CN108863096B - 玻璃镀膜用防溅射的阴极底板 - Google Patents

玻璃镀膜用防溅射的阴极底板 Download PDF

Info

Publication number
CN108863096B
CN108863096B CN201810937140.XA CN201810937140A CN108863096B CN 108863096 B CN108863096 B CN 108863096B CN 201810937140 A CN201810937140 A CN 201810937140A CN 108863096 B CN108863096 B CN 108863096B
Authority
CN
China
Prior art keywords
plate body
baffle
gear
sliding groove
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810937140.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN108863096A (zh
Inventor
石祖强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chongqing Yuda Energy Saving Glass Co ltd
Original Assignee
Chongqing Yuda Energy Saving Glass Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chongqing Yuda Energy Saving Glass Co ltd filed Critical Chongqing Yuda Energy Saving Glass Co ltd
Priority to CN201810937140.XA priority Critical patent/CN108863096B/zh
Publication of CN108863096A publication Critical patent/CN108863096A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108863096B publication Critical patent/CN108863096B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001General methods for coating; Devices therefor

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明涉及玻璃加工领域,尤其涉及玻璃镀膜用防溅射的阴极底板,包括板体,板体的内部设有空腔,空腔内设有转动辊,转动辊上固定连接有若干传送轮,板体的顶部设有若干轮孔,传送轮的顶部穿过轮孔且位于板体的外侧;板体相对的两端均设有竖板,两个竖板的端部之间连接有用于挡住板体顶面的挡板,两个竖板分别横向滑动连接在板体的相对的两端上,竖板转动连接在板体设有竖板的端部的两端上。本方案防止了溅射产物大量沉积在底板上,便于沉积的溅射产物的清理。

Description

玻璃镀膜用防溅射的阴极底板
技术领域
本发明涉及玻璃加工领域,尤其涉及玻璃镀膜用防溅射的阴极底板。
背景技术
目前,建筑用玻璃为了实现遮光、隔热的作用,常在玻璃上镀上一层膜。现目前,玻璃镀膜常采用溅射的方法进行镀膜。所谓的溅射镀膜是指在真空状态下将阴极材料溅射出来,并在玻璃上沉积成膜。通过采用不同的阴极材料,从而可在玻璃的表面镀上不同材料的膜。
玻璃在镀膜过程中,玻璃是由传送辊传送的,溅射出来的材料直接沉积在玻璃的上表面上。但是,相邻的两块玻璃在传送过程中,相邻的两块玻璃的端部不可能做到紧密贴合,相邻的两块玻璃之间肯定具有一定的间隙,这样,溅射产物就会通过相邻的两块玻璃之间的间隙沉积在传送辊的表面上。为了防止溅射产物沉积在传送辊的表面,现有技术中,在传送辊的上方会盖上一层底板。
虽然,在传送辊的上方盖上了一层底板,溅射产物不会通过相邻的两块玻璃之间的间隙沉积在传送辊的表面上,对传送辊起到了一定的保护作用。但是,溅射产物会通过相邻的两块玻璃之间的间隙沉积在底板上,久而久之,底板上沉积的溅射产物就会越来越多,底板上的溅射产物就会越来越厚,这样,底板上就会形成凸起,玻璃从底板的上方滑过时,底板容易将玻璃的下表面划伤,从而影响玻璃的质量。并且,由于底板的面积较大,沉积在底板上的溅射产物也不易进行清理。
发明内容
本发明的目的在于提供玻璃镀膜用防溅射的阴极底板,以防止溅射产物大量沉积在底板上。
为达到上述目的,本发明的技术方案是:玻璃镀膜用防溅射的阴极底板,包括多个板体,相邻的板体之间具有间隙,板体的内部设有空腔,空腔内设有转动辊,转动辊上固定连接有若干传送轮,板体的顶部设有若干轮孔,传送轮的顶部穿过轮孔且位于板体的外侧;板体相对的两端均设有竖板,两个竖板的端部之间连接有用于挡住板体顶面的挡板,挡板远离竖板一面的面积小于板体顶面的面积,两个竖板分别横向滑动连接在板体的相对的两端上,竖板转动连接在板体设有竖板的端部的两端上。
本方案的工作原理为:由于转动辊在空腔内,故转动辊被板体所包裹,从而可防止溅射产物沉积在转动辊上,对转动辊进行保护。轮孔用于使转动辊上的传送轮的顶部穿出,从而使得传送轮能够与玻璃的下表面接触,转动辊转动时,转动辊带动传送轮转动,传送轮带动玻璃传送。挡板可位于相邻的两块玻璃之间的间隙中,由于竖板横向滑动连接在板体相对的两端上,竖板与挡板连接,故竖板横向滑动时,竖板带动挡板一同移动,通过使挡板与玻璃的移动速度相同,从而使得挡板与玻璃一同移动,保证相邻的两块玻璃与挡板的相对位置关系不变。由于挡板位于相邻的两块玻璃之间的间隙中,故挡板将相邻的两块玻璃之间的间隙下方的板体的顶面遮挡住,这样,溅射的产物直接沉积在挡板上,从而防止了大量的溅射产物通过相邻的两块玻璃之间的间隙沉积到板体的顶面上,挡板起到了对大部分的溅射产物进行阻挡的作用。当其中的一块玻璃从板体上滑离时,竖板滑动到板体设有竖板的端部的一端上,由于竖板转动连接在板体设有竖板的端部的两端上,故使竖板转动,挡板从板体的上方转动到板体的下方,然后竖板再带动挡板反向滑动,此时挡板位于板体的下方,板体不会阻碍另一块玻璃滑动。当竖板反向滑动到板体设有竖板的端部的另一端时,再次使竖板转动,竖板带动挡板从板体的下方转动到板体的上方,挡板再次位于另外两个相邻的两块玻璃之间,并跟随另外相邻的两块玻璃一同移动,由此,实现了挡板的循环使用。
采用上述技术方案时,具有以下有益效果:1、转动辊位于板体的空腔内,板体将转动辊所包裹,从而可防止大量的溅射产物沉积在转动辊上,对转动辊起到了保护的作用。2、挡板位于相邻的两块玻璃之间一同移动,溅射产物不会通过相邻的两块玻璃之间的间隙沉积在板体的顶部,大部分溅射产物会沉积在挡板上,由于挡板与板体相比,挡板远离竖板一面的面积小于板体的顶部的面积,故清理挡板上的溅射产物相比清理板体上的溅射产物更加容易,从而利于溅射产物的清理。3、由于两个竖板分别横向滑动连接在板体的相对的两端上,竖板转动连接在板体设有竖板的端部的两端上,故在对多个玻璃逐个溅射时,挡板可循环使用,从而可应用与对多个玻璃进行批量溅射,利于提高玻璃溅射的效率。3、本方案中的挡板面积相比板体的顶部的面积较小,易于更换,不会影响加工的效率。
进一步,板体设有竖板的两端上均设有上滑槽、中滑槽、下滑槽和两个弧形槽,中滑槽位于上滑槽和下滑槽之间,上滑槽位于下滑槽的上方,两个弧形槽分别靠近于中滑槽的两端,两个弧形槽均连通在上滑槽、中滑槽和下滑槽之间;竖板的中部均设有滑动连接在中滑槽内的第一滑杆,竖板远离挡板的端部上均设有第二滑杆,第二滑杆滑动连接在上滑槽、下滑槽和弧形槽内。当挡板在板体的上方移动时,第一滑杆在中滑槽中滑动,第二滑杆在下滑槽中滑动,由于第一滑杆受到中滑槽的限定,第二滑杆受到下滑槽的限定,故竖板不会自由转动,从而保证竖板能够带动挡板稳定的横向移动。当挡板在板体的下方移动时,第一滑杆在中滑槽中滑动,第二滑杆在上滑槽中滑动,由于第一滑杆受到中滑槽的限定,第二滑杆受到上滑槽的限定,故竖板在横向滑动过程中不会自由转动,从而保证竖板能够带动挡板稳定的横向移动。当竖板横向滑动到板体设有竖板的端部的一端时,使竖板转动,第一滑杆在中滑槽中自转,第二滑杆通过弧形槽从上滑槽滑动到下滑槽中,或者第二滑轨通过弧形槽从下滑槽滑动到上滑槽中,由此实现了竖板的转动,从而使得挡板能够从板体的一面转动到另一面,即从板体的上面转动到下面,或者从板体的下面转动到上面。
进一步,竖板的中部连接有第一齿轮,中滑槽的两端分别转动连接有第二齿轮和第三齿轮,第二齿轮和第三齿轮交替与第一齿轮啮合,第二齿轮和第三齿轮的转动方向相同。当竖板滑动到中滑槽的两端时,第二齿轮与第一齿轮啮合,或者第三齿轮与第一齿轮啮合,通过第二齿轮与第一齿轮的啮合,或者第三齿轮与第一齿轮的啮合,从而带动竖板转动。
进一步,挡板远离板体的一面设有碳层。碳层用于吸附溅射产物,当需要清理挡板上的溅射产物时,可轻轻敲击碳层,碳层与挡板分离,碳层带动溅射产物脱落,从而实现了溅射产物的清理。由此,使得溅射产物清理更加方便。
进一步,挡板包括两个空心板套设而成,两个空心板之间连接有压簧,弧形槽上设有第一磁铁,弧形槽的下方设有第二磁铁,竖板上滑动连接有第三磁铁,第一磁铁和第二磁铁均可与第三磁铁相吸,第三磁铁分别与两个空心板之间连接有拉绳。当挡板从板体的下面向板体的上方移动时,竖板上的第三磁铁在弧形槽内滑动,竖板上的第三磁铁与第二磁铁相互吸引,第三磁铁受到引力在竖板上向远离挡板方向滑动,第三磁铁通过拉绳拉动两个空心板,使两个空心板相互靠近,挡板收缩,挡板的体积变小。当挡板转动到板体的上方时,竖板上的第三磁铁与第一磁铁相互吸引,第三磁铁受到引力通过拉绳继续使挡板保持收缩的状态。由此,当挡板进入到相邻的两块玻璃之间时,挡板处于收缩状态,便于挡板进入到两块玻璃之间,防止挡板与玻璃的下表面相抵无法进入到相邻的两块玻璃的间隙之间,利于挡板进入到相邻的两块玻璃之间。当第三磁铁远离第一磁铁和第二磁铁后,第三磁铁上的引力消失,两个空心板在压簧的作用下复位,挡板的体积变大,从而使挡板的两个端部与相邻的两块玻璃相抵,挡板充分填充在相邻的两块玻璃之间,从而防止挡板与玻璃之间的间隙过大,保证挡板能够充分阻挡溅射产物。
进一步,竖板上均连接有往复推动气缸,第二齿轮和第三齿轮上均连接有电机。往复推动气缸用于带动竖板在板体相对的两个端部往复滑动,电机用于带动第二齿轮和第三齿轮转动。
附图说明
图1为玻璃镀膜用防溅射的阴极底板的端部示意图;
图2为图1中板体的俯视图;
图3为图1中板体的正向剖视图;
图4为图1中板体、挡板和竖板的左视图;
图5为图1中挡板的放大图;
图6为挡板从板体的右端跨过时的示意图。
具体实施方式
下面通过具体实施方式进一步详细说明:
说明书附图中的附图标记包括:板体1、下滑槽2、第二磁铁3、竖板4、第三磁铁5、拉绳6、第一齿轮7、中滑槽8、上滑槽9、弧形槽10、第三齿轮11、传送轮12、挡板13、压簧14、第二齿轮15、玻璃16、第一磁铁17、轮孔18、转动辊19、第二滑杆20、第一滑杆21。
实施例1
实施例基本如附图1-图5所示:玻璃镀膜用防溅射的阴极底板,包括多个从左向右分布的板体1,相邻的板体1之间具有间隙,结合图2和图3所示,板体1的内部设有空腔,空腔内设有转动辊19,转动辊19上同轴焊接有若干传送轮12,板体1的顶部设有若干长条状的轮孔18,传送轮12的顶部穿过轮孔18且位于板体1的外侧。板体1相对的前、后两端均设有竖板4,两个竖板4的上端部之间焊接有用于挡住板体1顶面的挡板13,挡板13的顶面的面积小于板体1顶面的面积,即挡板13的宽度小于板体1的宽度。结合图5所示,挡板13的具体结构为:挡板13包括两个空心板套设而成,两个空心板的端部之间连接有位于空心板中的压簧14。本实施例中的A方向为后方,B方向为前方,板体1的前、后两端从上到下均设有上滑槽9、中滑槽8和下滑槽2,靠近于中滑槽8的端部均设有弧形槽10,两个弧形槽10均连通在上滑槽9、中滑槽8和下滑槽2之间。结合图4所示,竖板4的中部均焊接有滑动连接在中滑槽8内的第一滑杆21,竖板4的下端部上均焊接有第二滑杆20,第二滑杆20可滑动连接在上滑槽9、下滑槽2和弧形槽10内。左侧的弧形槽10的右下方上设有第一磁铁17,左侧的弧形槽10的下方设有位于板体1底部的第二磁铁3,竖板4上滑动连接有第三磁铁5。第三磁铁5与竖板4的具体滑动连接方式为:竖板4上设有竖槽,第三磁铁5滑动连接在竖槽内。第一磁铁17和第二磁铁3均可与第三磁铁5相吸。再结合图5所示,第三磁铁5分别与两个空心板的端部之间连接有拉绳6。竖板4的中部焊接有第一齿轮7,中滑槽8的0两端分别转动连接有第二齿轮15和第三齿轮11,第二齿轮15和第三齿轮11上均连接有电机(图中未示出),第二齿轮15和第三齿轮11在电机的驱动下均逆时针转动。竖板4上连接有使竖板4左、右移动的往复推动气缸(图中未示出),往复推动气缸与竖板4之间转动连接,从而使得往复推动气缸不会影响竖板4的转动。
具体实施过程如下:将若干玻璃依次从最左侧的板体1上放入,控制相邻玻璃的放入速度,并使相邻玻璃之间的间隙宽度等于挡板13的宽度。初始时,挡板13位于板体1的上方,且挡板13位于相邻的两个玻璃16之间。使用伺服电机驱动转动辊19顺时针转动,转动辊19带动传送轮12转动,传送轮12通过轮孔18带动玻璃16从左向右移动。玻璃16移动过程中,位于玻璃16上方的溅射靶对玻璃16的上表面进行溅射,从而在玻璃16的上表面镀上膜。同时,往复推动气缸推动竖板4与玻璃16以相同的速度自左向右移动,竖板4上的第一滑杆21在中滑槽8中自左向右滑动,竖板4上的第二滑杆20在下滑槽2中自左向右滑动。竖板4带动挡板13自左向右移动。由于挡板13将相邻的两块玻璃16之间的间隙挡住,故溅射产物不会通过挡板13掉落到板体1的顶部上,溅射产物之间沉积在挡板13上,由此,挡板13对溅射产物沉积到板体1上起到了一定的阻碍作用。
结合图6所示,当右侧的玻璃16从板体1的顶部的右侧滑离时,左侧的玻璃16全部覆盖在板体1上,此时,挡板13正好移动到板体1的右端。竖板4上的第一齿轮7与第三齿轮11啮合,第三齿轮11带动第一齿轮7顺时针转动,第一齿轮7带动竖板4顺时针转动,竖板4上的第一滑杆21在中滑槽8内转动,竖板4上的第二滑杆20在下滑槽2中通过右侧的弧形槽10滑动到上滑槽9中,而挡板13在竖板4的带动下从板体1的上面跨过板体1的右端转动到板体1的下面。然后通过往复推动气缸带动竖板4快速从板体1的右端移动到板体1的左端。
同理,当竖板4移动到板体1的左端时,竖板4上的第一齿轮7与第二齿轮15啮合,第二齿轮15通过第一齿轮7带动竖板4顺时针转动。竖板4上的第一滑杆21在中滑槽8中转动,同时,第二滑杆20在上滑槽9中通过左侧的弧形槽10滑动到下滑槽2中,而挡板13在竖板4的带动下逐渐从板体1的下面跨过板体1的左端转动到板体1的上方,挡板13再次位于新的相邻的两块玻璃16的间隙之间,从而实现了挡板13的循环使用。
竖板4在板体1的左端顺时针转动过程中,竖板4远离挡板13的一端的第三磁铁5逐渐靠近左侧的弧形槽10右下方的第二磁铁3和左侧的弧形槽10下方的第一磁铁17,第三磁铁5受到第一磁铁17和第二磁铁3的引力而在竖板4上向远离挡板13方向滑动,第三磁铁5通过拉绳6拉动两个空心板相互靠近,从而使得挡板13收缩,挡板13的体积减小。这样,当挡板13转动到新的相邻的两块玻璃16之间的间隙中时,由于挡板13的体积较小,挡板13不会与玻璃16的下表面相抵,从而使挡板13顺利转动到新的相邻的两块玻璃16之间的间隙中。然后随着竖板4继续向右移动,第三磁铁5分别与第一磁铁17和第二磁铁3分离,两个空心板在压簧14的作用下相互远离,从而使挡板13变宽,挡板13的体积变大,挡板13将相邻的两块玻璃16之间的间隙充分填充,保证挡板13对溅射产物的阻挡的作用。另外,挡板13的面积较小,易于更换,不会影响加工的效率。
实施例2
实施例2与实施例1的不同之处在于,挡板13远离竖板4的一面上设有碳层,碳层可对溅射产物进行吸附。当需要对挡板13上的溅射产物进行清理时,通过轻轻敲击碳层,碳层与挡板13分离,从而使得吸附有溅射产物的碳层与挡板13分离,进而利于挡板13上溅射产物的清理。
以上所述的仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本领域的技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以作出若干变形和改进,这些也应该视为本发明的保护范围,这些都不会影响本发明实施的效果和专利的实用性。本发明所省略描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。

Claims (4)

1.玻璃镀膜用防溅射的阴极底板,其特征在于:包括多个依次排布的板体,相邻的板体之间具有间隙,所述板体的内部设有空腔,空腔内设有转动辊,转动辊上固定连接有若干传送轮,所述板体的顶部设有若干轮孔,传送轮的顶部穿过轮孔且位于板体的外侧;所述板体相对的两端均设有竖板,两个竖板的端部之间连接有用于挡住板体顶面的挡板,挡板远离竖板一面的面积小于板体顶面的面积,两个竖板分别横向滑动连接在板体的相对的两端上,所述竖板转动连接在板体设有竖板的端部的两端上;所述板体设有竖板的两端上均设有上滑槽、中滑槽、下滑槽和两个弧形槽,所述中滑槽位于上滑槽和下滑槽之间,上滑槽位于下滑槽的上方,两个弧形槽分别靠近于中滑槽的两端,两个弧形槽均连通在上滑槽、中滑槽和下滑槽之间;所述竖板的中部均设有滑动连接在中滑槽内的第一滑杆,竖板远离挡板的端部上均设有第二滑杆,所述第二滑杆滑动连接在上滑槽、下滑槽和弧形槽内;所述挡板包括两个空心板套设而成,两个空心板之间连接有压簧,所述弧形槽上设有第一磁铁,弧形槽的下方设有第二磁铁,所述竖板上滑动连接有第三磁铁,第一磁铁和第二磁铁均可与第三磁铁相吸,所述第三磁铁分别与两个空心板之间连接有拉绳。
2.根据权利要求1所述的玻璃镀膜用防溅射的阴极底板,其特征在于:所述竖板的中部连接有第一齿轮,所述中滑槽的两端分别转动连接有第二齿轮和第三齿轮,第二齿轮和第三齿轮交替与第一齿轮啮合,所述第二齿轮和第三齿轮的转动方向相同。
3.根据权利要求1所述的玻璃镀膜用防溅射的阴极底板,其特征在于:所述挡板远离板体的一面设有碳层。
4.根据权利要求2所述的玻璃镀膜用防溅射的阴极底板,其特征在于:所述竖板上均连接有往复推动气缸,所述第二齿轮和第三齿轮上均连接有电机。
CN201810937140.XA 2018-08-16 2018-08-16 玻璃镀膜用防溅射的阴极底板 Active CN108863096B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810937140.XA CN108863096B (zh) 2018-08-16 2018-08-16 玻璃镀膜用防溅射的阴极底板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810937140.XA CN108863096B (zh) 2018-08-16 2018-08-16 玻璃镀膜用防溅射的阴极底板

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108863096A CN108863096A (zh) 2018-11-23
CN108863096B true CN108863096B (zh) 2021-02-26

Family

ID=64318990

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810937140.XA Active CN108863096B (zh) 2018-08-16 2018-08-16 玻璃镀膜用防溅射的阴极底板

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108863096B (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4094763A (en) * 1970-07-31 1978-06-13 Ppg Industries, Inc. Sputter coating of glass with an oxide of a metal having an atomic number between 48 and 51 and mixtures thereof
US4220118A (en) * 1978-08-15 1980-09-02 Domglas Inc. Spray hood
US5527605A (en) * 1989-02-16 1996-06-18 Hoechst Aktiengesellschaft Magnetooptic layer and a process for its fabrication
CN102367569A (zh) * 2011-11-23 2012-03-07 林嘉宏 辊轮溅射污染低的真空磁控溅射镀膜装置
CN106480418A (zh) * 2016-09-27 2017-03-08 信义玻璃(天津)有限公司 清理装置、磁控溅射镀膜机及玻璃镀膜方法
CN107077893A (zh) * 2014-05-29 2017-08-18 辉光能源公司 发电系统及其相关方法
CN207552438U (zh) * 2017-12-05 2018-06-29 合肥京东方显示技术有限公司 一种磁控溅射设备
CN207552435U (zh) * 2017-11-30 2018-06-29 嘉兴岱源真空科技有限公司 一种间隙控制装置、工件清洗设备及真空镀膜设备

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09155246A (ja) * 1995-12-04 1997-06-17 Yasuyuki Yamamoto 鉄骨造の耐火被覆工法における湿式吹付け工 事の吹き付けノズル

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4094763A (en) * 1970-07-31 1978-06-13 Ppg Industries, Inc. Sputter coating of glass with an oxide of a metal having an atomic number between 48 and 51 and mixtures thereof
US4220118A (en) * 1978-08-15 1980-09-02 Domglas Inc. Spray hood
US5527605A (en) * 1989-02-16 1996-06-18 Hoechst Aktiengesellschaft Magnetooptic layer and a process for its fabrication
CN102367569A (zh) * 2011-11-23 2012-03-07 林嘉宏 辊轮溅射污染低的真空磁控溅射镀膜装置
CN107077893A (zh) * 2014-05-29 2017-08-18 辉光能源公司 发电系统及其相关方法
CN106480418A (zh) * 2016-09-27 2017-03-08 信义玻璃(天津)有限公司 清理装置、磁控溅射镀膜机及玻璃镀膜方法
CN207552435U (zh) * 2017-11-30 2018-06-29 嘉兴岱源真空科技有限公司 一种间隙控制装置、工件清洗设备及真空镀膜设备
CN207552438U (zh) * 2017-12-05 2018-06-29 合肥京东方显示技术有限公司 一种磁控溅射设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN108863096A (zh) 2018-11-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI277127B (en) A magnetron sputtering device, a cylindrical cathode and a method of coating thin multicomponent films on a substrate
CN108863096B (zh) 玻璃镀膜用防溅射的阴极底板
JP2004123512A (ja) ガラス表面のコーティング方法及び装置
TW201305359A (zh) 真空成膜方法,及經由該方法所得之層積體
EP0818557A1 (fr) Procédé et installation pour la formation d'un revêtement sur un substrat
EP0581833B1 (en) A method for manufacturing solar cells
CN112251728B (zh) 连续真空磁控溅射镀膜装置及镀膜生产线
JP2007126703A (ja) 成膜装置
WO2005107392A3 (en) System for vaporizing materials onto substrate surface
CN113073301A (zh) 一种可调非平衡矩形平面磁控溅射阴极
CN111647867A (zh) 一种真空镀膜机磁控溅射控制机构
CN114737461A (zh) 一种适用不同大小裂缝的市政建筑用道路修补设备
EP2111477B1 (fr) Procédé de revêtement d'un substrat, installation de mise en oeuvre du procédé et dispositif d'alimentation en métal d'une telle installation
CN201817404U (zh) 双银低辐射玻璃
KR20150020079A (ko) 드럼 회전식 도금 장치
CN209759577U (zh) 用于半导体薄膜真空气相沉积生产的分段破空装置
CN210085567U (zh) 一种可调节的镀膜用滤片装置
CN215976017U (zh) 一种提高磁控溅射靶材利用率的装置
CN220335288U (zh) 一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构及蒸发镀膜装置
CN219586008U (zh) 一种玻璃镀膜用底板
CN113135063A (zh) 一种自动对玻璃马赛克进行铺贴的辅助装置
CN207789722U (zh) 一种用于瓷砖雕刻的自动覆膜装置
CN112643464B (zh) 一种用于电极辊加工的磨削装置及其使用方法
CN216274350U (zh) 一种镀膜机用升降式基片台
CN219526772U (zh) 一种真空磁控溅射绕卷镀膜装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant