CN108786942A - 微流控芯片、微流控装置及其控制方法 - Google Patents

微流控芯片、微流控装置及其控制方法 Download PDF

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Abstract

本申请实施例提供微流控芯片、微流控装置及其控制方法，涉及微流控领域，用于解决在微流控技术中，采用显微镜或者高精度摄像头对微液滴定位，导致成本较高的问题。该微流控芯片，微流控芯片包括层叠设置的芯片本体和导光层；导光层远离芯片本体的一侧表面用于与微液滴相接触；微流控芯片还包括设置于导光层侧面的光源，光源入射至导光层的光线在导光层中发生全反射；导光层的折射率小于微液滴的折射率。

Description

微流控芯片、微流控装置及其控制方法
技术领域
本发明涉及微流控领域，尤其涉及微流控芯片、微流控装置及其控制方法。
背景技术
微流控(Micro-fluidic)技术是一种以在微米尺度空间对流体进行操控为主要特征的技术。该技术已经与化学、生物学、工程学和物理学等诸学科形成交叉，展示出了广泛的应用前景。
目前，采用微流控技术在控制微液滴进行流动的过程中，需要对微液滴进行定位。由于微液滴的尺寸在微米级别，因此会采用显微镜或高精度的摄像头确定微液滴的位置。然而，上述显微镜或者摄像头的使用会增加微流控技术的成本。
发明内容
本发明的实施例提供一种微流控芯片、微流控装置及其控制方法，用于解决在微流控技术中，采用显微镜或者高精度摄像头对微液滴定位，导致成本较高的问题。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
本申请实施例的一方面，提供一种微流控芯片，所述微流控芯片包括层叠设置的芯片本体和导光层；所述导光层远离所述芯片本体的一侧表面用于承载微液滴；所述微流控芯片还包括设置于所述导光层侧面的光源，所述光源入射至所述导光层的光线在所述导光层中发生全反射；所述导光层的折射率小于所述微液滴的折射率。
在本申请的一些实施例中，所述导光层包括至少一层薄膜层；构成用于与所述微液滴相接触的薄膜层的材料包括疏水材料。
在本申请的一些实施例中，所述疏水材料包括聚四氟乙烯。
在本申请的一些实施例中，导光层的厚度为20nm～80nm。
在本申请的一些实施例中，所述芯片本体包括基底、设置于所述基底上的多个绝缘设置的驱动电极以及覆盖所述驱动电极的介电层。
在本申请的一些实施例中，所述介电层包括沿远离所述驱动电极的方向，依次层叠设置的第一介电子层和第二介电子层；所述第一介电子层的介电常数大于所述第二介电子层的介电常数；所述第二介电子层的折射率小于所述导光层的折射率。
在本申请的一些实施例中，构成所述第一介电子层的材料包括氮化硅；构成所述第二介电子层的材料包括氧化硅。
在本申请的一些实施例中，所述介电层的厚度为0.1μm～1μm。
在本申请的一些实施例中，所述驱动电极上设置有凹槽和凸起；多个所述驱动电极并排设置，相邻的两个所述驱动电极中，一个所述驱动电极的凸起位于另一个驱动电极的凹槽中。
本申请实施例的另一方面，提供一种微流控装置，该微流控装置包括如上所述的微流控芯片。
在本申请的一些实施例中，所述微流控装置还包括多个光学传感器以及处理器；所述光学传感器设置于所述导光层远离所述芯片本体的一侧，所述光学传感器用于接收所述导光层出射的光线，并进行光电转化；所述处理器与所述光学传感器电连接，所述处理器用于接收所述光学传感器输出的电信号，并根据所述光学传感器的安装位置获取微液滴的运动轨迹。
在本申请的一些实施例中，所述光学传感器包括多个矩阵形式排列的光电二极管。
在本申请的一些实施例中，所述微流控装置还包括与所述处理器相连接的检测器；所述处理器还用于根据获取到的运动轨迹，判断所述微液滴停止运动后是否位于目标位置，且当所述处理器判断出所述微液滴位于目标位置时，向所述检测器发送检测信号；所述检测器用于根据所述检测信号，对所述微液滴进行检测。
本申请实施例的另一方面，提供一种采用如上所述的微流控装置对微液滴的控制方法，所述控制方法包括：微流控装置的微流控芯片中的光源发出光线，所述光线在导光层中发生全反射；将至少一滴微液滴滴入导光层远离所述芯片本体的一侧表面；芯片本体控制所述微液滴分离或混合；光学传感器获取由所述导光层出射的光线，并进行光电转化；处理器接收所述光学传感器输出的电信号，并根据所述光学传感器的安装位置获取微液滴的运动轨迹。
在本申请的一些实施例中，所述光学传感器包括多个矩阵形式排列的光电二极管；所述处理器与所述光学传感器电连接，所述处理器接收所述光学传感器输出的电信号，并根据所述光学传感器的安装位置获取微液滴的运动轨迹包括：所述处理器在同一时刻接收所述光学传感器中各个所述光电二极管转换的电信号，并根据所述各个光电二极管的排布位置生成采集数据；所述采集数据包括每个所述光电二极管的排布位置，以及与所述排布位置相匹配的所述光电二极管输出的电信号；所述处理器在一检测周期内获取多个所述采集数据，并根据所述采集数据，以及起始位置处微液滴的坐标计算出所述微液滴的运动轨迹。
在本申请的一些实施例中，所述微流控装置还包括检测器；所述控制方法还包括：所述处理器根据获取到的运动轨迹，判断所述微液滴在停止运动后是否位于目标位置，且当所述处理器判断出所述微液滴位于目标位置时，向所述检测器发送检测信号；所述检测器根据所述检测信号，对所述微液滴进行检测。
在本申请的一些实施例中，所述芯片本体包括多个绝缘设置的驱动电极；多个所述驱动电极包括并排设置的第一驱动电极、第二驱动电极以及第三驱动电极；所述将至少一滴微液滴滴入导光层远离所述芯片本体的一侧表面包括：将一滴微液滴滴入导光层远离所述芯片本体的一侧表面；所述微液滴覆盖所述第二驱动电极，且所述微液滴延伸至所述第一驱动电极和所述第三驱动电极靠近所述第二驱动电极的边缘；所述芯片本体控制所述微液滴分离包括：向所述第一驱动电极和所述第三驱动电极施加电压，所述微液滴的两侧分别向所述第一驱动电极和所述第三驱动电极运动，并分离成第一子微液滴和第二子微液滴。
在本申请的一些实施例中，所述芯片本体包括多个绝缘设置的驱动电极；多个所述驱动电极包括并排设置的第一驱动电极、第二驱动电极以及第三驱动电极；所述将至少一滴微液滴滴入导光层远离所述芯片本体的一侧表面包括：分别将第一子微液滴和第二子微液滴滴入导光层远离所述芯片本体的一侧表面；其中，所述第一子微液滴覆盖所述第一驱动电极，且所述第一子微液滴延伸至所述第二驱动电极靠近所述第一驱动电极的边缘；所述第二子微液滴覆盖所述第三驱动电极，且所述第二子微液滴延伸至所述第二驱动电极靠近所述第三驱动电极的边缘；所述芯片本体控制所述微液滴混合包括：向所述第二驱动电极施加电压，所述第一子微液滴和所述第二子微液滴均向所述第二驱动电极运动，并混合。
本申请的另一方面，还提供一种计算机非瞬时可读存储介质，该计算机非瞬时可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令被配置为执行微流控装置对微液滴的控制方法。
本申请的另一方面，还提供一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包含指令，当其在计算机上运行时，使得计算机执行微流控装置对微液滴的控制方法。
本申请的另一方面，还提供一种计算机程序，该程序被加载到处理器后使处理器执行微流控装置对微液滴的控制方法。
本申请实施例提供一种微流控芯片、微流控装置及其控制方法，该微流控芯片中的导光层内部发生全反射的光线，在导光层中传输的过程中，如果遇到上述微液滴，导光层相对于微液滴而言为光疏介质，因此微液滴能够破坏导光层中入射至该微液滴位置的光线的全反射条件，从而入射至微液滴的光线能够由导光层出射。在此情况下，可以通过光学传感器获取导光层出射的光线，并经过光电转化后，实现对微液滴位置的确定。由上述可知，在对微液滴的位置进行确定的过程中，无需使用价格较光学传感器昂贵的显微镜或高精度摄像头，因此能够达到降低成本的目的。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请的一些实施例提供的一种微流控芯片的结构示意图；
图2为本申请的一些实施例提供的另一种微流控芯片的结构示意图；
图3为本申请的一些实施例提供的另一种微流控芯片的结构示意图；
图4为图3中驱动电极施加电压后，驱动微液滴移动的过程；
图5为图3中多个驱动电极的一种排布示意图；
图6为图3中多个驱动电极的另一种排布示意图；
图7为图3中多个驱动电极的另一种排布示意图；
图8为本申请的一些实施例提供的另一种微流控芯片的结构示意图；
图9为本申请的一些实施例提供的一种微流控装置的结构示意图；
图10为图9中光学传感器的结构示意图；
图11a为本申请的一些实施例提供的另一种微流控装置的结构示意图；
图11b为本申请的一些实施例提供的另一种微流控装置的结构示意图；
图12为本申请的一些实施例提供的一种微流控装置对微液滴进行驱动控制的方法流程图；
图13为本申请的一些实施例提供的一种对微液滴进行分离的示意图；
图14为本申请的一些实施例提供的一种对微液滴进行分离的示意图；
图15为本申请的一些实施例提供的一种对微液滴进行混合的示意图；
图16为本申请的一些实施例提供的一种对微液滴进行混合的示意图。
附图标记：
01-微流控芯片；10-芯片本体；101-基底；102-驱动电极；1021-凹槽；1022-凸起；1121-第一驱动电极；1122-第二驱动电极；1123-第三驱动电极；103-介电层；1031-第一介电子层；1032-第二介电子层；20-导光层；200-光电二极管；201-薄膜层；30-微液滴；301-第一子微液滴；302-第二子微液滴；40-光源；02-光学传感器；03-处理器；04-检测器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
以下，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请实施例的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
本申请的一些实施例提供一种微流控芯片01，如图1所示，该微流控芯片01包括层叠设置的芯片本体10和导光层20。
上述导光层20远离芯片本体10的一侧表面用于承载微液滴30。
此外，上述微流控芯片01还包括设置于导光层20侧面的光源40。该光源40可以为发光二极管(Light-Emitting Diode,LED)或者有机发光二极管(Organic Light-EmittingDiode,OLED)。
上述光源40发出的光线可以由该导光层20的侧面入射至导光层20内部，并在导光层20中发生全反射。
在此情况下，导光层20的折射率大于与该导光层20相接触的介质的折射率。如图1所示，导光层20的上表面与空气相接触，而导光层20的下表面与芯片本体10相接触。为了使得光源40入射至导光层20的光线能够在导光层20内发生全反射，导光层20的折射率n1需要大于空气的折射率n2，且导光层20的折射率n1还需要大于芯片本体10中与导光层20相接触的部件的折射率n3，即导光层20相对于该导光层20两侧的介质而言为光密介质。
此外，光源40发出光线的入射角α，与该导光层20中的光线在导光层20与该导光层两侧介质相接触的界面位置的入射角θ，满足公式α+θ＝90°。为了使得导光层20中的光线实现全反射，上述入射角θ大于全反射临界角θ0即可。因此可以根据入射角θ获得光源40发出光线的入射角α。
此外，该导光层20的折射率n1小于微液滴30的折射率n4。这样一来，在导光层20中发生全反射的光线在导光层20中传输的过程中，如果k遇到上述微液滴30，导光层20相对于微液滴30而言为光疏介质，因此微液滴30能够破坏导光层20中入射至该微液滴30位置的光线的全反射条件，从而入射至微液滴30的光线能够由导光层20出射。在此情况下，可以通过光学传感器获取导光层出射的光线，并经过光电转化后，实现对微液滴30位置的确定。
由上述可知，在对微液滴30的位置进行确定的过程中，无需使用价格较光学传感器昂贵的显微镜或高精度摄像头，因此能够达到降低成本的目的。
在本申请的一些实施例中，上述导光层20包括至少一层薄膜层。其中，构成用于与微液滴30相接触的薄膜层的材料包括疏水材料。
示例性的，如图1所示，导光层20为由一层薄膜层构成的单层结构，在此情况下，构成该导光层20的材料可以包括上述疏水材料。
或者，又示例性的，如图2所示，导光层20包括两层薄膜层201。在此情况下，与微液滴30相接触的薄膜层201可以采用上述疏水材料构成。
这样一来，导光层20的上表面，即与微液滴30相接触的表面为疏水性表面，从而在芯片本体10驱动微液滴30运动时，上述疏水性表面对微液滴30的粘附力较小，便于微液滴30在该导光层20上的运动。
基于此，在本申请的一些实施例中，上述疏水材料可以为聚四氟乙烯(特氟龙，Teflon)。在制作过程中可以通过涂覆工艺形成上述薄膜层201。特氟龙构成的材料具有良好的透气性和抗蠕变性。这样一来，当导光层20中与微液滴30相接触的薄膜层采用特氟龙的情况下，一方面，导光层20具有的良好透气性，可以向具有活体细胞的微液滴30提供一定浓度的氧气，以维持其活性，因此有利于对具有活体细胞的微液滴30进行检测。另一方面，导光层20具有一定的抗蠕变性，能够有利于提高该微流控芯片的器件稳定性。
此外，在本申请的一些实施例中，上述导光层20的厚度H1可以为20nm～80nm。当导光层20的厚度H1小于20nm时，制作导光层20的精度较高，会提高制作难度。例如以导光层20为至少由疏水材料构成的单层薄膜层为例，如果导光层20的厚度太薄，对疏水材料成膜的连续性的要求较高，不利于降低生成成本。此外，当导光层20的厚度H1大于80nm时，导光层20的厚度太厚，从而需要增大芯片本体10向微液滴30提供的驱动电压，不利于功耗的降低。
示例性的，上述导光层20的厚度可以为25nm、30nm、40nm、60nm、75nm。
以下对芯片本体10的结构进行说明。
在本申请的一些实施例中，如图3所示，上述芯片本体10可以包括基底101、设置于基底101上的多个绝缘设置的驱动电极102以及覆盖驱动电极102的介电层103。
向部分驱动电极102施加电压，微液滴30中覆盖未带电的驱动电极102部分的表面张力、润湿特性以及接触角，与该微液滴50中覆盖带电的驱动电极102的表面张力、润湿特性以及接触角不同。
例如，施加有电压的驱动电极102能够增加覆盖该驱动电极102的微液滴30的亲水性，使得该微液滴30的接触角θb2(如图4所示)减小，且增大了微液滴30的曲率半径γ。在此情况下，微液滴30会向带电的驱动电极102移动(沿图4中的A方向移动)。这样一来，通过改变多个驱动电极102施加电压的方式，可以达到对微液滴30进行分解或混合的目的。其中，微液滴30的分解和混合过程会在之后的描述中进行详细的说明。
本申请对驱动电极102的形状，以及多个绝缘的驱动电极102的排布方式不做限定，例如可以如图5所示，多个驱动电极102呈阵列形式排布。
或者，如图6所示，多排驱动电极102在上、下、左、右几个方向分成多个支路。每个支路可以对应不同的检测装置，以获取不同的测试结果。示例性的在医学领域，有的支路用于检测血红单板，有的支路用于检测血小板，有的支路用于检测病原细胞等。
此外，上述驱动电极102的形状可以如图5或图6所示为矩形。该矩形的尺寸与待控制的微液滴30的尺寸相关。例如，当微液滴30的面积较大时，可以选取面积较大的驱动电极102；当微液滴30的面积较小时，可以选取面积较小的驱动电极102。
在此基础上，在本申请的一些实施例中，如图7所示，一些驱动电极102上还可以设置凹槽1021和凸起1022。
在多个驱动电极102并排设置的情况下，相邻的两个驱动电极102中，一个驱动电极(例如图7右侧的驱动电极102)的凸起1022位于另一个驱动电极(例如图7左侧的驱动电极102)的凹槽1021中。采用图7所示的排列方式的一对驱动电极102可以成为交叉电极。该交叉电极有利于对微液滴30进行分离。
此外，芯片本体10中的介电层103可以如图3所示采用单层薄膜层的结构，或者如图8所示，采用多层薄膜层的结构。
构成上述介电层103的材料为具有相对高的介电常数的材料，从而有利于降低驱动电极102的驱动电压，达到降低功耗的目的。
示例性的，构成上述介电层103的材料可以如表1所示。
表1
本领域技术人员可以根据表1，对制作介电层103的材料进行选择。例如，当采用SiO2作为构成上述介电层103的材料时，该材料的介电常数为2.7，数值较小，因此需要向驱动电极102施加较大的驱动电压。
或者，当选择Si3N4作为构成上述介电层103的材料时，该材料的介电常数为7.8，数值较大，从而有利于降低驱动电极102的驱动电压。然而Si3N4制作的介电层103的膜层粗糙，且平整性较差，所以在生产工艺的要求不高时，可以采用上述材料。
或者，当采用BST构成上述介电层103时，该材料的介电常数为很大，可以达到200～300，因此只需要向驱动电极102施加很小的驱动电压即可。然而，具有高介电常数的陶瓷材料BST的沉积较困难，对生产工艺的要求较高。因此在生产工艺要求能够达到的情况下，可以选用BST作为主要构成介电层103的材料。
需要说明的是，上述只是对介电层103的材料进行的举例说明，其他材料的选择同理可得，此处不再赘述。
当然，在介电层103为单层薄膜层结构的情况下，构成该介电层103的材料可以包括表1中的任意一种材料，或者多种材料构成的混合物。
此外，上述介电层103还可以如图8所示，包括至少两层薄膜层。该两层薄膜层为沿远离驱动电极102的方向，依次层叠设置的第一介电子层1031和第二介电子层1032。
上述第一介电子层1031的介电常数大于第二介电子层1032的介电常数。这样一来，与驱动电极102直接接触的薄膜层，即上述第一介电子层1031由于具有较高的介电常数，因此可以有效降低施加至驱动电极102上的驱动电压。
此外，为了使得光源40入射至导光层20的光线在该导光层20中能够发生全反射，该导光层20中的光线需要从光密介质传输至光疏介质，因此上述介电层103中与导光层20相接触的薄膜层，即该第二介电子层1032的折射率需要小于该导光层20的折射率。
基于此，以导光层20为单层薄膜层为例，且构成该导光层20的材料为特氟龙为例。该导光层20的折射率n1＝1.376。该介电层103中与驱动电极102相接触的第一介电子层1031可以主要采用氮化硅构成，例如介电常数为7.8的Si3N4；而与导光层20相接触的第二介电子层1032可以主要采用介电常数小于n1(1.376)的材料，例如介电常数可以调整到1.3的氧化硅。
在此情况下，导光层20两侧的介质，即空气和第二介电子层1032的介电常数均小于该导光层20的介电常数。此时，该导光层20上表面上，待检测的微液滴30的折射率大于n1(1.376)时，该微液滴30可以破坏导光层20中光线的全反射，而使得光线从该微液滴30所在的位置出射。
当待检测的微液滴30的折射率发生变化时，例如，当微液滴30的折射率小于n1(1.376)时，需要对导光层20以及第二介电子层1032、第一介电子层1031的材料进行调整，以能够在降低施加至驱动电极102上的驱动电压的同时，使得导光层20中发生全反射的光线能够在微液滴30所在的位置出射。
上述微液滴30与导电层20的上表面的接触角θ与施加至上述驱动电极102的驱动电压V之间的关系，如以下公式(1)所示：
其中，θ0为施加至驱动电极102的电压为0时，微液滴30与导电层20上表面的接触角；εr为构成介电层103的材料的相对介电常数，ε0为构成介电层103的材料的真空介电常数；d为介电层103的厚度；γlg为气-液表面自由能。
有公式(1)可知，θ、θ0、γlg为固定常数，且当介电层103的材料选定后εr、ε0为固定数值。因此，当需要减小加至上述驱动电极102的驱动电压V时，可以相应减小介电层103的厚度d。
在本申请的一些实施例中，上述介电层103的厚度d(如图8所示)可以为0.1μm～1μm。当介电层103的厚度d小于0.1μm时，会增加静电击穿的风险，而当介电层103的厚度d大于1μm时，不利于减低施加至驱动电极102的驱动电压。
示例性的，上述介电层103的厚度d为为0.2μm、0.3μm、0.5μm、0.8μm。
本申请的一些实施例提供一种微流控装置，该微流控装置包括如上所述的任意一种微流控芯片01。
此外，如图9所示，上述微流控装置还包括多个光学传感器02以及处理器03。
该光学传感器02设置于导光层20远离芯片本体10的一侧，上述光学传感器02用于接收导光层20出射的光线，并进行光电转化。
示例性的，该光学传感器02，如图10所示，包括多个矩阵形式排列的光电二极管200。
在此情况下，微液滴30运动轨迹不同，上述光学传感器02中的多个光电二极管200输出的电信号的大小不同。
例如，如图11a所示，当微液滴30的运动轨迹为沿X方向，由左至右移动时，微液滴30向靠近光学传感器02的方向运动。在此情况下，在微液滴30运动的过程中，光学传感器02中各个光电二极管200接收的光线逐渐增大，从而向处理器03输出的电信号也逐渐增大。
需要说明的是，当位于起始位置的微液滴30与光学传感器02的距离较大时，在位于起始位置的微液滴30出射的光线可以无法入射至光学传感器02最右边的一列光电二极管200中。然而，随着微液滴30向右移动，微液滴30逐渐靠近光学传感器02，从而使得光学传感器02中位于最右边的一列光电二极管200输出的电信号由0开始增加。上述起始位置为芯片本体10中各个驱动电极102未施加电压时，该微液滴30的位置。
或者，如图11b所示，当微液滴30的运动轨迹为沿X方向，由右至左移动时，微液滴30向远离光学传感器02的方向运动。在此情况下，在微液滴30运动的过程中，光学传感器02中各个光电二极管200接收的光线逐渐减小，从而向处理器03输出的电信号也逐渐减小。
需要说明的是，当位于起始位置的微液滴30与光学传感器02的距离较近时，在位于起始位置的微液滴30出射的光线可以入射至光学传感器02每个光电二极管200中。然而，随着微液滴30向左移动，微液滴30逐渐远离光学传感器02，从而使得光学传感器02中位于最右边的一列光电二极管200无法接受到微液滴30位置处出射的光线，因此右边的一列光电二极管200输出的电信号变为0。
此外，上述处理器03与光学传感器02电连接，该处理器03用于接收光学传感器02输出的电信号，并根据光学传感器02的安装位置获取微液滴30的运动轨迹。
示例性的，当微液滴30位于起始位置时，通过光学传感器02中的各个光电二极管200获取该微液滴30位置处的出射光线，并向处理器03提供经过光电转换后的电信号。此时，处理器03可以根据各个光电二极管200的排布位置以及各个光电二极管200输出的电信号，生成一采集数据，该采集数据中每个光电二极管200输出的电信号与该光电二极管200的排布位置相匹配。
基于此，在微液滴30移动的过程中，处理器03可以在不同时刻获得不同的采集数据，将移动过程中获得的采集数据与微液滴30位于起始位置时获得的采集数据进行比对，并根据比对结果以及微液滴30起始位置的坐标，计算出微液滴30移动后，在不同时刻该微液滴30的坐标，从而达到获得微液滴30运动轨迹的目的。
上述微流控装置具有与前述实施例提供的微流控芯片01相同的技术效果，此处不再赘述。
此外，上述微流控装置，如图9所示，还包括与处理器03相连接的检测器04。
该处理器03还用于根据获取到的运动轨迹，判断微液滴30停止运动后是否位于目标位置，且当处理器03判断出微液滴30位于目标位置时，向检测器04发送检测信号。
该检测器04用于根据上述检测信号，对微液滴30进行检测。
在此情况下，通过处理器03可以对微液滴30是否位于目标位置进行准确判断，从而使得检测器04对微液滴30的检测结果更加准确。
上述微流控装置可以应用至需要对微液滴30进行检测的领域，例如生物、化学、医药等领域。
本申请实施例提供一种采用如上所述的任意一种微流控装置对微液滴的控制方法，如图12所示，该控制方法S101～S105。
S101、微流控装置的微流控芯01中的光源40发出光线，该光线在导光层20中发生全反射。
S102、将至少一滴微液滴30滴入导光层20远离芯片本体10的一侧表面。
需要说明的是，本申请对S101和S102的先后顺序不做限定。
S103、芯片本体10控制微液滴30分离或混合。
微液滴30在分离和混合的过程中发生移动。
S104、光学传感器02获取由导光层20出射的光线，并进行光电转化。
S105、处理器03接收光学传感器02输出的电信号，并根据光学传感器02的安装位置获取微液滴30的运动轨迹。
上述采用微流控装置对微液滴30的控制方法具有与前述实施例提供的微流控装置相同的技术效果，此处不再赘述。
此外，在光学传感器02，如图10所示，包括多个矩阵形式排列的光电二极管200，且处理器03与光学传感器02电连接的情况下，S105包括：
首先，处理器03在同一时刻接收光学传感器02中各个光电二极管200转换的电信号，并根据各个光电二极管02的排布位置生成采集数据。
需要说明的是，上述采集数据包括每个光电二极管200的排布位置，以及与该位置相匹配的光电二极管200输出的电信号。
然后，该处理器03在一检测周期内获取多个采集数据，并根据采集数据，以及起始位置处微液滴30的坐标计算出微液滴30的运动轨迹。
示例性的，上述一检测周期内获取多个采集数据中，处理器03可以将微液滴30移动后获得的不同时刻获得不同的采集数据分别与微液滴30位于起始位置时获得的采集数据进行比对。然后，根据比对结果以及微液滴30起始位置的坐标，计算出微液滴30移动后，在不同时刻该微液滴30的坐标，从而达到获得微液滴30运动轨迹的目的。
此外，在微流控装置还包括检测器04的情况下，上述控制方法还包括S106～S107。
S106、处理器03根据获取到的运动轨迹，判断微液滴30在停止运动后是否位于目标位置，且当处理器03判断出微液滴30位于目标位置时，向检测器04发送检测信号。
S107、检测器04根据检测信号，对微液滴30进行检测。
在采用上述微流控装置对微液滴30进行控制的过程中，可以对滴入该微流控装置中导光层20表面的微液滴30进行混合或分离。以下对微液滴30的混合和分离分别进行说明。
以上述微流控装置应用于医学领域为例，当采集到的血液样品非常稀少，但却需要对其单个血液样品进行多项血液分析，例如：血红单板、血小板、病原细胞分析等时，需要将大体积的样品分离成几个小体积，分别进行检测，以下对一大体积的微液滴30的分离进行说明。
基于此，在微流控装置中的芯片本体10，如图3所示包括多个绝缘设置的驱动电极102，且多个驱动电极102包括如图13所示的，并排设置的第一驱动电极1121、第二驱动电极1122以及第三驱动电极1123的情况下，S102包括：
将一滴微液滴30滴入导光层20远离芯片本体10的一侧表面。示例性的，如图13所示，微液滴30覆盖第二驱动电极1122，且微液滴30延伸至第一驱动电极1121和第三驱动电极1123靠近第二驱动电极1023的边缘。
在此情况下，该微液滴30的大部分覆盖第二驱动电极1122，此外，滴入导光层20上表面的微液滴30在液体扩散作用下，会向两边扩散，从而使得微液滴30的左、右两侧能够分别覆盖第一驱动电极1121的边缘和第三驱动电极1123的边缘。
基于此，S103包括：
向第一驱动电极1121和第三驱动电极1123施加电压，由上述可知，施加由电压的驱动电极102能够增加覆盖该驱动电极102的微液滴30的亲水性，使得该微液滴30的接触角θb2(如图4所示)减小，且增大了微液滴30的曲率半径γ。在此情况下，微液滴30会向带电的驱动电极102移动，这样一来，如图14所示，该微液滴30的两侧分别向第一驱动电极1121和第三驱动电极1123运动，并分离成第一子微液滴301和第二子微液滴302。
第一子微液滴301的大部分覆盖第一驱动电极1121，第二子微液滴302的大部分覆盖第三驱动电极1123。
此外，以上述微流控装置应用于医学领域为例，当在新药品开发过程中，需要检测有效药物成份对病原体是否有作用时，例如，一个是含特定病原细胞的微液滴，另一个是含有效药物成份的微液滴时，需要将上述两个混合。然后，检测混合后液滴中病原体的含量，从而判断上述药物成分是否有效。以下上述两种微液滴30的混合进行说明。
基于此，在微流控装置中的芯片本体10，如图3所示包括多个绝缘设置的驱动电极102，且多个驱动电极102包括如图13所示的，并排设置的第一驱动电极1121、第二驱动电极1122以及第三驱动电极1123的情况下，S102包括：
分别将第一子微液滴301和第二子微液滴302滴入导光层20远离芯片本体10的一侧表面。
示例性的，第一子微液滴301可以为含特定病原细胞的微液滴，而第二子微液滴302可以为含有效药物成份的微液滴。如图15所示，第一子微液滴301覆盖第一驱动电极1121，且第一子微液滴301延伸至第二驱动电极1122靠近第一驱动电极1121的边缘。
此外，第二子微液滴302覆盖第三驱动电极1123，且第二子微液滴302延伸至第二驱动电极1122靠近第三驱动电极1123的边缘。
在此情况下，第一子微液滴301的大部分覆盖第一驱动电极1121，且滴入导光层20上表面的第一子微液滴301在液体扩散作用下，会向两边扩散，从而使得第一子微液滴301右侧能够覆盖第二驱动电极1122的一边缘。同理，第二子微液滴302的大部分覆盖第三驱动电极1123，该第二子微液滴302的左侧覆盖第二驱动电极1122的另边缘。
基于此，S103包括：
向第二驱动电极1122施加电压，由上述同理可得，如图16所示，第一子微液滴301和第二子微液滴302均向第二驱动电极1122运动，并混合。第一子微液滴301和第二子微液滴302混合后的微液滴30，的大部分覆盖第二驱动电极1122。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (18)

1.一种微流控芯片，其特征在于，所述微流控芯片包括层叠设置的芯片本体和导光层；所述导光层远离所述芯片本体的一侧表面用于承载微液滴；
所述微流控芯片还包括设置于所述导光层侧面的光源，所述光源入射至所述导光层的光线在所述导光层中发生全反射；
所述导光层的折射率小于所述微液滴的折射率。
2.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，所述导光层包括至少一层薄膜层；构成用于与所述微液滴相接触的薄膜层的材料包括疏水材料。
3.根据权利要求2所述的微流控芯片，其特征在于，所述疏水材料包括聚四氟乙烯。
4.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，所述导光层的厚度为20nm～80nm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的微流控芯片，其特征在于，所述芯片本体包括基底、设置于所述基底上的多个绝缘设置的驱动电极以及覆盖所述驱动电极的介电层。
6.根据权利要求5所述的微流控芯片，其特征在于，所述介电层包括沿远离所述驱动电极的方向，依次层叠设置的第一介电子层和第二介电子层；
所述第一介电子层的介电常数大于所述第二介电子层的介电常数；所述第二介电子层的折射率小于所述导光层的折射率。
7.根据权利要求6所述的微流控芯片，其特征在于，构成所述第一介电子层的材料包括氮化硅；
构成所述第二介电子层的材料包括氧化硅。
8.根据权利要求5所述的微流控芯片，其特征在于，所述介电层的厚度为0.1μm～1μm。
9.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，所述驱动电极上设置有凹槽和凸起；
多个所述驱动电极并排设置，相邻的两个所述驱动电极中，一个所述驱动电极的凸起位于另一个驱动电极的凹槽中。
10.一种微流控装置，其特征在于，所述微流控装置包括如权利要求1-9任一项所述的微流控芯片。
11.根据权利要求10所述的微流控装置，其特征在于，所述微流控装置还包括多个光学传感器以及处理器；
所述光学传感器设置于所述导光层远离所述芯片本体的一侧，所述光学传感器用于接收所述导光层出射的光线，并进行光电转化；
所述处理器与所述光学传感器电连接，所述处理器用于接收所述光学传感器输出的电信号，并根据所述光学传感器的安装位置获取微液滴的运动轨迹。
12.根据权利要求11所述的微流控装置，其特征在于，所述光学传感器包括多个矩阵形式排列的光电二极管。
13.根据权利要求11所述的微流控装置，其特征在于，所述微流控装置还包括与所述处理器相连接的检测器；
所述处理器还用于根据获取到的运动轨迹，判断所述微液滴停止运动后是否位于目标位置，且当所述处理器判断出所述微液滴位于目标位置时，向所述检测器发送检测信号；
所述检测器用于根据所述检测信号，对所述微液滴进行检测。
14.一种采用权利要求10-13任一项所述的微流控装置对微液滴的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：
微流控装置的微流控芯片中的光源发出光线，所述光线在导光层中发生全反射；
将至少一滴微液滴滴入导光层远离所述芯片本体的一侧表面；
芯片本体控制所述微液滴分离或混合；
光学传感器获取由所述导光层出射的光线，并进行光电转化；
处理器接收所述光学传感器输出的电信号，并根据所述光学传感器的安装位置获取微液滴的运动轨迹。
15.根据权利要求14所述的对微液滴的控制方法，其特征在于，所述光学传感器包括多个矩阵形式排列的光电二极管；所述处理器与所述光学传感器电连接，所述处理器接收所述光学传感器输出的电信号，并根据所述光学传感器的安装位置获取微液滴的运动轨迹包括：
所述处理器在同一时刻接收所述光学传感器中各个所述光电二极管转换的电信号，并根据所述各个光电二极管的排布位置生成采集数据；所述采集数据包括每个所述光电二极管的排布位置，以及与所述排布位置相匹配的所述光电二极管输出的电信号；
所述处理器在一检测周期内获取多个所述采集数据，并根据所述采集数据，以及起始位置处微液滴的坐标计算出所述微液滴的运动轨迹。
16.根据权利要求14所述的对微液滴的控制方法，其特征在于，所述微流控装置还包括检测器；所述控制方法还包括：
所述处理器根据获取到的运动轨迹，判断所述微液滴在停止运动后是否位于目标位置，且当所述处理器判断出所述微液滴位于目标位置时，向所述检测器发送检测信号；
所述检测器根据所述检测信号，对所述微液滴进行检测。
17.根据权利要求14所述的对微液滴的控制方法，其特征在于，所述芯片本体包括多个绝缘设置的驱动电极；多个所述驱动电极包括并排设置的第一驱动电极、第二驱动电极以及第三驱动电极；
所述将至少一滴微液滴滴入导光层远离所述芯片本体的一侧表面包括：
将一滴微液滴滴入导光层远离所述芯片本体的一侧表面；所述微液滴覆盖所述第二驱动电极，且所述微液滴延伸至所述第一驱动电极和所述第三驱动电极靠近所述第二驱动电极的边缘；
所述芯片本体控制所述微液滴分离包括：
向所述第一驱动电极和所述第三驱动电极施加电压，所述微液滴的两侧分别向所述第一驱动电极和所述第三驱动电极运动，并分离成第一子微液滴和第二子微液滴。
18.根据权利要求14所述的对微液滴的控制方法，其特征在于，所述芯片本体包括多个绝缘设置的驱动电极；多个所述驱动电极包括并排设置的第一驱动电极、第二驱动电极以及第三驱动电极；
所述将至少一滴微液滴滴入导光层远离所述芯片本体的一侧表面包括：
分别将第一子微液滴和第二子微液滴滴入导光层远离所述芯片本体的一侧表面；
其中，所述第一子微液滴覆盖所述第一驱动电极，且所述第一子微液滴延伸至所述第二驱动电极靠近所述第一驱动电极的边缘；
所述第二子微液滴覆盖所述第三驱动电极，且所述第二子微液滴延伸至所述第二驱动电极靠近所述第三驱动电极的边缘；
所述芯片本体控制所述微液滴混合包括：
向所述第二驱动电极施加电压，所述第一子微液滴和所述第二子微液滴均向所述第二驱动电极运动，并混合。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109894167A (zh) * 2019-03-25 2019-06-18 上海天马微电子有限公司 微流控芯片
CN109926110A (zh) * 2019-03-26 2019-06-25 上海天马微电子有限公司 芯片基板和微流控芯片
WO2020103739A1 (zh) * 2018-11-19 2020-05-28 京东方科技集团股份有限公司 微流控芯片
CN111250184A (zh) * 2020-02-20 2020-06-09 北京京东方传感技术有限公司 微流控芯片及其工作方法、金属离子检测装置
CN114054108A (zh) * 2021-11-05 2022-02-18 佛山奥素博新科技有限公司 一种微液滴快速生成方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19701258A1 (de) * 1996-01-18 1997-07-24 Itt Mfg Enterprises Inc Regensensor mit planarer Koppelfolie
JP3041408B2 (ja) * 1996-03-27 2000-05-15 工業技術院長 光学顕微鏡試料載置用基板、光学顕微鏡及びそれを用いた試料照明による観察方法
CN1377301A (zh) * 1999-10-05 2002-10-30 哈恩-席卡德应用研究学会 用于控制沉积在基板上的微滴质量的装置和方法
WO2007077218A1 (en) * 2006-01-03 2007-07-12 Inverness Medical Switzerland Gmbh An optical system; an optical chip for an optical system and a method of using an optical chip for an analytical operation
CN101652652A (zh) * 2007-03-13 2010-02-17 先进流体逻辑公司 改进吸光度检测的微滴执行机构装置、配置及方法
WO2017040856A1 (en) * 2015-09-01 2017-03-09 The Regents Of The Univesity Of California Reconfigurable microvalve optical waveguide
WO2017198709A1 (en) * 2016-05-17 2017-11-23 Cambridge Display Technology Limited Device for optically exciting fluorescence

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19701258A1 (de) * 1996-01-18 1997-07-24 Itt Mfg Enterprises Inc Regensensor mit planarer Koppelfolie
JP3041408B2 (ja) * 1996-03-27 2000-05-15 工業技術院長 光学顕微鏡試料載置用基板、光学顕微鏡及びそれを用いた試料照明による観察方法
CN1377301A (zh) * 1999-10-05 2002-10-30 哈恩-席卡德应用研究学会 用于控制沉积在基板上的微滴质量的装置和方法
WO2007077218A1 (en) * 2006-01-03 2007-07-12 Inverness Medical Switzerland Gmbh An optical system; an optical chip for an optical system and a method of using an optical chip for an analytical operation
CN101652652A (zh) * 2007-03-13 2010-02-17 先进流体逻辑公司 改进吸光度检测的微滴执行机构装置、配置及方法
WO2017040856A1 (en) * 2015-09-01 2017-03-09 The Regents Of The Univesity Of California Reconfigurable microvalve optical waveguide
WO2017198709A1 (en) * 2016-05-17 2017-11-23 Cambridge Display Technology Limited Device for optically exciting fluorescence

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020103739A1 (zh) * 2018-11-19 2020-05-28 京东方科技集团股份有限公司 微流控芯片
US11344891B2 (en) 2018-11-19 2022-05-31 Beijing Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. Microfluidic chip
CN109894167A (zh) * 2019-03-25 2019-06-18 上海天马微电子有限公司 微流控芯片
CN109894167B (zh) * 2019-03-25 2021-09-28 上海天马微电子有限公司 微流控芯片
CN109926110A (zh) * 2019-03-26 2019-06-25 上海天马微电子有限公司 芯片基板和微流控芯片
CN109926110B (zh) * 2019-03-26 2021-08-24 上海天马微电子有限公司 芯片基板和微流控芯片
CN111250184A (zh) * 2020-02-20 2020-06-09 北京京东方传感技术有限公司 微流控芯片及其工作方法、金属离子检测装置
CN111250184B (zh) * 2020-02-20 2022-04-15 北京京东方传感技术有限公司 微流控芯片及其工作方法、金属离子检测装置
CN114054108A (zh) * 2021-11-05 2022-02-18 佛山奥素博新科技有限公司 一种微液滴快速生成方法

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