CN108801604A - 一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于弹光偏振调制的工作控制及应用领域，具体涉及一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制装置及方法，该装置包括激光光源、偏振分束器、弹光调制器、待测样品、检偏器、第一探测器、第二探测器、FPGA控制模块和PC，弹光调制器出射面设有介质反射膜；一部分光出射弹光调制器，依次通过待测样品、检偏器到达第二探测器形成检测光路；另一部分光经弹光调制器出射面镀制的介质反射膜反射；第一探测器与第一信号采集单元连接，第二探测器与第二信号采集单元连接，弹光调制器通过LC谐振高压驱动电路与FPGA连接，PC与FPGA连接。实现弹光调制器的相位延迟幅值实时定标，并对弹光调制器的相位延迟幅值的稳定闭环控制。
Description
技术领域
本发明属于弹光偏振调制的工作控制及应用领域，具体涉及一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制装置及方法。
背景技术
弹光调制器是一类基于人工双折射效应的光机电器件。弹光调制技术具有宽的光谱窗口、大的通光面积、大的视场角、较好的抗震性能、高的调制频率、高的调制纯度、高的调制精度和较好的调制稳定度。鉴于弹光调制的偏振分析应用优势，近年来，被广泛应用于构建新型光stokes测量仪，椭偏仪，原子磁强计等仪器设备，并较传统旋转波片或偏振片，电光调制，法拉第旋光器等光学偏振态检测方法，使得改进的仪器设备具有较高精度、灵敏度和较快测量速度的同时，仪器设备便于自动化控制集成。
将弹光调制技术应用于波片或双折射测量，实现了目前最高灵敏为10-5rad的波片或双折射的延迟量测量[见文献：Measurement of circular and linearbirefringence using the photoelastic modulator[J],Proc.of SPIE,1999,3535:294-301]；应用于椭偏参量测量分析，实现了灵敏度为10-3°的椭偏参量分析，这也是目前实现的最高灵敏度的椭偏参量测量[见文献：Fast and full range measurements ofellipsometric parameters using a 45°dual-drive symmetric photoelasticmodulator[J].Optics Express,2017,25(5):5725-5733.]。
在磁场测量方面，应用弹光调制技术的原子磁强计实现了目前最高灵敏度为的磁场测量[见文献：Ultrahigh sensitivity magnetic field andmagnetization measurements with an atomic magnetometer[J].Appl.Phy.Lett.2010，97：151110-151116]。实现上述领域的高灵敏度、高精度待测参量分析不仅需要环境条件具有较高的稳定性，以及电信号实现较高精度的处理，同时需要对弹光调制器的延迟量幅值高精度定标。与此同时，对弹光调制器的相位延迟实现稳定性较好的控制，也是上述分析仪器实现高精度、高灵敏度测量的保证和仪器长时间工作稳定性的前提。
发明内容
针对上述技术问题，本发明提供了一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制装置及方法，可实现弹光调制器的相位延迟幅值稳定性闭环控制，以及相位延迟幅值实时定标。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：
一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制装置，包括激光光源、偏振分束器、弹光调制器、待测样品、检偏器、第一探测器、第二探测器、FPGA控制模块和PC，所述弹光调制器出射面设有介质反射膜；
激光光源依次经过偏振分束器和弹光调制器，经弹光调制器调制后，一部分光出射弹光调制器，依次通过待测样品、检偏器到达第二探测器形成检测光路；另一部分光经弹光调制器出射面镀制的介质反射膜反射后，再次经弹光调制器调制，并沿原光路返回，经偏振分束器反射后被第一探测器探测；
所述FPGA控制模块包括FPGA以及与FPGA连接的第一信号采集单元和第二信号采集单元，所述第一探测器与第一信号采集单元连接，所述所述第二探测器与第二信号采集单元连接，所述弹光调制器通过LC谐振高压驱动电路与FPGA连接，所述PC与FPGA连接。
所述弹光调制器(3)的通光晶体采用熔融石英晶体，其介质反射膜采用高折射率介质镀制。
所述弹光调制器的出射光和反射光间的光强比为9:1。
所述检测激光光源采用632.8nm的氦氖激光或650nm的半导体激光光源。
所述偏振分束器采用格兰泰勒偏振分束器或格兰汤普森偏振分束器。
所述待测样品采用能够引起入射光偏振方向旋转或者对入射光产生相位延迟的样品。
一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制方法，激光光源依次经过偏振分束器和弹光调制器，经弹光调制器调制后，一部分光出射弹光调制器，另一部分光经弹光调制器出射面镀制的介质反射膜反射后，经偏振分束器反射后被第一探测器探测，进而形成弹光调制器的相位延迟幅值的监测光路，监测光路中的的调制光信号被第一探测器探测，并经第一信号采集单元转换为数字信号输入FPGA中，通过数字锁相获得二倍频项幅值V2f0和四倍频项幅值V4f0，并通过两个倍频项的比值进一步实现相位延迟幅值的实时定标。
根据相位延迟幅值的定标结果，当相位延迟幅值减小时，增加方波信号的占空比；当相位延迟幅值增大时，减小方波信号的占空比，进而实现相位延迟幅值的稳定闭环控制。
通过调节0.1％的占空比，驱动电压一般改变小于1V，能够将弹光调制器的相位延迟幅值的波动范围控制在小于1％的范围类，维持弹光调制器的长时间工作稳定性。
弹光调制器的相位延迟幅值经闭环稳定控制，并实时定标输入FPGA中应用于求解待测样品的参数，保证了样品待测参数测量的高精度。
本发明与现有技术相比，具有的有益效果是：
1、能够实时实现弹光调制器的相位延迟幅值的实时定标，对弹光调制器工作状态实现可视化监控的同时，将弹光调制器的相位延迟定标值实时传输到测量系统，保证了测量系统对待测参量的高精度解调。
2、能够实现弹光调制器的相延迟幅值稳定性的闭环控制。将弹光调制器的相位延迟幅值长时间保持稳定，避免了环境温度、湿度等外界因数产生的变化对弹光调制器工作造成的干扰，保证了采用弹光调制器的偏振分析仪器的长时间工作稳定性。
3、弹光调制器的驱动控制及弹光调制器的相位延迟幅值解调均在同一个FPGA中完成，此外，弹光调制器的相位延迟幅值稳定性控制同样通过FPGA控制完成，使得驱动控制电路和数据解调电路制作成本相对较低，并且便于工业自动化集成控制。
4、弹光调制器的相位延迟幅值监测光路与应用弹光调制器的检测光路分离，并且采用在弹光调制器上镀制反射介质反射膜反射监测光，介质反射膜为各向均一性介质，不会在检测光路中引起检测光的偏振特性变化，不会对检测光造成偏振分析干扰。
实现弹光调制器的相位延迟幅值实时定标，并对弹光调制器的相位延迟幅值的稳定闭环控制及弹光调制器自身的稳定性控制，从而提高弹光调制器性能，保证基于弹光调制技术的分析仪器设备的长期工作稳定性。
附图说明
图1是本发明的原理图；
其中：1为激光光源，2为偏振分束器，3为弹光调制器，4为待测样品，5为检偏器，6为第一探测器，7为第二探测器，8为LC谐振高压驱动电路，9为FPGA控制模块，10为PC。
具体实施方式
下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1所示，一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制装置，该装置主要包括：检测激光光源1、偏振分束器2、弹光调制器3、待分析样品、检偏器5、第一探测器6、第二探测器7、LC谐振高压驱动电路8、FPGA控制模块9、PC10。
检测激光光源1一般选用632.8nm的氦氖激光或650nm的半导体激光光源1。偏振分束器2一般选用格兰泰勒偏振分束器2或格兰汤普森偏振分束器2，该类型偏振分束器2透射光为非寻常光(e光)，反射光为寻常光(o光)，并且该类型偏振分束器2具有较好的消光比，一般优于105:1。FPGA控制模块9，包括FPGA、第一信号采集单元(AD1)和第二信号采集单元(AD2)。
首先，根据采用的检测激光光源1的波长，对弹光调制器3的光出射面镀制各向均一性较好的介质反射膜层，并且使得出射光与反射光的光强比值在9:1左右。针对弹光调制器3的通光晶体选用熔融石英晶体，介质反射膜采用Al2O3、TiO2等具有较大折射率的介质镀制。
其次，对于应用弹光调制器3的分析装置及仪器，入射线偏振光的偏振方向一般与弹光调制器3的调制轴成45°，因此，以弹光调制器3的调制轴为参考绕光轴旋转偏振分束器2，将偏振分束器2透射e光的偏振方向与弹光调制器3的调制轴成45°。沿45°方向上偏振的e光入射弹光调制器3，经弹光调制器3调制后，一部分光出射弹光调制器3，依次通过待测样品4、检偏器5到达第二探测器7形成检测光路；另一部分光经弹光调制器3出射面镀制的介质膜反射后，再次经弹光调制器3调制，并沿原光路返回，经偏振分束器2反射后被第一探测器6探测，进而形成弹光调制器3的相位延迟幅值的监测光路。
偏振分束器2反射光为o光，其中o光与e光偏振方向垂直。因此，偏振分束器2在整个弹光调制器3的相位延迟幅值的监测光路中同时起到了起偏器和检偏器5的作用。运用Stokes参量和穆勒矩阵对上述光学系统进行分析。设检测激光光源1一开始经偏振分束器2透射成45°方向上线偏振光的Stokes参量为
其中，I0为激光光源1经偏振分束器2透射的光强。弹光调制器3的调制轴设置在0°，因此，其偏振传输特性可用Muller矩阵表示为
式中，δ为弹光调制器3的相位延迟项，随弹光调制器3的工作呈现周期性的变化。对于监测光路中，入射光经弹光调制器3调制后被介质膜反射后再次被弹光调制器3调制，因此，监测光路中的弹光调制器3的相位延迟项可以描述为δ＝2δ0sin2πf0t，δ0为弹光调制器3的相位延迟幅值，f0为弹光调制器3的谐振工作频率。
偏振分束器2反射光为o光，反射光的偏振方向与透射光的偏振方向垂直，因此，偏振分束器2反射类似一个透光轴在-45°方向的检偏器5的作用，其偏振传输特性可以采用Muller矩阵描述为
其中，系数k为偏振分束器2的反射光系数。因此，经弹光调制器3的相位延迟幅值监测光路出射光的stokes矢量可以描述为
Sout＝MA-spMPEMSin (4)
将上述(1)、(2)和(3)式带入(4)式，能够求解得到到达第一探测器6(6)的光强为
将上式中的cosδ＝cos(2δ0sin2πf0t)利用第一类贝塞尔级数展开，可以将(5)式改写为
其中，m为正整数，J0为0阶贝塞尔级数，J2m为2m阶贝塞尔级数。据(6)式，监测光信号中仅存在偶数倍频信号。监测光强信号经第一探测器6探测为电信号，并经第一信号采集单元AD1转换为数字信号进入FPGA，利用数字锁相技术在FPGA中完成倍频项提取，采用锁相输出的2倍频项和4倍频项便能够定标求解得出弹光调制器3的相位延迟幅值
由上式所述定标公式可以看出，定标结果不会受到检测光强度的影响。况且，弹光调制器3的相位延迟幅值监测光路与分析样品的检测光路分离，监测光路能够实现弹光调制器3的相位延迟幅值实时定标的同时，将相位延迟幅值定标结果实时应用于待测样品4的检测光路中实现待测样品4的高精度测量。其中，检测光路中的待测样品4可以是双折射样品、待测波片、旋光样品、碱金属原子系综等能够引起入射光偏振方向旋转或者对入射光产生相位延迟的待测样品4。
与此同时，弹光调制器3的驱动控制是由FPGA作为信号源，产生方波信号并经LC谐振高压驱动电路8放大为高压驱动信号，并驱动弹光调制器3工作的。其中，弹光调制器3的相位延迟幅值与驱动电压的幅值成正比，并且能够通过FPGA调节方波信号的占空比实现驱动电压幅值的调节。因此，通过调节驱动方波信号的占空比能够实现弹光调制器3的相位延迟幅值的调节。
当环境因素，如温度、湿度等，发生变化时，弹光调制器3的相位延迟幅值定标值发生变化，然后通过FPGA调节方波信号的占空比实现相位延迟幅值的补偿。当相位延迟幅值减小时，增加方波信号的占空比；当相位延迟幅值增大时，减小方波信号的占空比。
弹光调制器3一般的驱动电压幅值一般为几百伏，相位延迟幅值一般不超过π。通过调节0.1％的占空比，驱动电压一般改变小于1V。因此，通过调节占空比，能够使得弹光调制器3的相位延迟幅值的波动范围优于1％。将弹光调制器3的相位延迟幅值的实时定标结果作为检测光路解调待测样品4参数的依据，并实时反馈调节方波信号的占空比，最终实现弹光调制器3的相位延迟幅值稳定性的闭环控制。进一步提高弹光调制器3的调制性能，并且使基于弹光调制技术的测量系统具备较好的长期工作稳定性。
上面仅对本发明的较佳实施例作了详细说明，但是本发明并不限于上述实施例，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化，各种变化均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制装置，其特征在于：包括激光光源(1)、偏振分束器(2)、弹光调制器(3)、待测样品(4)、检偏器(5)、第一探测器(6)、第二探测器(7)、FPGA控制模块(9)和PC(10)，所述弹光调制器(3)的出射面设有介质反射膜；
激光光源(1)依次经过偏振分束器(2)和弹光调制器(3)，经弹光调制器(3)调制后，一部分光出射弹光调制器(3)，依次通过待测样品(4)、检偏器(5)到达第二探测器(7)形成检测光路；另一部分光经弹光调制器(3)出射面镀制的介质反射膜反射后，再次经弹光调制器(3)调制，并沿原光路返回，经偏振分束器(2)反射后被第一探测器(6)探测；
所述FPGA控制模块(9)包括FPGA以及与FPGA连接的第一信号采集单元和第二信号采集单元，所述第一探测器(6)与第一信号采集单元连接，所述所述第二探测器(7)与第二信号采集单元连接，所述弹光调制器(3)通过LC谐振高压驱动电路(8)与FPGA连接，所述PC(10)与FPGA连接。
2.根据权利要求1所述的一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制装置，其特征在于：所述弹光调制器(3)的通光晶体采用熔融石英晶体，其介质反射膜采用高折射率介质镀制。
3.根据权利要求1所述的一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制装置，其特征在于：所述弹光调制器(3)的出射光和反射光间的光强比为9:1。
4.根据权利要求1所述的一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制装置，其特征在于：所述检测激光光源(1)选用632.8nm的氦氖激光或650nm的半导体激光光源。
5.根据权利要求1所述的一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制装置，其特征在于：所述偏振分束器(2)采用格兰泰勒偏振分束器或格兰汤普森偏振分束器。
6.根据权利要求1所述的一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制装置，其特征在于：所述待测样品(4)采用能够引起入射光偏振方向旋转或者对入射光产生相位延迟的样品。
7.一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制方法，其特征在于：激光光源依次经过偏振分束器和弹光调制器，经弹光调制器调制后，一部分光出射弹光调制器，另一部分光经弹光调制器出射面镀制的介质反射膜反射后，经偏振分束器反射后被第一探测器探测，进而形成弹光调制器的相位延迟幅值的监测光路，监测光路中的的调制光信号被第一探测器探测，并经第一信号采集单元转换为数字信号输入FPGA中，通过数字锁相获得二倍频项幅值和四倍频项幅值并通过两个倍频项的比值进一步实现相位延迟幅值的实时定标。
8.根据权利要求7所述的一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制方法，其特征在于：根据相位延迟幅值的定标结果，当相位延迟幅值减小时，增加方波信号的占空比；当相位延迟幅值增大时，减小方波信号的占空比，进而实现相位延迟幅值的稳定闭环控制。
9.根据权利要求8所述的一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制方法，其特征在于：通过调节0.1％的占空比，驱动电压一般改变小于1V，能够将弹光调制器的相位延迟幅值的波动范围控制在小于1％的范围类，维持弹光调制器的长时间工作稳定性。
10.根据权利要求7所述的一种弹光调制器的相位延幅值定标与闭环控制方法，其特征在于：弹光调制器的相位延迟幅值经闭环稳定控制，并实时定标输入FPGA中应用于求解待测样品的参数，保证了样品待测参数测量的高精度。
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| CN (1) | CN108801604A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111272281A (zh) * | 2020-03-04 | 2020-06-12 | 中北大学 | 一种弹光调制傅里叶光谱仪中干涉具稳定控制装置及方法 |
| CN111380501A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-07-07 | 华中科技大学 | 基于双折射晶体视场效应的姿态角实时测量方法及装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5501637A (en) * | 1993-08-10 | 1996-03-26 | Texas Instruments Incorporated | Temperature sensor and method |
| WO2007087670A1 (en) * | 2006-01-31 | 2007-08-09 | Endeavour Instruments Pty. Ltd. | A photoelastic modulator |
| CN105136681A (zh) * | 2015-08-31 | 2015-12-09 | 中北大学 | 一种弹光调制和电光调制级联测微小线性双折射的装置 |
| CN107976299A (zh) * | 2017-11-15 | 2018-05-01 | 中北大学 | 考虑光谱色散的弹光调制器延迟量定标分析方法及装置 |
-
2018
- 2018-06-28 CN CN201810684510.3A patent/CN108801604A/zh active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5501637A (en) * | 1993-08-10 | 1996-03-26 | Texas Instruments Incorporated | Temperature sensor and method |
| WO2007087670A1 (en) * | 2006-01-31 | 2007-08-09 | Endeavour Instruments Pty. Ltd. | A photoelastic modulator |
| CN105136681A (zh) * | 2015-08-31 | 2015-12-09 | 中北大学 | 一种弹光调制和电光调制级联测微小线性双折射的装置 |
| CN107976299A (zh) * | 2017-11-15 | 2018-05-01 | 中北大学 | 考虑光谱色散的弹光调制器延迟量定标分析方法及装置 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 刘龙海 等: "采用反射光路的光弹调制器标定方法", 《万方数据》 * |
| 杨晓: "基于弹光调制的波片双折射测试系统研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 工程科技II辑》 * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111272281A (zh) * | 2020-03-04 | 2020-06-12 | 中北大学 | 一种弹光调制傅里叶光谱仪中干涉具稳定控制装置及方法 |
| CN111380501A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-07-07 | 华中科技大学 | 基于双折射晶体视场效应的姿态角实时测量方法及装置 |
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