CN108709896A - 一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备 - Google Patents

一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备 Download PDF

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Abstract

本发明涉及玻璃内部缺陷检测技术领域,且公开了一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,包括基座,所述基座的左端安装有机架,机架上安装有腔体内具有X射线管的承托机构,承托机构的右端安装有通光筒,通光筒的右端与固定槽的第二通光孔连接,固定槽的第三通光孔的右侧方安装有X射线成像机构,X射线成像机构的漏极与放大器的输入端连接,放大器的输出端与插接在图像显示终端的插槽内的数模转化器的输入端连接,数模转化器的输出端与部署有图像处理软件的图像显示终端的输入端连接,图像显示终端的输出端与图像显示器连接。本发明解决了现有的用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,检测效率不佳与检测精准度差的问题。

Description

一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备
技术领域
本发明涉及玻璃内部缺陷检测技术领域,具体为一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备。
背景技术
玻璃是非晶无机非金属材料,一般是用多种无机矿物为主要原料,另外加入少量辅助原料制成的,它的主要成分为二氧化硅和其他氧化物。普通玻璃的化学组成是Na2SiO3、CaSiO3、SiO2或Na2O·CaO·6SiO2等,主要成分是硅酸盐复盐,是一种无规则结构的非晶态固体。
玻璃广泛应用于建筑物,用来隔风透光,属于混合物,但是,从原料加工、配合料的制备、熔化、玻璃液的澄清、玻璃液的均化、玻璃液的冷却、成型及切裁等各种生产过程中,工艺制度的破坏或者制作过程的差错,都会在玻璃面板上表现为各种不同的缺陷,玻璃面板内部的缺陷使玻璃质量大大降低,不仅影响玻璃制品的外观质量,更影响玻璃的透明性和机械强度。
本发明提供一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,具备高效检测玻璃面板内部缺陷、有效屏蔽辐射到周围空间的X射线、有效固定待检测玻璃面板、便于安放待检测玻璃面板与有效提高X射线成像准确度的技术优点。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,具备高效检测玻璃面板内部缺陷、有效屏蔽辐射到周围空间的X射线、有效固定待检测玻璃面板、便于安放待检测玻璃面板与有效提高X射线成像准确度等优点,解决了现有的用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,检测效率不佳与检测精准度差的技术问题。
(二)技术方案
为实现上述高效检测玻璃面板内部缺陷、有效屏蔽辐射到周围空间的X射线、有效固定待检测玻璃面板、便于安放待检测玻璃面板与有效提高X射线成像准确度的目的,本发明提供如下技术方案:
一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,包括基座,所述基座顶侧表面的左端安装有呈矩形体形状设置的机架,机架底端的矩形面与基座顶侧表面上左端的矩形面固定连接,机架的右侧面中心安装有呈矩形体形状设置且内部具有空腔的承托机构,其左端面和机架的右端面中心固定连接的承托机构的右端中心开设有径向剖面呈圆形形状设置且轴向剖面呈矩形形状设置的第一通光孔,贯穿承托机构右端的第一通光孔的进口端和出口端分别设置在承托机构腔体内的右侧面和腔体外的右侧面;
承托机构的腔体内安装有其腔体内呈真空设置的X射线管,X射线管腔体内的轴向中心的前侧方安装有连接在第一铜棒后端的钨灯丝,第一铜棒的前端贯穿X射线管的前端中心并延伸至其腔体外,且第一铜棒的前端具有两个接线口,分别为与高压电源负极连接的第一阴极接线口和用于加热钨灯丝且与灯丝电源的正极和负极连接的第二阴极接线口;
X射线管腔体内的轴向中心的后侧方安装有连接在第二铜棒前端且由钨材质制成的X射线靶,X射线靶的靶面所在平面与水平面呈45-60度夹角设置,第二铜棒的后端贯穿X射线管的后端中心并延伸至其腔体外,第二铜棒的后端具有与高压电源正极连接的阳极接线口;
承托机构的右端安装有径向剖面呈圆环形形状设置、轴向剖面呈矩环形形状设置且左端和右端均具有开口的通光筒,通光筒左端的圆环面与承托机构的第一通光孔出口端的圆环面固定连接,通光筒右端的圆环面与径向剖面呈矩环形形状设置且左右两端中心分别具有径向剖面呈圆形形状设置、轴向剖面呈矩形形状设置的相互对称的第二通光孔和第三通光孔的固定槽的第二通光孔出口端的圆环面固定连接;
固定槽的底面与其底端面和基座顶侧表面中心固定连接的第一支座的顶端面固定连接,固定槽的第三通光孔出口端的右侧方安装有左端中心具有通孔、内部具有空腔且呈矩形体形状设置的X射线成像机构,X射线成像机构的底面与其底端面和基座顶侧表面中心的右侧方固定连接的第二支座的顶端面固定连接;
X射线成像机构包括由硼硅玻璃材质制成且位于X射线成像机构腔体内的右端面的衬底板,衬底板的左侧表面上安装有由按照阵元方式排列的薄膜晶体管组成的集电矩阵,薄膜晶体管包括左侧表面由第一凹面、凸面和第二凹面组成的P型硅衬底,P型硅衬底的第一凹面和第二凹面上分别扩散有作为源极的第一N型区和作为漏极的第二N型区,源极与高压电源的正极连接,漏极与放大器的输入端连接,P型硅衬底的凸面、第一N型区的左侧表面和第二N型区的左侧表面上覆盖有由二氧化硅材质制成带有大量正离子的第二绝缘层,第二绝缘层的左侧面安装有由金属铝材质制成且通过导线与源极相互连通的栅极,栅极与高压电源的负极连接;
在集电矩阵的薄膜晶体管阵列的左侧方通过真空蒸镀生成按照阵元方式排列的非晶硒膜,非晶硒膜的左侧面上覆盖有截面呈矩形形状设置的第一绝缘层,第一绝缘层的左侧方安装有截面呈矩形形状设置且与偏置高压电源的正极连接的顶层电极;
放大器的输出端与插接在图像显示终端左端中心插槽内的数模转化器的输入端连接,数模转化器的输出端与其底面和基座顶侧表面上右端的左侧方固定连接且部署有图像处理软件的图像显示终端的输入端连接,图像显示终端的输出端与图像显示器相互连接。
优选的,所述通光筒的内侧壁上安装有径向剖面呈圆环形形状设置、轴向剖面呈矩环形形状设置且左右两端均具有开口、内部具有空腔的第一屏蔽层,第一屏蔽层的外侧壁与通光筒的内侧壁固定连接。
优选的,所述固定槽腔体内的左侧面上安装有径向剖面呈矩环形形状设置的第一防滑层,第一防滑层左侧的矩环面与固定槽腔体内左侧面边缘的矩环面固定连接。
优选的,所述固定槽腔体内的右侧面上安装有径向剖面呈矩环形形状设置的第二防滑层,第二防滑层右侧的矩环面与固定槽腔体内右侧面边缘的矩环面固定连接。
优选的,所述固定槽的前端开设有剖面呈U型形状设置的开口,该开口的后侧方开设有位于固定槽腔体前端的后侧方且剖面呈U型形状设置的插槽,插槽的腔体内安装有呈矩形体形状设置且顶端面和限位板的底侧面中心固定连接的插板,插板的左侧面、底端面和右侧面分别与插槽腔体内的左侧面、底端面和右侧面相互摩擦连接。
优选的,所述插板的后侧面安装有呈矩形体形状设置且前后两侧表面均布有正方形开孔的第二屏蔽层,第二屏蔽层的前侧面与插板的后侧面中心固定连接。
优选的,所述X射线成像机构右端中心通孔的内侧壁上安装有径向剖面呈圆形形状设置且轴向剖面呈矩形形状设置的玻璃板,玻璃板的外侧壁与X射线成像机构右端中心通孔的轴向中心与左端之间的内侧壁固定连接。
(三)有益效果
与现有技术相比,本发明提供了一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,具备以下有益效果:
1、该检测设备,通过在承托机构的腔体内安装有其腔体内呈真空设置的X射线管,承托机构的右端安装有径向剖面呈圆环形形状设置、轴向剖面呈矩环形形状设置且左端和右端均具有开口的通光筒,通光筒右端的圆环面与径向剖面呈矩环形形状设置且左右两端中心分别具有径向剖面呈圆形形状设置、轴向剖面呈矩形形状设置的相互对称的第二通光孔和第三通光孔的固定槽的第二通光孔出口端的圆环面固定连接,固定槽的第三通光孔出口端的右侧方安装有左端中心具有通孔、内部具有空腔且呈矩形体形状设置的X射线成像机构,X射线管向腔体外发射X射线,当X射线穿过固定槽内的待检测玻璃面板时,待检测玻璃面板中有缺陷的部位与无缺陷部位对X射线的吸收能力不同,透过有缺陷部位的射线强度高于无缺陷部位的射线强度,X射线成像机构将透过待检测玻璃面板的X射线的光信号进行存储,经过放大器放大输出,完成光信号向电信号的转换,电信号再经过模数转换器转换成图像信号输入图像显示终端,图像显示终端的图像处理软件对图像信息进行实时处理,将处理结果显示在图像显示器上,通过观察图像显示器上的图像来判断玻璃面板内部是否存在缺陷,从而实现高效检测玻璃面板内部缺陷的技术效果,解决了现有的用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,检测效率不佳与检测精准度差的技术问题。
2、该检测设备,通过在通光筒的内侧壁上安装有径向剖面呈圆环形形状设置、轴向剖面呈矩环形形状设置且左右两端均具有开口、内部具有空腔的第一屏蔽层,第一屏蔽层的外侧壁与通光筒的内侧壁固定连接,通光筒腔体内的X射线在垂直传输的过程中,一部分会向通光筒的侧壁辐射,第一屏蔽层能够有效地屏蔽辐射到通光筒内侧壁上的X射线,实现了有效屏蔽辐射到周围空间的X射线的技术效果。
3、该检测设备,通过在固定槽腔体内的左侧面上安装有径向剖面呈矩环形形状设置的第一防滑层,固定槽腔体内的右侧面上安装有径向剖面呈矩环形形状设置的第二防滑层,固定槽腔体内的左侧面和右侧面分别与待检测玻璃面板的两侧表面摩擦接触,由于玻璃面板的两侧面的摩擦系数较小,属于导滑面,在玻璃面板的两侧面与固定槽腔体内的左侧面和右侧面摩擦接触的过程中,容易产生相对滑动,第一防滑层和第二防滑层能够有效地降低固定槽与待检测玻璃面板之间的相对滑动,实现了有效固定待检测玻璃面板的技术效果。
4、该检测设备,通过在固定槽的前端开设有剖面呈U型形状设置的开口,该开口的后侧方开设有位于固定槽腔体前端的后侧方且剖面呈U型形状设置的插槽,插槽的腔体内安装有呈矩形体形状设置且顶端面和限位板的底侧面中心固定连接的插板,待检测玻璃面板从固定槽的前端开口插入其腔体内,插板能够有效地阻挡待检测玻璃面板从固定槽的前端开口滑出的问题,实现了便于安放待检测玻璃面板的技术效果。
5、该检测设备,通过在X射线成像机构右端中心通孔的内侧壁上安装有径向剖面呈圆形形状设置且轴向剖面呈矩形形状设置的玻璃板,玻璃板的外侧壁与X射线成像机构右端中心通孔的轴向中心与左端之间的内侧壁固定连接,透过待检测玻璃面板的X射线需要穿透X射线成像机构壳体的左端到达其腔体内,玻璃板能够提高X射线透过X射线成像机构壳体左端的效率,有效地降低X射线在穿透X射线成像机构壳体左端的能量损失,从而提高X射线在X射线成像机构上的成像效果,实现了有效提高X射线成像准确度的技术效果。
附图说明
图1为本发明一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备的主视图;
图2为本发明的承托机构的结构示意图;
图3为本发明的承托机构与X射线管的剖面图;
图4为本发明的通光筒的断面图;
图5为本发明的固定槽的结构示意图;
图6为本发明的固定槽的俯视图;
图7为本发明的固定槽的内部结构示意图;
图8为本发明的插板与限位板的结构示意图;
图9为本发明的插板与限位板的后视图;
图10为本发明的插板与限位板的左视图;
图11为本发明的X射线成像机构的左视图;
图12为本发明的X射线成像机构的剖视图;
图13为本发明的薄膜晶体管的结构示意图。
图中标示:1-基座,101-第一支座,102-第二支座,103-第三支座;
2-机架;
3-承托机构,301-第一通光孔;
4-X射线管,401-钨灯丝,402-第一铜棒,403-第一阴极接线口,404-第二阴极接线口,405-X射线靶,406-第二铜棒,407-阳极接线口;
5-通光筒,501-第一屏蔽层;
6-固定槽,601-第二通光孔,602-第三通光孔,603-第一防滑层,604-第二防滑层,605-插槽;
7-插板,701-第二屏蔽层;
8-限位板;
9-X射线成像机构,901-顶层电极,902-第一绝缘层,903-非晶硒膜;
904-薄膜晶体管,9041-P型硅衬底,9042-源极,9043-漏极,9044-第二绝缘层,9045-栅极;
905-衬底板,906-放大器,907-玻璃板;
10-模数转换器,11-图像显示终端。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,参见图1,包括基座1,所述基座1顶侧表面的左端安装有呈矩形体形状设置的机架2,机架2底端的矩形面与基座1顶侧表面上左端的矩形面固定连接,机架2的右侧面中心安装有呈矩形体形状设置且内部具有空腔的承托机构3,如图2所示,其左端面和机架2的右端面中心固定连接的承托机构3的右端中心开设有径向剖面呈圆形形状设置且轴向剖面呈矩形形状设置的第一通光孔301,贯穿承托机构3右端的第一通光孔301的进口端和出口端分别设置在承托机构3腔体内的右侧面和腔体外的右侧面;
如图3所示,承托机构3的腔体内安装有其腔体内呈真空设置的X射线管4,X射线管4腔体内的轴向中心的前侧方安装有连接在第一铜棒402后端的钨灯丝401,第一铜棒402的前端贯穿X射线管4的前端中心并延伸至其腔体外,且第一铜棒402的前端具有两个接线口,分别为与高压电源负极连接的第一阴极接线口402和用于加热钨灯丝401且与灯丝电源的正极和负极连接的第二阴极接线口404;
X射线管4腔体内的轴向中心的后侧方安装有连接在第二铜棒406前端且由钨材质制成的X射线靶405,X射线靶405的靶面所在平面与水平面呈45-60度夹角设置,第二铜棒406的后端贯穿X射线管4的后端中心并延伸至其腔体外,第二铜棒406的后端具有与高压电源正极连接的阳极接线口407;
承托机构3的右端安装有径向剖面呈圆环形形状设置、轴向剖面呈矩环形形状设置且左端和右端均具有开口的通光筒5,通光筒5左端的圆环面与承托机构3的第一通光孔301出口端的圆环面固定连接,如图5所示,通光筒5右端的圆环面与径向剖面呈矩环形形状设置且左右两端中心分别具有径向剖面呈圆形形状设置、轴向剖面呈矩形形状设置的相互对称的第二通光孔601和第三通光孔602的固定槽6的第二通光孔601出口端的圆环面固定连接;
固定槽6的底面与其底端面和基座1顶侧表面中心固定连接的第一支座101的顶端面固定连接,固定槽6的第三通光孔602出口端的右侧方安装有左端中心具有通孔、内部具有空腔且呈矩形体形状设置的X射线成像机构9,X射线成像机构9的底面与其底端面和基座1顶侧表面中心的右侧方固定连接的第二支座102的顶端面固定连接;
如图12所示,X射线成像机构9包括由硼硅玻璃材质制成且位于X射线成像机构9腔体内的右端面的衬底板905,衬底板905的左侧表面上安装有由按照阵元方式排列的薄膜晶体管904组成的集电矩阵,如图13所示,薄膜晶体管904包括左侧表面由第一凹面、凸面和第二凹面组成的P型硅衬底9041,P型硅衬底9041的第一凹面和第二凹面上分别扩散有作为源极9042的第一N型区和作为漏极9043的第二N型区,源极9042与高压电源的正极连接,漏极9043与放大器906的输入端连接,P型硅衬底9041的凸面、第一N型区的左侧表面和第二N型区的左侧表面上覆盖有由二氧化硅材质制成带有大量正离子的第二绝缘层9044,第二绝缘层9044的左侧面安装有由金属铝材质制成且通过导线与源极9042相互连通的栅极9045,栅极9045与高压电源的负极连接;
在集电矩阵的薄膜晶体管904阵列的左侧方通过真空蒸镀生成按照阵元方式排列的非晶硒膜903,非晶硒膜903的左侧面上覆盖有截面呈矩形形状设置的第一绝缘层902,第一绝缘层902的左侧方安装有截面呈矩形形状设置且与偏置高压电源的正极连接的顶层电极901;
放大器906的输出端与插接在图像显示终端11左端中心插槽内的数模转化器10的输入端连接,数模转化器10的输出端与其底面和基座1顶侧表面上右端的左侧方固定连接且部署有图像处理软件的图像显示终端11的输入端连接,图像显示终端11的输出端与图像显示器相互连接。
优选的,如图4所示,所述通光筒5的内侧壁上安装有径向剖面呈圆环形形状设置、轴向剖面呈矩环形形状设置且左右两端均具有开口、内部具有空腔的第一屏蔽层501,第一屏蔽层501的外侧壁与通光筒5的内侧壁固定连接。
优选的,如图6和图7所示,所述固定槽6腔体内的左侧面上安装有径向剖面呈矩环形形状设置的第一防滑层603,第一防滑层603左侧的矩环面与固定槽6腔体内左侧面边缘的矩环面固定连接。
优选的,所述固定槽6腔体内的右侧面上安装有径向剖面呈矩环形形状设置的第二防滑层604,第二防滑层604右侧的矩环面与固定槽6腔体内右侧面边缘的矩环面固定连接。
优选的,所述固定槽6的前端开设有剖面呈U型形状设置的开口,该开口的后侧方开设有位于固定槽6腔体前端的后侧方且剖面呈U型形状设置的插槽605,如图8所示,插槽605的腔体内安装有呈矩形体形状设置且顶端面和限位板8的底侧面中心固定连接的插板7,插板7的左侧面、底端面和右侧面分别与插槽605腔体内的左侧面、底端面和右侧面相互摩擦连接。
优选的,如图9和图10所示,所述插板7的后侧面安装有呈矩形体形状设置且前后两侧表面均布有正方形开孔的第二屏蔽层701,第二屏蔽层701的前侧面与插板7的后侧面中心固定连接。
优选的,如图11所示,所述X射线成像机构9右端中心通孔的内侧壁上安装有径向剖面呈圆形形状设置且轴向剖面呈矩形形状设置的玻璃板907,玻璃板907的外侧壁与X射线成像机构9右端中心通孔的轴向中心与左端之间的内侧壁固定连接。
工作时,将插板7从固定槽6的插槽605内取下,将待检测玻璃面板从固定槽6的前端开口插入到固定槽6的腔体内,接着将插板7插入固定槽6的插槽605内,接通高压发生器,高压发生器的次级线圈产生的低压灯丝电源用于加热X射线管4腔体内的钨灯丝401,高压发生器的高压绕组产生的高压电源的负极和正极分别施加在钨灯丝401和X射线靶405的两极上;
钨灯丝401在低压灯丝电源的作用下通过有足够的电流使其发生电子云,电子云在高压电源的作用下被拉往X射线靶405,此时,电子以高能高速的状态撞击X射线靶405,高速电子到达靶面,运动突然受到阻止,其动能的一小部分便转化为辐射能,向X射线管4的腔体外发射X射线,当X射线穿过待检测玻璃面板时,待检测玻璃面板中有缺陷的部位与无缺陷部位对X射线的吸收能力不同,透过有缺陷部位的射线强度高于无缺陷部位的射线强度,通过检测透过待检测玻璃面板后的X射线强度的差异,来判断待检测玻璃面板内部是否存在缺陷;
透过待检测玻璃面板的X射线达到X射线成像机构9的顶层电极901,在外加偏置高压电源的作用下,X射线只能沿电场方向垂直穿过顶层电极901和第一绝缘层902达到非晶硒膜903,当入射的X射线光子在非晶硒膜903激发出电子-空穴对时,电子和空穴在外加偏置电场作用下反向运动,产生电流,电流的大小与入射X线光子的数量呈正比,到达栅极9045表层的电子被存储在薄膜晶体管904的栅极9045与源极9042之间的电容上,脉冲控制门电路使薄膜晶体管904的高压电源导通,在高压电源的作用下电子从栅极9045通过导线流向源极9042,再通过P型硅衬底9041的导电沟道流向漏极9043,再经放大器906放大输出,完成光信号向电信号的转换,电信号再经过模数转换器10转换成图像信号输入图像显示终端11,图像显示终端11的图像处理软件对图像信息进行实时处理,将处理结果显示在图像显示器上,检测操作者通过观察图像显示器上的图像来判断玻璃面板内部是否存在缺陷,从而完成玻璃面板的检测工作。
综上所述,该检测设备,通过在承托机构3的腔体内安装有其腔体内呈真空设置的X射线管4,承托机构3的右端安装有径向剖面呈圆环形形状设置、轴向剖面呈矩环形形状设置且左端和右端均具有开口的通光筒5,通光筒5右端的圆环面与径向剖面呈矩环形形状设置且左右两端中心分别具有径向剖面呈圆形形状设置、轴向剖面呈矩形形状设置的相互对称的第二通光孔601和第三通光孔602的固定槽6的第二通光孔601出口端的圆环面固定连接,固定槽6的第三通光孔602出口端的右侧方安装有左端中心具有通孔、内部具有空腔且呈矩形体形状设置的X射线成像机构9,X射线管4向腔体外发射X射线,当X射线穿过固定槽6内的待检测玻璃面板时,待检测玻璃面板中有缺陷的部位与无缺陷部位对X射线的吸收能力不同,透过有缺陷部位的射线强度高于无缺陷部位的射线强度,X射线成像机构9将透过待检测玻璃面板的X射线的光信号进行存储,经过放大器906放大输出,完成光信号向电信号的转换,电信号再经过模数转换器10转换成图像信号输入图像显示终端11,图像显示终端11的图像处理软件对图像信息进行实时处理,将处理结果显示在图像显示器上,通过观察图像显示器上的图像来判断玻璃面板内部是否存在缺陷,从而实现高效检测玻璃面板内部缺陷的技术效果,解决了现有的用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,检测效率不佳与检测精准度差的技术问题。
2、该检测设备,通过在通光筒5的内侧壁上安装有径向剖面呈圆环形形状设置、轴向剖面呈矩环形形状设置且左右两端均具有开口、内部具有空腔的第一屏蔽层501,第一屏蔽层501的外侧壁与通光筒5的内侧壁固定连接,通光筒5腔体内的X射线在垂直传输的过程中,一部分会向通光筒5的侧壁辐射,第一屏蔽层501能够有效地屏蔽辐射到通光筒5内侧壁上的X射线,实现了有效屏蔽辐射到周围空间的X射线的技术效果。
3、该检测设备,通过在固定槽6腔体内的左侧面上安装有径向剖面呈矩环形形状设置的第一防滑层603,固定槽6腔体内的右侧面上安装有径向剖面呈矩环形形状设置的第二防滑层604,固定槽6腔体内的左侧面和右侧面分别与待检测玻璃面板的两侧表面摩擦接触,由于玻璃面板的两侧面的摩擦系数较小,属于导滑面,在玻璃面板的两侧面与固定槽6腔体内的左侧面和右侧面摩擦接触的过程中,容易产生相对滑动,第一防滑层603和第二防滑层604能够有效地降低固定槽6与待检测玻璃面板之间的相对滑动,实现了有效固定待检测玻璃面板的技术效果。
4、该检测设备,通过在固定槽6的前端开设有剖面呈U型形状设置的开口,该开口的后侧方开设有位于固定槽6腔体前端的后侧方且剖面呈U型形状设置的插槽605,插槽605的腔体内安装有呈矩形体形状设置且顶端面和限位板8的底侧面中心固定连接的插板7,待检测玻璃面板从固定槽6的前端开口插入其腔体内,插板7能够有效地阻挡待检测玻璃面板从固定槽6的前端开口滑出的问题,实现了便于安放待检测玻璃面板的技术效果。
5、该检测设备,通过在X射线成像机构9右端中心通孔的内侧壁上安装有径向剖面呈圆形形状设置且轴向剖面呈矩形形状设置的玻璃板907,玻璃板907的外侧壁与X射线成像机构9右端中心通孔的轴向中心与左端之间的内侧壁固定连接,透过待检测玻璃面板的X射线需要穿透X射线成像机构9壳体的左端到达其腔体内,玻璃板907能够提高X射线透过X射线成像机构9壳体左端的效率,有效地降低X射线在穿透X射线成像机构9壳体左端的能量损失,从而提高X射线在X射线成像机构9上的成像效果,实现了有效提高X射线成像准确度的技术效果。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,包括基座(1),其特征在于:所述基座(1)顶侧表面的左端安装有呈矩形体形状设置的机架(2),机架(2)底端的矩形面与基座(1)顶侧表面上左端的矩形面固定连接,机架(2)的右侧面中心安装有呈矩形体形状设置且内部具有空腔的承托机构(3),其左端面和机架(2)的右端面中心固定连接的承托机构(3)的右端中心开设有径向剖面呈圆形形状设置且轴向剖面呈矩形形状设置的第一通光孔(301),贯穿承托机构(3)右端的第一通光孔(301)的进口端和出口端分别设置在承托机构(3)腔体内的右侧面和腔体外的右侧面;
承托机构(3)的腔体内安装有其腔体内呈真空设置的X射线管(4),X射线管(4)腔体内的轴向中心的前侧方安装有连接在第一铜棒(402)后端的钨灯丝(401),第一铜棒(402)的前端贯穿X射线管(4)的前端中心并延伸至其腔体外,且第一铜棒(402)的前端具有两个接线口,分别为与高压电源负极连接的第一阴极接线口(402)和用于加热钨灯丝(401)且与灯丝电源的正极和负极连接的第二阴极接线口(404);
X射线管(4)腔体内的轴向中心的后侧方安装有连接在第二铜棒(406)前端且由钨材质制成的X射线靶(405),X射线靶(405)的靶面所在平面与水平面呈45-60度夹角设置,第二铜棒(406)的后端贯穿X射线管(4)的后端中心并延伸至其腔体外,第二铜棒(406)的后端具有与高压电源正极连接的阳极接线口(407);
承托机构(3)的右端安装有径向剖面呈圆环形形状设置、轴向剖面呈矩环形形状设置且左端和右端均具有开口的通光筒(5),通光筒(5)左端的圆环面与承托机构(3)的第一通光孔(301)出口端的圆环面固定连接,通光筒(5)右端的圆环面与径向剖面呈矩环形形状设置且左右两端中心分别具有径向剖面呈圆形形状设置、轴向剖面呈矩形形状设置的相互对称的第二通光孔(601)和第三通光孔(602)的固定槽(6)的第二通光孔(601)出口端的圆环面固定连接;
固定槽(6)的底面与其底端面和基座(1)顶侧表面中心固定连接的第一支座(101)的顶端面固定连接,固定槽(6)的第三通光孔(602)出口端的右侧方安装有左端中心具有通孔、内部具有空腔且呈矩形体形状设置的X射线成像机构(9),X射线成像机构(9)的底面与其底端面和基座(1)顶侧表面中心的右侧方固定连接的第二支座(102)的顶端面固定连接;
X射线成像机构(9)包括由硼硅玻璃材质制成且位于X射线成像机构(9)腔体内的右端面的衬底板(905),衬底板(905)的左侧表面上安装有由按照阵元方式排列的薄膜晶体管(904)组成的集电矩阵,薄膜晶体管(904)包括左侧表面由第一凹面、凸面和第二凹面组成的P型硅衬底(9041),P型硅衬底(9041)的第一凹面和第二凹面上分别扩散有作为源极(9042)的第一N型区和作为漏极(9043)的第二N型区,源极(9042)与高压电源的正极连接,漏极(9043)与放大器(906)的输入端连接,P型硅衬底(9041)的凸面、第一N型区的左侧表面和第二N型区的左侧表面上覆盖有由二氧化硅材质制成带有大量正离子的第二绝缘层(9044),第二绝缘层(9044)的左侧面安装有由金属铝材质制成且通过导线与源极(9042)相互连通的栅极(9045),栅极(9045)与高压电源的负极连接;
在集电矩阵的薄膜晶体管(904)阵列的左侧方通过真空蒸镀生成按照阵元方式排列的非晶硒膜(903),非晶硒膜(903)的左侧面上覆盖有截面呈矩形形状设置的第一绝缘层(902),第一绝缘层(902)的左侧方安装有截面呈矩形形状设置且与偏置高压电源的正极连接的顶层电极(901);
放大器(906)的输出端与插接在图像显示终端(11)左端中心插槽内的数模转化器(10)的输入端连接,数模转化器(10)的输出端与其底面和基座(1)顶侧表面上右端的左侧方固定连接且部署有图像处理软件的图像显示终端(11)的输入端连接,图像显示终端(11)的输出端与图像显示器相互连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,其特征在于:所述通光筒(5)的内侧壁上安装有径向剖面呈圆环形形状设置、轴向剖面呈矩环形形状设置且左右两端均具有开口、内部具有空腔的第一屏蔽层(501),第一屏蔽层(501)的外侧壁与通光筒(5)的内侧壁固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,其特征在于:所述固定槽(6)腔体内的左侧面上安装有径向剖面呈矩环形形状设置的第一防滑层(603),第一防滑层(603)左侧的矩环面与固定槽(6)腔体内左侧面边缘的矩环面固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,其特征在于:所述固定槽(6)腔体内的右侧面上安装有径向剖面呈矩环形形状设置的第二防滑层(604),第二防滑层(604)右侧的矩环面与固定槽(6)腔体内右侧面边缘的矩环面固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,其特征在于:所述固定槽(6)的前端开设有剖面呈U型形状设置的开口,该开口的后侧方开设有位于固定槽(6)腔体前端的后侧方且剖面呈U型形状设置的插槽(605),插槽(605)的腔体内安装有呈矩形体形状设置且顶端面和限位板(8)的底侧面中心固定连接的插板(7),插板(7)的左侧面、底端面和右侧面分别与插槽(605)腔体内的左侧面、底端面和右侧面相互摩擦连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,其特征在于:所述插板(7)的后侧面安装有呈矩形体形状设置且前后两侧表面均布有正方形开孔的第二屏蔽层(701),第二屏蔽层(701)的前侧面与插板(7)的后侧面中心固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种用于检测玻璃面板内部缺陷的检测设备,其特征在于:所述X射线成像机构(9)右端中心通孔的内侧壁上安装有径向剖面呈圆形形状设置且轴向剖面呈矩形形状设置的玻璃板(907),玻璃板(907)的外侧壁与X射线成像机构(9)右端中心通孔的轴向中心与左端之间的内侧壁固定连接。
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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1083215A (zh) * 1992-08-27 1994-03-02 航空航天工业部第七○三研究所 微机x射线实时图像处理检测系统
JP2002257756A (ja) * 2001-03-02 2002-09-11 Nippon Sheet Glass Co Ltd ガラス製品の製造方法及び製造装置
CN1485610A (zh) * 2002-09-26 2004-03-31 株式会社岛津制作所 X射线透视装置
JP3917129B2 (ja) * 2003-12-19 2007-05-23 アンリツ産機システム株式会社 X線検査装置
CN204346952U (zh) * 2014-12-29 2015-05-20 东莞市松菱玻璃防爆技术有限公司 利用x光检测平面玻璃内部缺陷的设备
CN105372269A (zh) * 2014-09-02 2016-03-02 同方威视技术股份有限公司 X射线产品质量自动检测装置
CN105445292A (zh) * 2014-08-13 2016-03-30 中国科学院高能物理研究所 一种扫描薄板结构的工业cl系统的扫描装置
CN107589131A (zh) * 2017-10-17 2018-01-16 阳江市普瑞德增材制造研究院有限公司 一种刀具x射线检测系统

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1083215A (zh) * 1992-08-27 1994-03-02 航空航天工业部第七○三研究所 微机x射线实时图像处理检测系统
JP2002257756A (ja) * 2001-03-02 2002-09-11 Nippon Sheet Glass Co Ltd ガラス製品の製造方法及び製造装置
CN1485610A (zh) * 2002-09-26 2004-03-31 株式会社岛津制作所 X射线透视装置
JP3917129B2 (ja) * 2003-12-19 2007-05-23 アンリツ産機システム株式会社 X線検査装置
CN105445292A (zh) * 2014-08-13 2016-03-30 中国科学院高能物理研究所 一种扫描薄板结构的工业cl系统的扫描装置
CN105372269A (zh) * 2014-09-02 2016-03-02 同方威视技术股份有限公司 X射线产品质量自动检测装置
CN204346952U (zh) * 2014-12-29 2015-05-20 东莞市松菱玻璃防爆技术有限公司 利用x光检测平面玻璃内部缺陷的设备
CN107589131A (zh) * 2017-10-17 2018-01-16 阳江市普瑞德增材制造研究院有限公司 一种刀具x射线检测系统

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