CN108846863B

CN108846863B - 定位标位置检测方法、装置、计算机和存储介质

Info

Publication number: CN108846863B
Application number: CN201810429278.9A
Authority: CN
Inventors: 陆书鑫; 方金波; 仝建军; 李伟界; 黄伟东; 李建华
Original assignee: Truly Huizhou Smart Display Ltd
Current assignee: Truly Huizhou Smart Display Ltd
Priority date: 2018-05-08
Filing date: 2018-05-08
Publication date: 2021-12-17
Anticipated expiration: 2038-05-08
Also published as: CN108846863A

Abstract

本申请涉及一种定位标位置检测方法、装置、计算机和存储介质，所述方法包括获取包含定位标的图像；解析所述图像，确定所述定位标的第一位置；基于所述定位标的第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置；根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置。通过在预设区域内检测灰阶的连续变化，确定定位标的边的位置，有效排除胶点或者污点造成的灰阶干扰，进而精确获取到定位标的位置，从而提高了偏移量的检测精度，使得曝光效果更佳。

Description

定位标位置检测方法、装置、计算机和存储介质

技术领域

本发明涉及液晶制造技术领域，特别是涉及定位标位置检测方法、装置、计算机和存储介质。

背景技术

近年来，随着液晶器件的蓬勃发展，其生产规模越来越大；再考虑到产能和切割效率的影响，8.5代生产线已经不能满足市场的需要，所以10.5代线或11代生产线应运而生，再伴随着5G网络时代的提出，国内液晶面板厂商开始提出的“8425”战略，其中液晶面板还是主流。

传统的8.5代生产线基板尺寸已经达到2200mm*2500mm，而随着生产线的换代升级，基板的尺寸随之增大，并增长到3000mm左右，大尺寸的基板需要成套的配套加工，如原材料、设备以及辅料，其中尤其是在加工的核心光刻工序，即黄光工序的加工更加复杂，首先，大尺寸的基板光刻需要相应的掩膜版，但是掩膜版一般是中间悬空、四周设有支撑，考虑到掩膜版必须保持水平状态才能保证曝光图形的完整性和一致性，如果掩膜版尺寸太大，一旦中间悬空，其会下垂甚至变形，进而导致曝光的图形变形和整个基板的不一致性，不能满足生产要求，所以就要保证掩膜版在保持较为平整的水平度的情况下对基板曝光，掩膜版的尺寸越小其水平效果越好保证，但是大尺寸面板的加工不可能使用太小的掩膜版出现；所以就需要使用相比基板尺寸小的、水平性也较好的掩膜版对基板进行曝光加工，这要求光刻工序必须进行多次曝光才能完成。

基于此，现在行业内大世代线4.5代线以上的液晶基板加工一般至少需要2次以上的曝光，甚至是更多次，才能完成光刻工序。基板多次曝光就要考虑是掩膜版和光源移动还是基板移动，由于光源的光学系统的精确性和掩膜版的精密性比较高，所以，行业内采用的是基板移动，通过基板的多次移动实现多次光刻的完成。构成液晶屏的两个基板：ColorFilter(彩色滤光片)基板和Array(阵列)基本上都是需要多道光刻工序，由于基板尺寸较大，一道光刻工序需要多次曝光，所以第一道光刻工序比较重要，它必须先把基本轮廓给定下来，后续的光刻根据这个基本框架在进行对位光刻工序，第一道光刻工序需要定下需要加工图形的轮廓，往往需要测量不同此曝光的图形偏移量，行业内称为图形Shot(定位标)的偏移量，根据这个偏移量判定多次曝光结果的好与差，所以需要专门的检测设备检测这个偏移量。

定位标的位置确认是通过抓取定位标的图像，并分析图像的灰阶变化确定定位标的位置，然而由于曝光后的面板在定位标附近容易粘附胶点或者存在污点，胶点或者污点对图像的灰阶造成影响，导致定位标的位置对位不准确，使测试的偏移量出现偏差，导致曝光效果较差。

发明内容

基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种定位标位置检测方法、装置、计算机和存储介质。

一种定位标位置检测方法，所述方法包括：

获取包含定位标的图像；

解析所述图像，确定所述定位标的第一位置；

基于所述定位标的第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置；

根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置。

在其中一个实施例中，所述基于所述定位标的第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置的步骤包括：

基于所述定位标的所述第一位置，通过定位框选取区域；

以所述定位框内选取的区域为所述预设区域，检测所述预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置。

在其中一个实施例中，所述基于所述定位标的所述第一位置，通过定位框选取区域的步骤中，所述定位框的数量为多个。

基于所述定位标的所述第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化；

根据所述预设区域内灰阶的变化的点的集合，确定所述定位标的边的位置。

在其中一个实施例中，所述根据所述预设区域内灰阶的变化的点的集合，确定所述定位标的边的位置的步骤包括：

根据所述预设区域内灰阶的连续变化的多个点的集合，确定所述定位标的边的位置。

一种定位标位置检测装置，所述装置包括：

图像获取模块，用于获取包含定位标的图像；

第一位置确定模块，用于解析所述图像，确定所述定位标的第一位置；

灰阶检测模块，用于基于所述定位标的第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置；

第二位置确定模块，用于根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置。

在其中一个实施例中，所述灰阶检测模块包括：

定位框选取单元，用于基于所述定位标的所述第一位置，通过定位框选取区域；

灰阶检测单元，用于以所述定位框内选取的区域为所述预设区域，检测所述预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置。

在其中一个实施例中，所述灰阶检测模块包括：

灰阶变化检测单元，用于基于所述定位标的所述第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化；

边位置确定单元，用于根据所述预设区域内灰阶的变化的点的集合，确定所述定位标的边的位置。

一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现以下步骤：

获取包含定位标的图像；

解析所述图像，确定所述定位标的第一位置；

根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置。

一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：

获取包含定位标的图像；

解析所述图像，确定所述定位标的第一位置；

根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置。

上述定位标位置检测方法、装置、计算机和存储介质，通过在预设区域内检测灰阶的连续变化，确定定位标的边的位置，有效排除胶点或者污点造成的灰阶干扰，进而精确获取到定位标的位置，从而提高了偏移量的检测精度，使得曝光效果更佳。

附图说明

图1为一个实施例中定位标位置检测方法的应用环境图；

图2为一个实施例中定位标位置检测方法的流程示意图；

图3为一个实施例中定位标位置检测装置的结构框图；

图4为一个实施例中计算机设备的内部结构图；

图5为另一个实施例中计算机设备的内部结构图；

图6A为传统的定位标位置检测中定位标与背景图像的色阶变化检测位置的图形示意图；

图6B为一个实施例中的定位标与背景图像的色阶变化检测位置的图形示意图。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

本申请提供的定位标位置检测方法，可以应用于如图1所示的应用环境中。其中，图像传感器102通过数据接口与计算机104进行通信。其中，计算机104可以用独立的服务器或者是多个服务器组成的服务器集群来实现。图像传感器102获取包含定位标的图像，计算机104解析所述图像，确定所述定位标的第一位置，基于所述定位标的第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置，根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置。

在一个实施例中，如图2所示，提供了一种定位标位置检测方法，以该方法应用于图1中的终端为例进行说明，包括以下步骤：

步骤220，获取包含定位标的图像。

例如，采用图像传感器获取包含定位标的图像，例如，采用图像传感器获取基板的图像，例如，采用图像传感器获取曝光后的基板的图像。例如，获取包含定位标的图形的图像。

例如，定位标位置检测方法为掩膜版曝光产生的定位标位置检测方法。

具体地，掩膜版的曝光过程中，光线通过掩膜板上的孔对基板上的光刻胶进行曝光，从而在基板上形成曝光的图形。该掩膜板上还设置对位孔，这样，光线通过掩膜板对位孔对基板曝光，使得基板上形成定位标。通过掩膜板进行曝光后，基板上形成曝光的图形和定位标。这样，获取曝光后的基板的图像，该图像包含定位标。

例如，获取包含多个定位标的图像。例如，在每一次曝光后，获取基板的图像，例如，每一次采用掩膜板对基板曝光后，将掩膜版移动至下一个曝光的位置，进行再次曝光，在基板上再次形成图形和定位标，这样，基板上则形成了多个定位标，通过对多个定位标的位置的检测，即可以实现对两次曝光的图形的位置的偏移的检测。

步骤240，解析所述图像，确定所述定位标的第一位置。

例如，解析图像，获取定位标的图形，确定定位标的图形在所述图像上的位置。例如，解析图像，获取图像的色阶的分布，根据色阶的分布，确定所述定位标的图形在图像上的第一位置。例如，解析所述凸显个，确定多个所述定位标的第一位置。

具体地，本实施例中，第一位置为定位标在图像中的位置，该第一位置为粗略位置，或者说，定位标在图像中的大概的位置。

步骤260，基于所述定位标的第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置。

具体地，定位标的边即为定位标对应的图形的边，该定位标的边用于区分定位标的图形和基板上的其他位置的背景图像。通过获取定位标的边的位置，能够精确获取到定位标的准确位置。

色阶是表示图像亮度强弱的指数标准，也就是我们说的色彩指数，在数字图像处理教程中，指的是灰度分辨率(又称为灰度级分辨率或者幅度分辨率)。值得一提的是，定位标和基板上的其他位置在形成图像后，由于图像上定位标和基板上的其他位置对应的色阶相异，因此，通过检测预设区域内的灰阶的变化，即可确定色阶变化的边界线，该边界线即为定位标的边。

具体地，定位标的边为多个，通过多个边的获取，能够精确获得定位标的准确位置。例如，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的多个边的位置。

本实施例中，预设区域的位置根据定位标的第一位置确定，例如，基于所述定位标的第一位置，确定预设区域，例如，基于所述定位标的第一位置，确定多个预设区域，该预设区域与定位标对应，且该预设区域位于第一位置。这样，通过确定预设区域，可以对该预设区域内的色阶进行检测，能够缩小色阶变化的检测范围，提高检测效率。相较于传统的对定位标上多个点的单点的灰阶变化的检测，本实施例中对预设区域内的整体的色阶变化进行检测，不仅能够精准确定定位标的边的位置，此外，无需对第一位置上的定位标与背景图像的所有色阶变化进行检测，能够有效提高色阶变化的检测效率。

本实施例中，在获知定位标的粗略位置后，根据图像上的预设区域内的灰阶变化，确定定位标的边的位置。

步骤280，根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置。

具体地，第二位置为定位标的精确位置，在获取了定位标的边的位置后，则可确定定位标的精确位置，即第二位置。例如，根据所述定位标的多个边的位置，确定所述定位标的第二位置。

上述实施例中，，通过在预设区域内检测灰阶的连续变化，确定定位标的边的位置，有效排除胶点或者污点造成的灰阶干扰，进而精确获取到定位标的位置，从而提高了掩膜板的曝光偏移量的检测精度，使得曝光效果更佳。

为了精确获取预设区域内的灰阶的变化，提高灰阶变化的检测效率，在一个实施例中，所述基于所述定位标的第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置的步骤包括：基于所述定位标的所述第一位置，通过定位框选取区域；以所述定位框内选取的区域为所述预设区域，检测所述预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置。

例如，所述定位框的数量为多个。例如，基于所述定位标的所述第一位置，通过多个定位框选取区域，以多个所述定位框内选取的多个区域为多个所述预设区域，分别检测多个所述预设区域内的灰阶的变化，根据多个所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的多个边的位置。

具体地，该选取框用于选取预设区域，该选取框选取的预设区域的位置根据定位标的第一位置确定，例如，根据所述定位标的所述第一位置，确定所述定位框选取的区域，以所述定位框内选取的区域为所述预设区域。这样，通过选取框能够准确地确定预设区域的位置和大小，这样，能够精确对预设区域内的色阶变化进行检测，从而提高灰阶变化的检测效率。

为了精确获取定位标的边的位置，在一个实施例中，所述基于所述定位标的第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置的步骤包括：基于所述定位标的所述第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化；根据所述预设区域内灰阶的变化的点的集合，确定所述定位标的边的位置。

具体地，定位标的图形与基板上其他位置的背景图像之间存在色阶上的差异，比如，定位标的图形的灰阶较为暗，基板上其他位置的背景图像的灰阶较为明亮，这样，定位标的边的两侧的灰阶存在差异，定位标的边作为两种灰阶的分隔界线，通过获取这些差异的点的集合，即可获取到定位标的边，从而精确获取到定位标的边的位置。

为了进一步提高对定位标的边的位置的确定，在一个实施例中，所述根据所述预设区域内灰阶的变化的点的集合，确定所述定位标的边的位置的步骤包括：根据所述预设区域内灰阶的连续变化的多个点的集合，确定所述定位标的边的位置。

例如，根据所述预设区域内灰阶在一直线上连续变化的多个点的集合，确定所述定位标的边的位置。本实施例中，通过连续变化的灰阶的点的集合，使得这些点连成一直线，使得该直线与对位标的边对应，从而精确获取到对位标的边的位置。

例如，在所述根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置的步骤之后还包括：根据多个所述定位标的第二位置，计算掩膜板曝光偏移量。

例如，提供一种掩膜版曝光偏移量检测方法，包括：获取包含定位标的图像；解析所述图像，确定所述定位标的第一位置；基于所述定位标的第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置；根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置；根据多个所述定位标的第二位置，计算掩膜板曝光偏移量。

如图6A和6B所示，定位标600形状为十字形，如图6A所示，采用传统的多个单点的色阶变化检测，从而确定定位标600的位置时，由于图像上存在污点601，导致定位标600的其中一个点的位置确定错误，导致定位标600的边位置检测出现误差，从而使得定位标600的位置不准确，导致后续的掩膜板曝光偏移量的计算误差。

如图6B所示，而采用上述实施例中的定位标位置检测方法，基于定位标600的第一位置，采用多个定位框620选定多个预设区域，对该预设区域内的色阶变化的点的集合进行检测，从而获取到定位标600的边630的位置，这样，能够有效避免单点色阶变化引起的误差，能够有效提高定位标的边的位置的检测精度，使得定位标的位置获取更精确，使得曝光偏移量的计算结果更为准确，使得曝光效果更佳。

在一个实施例中，如图3所示，提供了一种定位标位置检测装置，包括：图像获取模块310、第一位置确定模块330、灰阶检测模块350和第二位置确定模块370，其中：

图像获取模块310用于获取包含定位标的图像。

第一位置确定模块330用于解析所述图像，确定所述定位标的第一位置。

灰阶检测模块350用于基于所述定位标的第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置。

第二位置确定模块370用于根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置。

在一个实施例中，所述灰阶检测模块包括：定位框选取单元和灰阶检测单元，其中：

定位框选取单元用于基于所述定位标的所述第一位置，通过定位框选取区域。

灰阶检测单元用于以所述定位框内选取的区域为所述预设区域，检测所述预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置。

在一个实施例中，所述灰阶检测模块包括：灰阶变化检测单元和边位置确定单元，其中：

在一个实施例中，边位置确定单元还用于根据所述预设区域内灰阶的连续变化的多个点的集合，确定所述定位标的边的位置。

在一个实施例中，所述定位框的数量为多个。

关于定位标位置检测装置的具体限定可以参见上文中对于定位标位置检测方法的限定，在此不再赘述。上述定位标位置检测装置中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实现。上述各模块可以硬件形式内嵌于或独立于计算机设备中的处理器中，也可以以软件形式存储于计算机设备中的存储器中，以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。

在一个实施例中，提供了一种计算机设备，该计算机设备可以是服务器，其内部结构图可以如图4所示。该计算机设备包括通过系统总线连接的处理器、存储器、网络接口和数据库。其中，该计算机设备的处理器用于提供计算和控制能力。该计算机设备的存储器包括非易失性存储介质、内存储器。该非易失性存储介质存储有操作系统、计算机程序和数据库。该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该计算机设备的数据库用于存储定位标位置检测数据。该计算机设备的网络接口用于与设备通过网络连接通信。该计算机程序被处理器执行时以实现一种定位标位置检测方法。

在一个实施例中，提供了一种计算机设备，该计算机设备可以是终端，其内部结构图可以如图5所示。该计算机设备包括通过系统总线连接的处理器、存储器、网络接口、显示屏和输入装置。其中，该计算机设备的处理器用于提供计算和控制能力。该计算机设备的存储器包括非易失性存储介质、内存储器。该非易失性存储介质存储有操作系统和计算机程序。该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该计算机设备的网络接口用于与外部的终端通过网络连接通信。该计算机程序被处理器执行时以实现一种定位标位置检测方法。该计算机设备的显示屏可以是液晶显示屏或者电子墨水显示屏，该计算机设备的图像传感器用于采集基板上曝光的图形的图像，该图形包括第一定位标和第二定位标。

本领域技术人员可以理解，图5中示出的结构，仅仅是与本申请方案相关的部分结构的框图，并不构成对本申请方案所应用于其上的计算机设备的限定，具体的计算机设备可以包括比图中所示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者具有不同的部件布置。

在一个实施例中，提供了一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，处理器执行计算机程序时实现以下步骤：

获取包含定位标的图像；

解析所述图像，确定所述定位标的第一位置；

根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置。

在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：

基于所述定位标的所述第一位置，通过定位框选取区域；

在一个实施例中，所述定位框的数量为多个。

在一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：

获取包含定位标的图像；

解析所述图像，确定所述定位标的第一位置；

根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置。

在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：

基于所述定位标的所述第一位置，通过定位框选取区域；

在一个实施例中，所述定位框的数量为多个。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和/或易失性存储器。非易失性存储器可包括只读存储器(ROM)、可编程ROM(PROM)、电可编程ROM(EPROM)、电可擦除可编程ROM(EEPROM)或闪存。易失性存储器可包括随机存取存储器(RAM)或者外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM以多种形式可得，诸如静态RAM(SRAM)、动态RAM(DRAM)、同步DRAM(SDRAM)、双数据率SDRAM(DDRSDRAM)、增强型SDRAM(ESDRAM)、同步链路(Synchlink)DRAM(SLDRAM)、存储器总线(Rambus)直接RAM(RDRAM)、直接存储器总线动态RAM(DRDRAM)、以及存储器总线动态RAM(RDRAM)等。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims

1.一种定位标位置检测方法，其特征在于，包括：

获取包含定位标的图像；

解析所述图像，确定所述定位标的第一位置；

所述解析所述图像，确定所述定位标的第一位置，包括：获取所述图像的色阶的分布；根据所述色阶的分布，确定所述定位标在所述图像上的第一位置；

基于所述定位标的第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置，其中，所述预设区域与所述定位标的第一位置对应；基于所述定位标的所述第一位置，通过定位框选取区域；以所述定位框内选取的区域为所述预设区域；所述预设区域由定位框根据所述定位标的第一位置确定；所述定位标的边用于区分所述定位标的图形与所述图像的背景；

根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置；所述第二位置用于计算掩膜板曝光偏移量，为所述定位标的精确位置。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述定位标的所述第一位置，通过定位框选取区域的步骤中，所述定位框的数量为多个。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述定位标的第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置的步骤包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述预设区域内灰阶的变化的点的集合，确定所述定位标的边的位置的步骤包括：

5.一种定位标位置检测装置，其特征在于，所述装置包括：

图像获取模块，用于获取包含定位标的图像；

所述第一位置确定模块，还用于获取所述图像的色阶的分布；根据所述色阶的分布，确定所述定位标在所述图像上的第一位置；灰阶检测模块，用于基于所述定位标的第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化，根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置，其中，所述预设区域与所述定位标的第一位置对应；基于所述定位标的所述第一位置，通过定位框选取区域；以所述定位框内选取的区域为所述预设区域；所述预设区域由定位框根据所述定位标的第一位置确定；所述定位标的边用于区分所述定位标的图形与所述图像的背景；

第二位置确定模块，用于根据所述定位标的边的位置，确定所述定位标的第二位置；所述第二位置用于计算掩膜板曝光偏移量，为所述定位标的精确位置。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述灰阶检测模块包括：

灰阶变化检测单元，用于基于所述定位标的所述第一位置，检测预设区域内的灰阶的变化。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述灰阶检测模块还包括：

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述边位置确定单元，还用于根据所述预设区域内灰阶的连续变化的多个点的集合，确定所述定位标的边的位置。

9.一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至4中任一项所述方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至4中任一项所述的方法的步骤。