CN108627254A - 一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种变倾角移相马赫‑曾德尔干涉仪测量装置及方法。该装置包括光源变倾角移相组件、主干涉仪和成像组件,光源变倾角移相组件出射倾斜的平行光进入主干涉仪,主干涉仪中的参考光与测试光经分光棱镜重新会合后进入成像组件,在CCD靶面获得干涉图。方法为:首先光源变倾角移相组件产生与光轴平行的准直光,将补偿板置于主干涉仪中,调整补偿板的位置,在CCD上获得成像清晰的干涉图;然后调整反射镜使折转后的光束倾角发生变化,测试光经过补偿板引入不同光程差,在干涉图中引入不同移相量;最后采集到系列移相干涉图后,通过移相算法恢复相位。本发明具有成本低、结构紧凑、对比度好、操作简便的特点,可广泛应用于波前高精度检测领域。
Description
技术领域
本发明属于光干涉测量仪器技术领域,特别是一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置及方法。
背景技术
马赫-曾德尔型干涉仪采用被测光束与参考光束的分光路设计,与泰曼型不共光路干涉仪相比,马赫-曾德尔型干涉仪基本没有光返回到激光器中造成不稳定噪声,更有利于干涉测量。
目前,马赫-曾德尔型移相干涉仪主要是采用PZT移相器件来控制光程的变化,如将光纤绕在一管状PZT上,利用PZT的逆压电效应,当通过直流电压时,PZT管会沿直径方向膨胀或缩小,也就是其外径会产生变化,这就使绕在它上面的光纤会产生长度的变化而使其光程也产生变化,从而实现移相,但是这类方法成本高,结构复杂,且对控制电路的要求较高。
此外,还有采用偏振干涉技术来控制光程的变化,相比于时间移相干涉测试技术,能够在同一时间、不同空间位置获得多幅移相干涉图,有效地抑制了振动、空气扰动等时变因素的影响,其基本结构是通过前置辅助组件产生两束偏振态正交的光,经偏振分光棱镜分别引入到参考臂和测试臂,在测试臂中放入补偿板,经第二块偏振分光棱镜出射的两束正交偏振光无法形成干涉场,在后续光路中通过辅助组件,产生多幅偏振移相干涉图,然而其中偏振移相采集模块的制作困难且成本高,且结构复杂,从而导致整个仪器的成本较高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种精度高、成本低、方便实用的变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置及方法。
实现本发明的技术解决方案为:一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置,包括光源变倾角移相组件、主干涉仪和成像组件,所述光源变倾角移相组件包括共光轴顺次设置的点光源、准直物镜和第一反射镜,所述主干涉仪包括共光轴设置的第一分光棱镜、第二反射镜、第三反射镜、补偿板和第二分光棱镜,所述成像组件包括共光轴顺次设置的第一成像透镜、第二成像透镜和CCD;
所述光源变倾角移相组件出射倾斜的平行光,调整该平行光偏离光轴的角度,进入主干涉仪;主干涉仪中的参考光与测试光经第二分光棱镜重新会合后,进入成像组件;成像组件中第一成像透镜的后焦点与第二成像透镜的前焦点重合,形成双远心光路,在CCD(14)靶面获得经参考光与测试光相干叠加后形成的干涉图。
进一步地,所述光源变倾角移相组件中第一反射镜的倾角可调,通过调整第一反射镜的倾角改变入射到主干涉仪中的光束倾角,从而改变参考光与测试光之间的光程差,最终改变干涉图中的移相量;设定第一反射镜与45°初始位置的偏转角度为θ/2,则折转后的光束倾角为θ。
进一步地,所述主干涉仪包括共光轴设置的第一分光棱镜、第二反射镜、第三反射镜、补偿板和第二分光棱镜,具体如下:
经光源变倾角移相组件出射的倾角为θ的准直光进入到主干涉仪,然后被第一分光棱镜分成两路:一路光通过参考臂,即第二反射镜;另一路光通过测试臂,即第三反射镜和补偿板;最后两路光再经第二分光棱镜重新会合后,进入成像组件。
进一步地,入射到主干涉仪中的光束倾角为θ,测试光经过补偿板后,引入的光程差Δ(θ)为:
其中,H为补偿板的厚度,n为补偿板的折射率;
在干涉图中引入的移相量δ(θ)为:
其中,k=2π/λ为波数,λ为波长。
进一步地,所述第一成像透镜的焦距f1与第二成像透镜的焦距f2满足f1/f2≥D/L,其中,D为测试光束的口径,L为CCD的靶面宽度。
进一步地,所述CCD的靶面与主干涉仪中补偿板共轭,CCD的靶面与第二成像透镜像方主面之间的间距l'为其中,lt为补偿板到第一成像透镜物方主面的距离,f1为第一成像透镜的焦距,f2为第二成像透镜的焦距。
一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量方法,包括以下步骤:
步骤1,光源变倾角移相组件产生与光轴平行的准直光,将补偿板置于主干涉仪中,调整补偿板的位置,在CCD上获得成像清晰的干涉图;
步骤2,调整第一反射镜使折转后的光束倾角发生变化,测试光经过补偿板引入不同光程差,在干涉图中引入不同移相量;
步骤3,采集到系列移相干涉图后,通过移相算法恢复相位。
本发明与现有技术相比,其显著优点在于:(1)仅需旋转反射镜即可实现移相,移相方式简单、成本低;(2)无需其他偏振器件,结构紧凑;(3)测试过程简单,调整方便。
附图说明
图1是本发明变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置的结构示意图。
图2是本发明用于测量激光棒透射波前的结构示意图。
图3是本发明中反射镜偏转造成平行光束倾角变化的光路示意图。
图4是本发明中倾斜光入射在干涉光场间引入移相的示意图。
图中:1、光源变倾角移相组件;2、点光源;3、准直物镜;4、第一反射镜;5、主干涉仪;6、第一分光棱镜;7、第二反射镜;8、第三反射镜;9、补偿板;10、第二分光棱镜;11、成像组件;12、第一成像透镜;13、第二成像透镜;14、CCD;15、激光棒。
具体实施方式
结合图1,本发明变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置,包括光源变倾角移相组件1、主干涉仪5和成像组件11,所述光源变倾角移相组件1包括共光轴顺次设置的点光源2、准直物镜3和第一反射镜4,所述主干涉仪5包括共光轴设置的第一分光棱镜6、第二反射镜7、第三反射镜8、补偿板9和第二分光棱镜10,所述成像组件11包括共光轴顺次设置的第一成像透镜12、第二成像透镜13和CCD14;
所述光源变倾角移相组件1出射倾斜的平行光,调整该平行光偏离光轴的角度,进入主干涉仪5;主干涉仪5中的参考光与测试光经第二分光棱镜10重新会合后,进入成像组件11;成像组件11中第一成像透镜12的后焦点与第二成像透镜13的前焦点重合,形成双远心光路,在CCD(14)靶面获得经参考光与测试光相干叠加后形成的干涉图。
所述光源变倾角移相组件1产生倾斜的平行光,使得入射到主干涉仪5中的光束存在倾角,测试光经过补偿件,在参考光与测试光之间引入光程差,从而在干涉图中引入移相量,最后通过成像组件11在CCD14上获得成像清晰的干涉图。由于光程差与入射光束的倾角有关,所以改变入射到主干涉仪5中的光束倾角,可以获取系列移相干涉图。其中:
(1)所述光源变倾角移相组件1用于产生倾角变化的平行光束;
所述光源变倾角移相组件1包括共光轴顺次设置的点光源2、准直物镜3和第一反射镜4;点光源2发出的球面波先经准直物镜3准直成平面波,再经第一反射镜4折转;
所述第一反射镜4的倾角可调,通过调整第一反射镜4的倾角改变入射到主干涉仪5中的光束倾角,从而改变参考光与测试光之间的光程差,最终改变干涉图中的移相量;当第一反射镜4与45°初始位置的偏转角度为θ/2,折转后的光束倾角为θ。
(2)所述主干涉仪5为马赫-曾德尔干涉仪,参考光和测试光经第二分光棱镜10会合后形成干涉场;
所述主干涉仪5包括共光轴设置的第一分光棱镜6、第二反射镜7、第三反射镜8、补偿板9和第二分光棱镜10;经光源变倾角移相组件1出射的倾角为θ的准直光进入到主干涉仪5,然后被第一分光棱镜6分成两路:一路光通过参考臂,即第二反射镜7;另一路光通过测试臂,即第三反射镜8和补偿板9;最后两路光再经第二分光棱镜10重新会合后,进入成像组件11;
调整光源变倾角移相组件1使进入到主干涉仪5的光束倾角为θ,测试光经过补偿板9后,引入的光程差Δ(θ)为:
其中,H为补偿板的厚度,n为补偿板的折射率。
在干涉图中引入的移相量δ(θ)为:
其中,k=2π/λ为波数,λ为波长。
(3)所述成像组件11用于将光源经参考臂与测试臂形成的干涉场成像到CCD14靶面上获取清晰的干涉图,并且CCD14靶面与补偿板9共轭。
所述成像组件11包括共光轴顺次设置的第一成像透镜12、第二成像透镜13和CCD14;所述第一成像透镜12的后焦点与第二成像透镜13的前焦点重合,形成双远心光路,经参考臂与测试臂后的一组参考光与测试光,分别经过第一成像透镜12会聚,然后经第二成像透镜13准直,在CCD14上获得成像清晰的干涉图。
所述第一成像透镜12的焦距f1与第二成像透镜13的焦距f2满足f1/f2≥D/L,其中,D为测试光束的口径,L为CCD14的靶面宽度。
所述CCD14的靶面与主干涉仪5中补偿板9共轭,CCD14的靶面与第二成像透镜13像方主面之间的间距l'为其中,lt为补偿板9到第一成像透镜12物方主面的距离。
本发明变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪的测量方法,包括以下步骤:
步骤1,光源变倾角移相组件产生与光轴平行的准直光,将补偿板置于主干涉仪中,调整补偿板的位置,在CCD上获得成像清晰的干涉图。
步骤2,调整第一反射镜使折转后的光束倾角发生变化,测试光经过补偿板引入不同光程差,在干涉图中引入不同移相量。
步骤3,采集到系列移相干涉图后,通过移相算法恢复相位。
实施例1
本发明变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置用于测量激光棒透射波前的光路结构如图2所示,其中:
1)光源变倾角移相组件1用于产生倾斜的平行光束。光源变倾角移相组件1包括共光轴顺次设置的点光源2、准直物镜3和第一反射镜4;点光源2发出的球面波先经准直物镜3准直,再经第一反射镜4折转,当第一反射镜4与45°初始位置的偏转角度为θ/2,折转后的光束倾角为θ;
2)主干涉仪5为马赫-曾德尔干涉仪,参考光和测试光经第二分光棱镜10会合后形成干涉场。主干涉仪5包括共光轴设置的第一分光棱镜6、第二反射镜7、第三反射镜8、补偿板9和第二分光棱镜10;经光源变倾角移相组件1出射的倾角为θ的准直光进入到主干涉仪5,然后被第一分光棱镜6分成两路:一路光通过参考臂,即第二反射镜7;另一路光通过测试臂,即第三反射镜8和补偿板9;最后两路光再经第二分光棱镜10重新会合后,进入成像组件11;
3)成像组件11用于将光源经参考臂与测试臂形成的干涉场成像到CCD14靶面上获取清晰的干涉图,并且CCD14靶面与补偿板9共轭。成像组件11包括共光轴顺次设置的第一成像透镜12、第二成像透镜13和CCD14;所述第一成像透镜12的后焦点与第二成像透镜13的前焦点重合,形成双远心光路,经参考臂与测试臂后的一组参考光与测试光,分别经过第一成像透镜12会聚,然后经第二成像透镜13准直,在CCD14上获得成像清晰的干涉图。第一成像透镜12的焦距f1与第二成像透镜13的焦距f2满足f1/f2≥D/L,其中,D为测试光束的口径,L为CCD14的靶面宽度。CCD14的靶面与主干涉仪5中补偿板9共轭,CCD14的靶面与第二成像透镜13像方主面之间的间距l'为其中,lt为补偿板9到第一成像透镜12物方主面的距离。
所述点光源异位式马赫-曾德尔干涉仪测量装置原理如下:
如图3所示,垂直入射的平行光经第一反射镜4折转,当第一反射镜4与45°初始位置的偏转角度为θ/2,根据几何光学基本原理,折转后的光束倾角为θ。
如图4所示,当入射到激光棒15端面的光束倾角为θ时,测试光经激光棒15后引入的光程差为:
其中,H为激光棒15的长度,n为激光棒15的折射率。
此时移相量δ(θ)为:
其中,k=2π/λ为波数,λ为波长。
使用变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置获得系列移相干涉图后,采用随机移相算法重构相位,恢复出激光棒15的透射波前。
使用上述变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量激光棒15透射波前的步骤为:
1)打开点光源2并待其稳定;
2)在马赫-曾德尔干涉仪光路的测试臂中放置激光棒15,打开计算机及干涉图数据处理软件,调出实时采集到的干涉条纹图;
3)调整第一反射镜4的角度,采集系列移相干涉图;
4)通过随机移相算法,对系列移相干涉图进行计算,恢复出激光棒15的透射波前。
综上所述,本发明变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置及方法,通过倾角可调的反射镜使入射到主干涉仪中的光束倾角发生变化,测试光经过补偿板后引入不同光程差,在干涉图中引入不同移相量,并通过获取的系列移相干涉图恢复相位。由于没有偏振元件以及PZT移相元件的引入,其成本低,结构紧凑,易于实现小型化。此外,测量装置调整方便,测试过程简单,更易实现。
Claims (7)
1.一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置,其特征在于,包括光源变倾角移相组件(1)、主干涉仪(5)和成像组件(11),所述光源变倾角移相组件(1)包括共光轴顺次设置的点光源(2)、准直物镜(3)和第一反射镜(4),所述主干涉仪(5)包括共光轴设置的第一分光棱镜(6)、第二反射镜(7)、第三反射镜(8)、补偿板(9)和第二分光棱镜(10),所述成像组件(11)包括共光轴顺次设置的第一成像透镜(12)、第二成像透镜(13)和CCD(14);
所述光源变倾角移相组件(1)出射倾斜的平行光,调整该平行光偏离光轴的角度,进入主干涉仪(5);主干涉仪(5)中的参考光与测试光经第二分光棱镜(10)重新会合后,进入成像组件(11);成像组件(11)中第一成像透镜(12)的后焦点与第二成像透镜(13)的前焦点重合,形成双远心光路,在CCD(14)靶面获得经参考光与测试光相干叠加后形成的干涉图。
2.根据权利要求1所述的变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置,其特征在于,所述光源变倾角移相组件(1)中第一反射镜(4)的倾角可调,通过调整第一反射镜(4)的倾角改变入射到主干涉仪(5)中的光束倾角,从而改变参考光与测试光之间的光程差,最终改变干涉图中的移相量;设定第一反射镜(4)与45°初始位置的偏转角度为θ/2,则折转后的光束倾角为θ。
3.根据权利要求1所述的变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置,其特征在于,所述主干涉仪(5)包括共光轴设置的第一分光棱镜(6)、第二反射镜(7)、第三反射镜(8)、补偿板(9)和第二分光棱镜(10),具体如下:
经光源变倾角移相组件(1)出射的倾角为θ的准直光进入到主干涉仪(5),然后被第一分光棱镜(6)分成两路:一路光通过参考臂,即第二反射镜(7);另一路光通过测试臂,即第三反射镜(8)和补偿板(9);最后两路光再经第二分光棱镜(10)重新会合后,进入成像组件(11)。
4.根据权利要求1、2或3所述的变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置,其特征在于,入射到主干涉仪(5)中的光束倾角为θ,测试光经过补偿板(9)后,引入的光程差Δ(θ)为:
其中,H为补偿板的厚度,n为补偿板的折射率;
在干涉图中引入的移相量δ(θ)为:
其中,k=2π/λ为波数,λ为波长。
5.根据权利要求1、2或3所述的变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置,其特征在于,所述第一成像透镜(12)的焦距f1与第二成像透镜(13)的焦距f2满足f1/f2≥D/L,其中,D为测试光束的口径,L为CCD(14)的靶面宽度。
6.根据权利要求1、2或3所述的变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置,其特征在于,所述CCD(14)的靶面与主干涉仪(5)中补偿板(9)共轭,CCD(14)的靶面与第二成像透镜(13)像方主面之间的间距l'为其中,lt为补偿板(9)到第一成像透镜(12)物方主面的距离,f1为第一成像透镜(12)的焦距,f2为第二成像透镜(13)的焦距。
7.一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1,光源变倾角移相组件(1)产生与光轴平行的准直光,将补偿板(9)置于主干涉仪(5)中,调整补偿板(9)的位置,在CCD(14)上获得成像清晰的干涉图;
步骤2,调整第一反射镜(4)使折转后的光束倾角发生变化,测试光经过补偿板(9)引入不同光程差,在干涉图中引入不同移相量;
步骤3,采集到系列移相干涉图后,通过移相算法恢复相位。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20181009 |
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