CN108490744B - Uv-led光学系统及曝光机 - Google Patents
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Abstract
本发明UV‑LED光学系统包括发出紫外光的UV‑LED光源组件、接收并透射UV‑LED光源组件发出的所述紫外光的及接收并反射经过所述复眼匀光组件匀化的紫外光的曲面镜，所述曲面镜将接收的紫外光反射至底片表面以进行图形转移；所述复眼匀光组件包括至少两个复眼镜片，所述两个复眼镜片之间的距离可调；本发明可以满足不同尺寸的曲面镜，不同的曝光面积，只需要更改复眼匀光组件即可实现。
Description
技术领域
本发明涉及光学技术领域，特别是涉及一种UV-LED光学系统及具有该UV-LED光学系统的曝光机。
背景技术
印刷电路板(Printed Circuit Board，PCB)，又称印刷电路板或印刷线路板，是重要的电子部件，是电子元器件的支撑体，是电子元器件电气连接的提供者。由于它是采用电子印刷术制作的，故被称为“印刷”电路板。
印刷电路板在生产过程中需要经过多道工序才能得到最后的产品，其中，一个重要工序就是利用光学曝光的方法进行底片与印刷电路板间的图像转移，而曝光机是实现图像转移的关键设备，印刷电路板的质量、精度等关键指标很大程度上取决于曝光质量。在曝光机的有效曝光面积内，紫外线的平行度、能量均匀度等决定了系统的曝光质量。当然，除了在印刷电路板需要光学曝光之外，半导体领域中的其他大量产品也需要用到曝光系统。
请参阅图1，传统的平行光曝光机一般采用高压汞灯作为光源，光能量从汞灯11射出，进入反光杯12，汞灯11发出的紫外光经反光杯12准直后，因汞灯本身的光谱范围广，除了发射紫外光外，还伴生大量的红外线，热量很高，所以需要先经过平面玻璃13进行滤光。因汞灯装置本身尺寸比较大，经过平面玻璃13过滤后的紫外光，需由平面玻璃14改变光的出射方向进入复眼15。复眼15的主要作用是匀化，将单个集中的光源点分散成N多个光源点。匀化后的紫外光投射到曲镜系统16，通过曲镜16反射的紫外线以近乎垂直的角度投射到掩膜板17，紫外光透过掩膜板17即可作用在PCB工件上，最终完成曝光。传统的平行光曝光机因为高压汞灯本身的特性，存在的缺陷较多，比如，汞灯的光转化效率低、能耗高，光谱范围广，发热大导致高温对PCB工件的影响明显，灯具自身寿命短，环境污染严重等等。使用节能环保的新型LED光源是大势所趋。随着技术的发展，UV-LED的光谱更窄，发热量更小，寿命更高，并且环保、对环境友好。
近年来，UV-LED的曝光系统也发展成多种多样，有UV-LED扫描式平行光系统，有UV-LED直下式曝光系统。但这些设计对于传统曝光机光路的改变比较大，改造成本较高，对于平行光垂直度的控制也比较困难。因此，在实际生产中，需要一种替换成本低廉，可以灵活组合，具有高度适应性的光学系统及曝光机。
发明内容
本发明的主要目的之一在于克服现有技术的以上缺点和不足，提供一种UV-LED光学系统。
一种UV-LED光学系统，用于图形转移，包括发出紫外光的UV-LED光源组件、接收并透射UV-LED光源组件发出的所述紫外光的及接收并反射经过所述复眼匀光组件匀化的紫外光的曲面镜，所述曲面镜将接收的紫外光反射至底片表面以进行图形转移；所述复眼匀光组件包括至少两个复眼镜片，所述两个复眼镜片之间的距离可调。
在其中一个实施例中，还包括有平面光学镜，所述平面光学镜接收所述复眼匀光组件匀化射出的紫外光并用于透射和/或者反射所述紫外光。
在其中一个实施例中，所述平面光学镜为全透射镜，所述曲面镜包括第一曲面镜，所述第一曲面镜设于所述底片的正面上方；所述平面光学镜与所述底片的表面相互平行，所述UV-LED光源组件、复眼匀光组件、平面光学镜及第一曲面镜的中心点位于同一直线上，所述第一曲面镜接收所述平面光学镜透射出的紫外光并反射所述紫外光至底片。
在其中一个实施例中，所述平面光学镜为全反射镜，所述曲面镜包括第二曲面镜，所述第二曲面镜设于所述底片的正面下方；所述平面光学镜与所述底片的表面相互平行，所述UV-LED光源组件、复眼匀光组件和平面光学镜的中心点位于同一直线上，所述第二曲面镜接收所述平面光学镜透射出的紫外光并反射所述紫外光至底片。
在其中一个实施例中，所述平面光学镜为二向色镜，所述平面光学镜接收所述复眼匀光组件匀化射出的紫外光并用于透射和反射所述紫外光；所述曲面镜包括第一曲面镜和第二曲面镜，所述第一曲面镜和第二曲面镜为对称设置于所述底片的正反两侧；所述平面光学镜与所述底片的表面相互平行，所述UV-LED光源组件、复眼匀光组件、平面光学镜及第一曲面镜的中心点位于同一直线上，所述第一曲面镜和第二曲面镜将分别接收的所述紫外光反射并垂直入射到所述底片。
在其中一个实施例中，所述复眼匀光组件包括入射镜片、出射镜片和若干距离调节结构，所述入射镜片和出射镜片平行设置，所述若干距离调节结构使得入射镜片和出射镜片平行移动，所述距离调节结构由连接杆和调节杆组成，所述连接杆内设置有滑槽，所述调节杆在所述滑槽内可移动，所述距离调节结构的两端分别设置在所述入射镜片和出射镜片的侧面。
在其中一个实施例中，所述复眼镜片包括基体和若干透镜，所述若干透镜通过粘胶的方式连接之后固定在所述基体上。
在其中一个实施例中，所述UV-LED光源组件包括UV-LED光源、光学透镜、铝基板、导热板及散热器，所述光学透镜罩设在所述UV-LED光源上，所述UV-LED光源设在所述铝基板上，所述铝基板下方设有所述导热板，所述导热板与所述散热器连接。
在其中一个实施例中，所述散热器包括上盖、下盖及设在上盖和下盖中部用于循环水通过的中空部。
在其中一个实施例中，所述透镜的表面镀有增透膜。
本发明的主要目的之二在于克服现有技术的以上缺点和不足，提供一种包含UV-LED光学系统的曝光机。
一种曝光机，包括UV-LED光学系统，所述UV-LED光学系统包括发出紫外光的UV-LED光源组件、接收并透射UV-LED光源组件发出的所述紫外光的及接收并反射经过所述复眼匀光组件匀化的紫外光的曲面镜，所述曲面镜将接收的紫外光反射至底片表面以进行图形转移；所述复眼匀光组件包括至少两个复眼镜片，所述两个复眼镜片之间的距离可调。
本发明UV-LED光学系统包括发出紫外光的UV-LED光源组件、接收并透射UV-LED光源组件发出的所述紫外光的复眼匀光组件及接收并反射经过所述复眼匀光组件匀化的紫外光的曲面镜，所述曲面镜将接收的紫外光反射至底片表面以进行图形转移；本发明中UV-LED光源发出的紫外光经过光学透镜准直之后，由入射镜片进入复眼匀光组件，经过出射镜片调节之后出射，准直后的紫外光经过入射镜片后，紫外光线会变得均匀，通过出射镜片后，会更进一步匀化。经过复眼匀光组件匀化后的紫外光投射在曲面镜后，会以接近垂直的角度照射在底片上，从而完成图形转移。本发明可以满足不同尺寸的曲面镜，不同的曝光面积，只需要更改复眼匀光组件的大小和距离即可实现，具有高度的灵活性。如只是改造传统的平行光曝光机，只需更改小部分光学系统即可，具有改造成本低、适配灵活的特点。在本发明中灯具的整体尺寸很小，非常节省空间。
附图说明
图1为现有技术光学系统的结构示意图；
图2为本发明UV-LED光学系统第一实施例的示意图；
图3为本发明UV-LED光学系统第二实施例的示意图；
图4为本发明UV-LED光学系统中UV-LED光源组件的示意图；
图5为本发明UV-LED光学系统中复眼匀光组件的示意图。
具体实施方式
为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施方式。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本发明的公开内容理解的更加透彻全面。
需要说明的是，当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
实施例一
请参阅图2，本发明提供的一种UV-LED光学系统，用于图形转移，包括发出紫外光的UV-LED光源组件1、接收并透射UV-LED光源组件1发出的所述紫外光的复眼匀光组件2及接收并反射经过所述复眼匀光组件2匀化的紫外光的曲面镜3，所述曲面镜3将接收的紫外光反射至底片4表面以进行图形转移。
请参阅图3，进一步地，UV-LED光源组件1包括UV-LED光源11、光学透镜12、铝基板13、导热板14及散热器15，所述光学透镜12罩设在所述UV-LED光源11上，所述UV-LED光源11设在所述铝基板13上，所述铝基板13下方设有所述导热板14，所述导热板14与所述散热器15连接。
进一步地，以水冷的散热方式来详细说明，所述散热器15包括上盖151、下盖152及设在上盖151和下盖152中部用于循环水通过的中空部(图未示)。所述散热器15两端连接有入水管52和出水管53，所述入水管52和出水管53之间设有水冷机箱51，所述中空部与入水管52和出水管53连通。本实施例以单组循环为例，水冷机箱51具备温度调节能力，并设置温度传感器，实时监测入水管52和出水管53的水温。例如，如果入水管52的水温过高会自动报警；如果出水管53的温度超过某个限值，水冷机箱51调低温度。
当然，散热方式不限于水冷，也可以是风冷，在散热器15底部设置散热片进行散热，在此不再赘述。
请参阅图4，进一步地，所述导热板14的材质为铜，所述上盖151的上表面积大于导热板14的上表面积，所述导热板14的上表面积大于铝基板13的上表面积，此种设计有利于UV-LED光源11散热。
进一步地，所述铝基板12作为支撑UV-LED光源11的载体，上面布满电子线路，具体电路状况不展开叙述。UV-LED光源11是通过锡膏焊接的方式固定在铝基板12表面。UV-LED光源11和光学透镜12之间的距离是可调的，可以根据实际需要调节远近。
UV-LED光源11的选择，有很多种方式，UV-LED光源11光源的芯片可以是正装的，也可以是倒装的，也可以是共晶焊的。UV-LED光源11可以是单颗或多颗集成，在封装过程中可带有一次配光的光学透镜(图未示)，也可以光源的上部仅仅设一块平面玻璃作为防护。
进一步地，所述光学透镜12也有多种形式，可以是单颗、2颗或者以上数量的透镜组合。光学透镜12为凸透镜或者凹透镜。请参阅图2，本实施例以自由曲面的单颗光学透镜来进行示例。
进一步地，所述复眼匀光组件2包括至少两个复眼镜片。请参阅图5，本实施例以两个复眼镜片进行说明，所述两个复眼镜片为入射镜片21和出射镜片22，所述入射镜片21和出射镜片22平行设置，所述入射镜片21和出射镜片22之间设有距离调节结构23，入射镜片21和出射镜片22分别由若干透镜(212，222)组成，所述入射镜片21和出射镜片22可以相同也可以不同，所述入射镜片21和出射镜片22之间的距离通过距离调节结构23调节。所述入射镜片21的表面积大于出射镜片22的表面积。
其中，所述入射镜片21和出射镜片22分别包括基体(211，221)，所述若干透镜(212，222)通过粘胶的方式连接之后固定在所述基体(211，221)上。所述基体(211，221)为金属框架，所述透镜(212，222)之间粘结的胶体需要满足耐高温，耐高强度紫外线照射的要求。
其中，所述距离调节结构23由连接杆231和调节杆232组成，所述连接杆231内设置有滑槽233，所述调节杆232在所述滑槽233内可移动，所述连接杆231一端固定在所述入射镜片21的侧面，所述调节杆232一端固定在所述出射镜片22的侧面。
其中，距离调节结构23具备精确控制，可以满足0.1mm的距离变化要求。假设实际使用的是两片完全相同的入射镜片21和出射镜片22，工件要求的尺寸面积较大，可以将出射镜片22往入射镜片21方向调整。为满足不同的均匀度要求，对入射镜片21和出射镜片22的透镜(212，222)的数量以及排列也有要求。在本实施例中，出射镜片22和入射镜片21并不相同，出射镜片22的透镜222排列数量、排列方式、具体形状都和入射镜片21不同。这会衍生出更丰富的效果，如果需要提高均匀度，可以调整出射镜片的数量；如果需要满足更小尺寸的曝光面积，可以改变单颗透镜(212，222)的形状；如果要满足不同的能量要求，可以变更入射镜片21和出射镜片22的距离。
其中，所述透镜(212，222)的结构为矩形、方形、平凸、双凸或圆形中的一种。
其中，为了提高透镜(212，222)的透光率，所述透镜(212，222)的表面镀有增透膜(图未示)。
进一步地，所述曲面镜3一般用玻璃研磨成型，在曲面镜3表面镀高反射膜，此反射膜并不吸收紫外光，反射效率一般在95％以上。
本发明UV-LED光源11发出的紫外光经过光学透镜12准直之后，由入射镜片21进入复眼匀光组件2，经过出射镜片22调节之后出射，准直后的紫外光经过入射镜片21后，紫外光线会变得均匀，通过出射镜片22后，会更进一步匀化。经过复眼匀光组件2匀化后的紫外光投射在曲面镜3后，会以接近垂直的角度照射在底片4上，从而完成图形转移。所述底片4为掩模版。
通常曲面镜3都是从原有的平行光曝光机中保留下来。不同的曝光尺寸和作业机型，曲面镜3的大小和形状均有区别，曲面镜3大小和曝光尺寸基本成正比关系。
本发明可以满足不同尺寸的曲面镜3，不同的曝光面积，只需要更改复眼匀光组件2即可实现，具有高度的灵活性。如只是改造传统的平行光曝光机，只需更改小部分光学系统即可，具有改造成本低、适配灵活的特点。在本发明中灯具的整体尺寸很小，非常节省空间。
本发明还提供了包含UV-LED光学系统的曝光机。在本发明的描述中，只是以单面曝光为例。实际如果是双面曝光，仅仅是多复制一次光学系统，紫外光分上下两个方向照向底片，原理一样。
实施例二
请参阅图3，本发明提供的一种UV-LED光学系统，用于图形转移，包括发出紫外光的UV-LED光源组件1、接收并透射UV-LED光源组件1发出的所述紫外光的复眼匀光组件2、接收所述复眼匀光组件2匀化射出的紫外光并用于透射和/或者反射所述紫外光的平面光学镜6及接收并反射经过所述平面光学镜6射出紫外光的曲面镜3，所述曲面镜3将接收的紫外光反射至底片4表面以进行图形转移。所述底片4为掩模版。
其中，所述平面光学镜6为全透射镜，所述曲面镜3包括第一曲面镜3a，所述第一曲面镜3a设于所述底片4的正面上方；所述平面光学镜6与所述底片4的表面相互平行，所述UV-LED光源组件1、复眼匀光组件2、平面光学镜6及第一曲面镜3a的中心点位于同一直线上，所述第一曲面镜3a接收所述平面光学镜6透射出的紫外光并反射所述紫外光至底片4。
其中，所述平面光学镜6为全反射镜，所述曲面镜包括第二曲面镜3b，所述第二曲面镜3b设于所述底片4的正面下方；所述平面光学镜6与所述底片4的表面相互平行，所述UV-LED光源组件1、复眼匀光组件2和平面光学镜6的中心点位于同一直线上，所述第二曲面镜3b接收所述平面光学镜6透射出的紫外光并反射所述紫外光至底片4。
其中，所述平面光学镜6为二向色镜，所述平面光学镜6接收所述复眼匀光组件2匀化射出的紫外光并用于透射和反射所述紫外光；所述曲面镜3包括第一曲面镜3a和第二曲面镜3b，所述第一曲面镜3a和第二曲面镜3b为对称设置于所述底片4的正反两侧；所述平面光学镜6与所述底片4的表面相互平行，所述UV-LED光源组件1、复眼匀光组件2、平面光学镜6及第一曲面镜3a的中心点位于同一直线上，所述第一曲面镜3a和第二曲面镜3b将分别接收的所述紫外光反射并垂直入射到所述底片4。通过二向色镜平面光学镜6可以实现双面曝光，很大程度上提高了工作效率。
请参阅图4，进一步地，UV-LED光源组件1包括UV-LED光源11、光学透镜12、铝基板13、导热板14及散热器15，所述光学透镜12罩设在所述UV-LED光源11上，所述UV-LED光源11设在所述铝基板13上，所述铝基板13下方设有所述导热板14，所述导热板14与所述散热器15连接。UV-LED光源组件1的结构与实施例相同，不再赘述。
进一步地，所述复眼匀光组件2包括至少两个复眼镜片。请参阅图5，本实施例以两个复眼镜片进行说明，所述两个复眼镜片为入射镜片21和出射镜片22，所述入射镜片21和出射镜片22之间设有距离调节结构23，入射镜片21和出射镜片22分别由若干透镜(212，222)组成，所述入射镜片21和出射镜片22可以相同也可以不同，所述入射镜片21和出射镜片22之间的距离通过距离调节结构23调节。所述入射镜片21的表面积大于出射镜片22的表面积。
其中，所述入射镜片21和出射镜片22分别包括基体(211，221)，所述若干透镜(212，222)通过粘胶的方式连接之后固定在所述基体(211，221)上。所述基体(211，221)为金属框架，所述透镜(212，222)之间粘结的胶体需要满足耐高温，耐高强度紫外线照射的要求。
其中，所述距离调节结构23由连接杆231和调节杆232组成，所述连接杆231内设置有滑槽233，所述调节杆232在所述滑槽233内可移动，所述连接杆231一端固定在所述入射镜片21的侧面，所述调节杆232一端固定在所述出射镜片22的侧面。
其中，距离调节结构23具备精确控制，可以满足0.1mm的距离变化要求。假设实际使用的是两片完全相同的入射镜片21和出射镜片22，工件要求的尺寸面积较大，可以将出射镜片22往入射镜片21方向调整。为满足不同的均匀度要求，对入射镜片21和出射镜片22的透镜(212，222)的数量以及排列也有要求。在本实施例中，出射镜片22和入射镜片21并不相同，出射镜片22的透镜222排列数量、排列方式、具体形状都和入射镜片21不同。这会衍生出更丰富的效果，如果需要提高均匀度，可以调整出射镜片的数量；如果需要满足更小尺寸的曝光面积，可以改变单颗透镜(212，222)的形状；如果要满足不同的能量要求，可以变更入射镜片21和出射镜片22的距离。
本发明可以满足不同尺寸的曲面镜3，不同的曝光面积，只需要更改复眼匀光组件2即可实现，具有高度的灵活性。如只是改造传统的平行光曝光机，只需更改小部分光学系统即可，具有改造成本低、适配灵活的特点。在本发明中灯具的整体尺寸很小，非常节省空间。
本发明还提供了包含UV-LED光学系统的曝光机。所述曝光机包括发出紫外光的UV-LED光源组件1、接收并透射UV-LED光源组件1发出的所述紫外光的复眼匀光组件2、接收所述复眼匀光组件2匀化射出的紫外光并用于透射和/或者反射所述紫外光的平面光学镜6及接收并反射经过所述平面光学镜6射出紫外光的曲面镜3，所述曲面镜3将接收的紫外光反射至底片4表面以进行图形转移。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (9)
1.一种UV-LED光学系统，用于图形转移，其特征在于，包括发出紫外光的UV-LED光源组件、接收并透射UV-LED光源组件发出的所述紫外光的及接收并反射经过复眼匀光组件匀化的紫外光的曲面镜，所述曲面镜将接收的紫外光反射至底片表面以进行图形转移；所述复眼匀光组件包括至少两个复眼镜片，所述两个复眼镜片之间的距离可调；所述复眼匀光组件包括入射镜片、出射镜片和若干距离调节结构，所述入射镜片和出射镜片平行设置，所述若干距离调节结构使得入射镜片和出射镜片平行移动，所述距离调节结构由连接杆和调节杆组成，所述连接杆内设置有滑槽，所述调节杆在所述滑槽内可移动，所述距离调节结构的两端分别设置在所述入射镜片和出射镜片的侧面；所述出射镜片的数量不小于1，所述出射镜片往入射镜片方向调整；所述出射镜片的透镜排列数量、排列方式、具体形状和所述入射镜片的透镜排列数量、排列方式、具体形状不同，所述出射镜片的数量可调。
2.根据权利要求1所述的UV-LED光学系统，其特征在于：还包括有平面光学镜，所述平面光学镜接收所述复眼匀光组件匀化射出的紫外光并用于透射和/或者反射所述紫外光。
3.根据权利要求2所述的UV-LED光学系统，其特征在于：所述平面光学镜为全透射镜，所述曲面镜包括第一曲面镜，所述第一曲面镜设于所述底片的正面上方；所述平面光学镜与所述底片的表面相互平行，所述UV-LED光源组件、复眼匀光组件、平面光学镜及第一曲面镜的中心点位于同一直线上，所述第一曲面镜接收所述平面光学镜透射出的紫外光并反射所述紫外光至底片。
4.根据权利要求2所述的UV-LED光学系统，其特征在于：所述平面光学镜为全反射镜，所述曲面镜包括第二曲面镜，所述第二曲面镜设于所述底片的正面下方；所述平面光学镜与所述底片的表面相互平行，所述UV-LED光源组件、复眼匀光组件和平面光学镜的中心点位于同一直线上，所述第二曲面镜接收所述平面光学镜透射出的紫外光并反射所述紫外光至底片。
5.根据权利要求2所述的UV-LED光学系统，其特征在于：所述平面光学镜为二向色镜，所述平面光学镜接收所述复眼匀光组件匀化射出的紫外光并用于透射和反射所述紫外光；所述曲面镜包括第一曲面镜和第二曲面镜，所述第一曲面镜和第二曲面镜为对称设置于所述底片的正反两侧；所述平面光学镜与所述底片的表面相互平行，所述UV-LED光源组件、复眼匀光组件、平面光学镜及第一曲面镜的中心点位于同一直线上，所述第一曲面镜和第二曲面镜将分别接收的所述紫外光反射并垂直入射到所述底片。
6.根据权利要求1所述的UV-LED光学系统，其特征在于：所述复眼镜片包括基体和若干透镜，所述若干透镜通过粘胶的方式连接之后固定在所述基体上。
7.根据权利要求1所述的UV-LED光学系统，其特征在于：所述UV-LED光源组件包括UV-LED光源、光学透镜、铝基板、导热板及散热器，所述光学透镜罩设在所述UV-LED光源上，所述UV-LED光源设在所述铝基板上，所述铝基板下方设有所述导热板，所述导热板与所述散热器连接。
8.根据权利要求7所述的UV-LED光学系统，其特征在于：所述散热器包括上盖、下盖及设在上盖和下盖中部用于循环水通过的中空部。
9.一种曝光机，包括UV-LED光学系统，其特征在于：所述UV-LED光学系统包括发出紫外光的UV-LED光源组件、接收并透射UV-LED光源组件发出的所述紫外光的及接收并反射经过复眼匀光组件匀化的紫外光的曲面镜，所述曲面镜将接收的紫外光反射至底片表面以进行图形转移；所述复眼匀光组件包括至少两个复眼镜片，所述两个复眼镜片之间的距离可调；所述复眼匀光组件包括入射镜片、出射镜片和若干距离调节结构，所述入射镜片和出射镜片平行设置，所述若干距离调节结构使得入射镜片和出射镜片平行移动，所述距离调节结构由连接杆和调节杆组成，所述连接杆内设置有滑槽，所述调节杆在所述滑槽内可移动，所述距离调节结构的两端分别设置在所述入射镜片和出射镜片的侧面；所述出射镜片的数量不小于1，所述出射镜片往入射镜片方向调整；所述出射镜片的透镜排列数量、排列方式、具体形状和所述入射镜片的透镜排列数量、排列方式、具体形状不同，所述出射镜片的数量可调。
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