第一电动位移平台还包括第二驱动组件,所述二倍频晶体通过所述第二驱动组件安装在所述第一滑座上,所述第二驱动组件包括连接所述第一滑座的第一引导架、安装在所述第一滑座上的第二驱动电机、连接所述第二驱动电机的第二传动丝杆、及滑动连接所述第一引导架的第一移动板;当需要对所述二倍频晶体进行移动时,所述第二传动丝杆通过螺纹驱动所述第一移动板相对所述第一引导架移动;所述第二传动丝杆的延伸方向与所述二倍频晶体的端面平行。
在其中一个实施例中,所述聚焦组件包括第一平凸透镜、及第二平凸透镜;所述第一平凸透镜及所述第二平凸透镜处于所述泵浦源与所述前端镜之间;所述第一平凸透镜的凸面与所述第二平凸透镜的凸面相对。
在其中一个实施例中,还包括辅助光路机构及密封壳体,所述辅助光路机构包括扩束镜组件及窗口片,经所述第一反射镜反射的532nm绿光进入所述扩束镜组件进行扩束;所述主光路机构及所述扩束镜组件安装在所述密封壳体中,所述窗口片嵌设在所述密封壳体上,从所述第一反射镜反射的532nm绿光经所述窗口片射出所述密封壳体。
在其中一个实施例中,所述扩束镜组件包括平凹镜及第三平凸透镜,从所述第一反射镜反射的532nm绿光入射到所述平凹镜,经所述平凹镜及所述第三平凸透镜扩束后,从所述第三平凸透镜出射至所述窗口片。
在其中一个实施例中,所述辅助光路机构还包括反射组件,从所述第一反射镜反射的532nm绿光通过所述反射组件反射至所述扩束镜组件;所述反射组件包括第一绿光反射镜及第二绿光反射镜,532nm绿光经过一段距离后入射到所述第一绿光反射镜进行光路反射,再经过所述第二绿光反射镜反射至所述扩束镜组件。
在其中一个实施例中,还包括第二电动位移平台,所述第一绿光反射镜安装在所述第二电动位移平台上;所述第二电动位移平台包括第三驱动组件,所述第三驱动组件包括第二基座、安装在所述第二基座一侧的第三驱动电机、转动设置在所述第二基座中的第三传动丝杆、及连接所述第三传动丝杆的第二滑座;所述第三驱动电机的输出轴与所述第三传动丝杆的一端连接;当需要对所述第一绿光反射镜进行移动时,所述第三传动丝杆通过螺纹驱动所述第二滑座相对所述第二基座移动;所述第三传动丝杆的延伸方向与所述第一绿光反射镜的反射面平行;所述第一绿光反射镜安装在所述第二滑座上。
在其中一个实施例中,所述第二电动位移平台还包括第四驱动组件,所述第一绿光反射镜通过所述第四驱动组件安装在所述第二滑座上,所述第四驱动组件包括连接所述第二滑座的第二引导架、安装在所述第二滑座上的第四驱动电机、连接所述第四驱动电机的第四传动丝杆、及滑动连接所述第二引导架的第二移动板;当需要对所述第一绿光反射镜进行移动时所述第四传动丝杆通过螺纹驱动所述第二移动板相对所述第二引导架移动;所述第四传动丝杆的延伸方向与所述第一绿光反射镜的反射面平行。
在其中一个实施例中,所述辅助光路机构还包括PD探头,所述PD探头与所述窗口片的内侧对应,所述窗口片内侧对532nm绿光产生微弱反射,所述PD探头对所述窗口片所反射的532nm绿光进行检测。
附图说明
图1为本发明的一较佳实施例的长寿命免维护的绿光激光器的光路结构示意图;
图2为第一电动位移平台的立体示意图;
图3为图2所示的第一电动位移平台的分解示意图;
图4为图2所示的第一电动位移平台在另一角度的分解示意图;
图5为图1所示的长寿命免维护的绿光激光器加入辅助光路机构后的光路结构示意图;
图6为第二电动位移平台的立体示意图;
图7为图2所示的第二电动位移平台的分解示意图;
图8为控制电路与PD探头的连接关系图;
图9为长寿命免维护的绿光激光器的自动调节流程图。
具体实施方式
为了便于理解本发明,下面将对本发明进行更全面的描述。但是,本发明可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本发明。
请参阅图1至图9,为本发明一较佳实施方式的长寿命免维护的绿光激光器100,用于产生绿光激光。该长寿命免维护的绿光激光器100包括主光路机构、及连接主光路机构的第一电动位移平台30;主光路机构包括泵浦源21、聚焦组件22、前端镜23、激光晶体24、调Q晶体25、分色镜26、二倍频晶体27、尾端镜28、及第一反射镜29;泵浦源21用于发出泵浦光;前端镜23及尾端镜28组成激光谐振腔,激光晶体24位于激光谐振腔内;调Q晶体25、分色镜26、及二倍频晶体27依次设置于激光晶体24与尾端镜28之间;泵浦源21发出的泵浦光经聚焦组件22聚焦整形后,入射到激光晶体24;泵浦光进入激光晶体24后,在激光谐振腔内产生1064nm基频连续光,通过对调Q晶体25进行控制与调制,得到在前端镜23与尾端镜28之间来回反射的1064nm脉冲光;在沿前端镜23到尾端镜28的方向,1064nm脉冲光经过二倍频晶体27后,产生倍频效应,部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光,532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过尾端镜28的反射,再一次经过二倍频晶体27,又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光,,所有532nm绿光及未转化的1064nm脉冲光一起经过分色镜,利用分色镜26全反532nm绿光、全透1064nm脉冲光的特性,未转化的1064nm脉冲光沿原路返回,继续在前端镜23与尾端镜28之间来回反射直至全部转化成532nm绿光,532nm绿光全反至第一反射镜29上;二倍频晶体27安装在第一电动位移平台30上;当二倍频晶体22的通光点受损时,第一电动位移平台30以平行二倍频晶体27端面的方向,带动二倍频晶体27进行移动。
通过二倍频晶体27安装在第一电动位移平台30上,第一电动位移平台30以平行二倍频晶体27端面的方向,带动二倍频晶体27进行移动,绿光激光器使用一段时间后,二倍频晶体27因长期工作而导致通光点损坏,通过对二倍频晶体27进行移动,调整激光打在二倍频晶体27上的点位置,避开损坏的通光点,继续工作,从而能提升二倍频晶体27及绿光激光器整体的使用寿命,减少二倍频晶体27的更换处理。
具体地,由于激光谐振腔内二倍频晶体27处的光斑直径一般为400μm或以下,光斑直径远小于二倍频晶体27的横截面尺寸,通过移动二倍频晶体27,可以利用二倍频晶体27的不同位置进行通光,从而大大延长二倍频晶体27的寿命。
请参阅图2至图4,在其中一个实施方式中,为实现二倍频晶体27的精确移动,第一电动位移平台30包括第一驱动组件31,第一驱动组件31包括第一基座311、安装在第一基座311一侧的第一驱动电机312、转动设置在第一基座311中的第一传动丝杆313、及连接第一传动丝杆313的第一滑座314;第一驱动电机312的输出轴与第一传动丝杆313的一端连接,第一传动丝杆313通过螺纹驱动第一滑座314相对第一基座311移动;第一传动丝杆313的延伸方向与二倍频晶体27的端面平行;二倍频晶体27安装在第一滑座314上;具体地,当二倍频晶体27的通过点出现损坏,需要对二倍频晶体27进行移动时,通过第一驱动电机312驱动第一传动丝杆313转动,令第一滑座314移动,使二倍频晶体27以平行二倍频晶体27端面的方向移动,从而能避开损坏的通光点,且光路方向保持一致,提高二倍频晶体27使用寿命。进一步地,为提高第一滑座314移动过程中的稳定性,第一驱动组件31还包括安装在第一基座311上的第一承载条315,第一承载条315与第一滑座314对应设置;通过第一承载条315对第一滑座314的支撑,从而能提高第一滑座314的受力平衡,提升第一滑座314移动过程中的稳定性。
在其中一个实施方式中,为提高单个二倍频晶体27的利用率,进一步提升绿光激光器的免维护周期,第一电动位移平台30还包括第二驱动组件32,二倍频晶体27通过第二驱动组件32安装在第一滑座314上,第二驱动组件32包括连接第一滑座314的第一引导架321、安装在第一滑座314上的第二驱动电机322、连接第二驱动电机322的第二传动丝杆323、及滑动连接第一引导架321的第一移动板324;当需要对二倍频晶体27进行移动时,第二传动丝杆323通过螺纹驱动第一移动板324相对第一引导架321移动;第二传动丝杆323的延伸方向与二倍频晶体27的端面平行,优选地,为提升移动效率,第二传动丝杆323的延伸方向还与第一传动丝杆313的延伸方向垂直;二倍频晶体27安装在第一移动板324上;当第一滑座314移动至极限位置时,通过第二驱动电机322及第二传动丝杆323调整第一移动板324相对第一引导架321的距离,从而能令第一滑座314从极限位置向相反方向移动时,能避开原来经过的受损通光点,提高单个二倍频晶体27的利用率及提升绿光激光器的免维护周期。具体地,为利用第一引导架321稳定第一移动板324的移动,第一引导架321上设有第一套筒325,第一移动板324上设有穿设在第一套筒325中的第一支杆326,通过第一套筒325与第一支杆326之间的限定,从而使第一移动板324相对第一引导架321移动过程中能保持稳定;优选地,第一套筒325设置在第一基座311的两侧,从而减少第一电动位移平台30整体的厚度,有利于优化绿光激光器的结构布局。
在其中一个实施方式中,聚焦组件22包括第一平凸透镜221、及第二平凸透镜222;第一平凸透镜221及第二平凸透镜222处于泵浦源21与前端镜23之间;第一平凸透镜221的凸面与第二平凸透镜222的凸面相对。
在其中一个实施方式中,为对532nm绿光进行扩束,长寿命免维护的绿光激光器100还包括辅助光路机构,辅助光路机构包括扩束镜组件41,经第一反射镜29反射的532nm绿光进入扩束镜组件41进行扩束;进一步地,为避免外部灰尘和水气等污染物对主光路机构及扩束镜组件41造成污损,影响绿光激光器的寿命,长寿命免维护的绿光激光器100还包括密封壳体,辅助光路机构还包括窗口片42,主光路机构及扩束镜组件41安装在密封壳体中,窗口片42嵌设在密封壳体上,从第一反射镜29反射的532nm绿光经窗口片42射出密封壳体;优选地,为减少532nm绿光在窗口片42上的反射,窗口片42以布氏角放置;具体地,为稳定密封壳体内的温度,长寿命免维护的绿光激光器100还包括设置在密封壳体中的水冷板,泵浦源21、聚焦组件22、前端镜23、激光晶体24、调Q晶体25、分色镜26、尾端镜28、及扩束镜组件41设置在水冷板上,水冷板通过液体流动平衡长寿命免维护的绿光激光器100内的温度,并将热量带出长寿命免维护的绿光激光器100外;通过将扩束镜组件41内置在密封壳体中,从而避免了绿光激光器应用安装时的光路调试,直接装接振镜和场镜便可进行应用;具体地,为提升散热效果,密封壳体由铝材制成。
请参阅图5,在其中一个实施方式中,扩束镜组件41包括平凹镜411及第三平凸透镜412,从第一反射镜29反射的532nm绿光入射到平凹镜411,经平凹镜411及第三平凸透镜412扩束后,从第三平凸透镜412出射至窗口片42;具体地,为提高平凹镜411的寿命,平凹镜411的凹面采用高度抛光工艺,且采用绿光石英晶体镜片基材。
在其中一个实施方式中,为延长扩束镜组件41及窗口片42的寿命,辅助光路机构还包括反射组件,从第一反射镜29反射的532nm绿光通过反射组件反射至扩束镜组件41;具体地,反射组件包括第一绿光反射镜431及第二绿光反射镜432,532nm绿光经过一段距离后入射到第一绿光反射镜431进行光路反射,再经过第二绿光反射镜432反射至扩束镜组件41;通过第一绿光反射镜431及第二绿光反射镜432,在532nm绿光射入扩束镜组件41之前进行有效的发散,由于532nm绿光从第一反射镜29反射时本身拥有一定的发散角,经过长距离传输后,光斑大小势必会增大,利用第一绿光反射镜431及第二绿光反射镜432折叠空间延长光束传输距离,根据光束出光的发散角和初始光斑大小,适当调整折叠光路长度,一般能将光斑直径扩大3倍甚至以上,打在扩束镜组件41的功率密度得到大大降低,与直径成平方关系的降低,扩束镜组件41的寿命也自然得到大大的延长。
请参阅图6及图7,在其中一个实施方式中,为实现第一绿光反射镜431的移动,延长反射组件的使用寿命,长寿命免维护的绿光激光器100还包括第二电动位移平台50,第一绿光反射镜431安装在第二电动位移平台50上;第二电动位移平台50包括第三驱动组件51,第三驱动组件51包括第二基座511、安装在第二基座511一侧的第三驱动电机512、转动设置在第二基座511中的第三传动丝杆513、及连接第三传动丝杆513的第二滑座514;第三驱动电机512的输出轴与第三传动丝杆513的一端连接,当需要对第一绿光反射镜431进行移动时,第三传动丝杆513通过螺纹驱动第二滑座514相对第二基座511移动;第三传动丝杆513的延伸方向与第一绿光反射镜431的反射面平行;第一绿光反射镜431安装在第二滑座514上;当第一绿光反射镜431的反射点出现损坏时,通过第三驱动电机512驱动第三传动丝杆513转动,令第二滑座514移动,从而令第一绿光反射镜431以平行其反射面的方向移动,从而能避开损坏的反射点,且光路方向保持一致,提高第一绿光反射镜431的使用时间。具体地,为提高第二滑座514移动过程中的稳定性,第三驱动组件51还包括安装在第二基座511上的第二承载条515,第二承载条515与第二滑座514对应设置;通过第二承载条515的对第二滑座514的支撑,从而能提高第二滑座514的受力平衡,提升第二滑座514移动过程中的稳定性。为提高第一绿光反射镜431的利用率。
进一步提升绿光激光器的免维护周期,第二电动位移平台50还包括第四驱动组件52,第一绿光反射镜431通过第四驱动组件52安装在第二滑座514上,第四驱动组件52包括连接第二滑座514的第二引导架521、安装在第二滑座514上的第四驱动电机522、连接第四驱动电机522的第四传动丝杆523、及滑动连接第二引导架521的第二移动板524;当需要对第一绿光反射镜431进行移动时,第四传动丝杆523通过螺纹驱动第二移动板524相对第二引导架521移动;第四传动丝杆523的延伸方向与第一绿光反射镜431的反射面平行,优选地,为提升移动效率第四传动丝杆523的延伸方向与第三传动丝杆513的延伸方向垂直;第一绿光反射镜431安装在第二移动板524上;当第二滑座514移动至极限位置时,通过第四驱动电机522及第四传动丝杆523调整第二移动板524相对第二引导架521的距离,从而能令第二滑座514从极限位置向相反方向移动时,能避开原来经过的受损反射点,提高第一绿光反射镜431的利用率及提升绿光激光器的免维护周期。具体地,为利用第二引导架521稳定第二移动板524的移动,第二引导架521上设有第二套筒525,第二移动板524上设有穿设在第二套筒525中的第二支杆526,通过第二套筒525与第二支杆526之间的限定,从而使第二移动板524相对第二引导架521移动过程中能保持稳定;优选地,第二套筒525设置在第二基座511的两侧,从而减少第二电动位移平台50整体的厚度,有利于优化绿光激光器的结构布局。
请再次参阅图5,在其中一个实施方式中,为对输出的532nm绿光功率进行检测,辅助光路机构还包括PD探头44,PD探头44与窗口片42的内侧对应,窗口片42内侧对532nm绿光产生微弱反射,PD探头44对窗口片42所反射的532nm绿光进行检测。
请再次参阅图8及图9,在其中一个实施方式中,为实现长寿命免维护的绿光激光器100的自行调节,以尽量减少对绿光激光器的维护,长寿命免维护的绿光激光器100还包括控制电路60,PD探头44根据接收的532nm绿光的功率强度而产生相应的检测值,且PD探头44将532nm绿光强度的检测值输入控制电路60,控制电路60对532nm绿光强度的检测值进行对比,当532nm绿光强度的检测值低于预定值时,控制电路60驱动第一电动位移平台30或第二电动位移平台50运行,对二倍频晶体27或第一绿光反射镜431进行移动。具体地,还可利用PD探头44对532nm绿光的检测产生对532nm绿光输出功率的读数。
控制电路60连接第一驱动电机312、第二驱动电机322、第三驱动电机512、及第四驱动电机522,在本实施方式中,第一驱动电机312、第二驱动电机322、第三驱动电机512、及第四驱动电机522为步进电机,当PD探头44的检测值低于预定值时,控制电路60向第一驱动电机312、第二驱动电机322、第三驱动电机512、及第四驱动电机522输出脉冲指令。
具体地,长寿命免维护的绿光激光器100自行调节过程包括如下步骤:
S10:利用PD探头44检测532nm绿光的输出强度;
S11:将PD探头44的检测值与预定值进行对比;
S20:控制电路60向第一驱动电机312或第二驱动电机322输出控制信号,利用第一驱动电机312或第二驱动电机322对二倍频晶体27的位置进行调整,以解决因二倍频晶体27通光点受损引起输出光线功率下降;
S21:控制电路60从PD探头44获取检测值;
S22:控制电路60将PD探头44的检测值与预定值进行对比;
S30:恢复二倍频晶体27至原来的位置;由于532nm绿光的输出强度可能由于第一绿光反射镜431的反射点受损引起,通过在移动第一绿光反射镜431前将二倍频晶体27恢复至原来的位置,可减少二倍频晶体27的无效移动,从而增加二倍频晶体27使用周期;
S31:控制电路60向第三驱动电机512或第四驱动电机522输出控制信号,利用第三驱动电机512或第四驱动电机522对第一绿光反射镜431的位置进行调整,以解决因第一绿光反射镜431反射点受损引起输出光线功率下降;
S32:控制电路60从PD探头44获取检测值;
S33:控制电路60将PD探头44的检测值与预定值进行对比;
S40:控制电路60向第一驱动电机312或第二驱动电机322输出控制信号,利用第一驱动电机312或第二驱动电机322对二倍频晶体27的位置进行调整,以解决因二倍频晶体27通光点及第一绿光反射镜431反射点同时受损所引起输出光线功率下降;具体地,PD探头44为光电二极管。
在具体应用中,泵浦源21可以采用激光二极管;第一电动位移平台30及第二电动位移平台50设置在密封壳体中,且嵌设在水冷板上,以使二倍频晶体27或第一绿光反射镜431与其他光学元件处于同一平面上;第一平凸透镜221及第二平凸透镜222镀808/880nm增透膜;前端镜23镀808/880nm增透膜及1064nm全反膜;激光晶体24为Nd:YVO4、NdYAG或Gd:YVO4;控制调Q晶体25时,进行电光调Q或声光调Q;分色镜26镀1064nm全透及532nm全反膜;二倍频晶体27为LBO、KTP或KDP;尾端镜28镀1064nm及532nm全反膜;第一反射镜29为532nm全反;第一绿光反射镜431及第二绿光反射镜432为532nm全反;平凹镜411的双面镀532nm增透膜;第三平凸镜412双面镀532nm增透膜;窗口片42双面抛光不镀膜。
本实施例中,通过二倍频晶体安装在第一电动位移平台上,第一电动位移平台以平行二倍频晶体端面的方向,带动二倍频晶体进行移动,绿光激光器使用一段时间后,二倍频晶体因长期工作而导致通光点损坏,通过对二倍频晶体进行移动,调整激光打在二倍频晶体上的点位置,避开损坏的通光点,继续工作,从而能提升二倍频晶体及绿光激光器整体的使用寿命,减少倍频组件的更换处理。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种长寿命免维护的绿光激光器,其特征在于,包括:主光路机构、及连接主光路机构的第一电动位移平台;所述主光路机构包括泵浦源、聚焦组件、前端镜、激光晶体、调Q晶体、分色镜、二倍频晶体、尾端镜、及第一反射镜;所述泵浦源用于发出泵浦光;所述前端镜及所述尾端镜组成激光谐振腔;所述激光晶体及所述调Q晶体设置在所述前端镜与所述转折镜之间;所述调Q晶体、所述分色镜、及所述二倍频晶体依次设置于所述激光晶体与所述尾端镜之间;所述泵浦源发出的泵浦光经所述聚焦组件聚焦整形后,入射到所述激光晶体;泵浦光进入所述激光晶体后,在所述激光谐振腔内产生1064nm基频连续光,通过对所述调Q晶体进行控制与调制,得到在所述前端镜与所述尾端镜之间来回反射的1064nm脉冲光;在沿所述前端镜到所述尾端镜的方向,1064nm脉冲光经过所述二倍频晶体后,产生倍频效应,部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光,532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过所述尾端镜的反射,再一次经过所述二倍频晶体,又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光,所有532nm绿光及未转化的1064nm脉冲光一起经过所述分色镜,利用所述分色镜全反532nm绿光、全透1064nm脉冲光的特性,未转化的1064nm脉冲光沿原路返回,继续在所述前端镜与所述尾端镜之间来回反射直至全部转化成532nm绿光,532nm绿光全反至所述第一反射镜上;所述二倍频晶体安装在所述第一电动位移平台上;当所述二倍频晶体的通光点受损时,所述第一电动位移平台以平行所述二倍频晶体端面的方向,带动所述二倍频晶体进行移动。
2.根据权利要求1所述的种长寿命免维护的绿光激光器,其特征在于,所述第一电动位移平台包括第一驱动组件,第一驱动组件包括第一基座、安装在所述第一基座一侧的第一驱动电机、转动设置在所述第一基座中的第一传动丝杆、及连接所述第一传动丝杆的第一滑座;所述第一驱动电机的输出轴与所述第一传动丝杆的一端连接;当需要对所述二倍频晶体进行移动时,所述第一传动丝杆通过螺纹驱动所述第一滑座相对所述第一基座移动;所述第一传动丝杆的延伸方向与所述二倍频晶体的端面平行;所述二倍频晶体安装在第一滑座上。
3.根据权利要求2所述的种长寿命免维护的绿光激光器,其特征在于,所述第一电动位移平台还包括第二驱动组件,所述二倍频晶体通过所述第二驱动组件安装在所述第一滑座上,所述第二驱动组件包括连接所述第一滑座的第一引导架、安装在所述第一滑座上的第二驱动电机、连接所述第二驱动电机的第二传动丝杆、及滑动连接所述第一引导架的第一移动板;当需要对所述二倍频晶体进行移动时,所述第二传动丝杆通过螺纹驱动所述第一移动板相对所述第一引导架移动;所述第二传动丝杆的延伸方向与所述二倍频晶体的端面平行。
4.根据权利要求1所述的种长寿命免维护的绿光激光器,其特征在于,所述聚焦组件包括第一平凸透镜、及第二平凸透镜;所述第一平凸透镜及所述第二平凸透镜处于所述泵浦源与所述前端镜之间;所述第一平凸透镜的凸面与所述第二平凸透镜的凸面相对。
5.根据权利要求1所述的种长寿命免维护的绿光激光器,其特征在于,还包括辅助光路机构及密封壳体,所述辅助光路机构包括扩束镜组件及窗口片,经所述第一反射镜反射的532nm绿光进入所述扩束镜组件进行扩束;所述主光路机构及所述扩束镜组件安装在所述密封壳体中,所述窗口片嵌设在所述密封壳体上,从所述第一反射镜反射的532nm绿光经所述窗口片射出所述密封壳体。
6.根据权利要求5所述的种长寿命免维护的绿光激光器,其特征在于,所述扩束镜组件包括平凹镜及第三平凸透镜,从所述第一反射镜反射的532nm绿光入射到所述平凹镜,经所述平凹镜及所述第三平凸透镜扩束后,从所述第三平凸透镜出射至所述窗口片。
7.根据权利要求5所述的种长寿命免维护的绿光激光器,其特征在于,所述辅助光路机构还包括反射组件,从所述第一反射镜反射的532nm绿光通过所述反射组件反射至所述扩束镜组件;所述反射组件包括第一绿光反射镜及第二绿光反射镜,532nm绿光经过一段距离后入射到所述第一绿光反射镜进行光路反射,再经过所述第二绿光反射镜反射至所述扩束镜组件。
8.根据权利要求7所述的种长寿命免维护的绿光激光器,其特征在于,还包括第二电动位移平台,所述第一绿光反射镜安装在所述第二电动位移平台上;所述第二电动位移平台包括第三驱动组件,所述第三驱动组件包括第二基座、安装在所述第二基座一侧的第三驱动电机、转动设置在所述第二基座中的第三传动丝杆、及连接所述第三传动丝杆的第二滑座;所述第三驱动电机的输出轴与所述第三传动丝杆的一端连接;当需要对所述第一绿光反射镜进行移动时,所述第三传动丝杆通过螺纹驱动所述第二滑座相对所述第二基座移动;所述第三传动丝杆的延伸方向与所述第一绿光反射镜的反射面平行;所述第一绿光反射镜安装在所述第二滑座上。
9.根据权利要求8所述的种长寿命免维护的绿光激光器,其特征在于,所述第二电动位移平台还包括第四驱动组件,所述第一绿光反射镜通过所述第四驱动组件安装在所述第二滑座上,所述第四驱动组件包括连接所述第二滑座的第二引导架、安装在所述第二滑座上的第四驱动电机、连接所述第四驱动电机的第四传动丝杆、及滑动连接所述第二引导架的第二移动板;当需要对所述第一绿光反射镜进行移动时所述第四传动丝杆通过螺纹驱动所述第二移动板相对所述第二引导架移动;所述第四传动丝杆的延伸方向与所述第一绿光反射镜的反射面平行。
10.根据权利要求6所述的种长寿命免维护的绿光激光器,其特征在于,所述辅助光路机构还包括PD探头,所述PD探头与所述窗口片的内侧对应,所述窗口片内侧对532nm绿光产生微弱反射,所述PD探头对所述窗口片所反射的532nm绿光进行检测。
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