CN108704682A - 微流控器件及其驱动方法、微流控系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种微流控器件及驱动方法、微流控系统，该微流控器件包括相对设置的第一基板和第二基板，以及设置在第一基板和第二基板之间的微腔，该微腔能够容纳液体。微流控器件还包括位于第一基板与第二基板之间的至少一层超声波层；其中，超声波层包括多个超声波传感器，用于对液体进行检测和驱动中的至少一种操作。本发明提供的微流控器件，其可以摆脱液滴中必须具有离子存在的约束，简化器件结构。

Description

微流控器件及其驱动方法、微流控系统
技术领域
本发明涉及微流体技术领域，具体地，涉及一种微流控器件及驱动方法、微流控系统。
背景技术
微流控系统在化学和医学领域中对微小液滴(以下简称液滴)的控制及检测方面有诸多应用。
目前的液滴驱动方式主要为将液滴置于上、下电极之间，并通过在上、下电极上施加电压产生电场来驱动液滴移动。但是，这种驱动方式要求液滴中必须具有离子存在，才能响应电场的驱动。而且，从检测角度来讲，液滴的主要检测方式为电容式或者光学式等，但是，这种检测方式会造成微流控器件的结构较为复杂。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种微流控器件及驱动方法、微流控系统，其可以摆脱液滴中必须具有离子存在的约束，简化器件结构。
为实现本发明的目的而提供一种微流控器件，包括相对设置的第一基板和第二基板，以及设置在所述第一基板和第二基板之间的微腔，所述微腔能够容纳液体；所述微流控器件还包括位于所述第一基板与所述第二基板之间的至少一层超声波层；其中，
所述超声波层包括多个超声波传感器，用于对所述液体进行检测和驱动中的至少一种操作。
可选的，在所述第一基板与所述微腔之间设置有至少一层所述超声波层，和/或，在所述第二基板与所述微腔之间设置有至少一层所述超声波层。
可选的，在所述第一基板或者第二基板与所述微腔之间设置有两层所述超声波层，其中一层所述超声波层中的每个所述超声波传感器与其中另一层所述超声波层中的每个所述超声波传感器在所述第一基板上的正投影不完全重叠；
其中一层所述超声波层中的每个所述超声波传感器用于对所述液体进行检测；其中另一层所述超声波层中的每个所述超声波传感器用于对所述液体进行驱动。
可选的，所述两层超声波传感器的体积不同。
可选的，在所述第一基板与所述微腔之间设置有一层所述超声波层，以及在所述第二基板与所述微腔之间设置有一层所述超声波层；
在所述第一基板与所述微腔之间的所述超声波层中的多个所述超声波传感器的排布密度，和在所述第二基板与所述微腔之间的所述超声波层中的多个所述超声波传感器的排布密度不同。
可选的，在所述第一基板与所述微腔之间的所述超声波层中的多个所述超声波传感器，和在所述第二基板与所述微腔之间的所述超声波层中的各个相邻两个所述超声波传感器之间的间隔一一对应地相对设置。
可选的，所述微流控器件还包括位于所述第一基板与所述第二基板之间，且相对设置的两层疏水层，以及位于两层所述疏水层之间的隔垫物，所述微腔由两层所述疏水层和所述隔垫物构成；
所述超声波层位于所述疏水层的远离所述微腔的一侧。
可选的，在所述微腔中还设置有填充介质；所述填充介质的声阻抗系数大于或者等于所述疏水层的声阻抗系数。
可选的，每个所述超声波传感器包括沿远离所述微腔的方向依次设置的第一电极、压电层和第二电极，其中，所述第一电极和/或第二电极采用块状结构；
所述微流控器件还包括晶体管层，所述晶体管层包括多个薄膜晶体管和绝缘层，其中，所述薄膜晶体管位于所述第一基板和/或第二基板的靠近所述微腔的一侧，且多个所述薄膜晶体管与多个所述超声波传感器一一对应地设置；所述绝缘层设置在所述第一基板和/或第二基板上，且覆盖多个所述薄膜晶体管；所述第二电极设置在所述绝缘层的靠近所述微腔的一侧，且通过过孔与所述薄膜晶体管电连接。
作为另一个技术方案，本发明还提供一种微流控系统，包括本发明提供的上述微流控器件，以及处理单元，其中，所述处理单元用于驱动所述微流控器件。
作为另一个技术方案，本发明还提供一种本发明提供的上述微流控器件的驱动方法，其包括：
根据所述液体的检测参数以及目标位置确定液滴的移动路径；
根据所述移动路径控制所述超声波传感器发射超声波，以驱动所述液滴自当前位置沿所述移动路径移动至所述目标位置。
可选的，在所述根据所述移动路径控制所述超声波传感器发射超声波，以驱动所述液滴自当前位置沿所述移动路径移动至所述目标位置的步骤中，根据所述液滴的检测参数以及所述移动路径，选择至少一个超声波传感器朝向所述微腔发送超声波驱动信号。
可选的，使发送所述超声波驱动信号的不同超声波传感器的延迟时间不同，以使不同的超声波传感器发送的超声波驱动信号能够在同一指定位置产生最大表面声压力。
可选的，在所述根据所述液体的检测参数以及目标位置确定液滴的移动路径的步骤中，使用所述超声波传感器向所述微腔发送超声波检测信号，并根据来自所述微腔的反馈信号的超声波反射率的大小，确定所述液滴的检测参数。
本发明具有以下有益效果：
本发明提供的微流控器件及驱动方法、微流控系统的技术方案中，通过在位于第一基板与第二基板之间设置至少一层超声波层，该超声波层包括多个超声波传感器，用于对液体进行检测和驱动中的至少一种操作。通过借助超声波传感器对液体进行检测，可以简化器件结构。通过借助超声波传感器对液体进行驱动，可以摆脱液体中必须具有离子存在的约束。
附图说明
图1为超声波声压力应用的原理图；
图2为本发明第一实施例提供的微流控器件的剖视图；
图3为图2中I区域的放大图；
图4A为本发明第一实施例采用的超声波传感器的第二电极的结构图；
图4B为本发明第一实施例采用的超声波传感器的电极的一种结构图；
图4C为本发明第一实施例采用的超声波传感器的电极的另一种结构图；
图5为本发明第二实施例提供的微流控器件的剖视图；
图6A为本发明第三实施例提供的微流控器件的剖视图；
图6B为液滴的受力示意图。
图7为超声波传感器的驱动原理图；
图8为液滴的移动路径图；
图9为微流控器件的驱动方法的流程框图。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的微流控器件及驱动方法、微流控系统进行详细描述。
本发明提供一种微流控器件，其包括相对设置的第一基板和第二基板，以及设置在第一基板和第二基板之间的微腔，该微腔能够容纳待检测液体。该待检测液体在微腔构成的微尺度环境下具有独特的流体性质，即形成液滴或者延伸一段距离的液柱。通过对液体进行检测和控制，可以实现一系列常规方法所难以完成的微加工和微操作。
超声波属于机械波的一种，其以振动机械波的方式在介质中传播，在两种介质的表面会形成声压力。本发明提供的微流控器件可以将聚焦超声波产生的声压力作为对液体的驱动力，来使液体移动。
具体地，如图1所示，超声波声压力应用的原理为：不同位置的超声波传感器(1‐5)发出驱动信号，该驱动信号的延迟时间不同，从而使不同位置的超声波传感器(1‐5)发出的超声波的初始振动时间不同，以使各个驱动信号在到达P点时恰好达到干涉振动加强的效果，从而在P点产生一个声压力F，用于驱动液体。可以通过调整不同位置的超声波传感器发出的驱动信号的延迟时间，来改变超声波振动加强点P的位置，从而可以精确地对指定液体进行驱动。
基于上述原理，本发明提供的微流控器件还包括位于第一基板与第二基板之间的至少一层超声波层；其中，超声波层包括多个超声波传感器，用于对液体进行检测和驱动中的至少一种操作。
也就是说，可以利用上述至少一层超声波层对液体进行检测和驱动；或者，也可以利用上述至少一层超声波层对液体进行驱动，并采用诸如电容检测法、光敏检测法等的其他方法对液体进行检测；或者，还可以利用上述至少一层超声波层对液体进行检测，并采用诸如电压驱动等的其他方法对液体进行驱动。
通过借助超声波传感器对液体进行检测，可以简化器件结构。和/或，通过借助超声波传感器对液体进行驱动，可以摆脱液体中必须具有离子存在的约束。
需要说明的是，对液体进行检测的参数包括液滴的形状、尺寸、当前位置等等。
具体地，在第一基板与微腔之间设置有至少一层超声波层，和/或，在第二基板与微腔之间设置有至少一层超声波层。下面对超声波层的具体实施方式进行详细描述。
第一实施例
如图2所示，本实施例提供的微流控器件包括相对设置的第一基板11和第二基板12，以及设置在第一基板11和第二基板12之间的微腔13，在第一基板11与微腔13之间设置有两层超声波层(14，15)，第一层超声波层14中的每个超声波传感器141与第二层超声波层15中的每个超声波传感器151在第一基板11上的正投影不完全重叠，例如，第一层超声波层14中的每个超声波传感器141与第二层超声波层15中的每个超声波传感器151在第一基板11上的正投影恰好完全不重叠，以保证两层超声波层(14，15)不会产生遮挡信号的情况。
在本实施例中，每层超声波层中的多个超声波传感器在第一基板11或者第二基板12上的正投影呈阵列排布。
并且，第一层超声波层14中的每个超声波传感器141用于对液体进行检测；第二层超声波层15中的每个超声波传感器151用于对液体进行驱动。或者，第一层超声波层14中的每个超声波传感器141用于对液体进行驱动；第二层超声波层15中的每个超声波传感器151用于对液体进行检测。
可选的，两层超声波层(14，15)的超声波传感器的体积不同。具体地，为了使用于对液体进行驱动的超声波传感器能够产生足够的驱动力，可以采用体积较大的超声波传感器，超声波传感器的体积越大，则发射功率越大，从而可以增大驱动力。对于用于对液体进行检测的超声波传感器，可以在保证正常检测的前提下，采用体积较小的超声波传感器，从而可以增加超声波传感器的数量，增大排布密度，以获得较高的检测分辨率。
在本实施例中，微流控器件还包括位于第一基板11与第二基板12之间，且相对设置的两层疏水层(16，17)，以及位于两层疏水层(16，17)之间的隔垫物18，微腔13由两层疏水层(16，17)和隔垫物18构成。并且，两层超声波层(14，15)均位于第一疏水层16的远离微腔13的一侧。
上述隔垫物18在第一基板11与第二基板12之间起到支撑作用，同时与第一基板11和第二基板12构成封闭的空腔，以阻止空腔内的液体、填充介质泄漏。
借助疏水层，可以减少基板与液体之间的摩擦力，从而可以使液体更容易移动。
在本实施例中，在微腔13中还充满有填充介质，该填充介质的声阻抗系数大于或者等于疏水层的声阻抗系数。这样，填充介质能够起到声阻抗匹配的作用，以减少超声波在异质界面的反射率，增加超声波透射率，从而使超声波能量更易传递并作用于液滴表面，从而提高声发射效率。
另外，两层超声波层(14，15)中的超声波传感器的各功能层与下层的疏水层16之间的声阻抗匹配，以提高超声波透射率。
在本实施例中，如图3所示，以超声波传感器141为例，每个超声波传感器141包括沿远离微腔13的方向依次设置的第一电极1411、压电层1412和第二电极1413，其中，第一电极1411采用无图形的整面结构，如图4B所示；第二电极1413采用块状结构，如图4A所示，以能够对每个超声波传感器141进行独立、准确的延时驱动控制。
在实际应用中，第一电极1411和第二电极1413中的至少一个电极采用块状结构即可，未采用块状结构的电极还可以采用除整面结构之外的其他任意结构，例如条状结构，如图4C所示。
而且，微流控器件还包括两层晶体管层(20，21)，二者分别位于两层超声波层(14，15)的远离微腔13的一侧。并且，每层晶体管层包括多个薄膜晶体管201和绝缘层202，其中，以晶体管层20为例，薄膜晶体管201位于第一基板11的靠近微腔13的一侧。多个薄膜晶体管201与超声波层14中的多个超声波传感器141一一对应地设置。绝缘层202设置在第一基板11上，且覆盖多个薄膜晶体管201。第二电极1413设置在绝缘层202的靠近微腔13的一侧，且通过过孔1414与薄膜晶体管201电连接。可以通过薄膜晶体管201实现对每个超声波传感器进行独立、准确的延时驱动控制。
需要说明的是，在本实施例中，在第一基板11与微腔13之间设置有两层超声波层(14，15)，但是，本发明并不局限于此，在实际应用中，也可以在第二基板12与微腔13之间设置两层超声波层。
第二实施例
如图5所示，本实施例提供的微流控器件，其与上述第一实施例相比，其区别在于：仅在第一基板11与微腔13之间设置有一层超声波层14。这同样可以实现对液体的检测和/或驱动。
本实施例提供的微流控器件的其他结构与上述第一实施例相类似，在此不再赘述。
需要说明的是，在实际应用中，也可以仅在第二基板12与微腔13之间设置一层超声波层。
第三实施例
如图6A所示，本实施例提供的微流控器件，其与上述第一实施例相比，其区别在于：两层超声波层(14，15)分别位于微腔13的两侧，即，在第一基板11与微腔13之间设置有一层超声波层14，以及在第二基板12与微腔13之间设置有一层超声波层15。
在本实施例中，在第一基板11与微腔13之间的超声波层14中的多个超声波传感器141的排布密度，和在第二基板12与微腔13之间的超声波层15中的多个超声波传感器151的排布密度不同。由于超声波层14的分辨率与超声波层15的分辨率不同，这使得综合分辨率为超声波层14的分辨率与超声波层15的分辨率之和，从而可以获得更精确的液体位置信息。
可选的，超声波层14中的每个超声波传感器141与超声波层15中的每个超声波传感器151在第一基板11上的正投影不完全重叠。例如，超声波层14中的每个超声波传感器141与超声波层15中的每个超声波传感器151在第一基板11上的正投影完全不重叠。
另外，两层超声波层(14，15)可以采用“同时驱动，分别检测”的方式控制液体；或者，也可以采用“同时驱动，同时检测”的方式控制液体。具体地，所谓同时驱动，是指两层超声波层(14，15)中的至少一个超声波传感器能够同时驱动同一液滴，如图6B所示，下层的超声波层14中的至少一个超声波传感器141对液滴施加力F1；上层的超声波层15中的至少一个超声波传感器151对液滴施加力F2，从而能够推动液滴顺时针滚动。同时驱动这种方式可以提供更大的驱动力，从而能够更容易实现液滴的移动。
所谓分别检测，是指两层超声波层(14，15)中的超声波传感器分别对不同位置的液滴进行检测。在这种情况下，需要两层超声波层(14，15)中的超声波传感器错位对齐设置，即，在第一基板11与微腔13之间的超声波层14中的多个超声波传感器141，和在第二基板12与微腔13之间的超声波层15中的各个相邻两个超声波传感器151之间的间隔一一对应地相对设置，这样，可以使超声波传感器141与超声波传感器151完全错开，从而在同等传感器尺寸的条件下，可以获得更高的检测分辨率，进而可以获得更精确的位置信息。
所谓同时检测，是指两层超声波层(14，15)中的超声波传感器同时对液滴进行检测。在这种情况下，两层超声波层(14，15)中的超声波传感器的分辨率相同，即，在第一基板11与微腔13之间的超声波层14中的多个超声波传感器141，和在第二基板12与微腔13之间的超声波层15中的多个超声波传感器151相互对齐。
由上可知，可以采用“同时驱动，分别检测”或者“同时驱动，同时检测”的方式控制液体。但是，本发明并不局限于此，在实际应用中，也可以利用其中一层超声波层中的超声波传感器对液体进行驱动，利用其中另一层超声波层中的超声波传感器对液体进行检测，这种方式可以避免超声波传感器的功能复用，即，兼具检测和驱动两个功能，从而可以提高驱动和检测效率。
可选的，在第一基板11与微腔13之间的超声波层14中的多个超声波传感器141，和在第二基板12与微腔13之间的超声波层15中的各个相邻两个超声波传感器151之间的间隔一一对应地相对设置，这样，可以使超声波传感器141与超声波传感器151完全错开。
需要说明的是，在实际应用中，也可以使在第一基板11与微腔13之间的超声波层14中的多个超声波传感器141，和在第二基板12与微腔13之间的超声波层15中的多个超声波传感器151相对设置。在这种情况下，可以利用两层超声波层(14，15)中的超声波传感器同时用于对液体进行检测。
作为另一个技术方案，本发明还提供一种微流控系统，其包括本发明提供的上述微流控器件，以及处理单元，其中，处理单元用于驱动微流控器件。
具体地，处理单元用于根据液体的检测参数以及目标位置确定液滴的移动路径，以及根据该移动路径控制微流控器件中的相应超声波传感器发射超声波，以驱动液滴自当前位置沿移动路径移动至目标位置。
本发明提供的微流控系统，其通过采用本发明提供的上述微流控器件，可以摆脱液体中必须具有离子存在的约束，简化器件结构。
作为另一个技术方案，本发明还提供一种微流控器件的驱动方法，其包括：
S1，根据液体的检测参数以及目标位置确定液滴的移动路径；
S2，根据移动路径控制超声波传感器发射超声波，以驱动液滴自当前位置沿移动路径移动至目标位置。
上述液体的检测参数包括诸如液滴的形状、尺寸、当前位置等其中至少之一的能够获得液滴移动路径的相关参数。
在上述步骤S2中，根据液滴的移动路径，选择至少一个超声波传感器朝向微腔发送超声波驱动信号，从而可以精确地对指定液体进行驱动。
进一步的，使发送超声波驱动信号的不同超声波传感器的延迟时间不同，以使不同的超声波传感器发送的超声波驱动信号能够在同一指定位置产生最大表面声压力，以能够使液滴移动。
在上述步骤S1中，可以使用超声波传感器向微腔发送超声波检测信号，并根据来自微腔的反馈信号的超声波反射率的大小，确定液滴的形状、尺寸和当前位置等检测参数。
以上述第一实施例采用的微流控器件为例，超声波传感器向微腔发送的超声波到达微腔13中的无液滴位置时，反射界面为疏水层16和填充介质间的交界面；超声波传感器向微腔发送的超声波到达微腔13中的有液滴位置时，反射界面为疏水层16和液滴的交界面。不同的交界面对超声波的反射率不同，从而可以根据超声波的反馈信号的强弱来确定液滴的形状、尺寸和当前位置。
液滴驱动原理为：如图7所示，以超声波层14为例，多个超声波传感器141在第一基板11上的正投影呈阵列排布。并且，每个超声波传感器141的体积要明显小于液滴Y的体积。若需要驱动液滴Y从A点向右移动到A'点，则可以选择液滴Y左侧的单个或几个超声波传感器141，使其在液滴Y的左侧部分产生一个向上的驱动力F，从而对液滴Y施加一个顺时针的力偶，以驱动液滴Y实现向右侧滚动，移动至A'点。例如，图7中的具有剖面线的超声波传感器141为驱动液滴Y移动的几个超声波传感器141。
基于上述驱动原理，对微流控器件的驱动方法的具体实施例进行详细描述。具体地，如图8所示，假设液滴的当前位置为A，目标位置为B。
如图9所示，微流控器件的驱动方法，包括：
S101，检测液体的检测参数，该检测参数包括液滴的形状、尺寸和当前位置A等。
S102，根据液体的检测参数以及目标位置B确定液滴的移动路径。该移动路径如图8中的箭头所示。
S103，根据移动路径控制超声波传感器发射超声波，以驱动液滴自当前位置A沿移动路径移动至目标位置B。
S104，检测液滴是否已经离开当前位置A；若是，则进行步骤S105；若否，则返回步骤S103，同时增强驱动液滴移动的驱动信号，和/或延长施加在液滴上的驱动力的保持时间。
S105，检测液滴是否已经到达目标位置B；若到达，则步骤结束；若未到达，则返回上述步骤S102；
综上所述，本发明提供的驱动方法通过利用本发明提供的上述微流控器件中的超声波传感器发射超声波驱动液滴移动，可以摆脱液体中必须具有离子存在的约束，简化器件结构。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (14)

1.一种微流控器件，其特征在于，包括相对设置的第一基板和第二基板，以及设置在所述第一基板和第二基板之间的微腔，所述微腔能够容纳液体；所述微流控器件还包括位于所述第一基板与所述第二基板之间的至少一层超声波层；其中，
所述超声波层包括多个超声波传感器，用于对所述液体进行检测和驱动中的至少一种操作。
2.根据权利要求1所述的微流控器件，其特征在于，在所述第一基板与所述微腔之间设置有至少一层所述超声波层，和/或，在所述第二基板与所述微腔之间设置有至少一层所述超声波层。
3.根据权利要求2所述的微流控器件，其特征在于，在所述第一基板或者第二基板与所述微腔之间设置有两层所述超声波层，其中一层所述超声波层中的每个所述超声波传感器与其中另一层所述超声波层中的每个所述超声波传感器在所述第一基板上的正投影不完全重叠；
其中一层所述超声波层中的每个所述超声波传感器用于对所述液体进行检测；其中另一层所述超声波层中的每个所述超声波传感器用于对所述液体进行驱动。
4.根据权利要求3所述的微流控器件，其特征在于，所述两层超声波传感器的体积不同。
5.根据权利要求2所述的微流控器件，其特征在于，在所述第一基板与所述微腔之间设置有一层所述超声波层，以及在所述第二基板与所述微腔之间设置有一层所述超声波层；
在所述第一基板与所述微腔之间的所述超声波层中的多个所述超声波传感器的排布密度，和在所述第二基板与所述微腔之间的所述超声波层中的多个所述超声波传感器的排布密度不同。
6.根据权利要求2所述的微流控器件，其特征在于，在所述第一基板与所述微腔之间的所述超声波层中的多个所述超声波传感器，和在所述第二基板与所述微腔之间的所述超声波层中的各个相邻两个所述超声波传感器之间的间隔一一对应地相对设置。
7.根据权利要求1‐6任意一项所述的微流控器件，其特征在于，所述微流控器件还包括位于所述第一基板与所述第二基板之间，且相对设置的两层疏水层，以及位于两层所述疏水层之间的隔垫物，所述微腔由两层所述疏水层和所述隔垫物构成；
所述超声波层位于所述疏水层的远离所述微腔的一侧。
8.根据权利要求7所述的微流控器件，其特征在于，在所述微腔中还设置有填充介质；所述填充介质的声阻抗系数大于或者等于所述疏水层的声阻抗系数。
9.根据权利要求1‐6任意一项所述的微流控器件，其特征在于，每个所述超声波传感器包括沿远离所述微腔的方向依次设置的第一电极、压电层和第二电极，其中，所述第一电极和/或第二电极采用块状结构；
所述微流控器件还包括晶体管层，所述晶体管层包括多个薄膜晶体管和绝缘层，其中，所述薄膜晶体管位于所述第一基板和/或第二基板的靠近所述微腔的一侧，且多个所述薄膜晶体管与多个所述超声波传感器一一对应地设置；所述绝缘层设置在所述第一基板和/或第二基板上，且覆盖多个所述薄膜晶体管；所述第二电极设置在所述绝缘层的靠近所述微腔的一侧，且通过过孔与所述薄膜晶体管电连接。
10.一种微流控系统，其特征在于，包括权利要求1‐9任一项所述的微流控器件，以及处理单元，其中，所述处理单元用于驱动所述微流控器件。
11.一种如权利要求1‐9任一项所述的微流控器件的驱动方法，其特征在于，包括：
根据所述液体的检测参数以及目标位置确定液滴的移动路径；
根据所述移动路径控制所述超声波传感器发射超声波，以驱动所述液滴自当前位置沿所述移动路径移动至所述目标位置。
12.根据权利要求11所述的微流控器件的驱动方法，其特征在于，在所述根据所述移动路径控制所述超声波传感器发射超声波，以驱动所述液滴自当前位置沿所述移动路径移动至所述目标位置的步骤中，根据所述液滴的检测参数以及所述移动路径，选择至少一个超声波传感器朝向所述微腔发送超声波驱动信号。
13.根据权利要求12所述的微流控器件的驱动方法，其特征在于，使发送所述超声波驱动信号的不同超声波传感器的延迟时间不同，以使不同的超声波传感器发送的超声波驱动信号能够在同一指定位置产生最大表面声压力。
14.根据权利要求11所述的微流控器件的驱动方法，其特征在于，在所述根据所述液体的检测参数以及目标位置确定液滴的移动路径的步骤中，使用所述超声波传感器向所述微腔发送超声波检测信号，并根据来自所述微腔的反馈信号的超声波反射率的大小，确定所述液滴的检测参数。
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