CN108571265B - 真空室密封气动门 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种真空室密封气动门，所述真空室开口处周边设置有弹性密封圈，所述密封气动门包括主门、辅门以及驱动所述主门和辅门上下移动的气缸，所述辅门两端分别设有竖直的导向装置，所述主门中心设有两相对设置的第一铰接架，两所述第一铰接架之间滑动连接有铰接头，所述辅门底部设有第二铰接架，所述第二铰接架铰接于所述铰接头，所述气缸活塞杆的端部设有第三铰接架，所述第三铰接架铰接于所述铰接头，所述铰接头包括铰接板和第一铰接杆，所述铰接板内设有第一铰接孔、第二铰接孔和第三铰接孔，所述第一铰接杆固定于所述第一铰接孔内，所述第二铰接架和第三铰接架分别固定于所述第二铰接孔和第三铰接孔。该真空室密封气动门密封效果好。

Description

真空室密封气动门

技术领域

本申请涉及高可靠性的精密机械领域，特别涉及一种真空室密封气动门。

背景技术

现有技术中用于真空室的密封机构复杂，操作困难，密封效果差，不满足实际需求。部分结构简单的密封机构，可靠性差，密封效果不好。故此需要提出改进。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空室密封气动门，以克服现有技术中的不足。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

本申请实施例公开了一种真空室密封气动门，所述真空室开口处周边设置有弹性密封圈，所述密封气动门包括主门、辅门以及驱动所述主门和辅门上下移动的气缸，所述辅门两端分别设有竖直的导向装置，所述主门中心设有两相对设置的第一铰接架，两所述第一铰接架之间滑动连接有铰接头，所述辅门底部设有第二铰接架，所述第二铰接架铰接于所述铰接头，所述气缸活塞杆的端部设有第三铰接架，所述第三铰接架铰接于所述铰接头，所述铰接头包括铰接板和第一铰接杆，所述铰接板内设有第一铰接孔、第二铰接孔和第三铰接孔，所述第一铰接杆固定于所述第一铰接孔内，所述第二铰接架和第三铰接架分别固定于所述第二铰接孔和第三铰接孔，所述主门靠近所述辅门的一侧端面至少设有两导向柱，所述辅门内设有与所述导向柱对应设置的导向套，所述导向套可滑动套设于所述导向柱。

优选的，在上述的真空室密封气动门中，所述铰接板包括一体成型的竖板和横板，所述第一铰接孔和第二铰接孔设置于所述竖板内，所述第二铰接孔设置于所述第一铰接孔的正上方，所述第三铰接孔设置于所述横板内，所述第三铰接孔与所述第二铰接孔设置于同一水平高度。

优选的，在上述的真空室密封气动门中，两相对设置的所述第一铰接架的相对端面内分别凹设有第一滑槽，所述第一铰接杆的两端分别可滑动设置于对应所述第一滑槽内。

优选的，在上述的真空室密封气动门中，所述辅门底部中心凹设有第一凹槽，所述第二铰接架固定于所述第一凹槽的顶壁，所述第二铰接架背离所述辅门的一端凸伸有两间隔设置的第一凸台，所述第一凸台内凹设有第二销接孔，所述第二铰接孔通过第二铰接杆铰接于所述第二销接孔，所述第二铰接架两端分别向外凸伸有第二凸台，所述第二凸台内凹设有第一沉孔，所述第一沉孔内设有连接于所述辅门的第一螺栓。

优选的，在上述的真空室密封气动门中，所述第三铰接架靠近所述气缸的一端中心凹设有螺纹孔，所述气缸的活塞杆连接于所述螺纹孔，所述第三铰接架背离所述气缸的一端凹设有第二凹槽，所述第三铰接孔通过第三铰接杆铰接于所述第二凹槽。

优选的，在上述的真空室密封气动门中，所述导向装置为光轴，所述导向装置的两端分别设置有固定座，所述辅门四角分别凸设有第三凸台，所述导向装置滑动贯穿于对应所述第三凸台。

优选的，在上述的真空室密封气动门中，所述导向装置与所述第三凸台之间设有直线轴承。

与现有技术相比，本发明的优点在于：该真空室密封气动门设置主门和辅门，配合特殊铰接头，利用杠杆原理，将主门完全贴合于真空室的开口处，密封效果好。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1所示为本发明具体实施例中真空室密封气动门的结构示意图。

图2所示为本发明具体实施例中真空室密封气动门的侧视图。

图3所示为本发明具体实施例中主门的结构示意图。

图4所示为本发明具体实施例中辅门的结构示意图。

图5所示为本发明具体实施例中铰接头的结构示意图。

图6所示为本发明具体实施例中铰接板的结构示意图。

图7所示为本发明具体实施例中第一铰接架的结构示意图。

图8所示为本发明具体实施例中第二铰接架的结构示意图。

图9所示为本发明具体实施例中第三铰接架和第三铰接杆的装配示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

参图1至图9所示，本实施例中的真空室密封气动门，真空室100开口处周边设置有弹性密封圈200，密封气动门包括主门300、辅门400以及驱动主门和辅门上下移动的气缸500，辅门400两端分别设有竖直的导向装置600，主门中心设有两相对设置的第一铰接架310，两第一铰接架310之间滑动连接有铰接头700，辅门400底部设有第二铰接架410，第二铰接架410铰接于铰接头700，气缸500活塞杆的端部设有第三铰接架510，第三铰接架510铰接于铰接头700，铰接头700包括铰接板710和第一铰接杆720，铰接板710内设有第一铰接孔711、第二铰接孔712和第三铰接孔713，第一铰接杆720固定于第一铰接孔711内，第二铰接架410和第三铰接架510分别固定于第二铰接孔712和第三铰接孔713，主门300靠近辅门400的一侧端面至少设有两导向柱320，辅门400内设有与导向柱320对应设置的导向套420，导向套可滑动套设于导向柱。

该技术方案中，实际应用中，导向装置和气缸固定于外部支架，只要满足和真空室的相对关系即可，不局限于某一种形式；主门关闭过程：气缸的活塞杆向下伸出，带动辅门和主门一起沿导向装置向下移动，当辅门移动到最低位置时，气缸的活塞杆继续向下伸长，此时辅门停止移动，铰接头以第二铰接杆为转轴发生转动，第一铰接杆在第一滑槽内滑动，并抵持于主门表面推动主门向真空室方向移动，直至主门将真空室密封，主门和辅门之间导轨导向柱和导向套连接，保证主门的移动方向；该真空室密封气动门设置主门和辅门，配合特殊铰接头，利用杠杆原理，将主门完全贴合于真空室的开口处，密封效果好。

进一步地，铰接板710包括一体成型的竖板和横板，第一铰接孔711和第二铰接孔712设置于竖板内，第二铰接孔712设置于第一铰接孔711的正上方，第三铰接孔713设置于横板内，第三铰接孔713与第二铰接孔712设置于同一水平高度。

该技术方案中，竖板和横板之间以第二铰接孔为支点形成杠杆，铰接板各拐角出圆滑过渡，避免在转动过程中与主门、第二铰接架以及第三铰接架发生干涉。

进一步地，两相对设置的第一铰接架310的相对端面内分别凹设有第一滑槽311，第一铰接杆720的两端分别可滑动设置于对应第一滑槽内。

该技术方案中，第一铰接杆720的两端分别可滑动设置于对应第一滑槽内，在铰接头转动过程中抵持于主门表面推动主门向真空室方向移动，第一铰接杆滑动设置于第一滑槽内，避免主门受到向上的力或铰接板不能转动。

进一步地，辅门400底部中心凹设有第一凹槽430，第二铰接架410固定于第一凹槽的顶壁，第二铰接架410背离辅门400的一端凸伸有两间隔设置的第一凸台411，第一凸台内凹设有第二销接孔412，第二铰接孔712通过第二铰接杆413铰接于第二销接孔，第二铰接架410两端分别向外凸伸有第二凸台414，第二凸台内凹设有第一沉孔，第一沉孔内设有连接于辅门400的第一螺栓。

该技术方案中，铰接头以第二铰接杆为转轴，实现转动，形成杠杆结构，推动主门移动，同时辅门靠近主门的一侧端面内凹设有一平面，用于安装导向套，避免导向套突出于辅门而干涉主门。

进一步地，第三铰接架510靠近气缸500的一端中心凹设有螺纹孔511，气缸500的活塞杆连接于螺纹孔，第三铰接架510背离气缸500的一端凹设有第二凹槽512，第三铰接孔713通过第三铰接杆513铰接于第二凹槽。

该技术方案中，第三铰接架将气缸的活塞杆和铰接头连接在一起，气缸作为主门和辅门移动的动力源，结构简单。

进一步地，导向装置600为光轴，导向装置600的两端分别设置有固定座610，辅门400四角分别凸设有第三凸台440，导向装置600滑动贯穿于对应第三凸台。

该技术方案中，导向装置保证主门和辅门上下移动的直线度。

进一步地，导向装置600与第三凸台之间设有直线轴承450。

该技术方案中，直线轴承保证辅门滑动顺畅，减小摩擦，提高光轴和辅门的使用寿命。

综上所述，该真空室密封气动门设置主门和辅门，配合特殊铰接头，利用杠杆原理，将主门完全贴合于真空室的开口处，密封效果好。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (5)

1.一种真空室密封气动门，其特征在于，所述真空室开口处周边设置有弹性密封圈，所述密封气动门包括主门、辅门以及驱动所述主门和辅门上下移动的气缸，所述辅门两端分别设有竖直的导向装置，所述主门中心设有两相对设置的第一铰接架，两所述第一铰接架之间滑动连接有铰接头，所述辅门底部设有第二铰接架，所述第二铰接架铰接于所述铰接头，所述气缸活塞杆的端部设有第三铰接架，所述第三铰接架铰接于所述铰接头，所述铰接头包括铰接板和第一铰接杆，所述铰接板内设有第一铰接孔、第二铰接孔和第三铰接孔，所述第一铰接杆固定于所述第一铰接孔内，所述第二铰接架和第三铰接架分别固定于所述第二铰接孔和第三铰接孔，所述主门靠近所述辅门的一侧端面至少设有两导向柱，所述辅门内设有与所述导向柱对应设置的导向套，所述导向套可滑动套设于所述导向柱，所述铰接板包括一体成型的竖板和横板，所述第一铰接孔和第二铰接孔设置于所述竖板内，所述第二铰接孔设置于所述第一铰接孔的正上方，所述第三铰接孔设置于所述横板内，所述第三铰接孔与所述第二铰接孔设置于同一水平高度，两相对设置的所述第一铰接架的相对端面内分别凹设有第一滑槽，所述第一铰接杆的两端分别可滑动设置于对应所述第一滑槽内。

2.根据权利要求1所述的真空室密封气动门，其特征在于：所述辅门底部中心凹设有第一凹槽，所述第二铰接架固定于所述第一凹槽的顶壁，所述第二铰接架背离所述辅门的一端凸伸有两间隔设置的第一凸台，所述第一凸台内凹设有第二销接孔，所述第二铰接孔通过第二铰接杆铰接于所述第二销接孔，所述第二铰接架两端分别向外凸伸有第二凸台，所述第二凸台内凹设有第一沉孔，所述第一沉孔内设有连接于所述辅门的第一螺栓。

3.根据权利要求1所述的真空室密封气动门，其特征在于：所述第三铰接架靠近所述气缸的一端中心凹设有螺纹孔，所述气缸的活塞杆连接于所述螺纹孔，所述第三铰接架背离所述气缸的一端凹设有第二凹槽，所述第三铰接孔通过第三铰接杆铰接于所述第二凹槽。

4.根据权利要求1所述的真空室密封气动门，其特征在于：所述导向装置为光轴，所述导向装置的两端分别设置有固定座，所述辅门四角分别凸设有第三凸台，所述导向装置滑动贯穿于对应所述第三凸台。

5.根据权利要求4所述的真空室密封气动门，其特征在于：所述导向装置与所述第三凸台之间设有直线轴承。