CN108817674B - 一种双光束五轴数控激光抛光方法 - Google Patents

一种双光束五轴数控激光抛光方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108817674B
CN108817674B CN201810666122.2A CN201810666122A CN108817674B CN 108817674 B CN108817674 B CN 108817674B CN 201810666122 A CN201810666122 A CN 201810666122A CN 108817674 B CN108817674 B CN 108817674B
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
numerical control
polishing
dimensional
spot
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810666122.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108817674A (zh
Inventor
周泳全
张卫
赵振宇
徐晓梅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Institute of Information Technology
Original Assignee
Shenzhen Institute of Information Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Institute of Information Technology filed Critical Shenzhen Institute of Information Technology
Priority to CN201810666122.2A priority Critical patent/CN108817674B/zh
Publication of CN108817674A publication Critical patent/CN108817674A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108817674B publication Critical patent/CN108817674B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/083Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
    • B23K26/0853Devices involving movement of the workpiece in at least in two axial directions, e.g. in a plane
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/062Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
    • B23K26/0622Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
    • B23K26/0821Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head using multifaceted mirrors, e.g. polygonal mirror
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/12Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
    • B23K26/127Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an enclosure

Abstract

本发明公开了一种双光束五轴数控激光抛光方法,包含以下步骤:A、首先在激光抛光设备上安装两个能进行三个数控移动轴
Figure DDA0001707681190000011
的三维振镜系统,构成双光束的三维振镜系统,光纤红外连续激光通过第一个三维振镜系统,将聚焦后的光斑作用在被抛光工件的三维曲面上,多波段脉冲激光通过第二个三维振镜系统,也将聚焦后的光斑作用在被抛光工件的三维曲面上,本发明的有益效果是:1.可应用于塑料注塑模具型腔和吹塑模具型腔的激光抛光;2.可对手机3D玻璃外壳进行激光抛光;3.可对光学玻璃进行精密激光抛光。4.可对增材制造(3D打印)加工的零件三维曲面进行抛光;5.可对其他产品零件的三维异形曲面进行激光抛光。

Description

一种双光束五轴数控激光抛光方法
技术领域
本发明涉及机械制造领域,具体是一种双光束五轴数控激光抛光方法。
背景技术
现代制造业需要对金属和非金属(玻璃、陶瓷和石英等)等产品零部件表面进行抛光,有些甚至要求抛光达到最高等级的镜面程度,如工艺品、艺术品、装饰品和塑料模具型腔等表面;通过SLM等技术3D打印的金属零件,其表面都相当粗糙,往往也需要后续抛光。而这项抛光工作目前大多数还严重依赖手工作业,抛光精度差、效率低、抛光质量缺乏一致性和稳定性。更严重的是,手工抛光工作,极其单调枯燥,随着制造工艺自动化集成度越来越高的发展趋势,愿意从事这种手工作业的工人已越来越少,许多制造企业正面临抛光技师流失,后续乏人的困境。这种现象,在模具制造的抛光工序。尤其突出。激光抛光技术是提高传统抛光工艺效率的有效途径之一,但目前的应用,也仅局限于零件平面的抛光,三维曲面或异形曲面的技术抛光技术,目前还处于技术攻关阶段。
激光抛光为非接触加工过程,可控性强,与计算机连接可以实现加工过程的自动化。而且可以精确地控制熔深,限制被加工材料的温度以及为将要加工的区域提供高度的选择性(能对选定的小区域进行局部抛光,也可以利用多脉冲扫描,对选定区域内进行大面积抛光)。在激光抛光过程中,材料要么被熔化,要么被蒸发,所以最后加工表面不留任何抛光渣滓,清洁,无污染,是一种环保性加工方法。
发明内容
本发明的目的在于提供一种双光束五轴数控激光抛光方法,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种双光束五轴数控激光抛光方法,包含以下步骤:
A、首先在激光抛光设备上安装两个能进行三个数控移动轴
Figure BDA0001707681170000011
的三维振镜系统,构成双光束的三维振镜系统,光纤红外连续激光通过第一个三维振镜系统,将聚焦后的光斑作用在被抛光工件的三维曲面上,多波段脉冲激光通过第二个三维振镜系统,也将聚焦后的光斑作用在被抛光工件的三维曲面上;
B、在激光抛光设备上安装二轴的数控回转工作台,数控二回转轴分别是
Figure BDA0001707681170000021
Figure BDA0001707681170000022
Figure BDA0001707681170000023
C、通过第一个三维振镜系统的连续激光光斑和通过第二个三维振镜系统的脉冲激光光斑,产生了重叠,当重叠度Δ值=0时,两光斑完全重叠;当重叠度Δ值>(D+d)/2时,两光斑已完全分离,D为第一个三维振镜系统的连续激光光斑直径,d为第二个三维振镜系统的连续激光光斑;
D、三维振镜系统控制光斑的X、Y、Z的3个轴向的移动运动,二轴数控回转台则控制被抛光零件的两个轴的转动,形成五轴数控激光抛光系统,通过五轴数控系统软件,控制五轴的联动,达到激光光斑在任意三维曲面进行加工的目的;
E、通过第一个三维振镜系统的连续激光光斑首先扫描加工被抛光工件,在延时0.1-1.0秒后,通过第二个三维振镜系统的脉冲激光光斑才开始扫描被抛光工件,其滞后的时间,决定了两光斑的重叠度Δ值;
F、通过第一个三维振镜系统的连续激光光斑,因功率密度较大,主要发挥预热被抛光零件表面的作用;而通过第二个三维振镜系统的脉冲激光光斑,则发挥脉冲能量的作用,把被抛光零件表面的微观波峰熔化,使之流向表面波谷,形成微观表面“熔峰填谷”的效果,也就达到了表面抛光的目的;
G、抛光时,工件被固定在数控回转工作台面上,工件被充满惰性气体的安装盒笼罩,以防止金属工件在抛光过程中被氧化,安装盒上盖则为石英玻璃,以便激光穿透加工工件。为了实现微观表面“熔峰填谷”的效果,必须针对不同的加工材料特征,对激光抛光的工艺参数进行优化。
作为本发明的进一步技术方案:所述光纤红外连续激光的功率为300-1000W。
作为本发明的进一步技术方案:所述多波段脉冲激光的功率小于50W。
作为本发明的进一步技术方案:通过第二激光振镜的多波段脉冲激光并非同时具备多波段激光特征,而是根据被加工工件的材料特征从光纤红外脉冲激光、绿光脉冲激光和紫外脉冲激光中选其一。
作为本发明的进一步技术方案:激光抛光的工艺参数包括连续激光功率、脉冲激光波长、脉冲激光功率、脉冲重复频率、脉冲宽度、激光光斑扫描速度、光斑直径、两光斑重叠度Δ、离焦量、光束入射角和惰性气体种类及密度。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:1.可应用于塑料注塑模具型腔和吹塑模具型腔的激光抛光;2.可对手机3D玻璃外壳进行激光抛光;3.可对光学玻璃进行精密激光抛光。4.可对增材制造(3D打印)加工的零件三维曲面进行抛光;5.可对其他产品零件的三维异形曲面进行激光抛光。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为双光束激光光斑的重叠示意图。
图3为本发明的流程图。
图中:1-抛光三维振镜、2-多波段脉冲激光电源、3-被抛光的工件、4-两轴数控回转工作台、5-预热三维激光振镜、6-连续红外激光电源、7-连续激光光斑、8-脉冲激光光斑。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3,一种双光束五轴数控激光抛光方法,
包含以下步骤:
A、首先在激光抛光设备上安装两个能进行三个数控移动轴
Figure BDA0001707681170000041
的三维振镜系统,构成双光束的三维振镜系统。光纤红外连续激光(功率为300-1000W)通过第一个三维振镜系统,将聚焦后的光斑作用在被抛光工件的三维曲面上。多波段脉冲激光(功率小于50W)通过第二个三维振镜系统,也将聚焦后的光斑作用在被抛光工件的三维曲面上;
B、通过第二激光振镜的多波段脉冲激光,并非同时具备多波段激光特征,而是根据被加工工件的材料特征,从光纤红外脉冲激光(波长1064nm)、绿光脉冲激光(波长532nm)和紫外脉冲激光(波长355nm)中选其一;
C、在激光抛光设备上安装二轴的数控回转工作台,数控二回转轴分别是,
Figure BDA0001707681170000042
Figure BDA0001707681170000043
Figure BDA0001707681170000044
数控回转工作台数控二轴是
Figure BDA0001707681170000045
两回转轴;
D、通过第一个三维振镜系统的连续激光光斑和通过第二个三维振镜系统的脉冲激光光斑,产生了图2所示的重叠。当Δ=0时,两光斑完全重叠;当Δ>(D+d)/2时,两光斑已完全分离;
E、三维振镜系统控制光斑的X、Y、Z的3个轴向的移动运动,二轴数控回转台则控制被抛光零件的两个轴的转动,形成五轴数控激光抛光系统。通过五轴数控系统软件,可以控制五轴的联动,达到激光光斑在任意三维曲面进行加工的目的;
F、通过第一个三维振镜系统的连续激光光斑首先扫描加工被抛光工件,在延时0.1-1.0秒后,通过第二个三维振镜系统的脉冲激光光斑才开始扫描被抛光工件,其滞后的时间,决定了两光斑的重叠度Δ值;
G、通过第一个三维振镜系统的连续激光光斑,因功率密度较大,主要发挥预热被抛光零件表面的作用;而通过第二个三维振镜系统的脉冲激光光斑,则发挥脉冲能量的作用,把被抛光零件表面的微观波峰熔化,使之流向表面波谷,形成微观表面“熔峰填谷”的效果,也就达到了表面抛光的目的;
H、抛光时,工件被固定在数控回转工作台面上,工件被充满惰性气体的安装盒笼罩,以防止金属工件在抛光过程中被氧化。安装盒上盖则为石英玻璃,以便激光穿透加工工件。为了实现微观表面“熔峰填谷”的效果,必须针对不同的加工材料特征,对激光抛光的工艺参数进行优化。激光抛光的工艺参数主要包括连续激光功率、脉冲激光波长、脉冲激光功率、脉冲重复频率、脉冲宽度、激光光斑扫描速度、光斑直径、两光斑重叠度Δ、离焦量、光束入射角、惰性气体种类及密度等10多种工艺参数。可以通过DOE试验设计方法达到工艺参数优化的目的。双光束五轴数控激光抛光的工艺流程如图1所示。
本发明的核心思想在于创建高效高质的激光抛光技术、工艺和设备。为了使本发明的目的、技术方案特性更加清晰明白,以下结合附图和实施例,对本发明进行进一步的详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,并不用于限定本发明。
在本发明实施例中,被抛光工件的表面。可以是三维曲面或其他异型曲面,也可以是平面。被抛光工件的材料,可以是各种金属和合金材料,也可以是非金属,诸如玻璃、陶瓷和石英等材料。
使用双光束系统中的单一三维振镜系统,也能达到一定程度的抛光效果,但获得高质量抛光效果的能力受到限制。
使用双光束系统中的单一三维振镜系统,在降低激光功率的前提下,也能进行常规的三维曲面打标、蚀刻和雕刻的功能。
对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种双光束五轴数控激光抛光方法,其特征在于,包含以下步骤:
A、首先在激光抛光设备上安装两个能进行三个数控移动轴
Figure FDA0001707681160000011
的三维振镜系统,构成双光束的三维振镜系统,光纤红外连续激光通过第一个三维振镜系统,将聚焦后的光斑作用在被抛光工件的三维曲面上,多波段脉冲激光通过第二个三维振镜系统,也将聚焦后的光斑作用在被抛光工件的三维曲面上;
B、在激光抛光设备上安装二轴的数控回转工作台,数控二回转轴分别是
Figure FDA0001707681160000012
Figure FDA0001707681160000013
Figure FDA0001707681160000014
C、通过第一个三维振镜系统的连续激光光斑和通过第二个三维振镜系统的脉冲激光光斑,产生了重叠,当重叠度Δ值=0时,两光斑完全重叠;当重叠度Δ值>(D+d)/2时,两光斑已完全分离,D为第一个三维振镜系统的连续激光光斑直径,d为第二个三维振镜系统的连续激光光斑;
D、三维振镜系统控制光斑的X、Y、Z的3个轴向的移动运动,二轴的 数控回转工作 台则控制被抛光零件的两个轴的转动,形成五轴数控激光抛光系统,通过五轴数控系统软件,控制五轴的联动,达到激光光斑在任意三维曲面进行加工的目的;
E、通过第一个三维振镜系统的连续激光光斑首先扫描加工被抛光工件,在延时0.1-1.0秒后,通过第二个三维振镜系统的脉冲激光光斑才开始扫描被抛光工件,其滞后的时间,决定了两光斑的重叠度Δ值;
F、抛光时,工件被固定在数控回转工作台面上,工件被充满惰性气体的安装盒笼罩,以防止金属工件在抛光过程中被氧化,安装盒上盖则为石英玻璃,以便激光穿透加工工件,为了实现微观表面“熔峰填谷”的效果,必须针对不同的加工材料特征,对激光抛光的工艺参数进行优化。
2.根据权利要求1所述的一种双光束五轴数控激光抛光方法,其特征在于,所述光纤红外连续激光的功率为300-1000W。
3.根据权利要求1所述的一种双光束五轴数控激光抛光方法,其特征在于,所述多波段脉冲激光的功率小于50W。
4.根据权利要求1所述的一种双光束五轴数控激光抛光方法,其特征在于,通过第二激光振镜的多波段脉冲激光并非同时具备多波段激光特征,而是根据被加工工件的材料特征从光纤红外脉冲激光、绿光脉冲激光和紫外脉冲激光中选其一。
5.根据权利要求1所述的一种双光束五轴数控激光抛光方法,其特征在于,激光抛光的工艺参数包括连续激光功率、脉冲激光波长、脉冲激光功率、脉冲重复频率、脉冲宽度、激光光斑扫描速度、光斑直径、两光斑重叠度Δ、离焦量、光束入射角和惰性气体种类及密度。
CN201810666122.2A 2018-06-26 2018-06-26 一种双光束五轴数控激光抛光方法 Active CN108817674B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810666122.2A CN108817674B (zh) 2018-06-26 2018-06-26 一种双光束五轴数控激光抛光方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810666122.2A CN108817674B (zh) 2018-06-26 2018-06-26 一种双光束五轴数控激光抛光方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108817674A CN108817674A (zh) 2018-11-16
CN108817674B true CN108817674B (zh) 2020-06-16

Family

ID=64137562

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810666122.2A Active CN108817674B (zh) 2018-06-26 2018-06-26 一种双光束五轴数控激光抛光方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108817674B (zh)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109848566B (zh) * 2018-12-07 2021-07-23 香港生产力促进局 一种混合激光打磨抛光零部件和模具的方法及装置
CN109894737B (zh) * 2019-04-17 2021-02-09 深圳信息职业技术学院 一种金属曲面的激光抛光装置以及方法
CN109894738B (zh) * 2019-04-17 2021-02-09 深圳信息职业技术学院 一种金属平面的激光抛光装置以及方法
CN111266740A (zh) * 2020-02-24 2020-06-12 深圳信息职业技术学院 构件内壁超快激光清洗、精细抛光设备及控制方法
CN112496545A (zh) * 2020-11-12 2021-03-16 深圳信息职业技术学院 热塑件的激光抛光方法和激光抛光设备
CN113290319B (zh) * 2021-05-18 2023-03-07 深圳信息职业技术学院 一种用于铝合金的双光束激光抛光设备及抛光方法
CN113500297A (zh) * 2021-06-21 2021-10-15 深圳信息职业技术学院 一种激光抛光方法及激光抛光设备
CN113601018A (zh) * 2021-07-08 2021-11-05 深圳信息职业技术学院 一种激光抛光方法及激光抛光设备
CN113500298B (zh) * 2021-07-21 2023-03-24 哈尔滨工业大学 一种曲面工件表面微织构激光烧蚀加工装置及方法
CN113732510A (zh) * 2021-08-26 2021-12-03 深圳信息职业技术学院 一种双激光抛光系统及复合激光抛光方法
CN114473214A (zh) * 2022-03-31 2022-05-13 深圳信息职业技术学院 陶瓷表面双激光束耦合抛光方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5280675B2 (ja) * 2007-12-20 2013-09-04 宗春 沓名 表面改質方法および被覆体
CN104588884B (zh) * 2014-11-25 2017-05-24 深圳信息职业技术学院 一种三维激光加工设备
TWI579093B (zh) * 2015-11-13 2017-04-21 財團法人工業技術研究院 拋光裝置及其拋光方法
CN105772946B (zh) * 2016-03-10 2018-01-12 中国科学院上海光学精密机械研究所 Co2激光束抛光装置
CN105772947B (zh) * 2016-03-23 2017-10-20 中国科学院上海光学精密机械研究所 双光源联用激光束抛光装置
CN105922116A (zh) * 2016-06-15 2016-09-07 深圳市微雕科技有限公司 多功能五轴数控抛光机
CN106001927B (zh) * 2016-07-05 2018-03-23 温州大学激光与光电智能制造研究院 一种测量加工一体化的激光平整化抛光方法
CN107363409A (zh) * 2017-08-03 2017-11-21 佘志荣 一种激光抛光机以及使用该激光抛光机的抛光方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN108817674A (zh) 2018-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108817674B (zh) 一种双光束五轴数控激光抛光方法
CN105618936B (zh) 一种采用激光刻划玻璃加工方法
CN208391288U (zh) 一种大型复杂曲面动态聚焦激光加工系统
CN108555464A (zh) 一种大型复杂曲面动态聚焦激光加工方法及系统
CA1188747A (en) Method of cutting glass with a laser and an article made therewith
CN109926584B (zh) 一种增材制造和表面抛光同步加工方法及装置
CN105983786B (zh) 一种采用激光实现玻璃加工的方法
CN101480758A (zh) 一种紫外激光切割挠性印刷电路板的工艺方法
CN101670490A (zh) 一种在金属模具上雕刻字符或图形的方法
CN213196184U (zh) 一种双光源复合激光加工装置
CN105669014B (zh) 一种采用激光刻划玻璃加工方法
CN112917028A (zh) 一种封装基板表面平底盲孔的激光加工方法
CN110744205B (zh) 一种钛基多层复合材料激光深度标记方法
CN107443075B (zh) 一种复合激光加工的五轴超振声数控机床
CN112589263A (zh) 一种金属表面先削峰后填谷的蒸发-熔凝复合激光抛光方法
CN110076339A (zh) 一种复杂空腔增材制件内外表面的抛光方法
CN111375900A (zh) 一种基于三维整形焦斑的复杂型面刀具激光加工方法
Poprawe et al. Digital photonic production along the lines of industry 4.0
CN205167584U (zh) 单激光双光斑三维打印固化系统
CN110640139A (zh) 一种激光辅助消除铺粉式3d打印制件应力的处理方法
KR20200006277A (ko) 3d 프린터를 이용한 형상 적응형 냉각 채널이 형성된 몰드 및 그 제조 방법
CN110394512B (zh) 一种自由曲面上多级微结构的加工方法
WO2024032054A1 (zh) 多轴联动激光超精加工方法与设备
CN108436278A (zh) 超大幅面三维激光雕刻方法及系统
CN111992877A (zh) 一种高精度激光增减材的复合制造装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant