CN108828766B - 一种窄带可调光学滤波器 - Google Patents

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Abstract

本申请公开了一种窄带可调光学滤波器，解决滤波器带宽较宽、体积较大的问题。输入光经所述MEMS反射镜反射、依次透过所述扩束结构、所述衍射光栅，形成一次色散光；再依次经所述第一反射镜、第二反射镜反射、再次透过所述衍射光栅形成二次色散光；再经第三反射镜反射后第三次透过所述衍射光栅，形成三次色散光；再依次经所述第二反射镜、第一反射镜反射、第四次透过所述衍射光栅，形成四次色散光；再反向透过所述扩束结构，返回至所述MEMS反射镜。所述MEMS反射镜通过改变偏转角度实现波长选择。本申请实施例还包含准直透镜，用于对输入光准直。作为进一步优化的实施例，还包含扩束结构，位于所述MEMS反射镜和所述衍射光栅之间。

Description

一种窄带可调光学滤波器
技术领域
本申请涉及光纤通信领域，尤其涉及一种使用MEMS反射镜和衍射光栅的光学滤波器。
背景技术
可调谐光学滤波器广泛应用于光纤通信ROADM系统与光纤传感领域中。主要的窄带可调谐滤波器实现方案有F-P滤波器型、MEMS-光栅型滤波器。其中F-P滤波器多采用镀膜手段获得，但是其镀膜难度大、成品率低；普通MEMS-光栅型滤波器实现更窄带宽压缩时将导致几乎所有光学元件通光孔径增大，导致光学元件像差容限与制造公差容限降低、成品率低，难以量产。
例如，一种基于MEMS技术的可调谐光滤波器(CN103293698A)，其光学系统包括环形器、输入准直器、MEMS反射镜、扩束透镜组、透射式光栅和反射镜。通过转动MEMS反射镜改变光束对光栅的入射角实现波长选择。缺点是：随设计带宽逐步缩减，光学元件孔径和光学长度都会成倍增大，透镜组扩束系统像差容差将减小，使元件成本与加工装配难度增加、无法适应批量生产。再例如一种基于MEMS的可调谐平顶窄带型光学滤波器(CN104090362A)，其光学系统包括双纤光纤准直器、扩束棱镜、透射式光栅、缩束棱镜和MEMS反射镜。采用单棱镜对输入光栅的光斑进行放大，经过光栅之后的棱镜起到光斑压缩。该系统虽然结构简单，但设计带宽仍主要由MEMS反射镜孔径决定，且单个棱镜放大倍率有限，较难实现超窄带宽滤波。
发明内容
本申请提出一种窄带可调光学滤波器，实现光学滤波器的超窄带宽压缩和光学尺寸缩减，解决滤波器带宽较宽、体积较大的问题。
本申请实施例提供一种窄带可调配光学滤波器，包括MEMS反射镜、衍射光栅、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜。所述MEMS反射镜，用于将输入光反射至所述衍射光栅。所述衍射光栅为透射式，用于形成色散。所述第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜用于光反射。
输入光经所述MEMS反射镜反射、依次透过所述扩束结构、所述衍射光栅，形成一次色散光；再依次经所述第一反射镜、第二反射镜反射、再次透过所述衍射光栅形成二次色散光；再经第三反射镜反射后第三次透过所述衍射光栅，形成三次色散光；再依次经所述第二反射镜、第一反射镜反射、第四次透过所述衍射光栅，形成四次色散光；再反向透过所述扩束结构，返回至所述MEMS反射镜。
所述MEMS反射镜，还用于将所述四次色散光反射为输出光、通过改变偏转角度实现波长选择。
作为所述窄带可调光学滤波器的实施例，还包含准直透镜；所述准直透镜位于所述MEMS反射镜和光纤输入输出端之间，用于对输入光准直；所述光纤输入输出端位于所述准直透镜前焦面上。
作为所述窄带可调光学滤波器的实施例，还包含扩束结构；所述扩束结构包含一个或多个棱镜，位于所述MEMS反射镜和所述衍射光栅之间，用于对来自所述MEMS反射镜的光扩束。所述四次色散光反向经过所述扩束结构，返回至所述MEMS反射镜。
优选地，所述准直透镜为以下一种：单球面透镜、胶合透镜或非球面透镜。
优选地，所述扩束结构为单棱镜、双棱镜或多棱镜。
优选地，所述扩束结构与由一个或多个单棱镜组成，所述单棱镜顶角为29.4°，玻璃材料为SF11。
优选地，所述扩束结构中的每一个棱镜，朝向衍射光栅的一面与光路垂直。
优选地，所述衍射光栅为966线融石英透射光栅。
优选地，所述衍射光栅的入射角为45°，所述第一反射镜、第二反射镜反射镜与光栅平面夹角为68±2°范围内。
本申请实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：
在相同的MEMS反射镜尺寸和光栅尺寸的前提下，可实现更窄的滤波器带宽。
而对应于相同的滤波器带宽，光栅尺寸与其他元件尺寸可以更小，成本降低，且无扩束透镜组、光路结构更简单，装调方便。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
图1为本发明窄带可调光学滤波器结构示意图；
图2为本发明带准直透镜的窄带可调光学滤波器结构示意图；
图3为本发明带扩束结构的窄带可调光学滤波器结构示意图；
图4为说明扩束结构的棱镜组用于将色散分光的角度放大的原理示意图；
图5为单程通过透射光栅和双程通过透射光栅带宽比较；
图6为无扩束结构和有扩束结构带宽比较。
具体实施方式
为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
以下结合附图，详细说明本申请各实施例提供的技术方案。
图1为本发明窄带可调光学滤波器结构示意图。本申请实施例提供一种窄带可调配光学滤波器，包括MEMS反射镜1、衍射光栅2、第一反射镜3、第二反射镜4、第三反射镜5。所述MEMS反射镜，用于将输入光反射至所述衍射光栅。所述衍射光栅为透射式，用于形成色散。
所述第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜用于光反射。
第一反射镜和第二反射镜构成双程折叠反射镜结构，通过所述第一反射镜和第二反射镜形成二次反射，复用光栅、实现光束入射到第三反射镜之前双程通过衍射光栅，从而成倍增大光栅波长色散能力。
第三反射镜将选通的波长沿原路反射回光学系统光纤输入输出端。
输入光经所述MEMS反射镜反射、依次透过所述扩束结构、所述衍射光栅，形成一次色散光；再依次经所述第一反射镜、第二反射镜反射、再次透过所述衍射光栅形成二次色散光；再经第三反射镜反射后第三次透过所述衍射光栅，形成三次色散光；再依次经所述第二反射镜、第一反射镜反射、第四次透过所述衍射光栅，形成四次色散光；再反向透过所述扩束结构，返回至所述MEMS反射镜。
所述MEMS反射镜，还用于将所述四次色散光反射为输出光、通过改变偏转角度实现波长选择。
本申请的实施例还包括光纤输入输出端6，所述光纤输入输出端可使用双光纤尾纤或单光纤尾纤加环形器的方式。
需要说明的是，本发明中第一反射镜和第二反射镜构成的折叠反射镜位置，需保证所有波长的光束可以大致以光栅设计入射角度第二次通过光栅；通过调整两反射镜间距，可减少光栅分光方向使用面积，缩小光栅尺寸。
图2为本发明带准直透镜的窄带可调光学滤波器结构示意图。在图1所示的实施例基础上，作为所述窄带可调光学滤波器进一步改进的实施例，还包含准直透镜7；所述准直透镜位于所述MEMS反射镜1和光纤输入输出端6之间，用于对输入光准直；所述光纤输入输出端位于所述准直透镜前焦面上。
优选地，所述准直透镜为以下一种：单球面透镜、胶合透镜或非球面透镜。所述光纤输入输出端的位置处于准直透镜前焦面上，实现高斯光束变换。
图3为本发明带扩束结构的窄带可调光学滤波器结构示意图。在图2所示的实施例基础上，作为所述窄带可调光学滤波器进一步优化的实施例，还包含扩束结构8；所述扩束结构包含一个或多个棱镜，位于所述MEMS反射镜和所述衍射光栅之间，用于对来自所述MEMS反射镜的光扩束。所述四次色散光反向经过所述扩束结构，返回至所述MEMS反射镜。
优选地，所述扩束结构为单棱镜、双棱镜或多棱镜。
需要说明的是，所述扩束结构中的双棱镜是由两个单棱镜组成；所述扩束结构中的多棱镜，是由多个单棱镜组成。
优选地，所述扩束结构与由一个或多个单棱镜组成，所述单棱镜顶角为29.4°，玻璃材料为SF11。
具体地，本实施例的光路包括，光纤尾纤输入输出端6、准直透镜7、MEMS反射镜1、扩束结构8、衍射光栅2、第一反射镜3、第二反射镜4、第三反射镜5，由光纤尾纤输入输出端输入的光斑经准直透镜准直，经过MEMS反射镜反射，扩束结构中的棱镜(或棱镜组)将光斑沿分光方向进行扩束，之后经过衍射光栅进行第一程波长色散分光、经过第一反射镜、第二反射镜之后再次经过光栅进行第二程波长色散分光，不同波长的光以不同角度入射到第三反射镜、与第三反射镜垂直入射的波长将能按原光路返回光纤输入输出端，而其他与反射镜成角度入射的波长将不能按原光路返回光纤输入输出端，通过调节MEMS反射镜偏转角度选择可垂直入射到反射镜上的波长，从而实现波长选择滤波输出。
需要说明的是，在第一次经过扩束结构的棱镜组时，可将光斑只沿波长分光方向扩束，在第二次经过扩束结构的棱镜组时可将色散分光的角度放大、同时补偿光栅色散的波长相关非线性效应。
图4为说明扩束结构的棱镜组用于将色散分光的角度放大的原理示意图。图中分波长表示色散原理，例如C波段的3个ITU波长沿中间光线进入光学系统，以下几个波长通道的光为例对光路进行分析：CH42:1544.12804nm、CH52:1540.16161nm、CH32:1548.11494nm。
其中第四程波长色散分光后，CH32、CH42、CH52在衍射光栅的出射角度分别为α1、α0、α2；表1给出三个通道的实施例数据。所述出射角度，是光传播方向和媒质外表面的法线之间的夹角，具体地，衍射光栅的出射角度是光传播方向和衍射光栅外表面的法线之间的夹角。表1中，CH42为中心波长通道，α0＝45°为本实施例的衍射光栅对中心波长通道的工作要求。
表1、光栅出射角度数据实施例
CH32 CH42 CH52
光栅出射角度 α<sub>1</sub>＝46.217° α<sub>0</sub>＝45° α<sub>2</sub>＝43.871°
色散角度差 1.217° 0° 1.129°
所述扩束结构中的每一个单棱镜81,82，朝向衍射光栅的一面与光路垂直。垂直角度误差在±2°范围内。所述第四程波长色散光透过所述扩束结构时，在最后一个棱镜82的出射角度分别为β1、β0、β2；具体地，棱镜的出射角度是光传播方向和棱镜82外表面的法线之间的夹角。表2给出三个通道的实施例数据。
表2、棱镜出射角度数据实施例
CH32 CH42 CH52
棱镜出射角度 β<sub>1</sub>＝50.994° β<sub>0</sub>＝53.319° β<sub>2</sub>＝55.529°
色散角度差 2.325° 0° 2.210°
对比表1和表2，经过所述扩束结构后，各波长的色散传播的角度被放大，使色散后的光束经所述MEMS反射镜反射之后更容易实现波长选择。
需要说明的是，经过MEMS反射镜、准直透镜之后，只有被选择波段的光对准纤尾纤输入输出端6，经光纤输出。具体地，在图4、表1～2所示的实施例中，CH42:1544.12804nm的光MEMS反射镜、准直透镜之后落入光纤尾纤，而CH32、52则被过滤掉。
图5为单程通过透射光栅和双程通过透射光栅带宽比较。图中横轴数值的单位为109Hz、纵轴为dB。采用光栅双程通过的光路布置：复用单光栅、实现光束入射反射镜之前的光栅双程通过，从而成倍增大光栅波长色散能力。
优选地，所述衍射光栅为966线融石英透射光栅。特别的，对于966线透射光栅，在光通信C波段，所述衍射光栅的入射角为45°，所述第一反射镜、第二反射镜反射镜与光栅平面夹角大致在68°，例如为68±2°范围内。
图6为无扩束结构和有扩束结构带宽比较。图中横轴数值的单位为109Hz、纵轴为dB。采用棱镜组：在光束第一次经过时实现光斑扩束，光束经过光栅分光返回输入输出端时实现波长色散分光角度的放大，从而压缩带宽。
对于单棱镜，要增大其扩束能力或者分光放大能力，需采用高折射率的玻璃，以及采用更大的棱镜顶角。棱镜顶角增大后，对应工作波长的入射角也增大，大入射角时偏振无关的增透膜镀膜相对复杂。而使用棱镜对，在降低了镀膜难度的同时，可成倍增大分光放大角度。
特别的，例如采用顶角为29.4，玻璃材料为SF11的单棱镜，可将光栅分光角度放大为原分光角度的1.6倍。假如使用一对相同的单棱镜，分光放大能力为1.6×1.6＝2.56倍；单棱镜则难以实现2.5倍的放大能力。
合理配置以上棱镜组楔角角度及摆放角度，同时也可适当补偿光栅分光随波长变化的非线性效应，使滤波器对应长短中心波长时带宽接近一致，带宽数值举例如表3。
表3、带宽典型值
波长 1529nm 1544nm 1560nm
无棱镜组带宽 24GHz 22GHz 20GHz
有棱镜组带宽 12.5GHz 12GHz 12GHz
应用本发明的方案，相比CN104090362A，相同MEMS反射镜孔径，可以实现更窄的滤波器带宽。
相比CN103293698A，相同MEMS反射镜孔径，实现相同的滤波器带宽，光栅尺寸与其他元件尺寸可以更小，成本降低，且无扩束透镜组、光路结构更简单，装调方便。
相对以上专利，使用棱镜对可适当补偿光栅分光随波长变化的非线性效应，使滤波器对应长短中心波长时带宽接近一致。
还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims (9)

1.一种窄带可调光学滤波器，其特征在于，包括MEMS反射镜、衍射光栅、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜；
所述MEMS反射镜，用于将输入光反射至所述衍射光栅；
所述衍射光栅为透射式，用于形成色散；
所述第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜用于光反射；
输入光经所述MEMS反射镜反射、依次透过扩束结构、所述衍射光栅，形成一次色散光；再依次经所述第一反射镜、第二反射镜反射、再次透过所述衍射光栅形成二次色散光；再经第三反射镜反射后第三次透过所述衍射光栅，形成三次色散光；再依次经所述第二反射镜、第一反射镜反射、第四次透过所述衍射光栅，形成四次色散光；返回至所述MEMS反射镜；
所述MEMS反射镜，还用于将所述四次色散光反射为输出光、通过改变偏转角度实现波长选择。
2.如权利要求1所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，还包含准直透镜，所述准直透镜位于所述MEMS反射镜和光纤输入输出端之间，用于对输入光准直；所述光纤输入输出端位于所述准直透镜前焦面上。
3.如权利要求2所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，所述准直透镜为以下一种：单球面透镜、胶合透镜或非球面透镜。
4.如权利要求1所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，还包含扩束结构；
所述扩束结构包含一个或多个棱镜，位于所述MEMS反射镜和所述衍射光栅之间，用于对来自所述MEMS反射镜的光扩束；
所述四次色散光反向经过所述扩束结构，返回至所述MEMS反射镜。
5.如权利要求4所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，所述扩束结构为单棱镜、双棱镜或多棱镜。
6.如权利要求1所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，所述扩束结构与由一个或多个单棱镜组成，所述单棱镜顶角为29.4°，玻璃材料为SF11。
7.如权利要求1所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，所述衍射光栅为966线融石英透射光栅。
8.如权利要求1所述窄带可调光学滤波器，其特征在于，所述衍射光栅的入射角为45°，所述第一反射镜、第二反射镜与光栅平面夹角为68±2°范围内。
9.如权利要求5所述的窄带可调光学滤波器，其特征在于，所述扩束结构中的每一个棱镜，朝向衍射光栅的一面与光路垂直。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109752861A (zh) * 2019-03-04 2019-05-14 湖北捷讯光电有限公司 一种光学滤波系统及方法
CN110471189A (zh) * 2019-07-23 2019-11-19 汕头大学 一种基于棱镜对的光学带宽滤波装置
JP6853603B1 (ja) 2020-09-30 2021-03-31 サンテック株式会社 波長可変フィルタ

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102608708A (zh) * 2012-03-05 2012-07-25 华中科技大学 一种波长可调的光学滤波器
CN103364879A (zh) * 2012-03-30 2013-10-23 福州高意通讯有限公司 一种带宽可调平顶型光学滤波器
CN104297921A (zh) * 2014-11-14 2015-01-21 珠海保税区光联通讯技术有限公司 光学可调滤波器
CN105785515A (zh) * 2014-12-26 2016-07-20 福州高意通讯有限公司 一种带宽可调的平顶型光学滤波器

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6879749B2 (en) * 2001-11-27 2005-04-12 Ec-Optics Technology Inc. System and method for multiplexing and demultiplexing optical signals using diffraction gratings
WO2003107045A2 (en) * 2002-06-12 2003-12-24 Optical Research Associates Wavelength selective optical switch

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102608708A (zh) * 2012-03-05 2012-07-25 华中科技大学 一种波长可调的光学滤波器
CN103364879A (zh) * 2012-03-30 2013-10-23 福州高意通讯有限公司 一种带宽可调平顶型光学滤波器
CN104297921A (zh) * 2014-11-14 2015-01-21 珠海保税区光联通讯技术有限公司 光学可调滤波器
CN105785515A (zh) * 2014-12-26 2016-07-20 福州高意通讯有限公司 一种带宽可调的平顶型光学滤波器

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