CN108896181A - 一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置 - Google Patents

一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及光谱成像技术领域,更具体而言,涉及一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置,该装置无需旋转PEM、且只需单个快轴可调PEM就可实现偏振测量,系统无机械运动部件、光能利用率高;采用单个快轴可调PEM偏振调制加AOTF光谱的方法,实现高光谱偏振成像测量;通过快轴可调PEM的相位延迟幅值和快轴方向实时检测及修正的方法,快轴可调PEM实时偏振调制的检测和修正,提高偏振测量精度和系统的长效稳定性。本发明无需选择任何部件、纯电控制、采用单个PEM偏振调制实现高光谱偏振成像探测;设计快轴可调PEM偏振调制实时检测及修正的方法,提高系统偏振测量精度。

Description

一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置
技术领域
本发明涉及光谱成像技术领域,更具体而言,涉及一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置。
背景技术
光谱偏振成像技术是目前国际上先进的光学多维探测技术之一,该技术是一种集二维空间图像、一维光谱和一维偏振于一体的四维信号获取技术,光谱偏振成像技术和提供被测目标在空间图像、光强、光谱和偏振四个特征,大大提高被测目标的信息量。因此,在对物质进行分类、分析和识别方面有显著的优势,在大气遥感、太空探测、化学分析、生物医学诊断、国防等领域都得到了广泛的应用。
由于弹光调制器(Photoelastic Modulator,PEM)具有光谱范围宽、稳定性好、无运动部件、入射孔径大等优点,基于PEM的光谱偏振成像具有较高的潜力,但PEM的偏振调制频率较高(数十至数百kHz),使得阵列探测器进行偏振获取存在一定困难,为此研究者采用多种偏振解调方法:1)电学同步解调法,即将CCD上每个4排象元作为一组探测单元,通过同步掩膜的办法实现每组探测单元中的每排象元一次只获得四分之一偏振调制周期信号,最后通过数据融合技术进行偏振解调,但该方法电学系统复杂,光谱分辨率低。2)美国NASA和喷气推进实验室首次将双PEM集成到成像光谱系统中,研制出新型多角度光谱偏振成像仪(Multiangle Spectropolarimetric Imager,MSPI),主要用于气溶胶检测。通过两个PEM差频方式降低调制频率,采用阵列滤光片和阵列偏振片作为色散和检偏元件,使得系统结构紧凑、集成度高,但该系统光谱分辨率较低、光谱偏振系统复杂、成本高,只有一维图像,通过扫描实现另一维图像。3)文献《基于3PEMs和AOTF的光谱偏振成像系统及光谱修正》(张瑞等,光学学报,2016(10):55-64)公开了一种将三个PEM进行互差频偏振调制,结合AOTF实现成像的光谱偏振探测,声光可调谐滤光器(Acousto-optic tunable filter,AOTF)与传统分光元件相比,具有体积小、调谐速度快、光谱范围宽、衍射效率高等优点。采用三个调制频率略微不同的PEM,并且快轴互成45°角,将被测的I、Q和U三偏振量分别调制在三个PEM差频分量中,再通过锁相放大技术求解出I、Q和U。虽然该系统光谱分辨率高(170个光谱通道)、偏振测量精度高、控制简单,但在研究中发现,由于需要采用锁相放大技术,导致一次成像光谱偏振探测的时间很长,时间分辨率极低;且由于采用三个PEM,导致系统体积大、光能损失严重、灵敏度低、光学系统复杂。
发明内容
为了克服现有技术中所存在的不足,本发明提供一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置,通过弹光调制器PEM对被测光实现偏振调制,结合声光可调谐光谱仪AOTF光谱成像,实现目标的光谱偏振成像多维信息测量方法。
为了解决上述技术问题,本发明所采用的技术方案为:
一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置,其特征在于:该装置包括无焦光学系统,弹光调制器PEM,检偏片,光阑,声光可调谐光谱仪,偏振片,后置成像镜头、面阵相机、电脑和检测系统,被测光依次通过无焦光学系统,弹光调制器PEM,检偏片,光阑,声光可调谐光谱仪,偏振片和后置成像镜头,成像在面阵相机,最后被电脑接收,所述弹光调制器PEM包括第一压电驱动器、第二压电驱动器和弹光晶体。
所述弹光调制器PEM快轴方向可调制。
所述弹光调制器PEM为纯驻波模式。
所述第一压电驱动器与第二压电驱动器成45°角。
所述检偏片与偏振片正交,所述声光可调谐光谱仪偏振方向与偏振片偏振方向相同,可有效消除声光可调谐光谱仪的0级和-1级对+1级衍射光的影响。
所述检测系统包括半导体激光器、起偏分光棱镜、反射镜和光电探测器,用于实时检测弹光调制器PEM的调制快轴方向和相位延迟幅值光路。
所述检测系统用于实时检测弹光调制器PEM的调制快轴方向和相位延迟幅值光路,检测具体步骤为:半导体激光器发射激光经起偏分光棱镜反射射入弹光调制器PEM,经检偏器成为线偏振光,通过反射镜反射进入光电探测器。
所述弹光调制器PEM检测及修正通过以下步骤实现:以弹光调制器PEM的压电驱动器的驱动信号为参考信号,通过光电探测器信号幅值求出激光器原始光强、弹光调制器PEM的相位延迟幅值δ0和快轴方向θ0,从而实时检测δ0和θ0,还可消除由于激光器光强I0激光不稳定对测量结果的影响;通过调节弹光调制器PEM两个压电驱动器的电压和相位来调节PEM相位延迟幅值δ0和快轴方向θ0;通过PEM驱动控制电路调节弹光调制器两个压电驱动器的电压和相位来修正弹光调制器,且锁相放大电路以PEM驱动控制电路的驱动频率信号为参考。
与现有技术相比,本发明所具有的有益效果为:
本发明提供一种基于弹光调制器PEM和声光的光谱偏振成像装置,该装置无需旋转PEM、且只需单个快轴可调PEM就可实现偏振测量,系统无机械运动部件、光能利用率高;该装置采用单个快轴可调PEM偏振调制加AOTF光谱的方法,实现高光谱偏振成像测量;该方法设计了快轴可调PEM的相位延迟幅值和快轴方向实时检测及修正的方法,快轴可调PEM实时偏振调制的检测和修正,提高偏振测量精度和系统的长效稳定性。该装置无需选择任何部件、纯电控制、采用单个PEM偏振调制实现高光谱偏振成像探测;设计快轴可调PEM偏振调制实时检测及修正的方法,提高系统偏振测量精度。
附图说明
图1为本发明提供的一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置示意图;
图2为弹光调制器PEM结构示意图;
图3为弹光调制器PEM的快轴方向为0度的振动模态;
图4为弹光调制器PEM的快轴方向为22.5度的振动模态;
图5为弹光调制器PEM的快轴方向为45度的振动模态;
图6为弹光调制器PEM的相位延迟幅值和快轴方向实时检测并修正原理图。
图中:1为无焦光学系统、2为弹光调制器、3为检偏片、4为光阑、5为声光可调谐光谱仪、6为偏振片、7为后置成像镜头、8为面阵相机、9为电脑、10为半导体激光器、11为起偏分光棱镜、12为反射镜、13为光电探测器、14为PEM驱动控制电路、15为锁相放大电路。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
如图1所示,一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置,该装置包括无焦光学系统1,弹光调制器2,检偏片3,光阑4,声光可调谐光谱仪5,偏振片6,后置成像镜头7、面阵相机8、电脑9和检测系统,被测光依次通过无焦光学系统1,弹光调制器2,检偏片3,光阑4,声光可调谐光谱仪5,偏振片6,后置成像镜头7和面阵相机8最后被电脑9接收,放置在声光可调谐光谱仪AOTF前后的两个正交的偏振片主要为消除AOTF5的0级和-1级对+1级衍射光的影响。所述弹光调制器2为纯驻波模式,弹光调制器2的快轴方向可调制,包括第一压电驱动器21、第二压电驱动器22和弹光晶体23,所述第一压电驱动器21与第二压电驱动器22互成45°。所述检偏片3与偏振片6正交。所述检测系统包括半导体激光器10、起偏分光棱镜11、反射镜12和光电探测器13,用于实时检测弹光调制器2的调制快轴方向和相位延迟幅值光路。
所述检测系统用于实时检测弹光调制器2的调制快轴方向和相位延迟幅值光路,检测具体步骤为:半导体激光器10发射激光经起偏分光棱镜11反射射入弹光调制器2,经检偏器3成为线偏振光,通过反射镜12反射进入光电探测器13。
所述弹光调制器2检测及修正通过以下步骤实现:以弹光调制器2的压电驱动器的驱动信号为参考信号,通过光电探测器13信号幅值求出激光器原始光强、弹光调制器2的相位延迟幅值δ0和快轴方向θ0,从而实时检测δ0和θ0,还可消除由于激光器光强I0激光不稳定对测量结果的影响;通过调节弹光调制器2两个压电驱动器的电压和相位来调节PEM相位延迟幅值δ0和快轴方向θ0;通过PEM驱动控制电路14调节弹光调制器2两个压电驱动器的电压和相位来修正弹光调制器2,且锁相放大电路15以PEM驱动控制电路14的驱动频率信号为参考。
在本实施例中,基于快轴可调PEM和声光的光谱偏振成像装置使用的具体实施方法参数如下:
快轴可调PEM驱动频率:f=50kHz;
快轴可调PEM相位延迟幅值:δ0=2.4rad;
快轴可调PEM选择的三个快轴方向:θ0=0°、θ0=22.5°、θ0=45°。
设光沿z轴方向入射,以x轴为参考0度方向;从偏振角度考虑,声光可调谐光谱仪5可理解为一个偏振片,且与偏振片偏振方向相同,为0度。入射光经过整个系统被面阵探测器得到的Stokes参量为:
S'=MAOTFMPEMS (1)
其中,S=[I(λ),Q(λ),U(λ),V(λ)]T和S’=[I’(λ),Q’(λ),U’(λ),V’(λ)]T为入射光和到达面阵探测器8光的Stokes参量;MPEM和MAOTF是弹光调制器2和AOTF5对应的Mueller矩阵,MPEM和MAOTF具体为:
面阵探测获得光强I'(λ)按第一类Bessel函数展开可得:
其中,t为时间,f、δ0和θ0分别为弹光调制器2的调制频率、相位延迟幅值和快轴方向,PEM相位延迟δ=δ0sin(2πft);Jx为x阶Bessel函数。由于PEM的调制频率为数十kHz,普通面阵探测器探测I'高频部分被平均为0,略去高频部分得下式:
根据上述分析,调节弹光调制器2的快轴方向θ0和相位延迟幅值δ0获得三个方程,即可获得被测I(λ)、Q(λ)和U(λ)。当δ0=2.4rad时,J0(2.4)=0,因此(3)时可写为:
选快轴可调PEM三个快轴方向为:θ0=0°、θ0=22.5°、θ0=45°带入(4)式可得:
当θ0=0°:I'(λ)=0.5I(λ)+0.5Q(λ) (5a)
当θ0=22.5°:I'22.5°(λ)=0.5I(λ)+0.25Q(λ)+0.25U(λ) (5b)
当θ0=45°:I'45°(λ)=0.5I(λ)(5c)
根据式(5a)、(5b)和(5c)可得被测I(λ)、Q(λ)和U(λ)为:
弹光调制器PEM结构如图2所示,具体调制过程分析如下:
当给压电驱动器施加驱动电压V=V0sinωt,V0为驱动电压幅值,ω=2πf为弹光调制器工作角频率,f为弹光调制器频率。压电驱动器21和压电驱动器22在弹光晶体23中引入的应力满足驻波解,因此可以将驱动器A和B引入的应力驻波分解为顺时针和逆时针方向上的两个行波的叠加,如下式:
其中,TA和TB分别为压电驱动器A和B的驱动应力幅值,θ为空间位置,为驱动B与驱动A之间的相位差,π/4代表驱动B与A空间位置的差值,
因此当时,式(7)可改写为:
由(8)式可知,该PEM工作在项目所需的纯驻波模态,因此弹光调制器2可通过调节两个压电驱动器的应力幅值(与电压幅值成正比)和相位来调节相位延迟幅值δ0和快轴方向θ0。结合弹光调制器2控制相对简单的三种快轴方向(θ0=0°、θ0=22.5°、θ0=45°)下的位移及快轴情况结果如图3、图4和图5所示。
由此可知,弹光调制器2的相位延迟幅值和快轴方向只需要通调制电压和相位就可实现,无需旋转任何部件,这是液晶可变相位延迟器LCVR无法实现的,并且该方法进行光谱偏振成像只需单个PEM。
如图6所示,检测系统对弹光调制器2的相位延迟幅值和快轴方向实时检测并修正,检测系统主要由半导体激光器10、起偏分光棱镜11、弹光调制器2、反射镜12和光光电探测器13组成,其中偏振分光棱镜11与偏振片3的偏振方向完全正交。
光电探测器获得调制后的激光光强按第一类Bessel函数展开为:
其中,I0激光为激光器原始光强。虽然检测激光与被测目标光通过弹光晶体的不同位置,但由于弹光晶体23工作在驻波模态,因此可根据各自的位置获得对应关系。根据(9)式可知,以压电驱动器的驱动信号(频率为f)为参考信号,通过数字锁相获得光电探测器13光电信号频率为直流、2f和4f三个信号幅值即可求解出I0激光、弹光调制器PEM2的相位延迟幅值δ0和快轴方向,这不仅可实时检测δ0和θ0,还可消除由于激光器光强I0激光不稳定对测量结果的影响。根据检测得到的相位延迟幅值δ0和快轴方向θ0,通过调节快轴可调PEM两个压电驱动器的电压和相位实时修正PEM。实现PEM振动模态、相位延迟幅值δ0和快轴方向θ0长期稳定准确调节,进而提高成像光谱偏振测量的精度和稳定性。
上面仅对本发明的较佳实施例作了详细说明,但是本发明并不限于上述实施例,在本领域普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化,各种变化均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置,其特征在于:该装置包括无焦光学系统(1),弹光调制器(2),检偏片(3),光阑(4),声光可调谐光谱仪(5),偏振片(6),后置成像镜头(7)、面阵相机(8)、电脑(9)和检测系统,被测光依次通过无焦光学系统(1),弹光调制器(2),检偏片(3),光阑(4),声光可调谐光谱仪(5),偏振片(6)和后置成像镜头(7),成像在面阵相机(8),最后被电脑(9)接收;所述弹光调制器(2)包括第一压电驱动器(21)、第二压电驱动器(22)和弹光晶体(23)。
2.根据权利要求1所述的一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置,其特征在于:所述弹光调制器(2)快轴方向可调制。
3.根据权利要求1所述的一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置,其特征在于:所述弹光调制器(2)为纯驻波模式。
4.根据权利要求1所述的一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置,其特征在于:所述第一压电驱动器(21)与第二压电驱动器(22)成45°角。
5.根据权利要求1所述的一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置,其特征在于:所述检偏片(3)与偏振片(6)正交,所述声光可调谐光谱仪(5)偏振方向与偏振片(6)偏振方向相同。
6.根据权利要求1所述的一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置,其特征在于:所述检测系统包括半导体激光器(10)、起偏分光棱镜(11)、反射镜(12)和光电探测器(13)。
7.根据权利要求6所述的一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置,其特征在于:所述检测系统用于实时检测弹光调制器(2)的调制快轴方向和相位延迟幅值光路,检测具体步骤为:半导体激光器(10)发射激光经起偏分光棱镜(11)反射射入弹光调制器(2),经检偏器(3)成为线偏振光,通过反射镜(12)反射进入光电探测器(13)。
8.根据权利要求1所述的一种基于弹光调制器和声光的光谱偏振成像装置,其特征在于,所述弹光调制器(2)的修正通过以下步骤实现:以弹光调制器(2)的压电驱动器的驱动信号为参考信号,通过光电探测器(13)信号幅值求出激光器原始光强、光电探测器(13)输出的电信号进入锁相放大电路(15)得出弹光调制器(2)的相位延迟幅值δ0和快轴方向θ0,从而实时检测δ0和θ0;通过PEM驱动控制电路(14)调节弹光调制器(2)两个压电驱动器的电压和相位来修正弹光调制器(2),且锁相放大电路(15)以PEM驱动控制电路(14)的驱动频率信号为参考。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113138467A (zh) * 2021-04-15 2021-07-20 西北农林科技大学 一种基于lcvr的压缩感知高光谱偏振成像系统及方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107543814A (zh) * 2017-08-16 2018-01-05 中北大学 一种基于45°双驱动对称结构弹光调制的生物传感系统
CN107976299A (zh) * 2017-11-15 2018-05-01 中北大学 考虑光谱色散的弹光调制器延迟量定标分析方法及装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107543814A (zh) * 2017-08-16 2018-01-05 中北大学 一种基于45°双驱动对称结构弹光调制的生物传感系统
CN107976299A (zh) * 2017-11-15 2018-05-01 中北大学 考虑光谱色散的弹光调制器延迟量定标分析方法及装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
张瑞: "《基于3PEMs和AOTF的光谱偏振成像系统及光谱修正》", 《光学学报》 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113138467A (zh) * 2021-04-15 2021-07-20 西北农林科技大学 一种基于lcvr的压缩感知高光谱偏振成像系统及方法
CN113138467B (zh) * 2021-04-15 2023-06-13 西北农林科技大学 一种基于lcvr的压缩感知高光谱偏振成像方法

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SE01 Entry into force of request for substantive examination
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GR01 Patent grant
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