CN108413952B - 半球谐振子模态轴及品质因数检测装置 - Google Patents

半球谐振子模态轴及品质因数检测装置 Download PDF

Info

Publication number
CN108413952B
CN108413952B CN201711339864.6A CN201711339864A CN108413952B CN 108413952 B CN108413952 B CN 108413952B CN 201711339864 A CN201711339864 A CN 201711339864A CN 108413952 B CN108413952 B CN 108413952B
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode
harmonic oscillator
hemispherical
detection
quality factor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201711339864.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108413952A (zh
Inventor
魏超
关宇美
张志刚
刘朝霞
杨明
张娟娟
蒋苏丹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Aerospace Control Instrument Institute
Original Assignee
Beijing Aerospace Control Instrument Institute
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Aerospace Control Instrument Institute filed Critical Beijing Aerospace Control Instrument Institute
Priority to CN201711339864.6A priority Critical patent/CN108413952B/zh
Publication of CN108413952A publication Critical patent/CN108413952A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108413952B publication Critical patent/CN108413952B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C25/00—Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass

Abstract

本发明公开了一种半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，机电一体化技术领域。所述装置包括电极组件、支撑组件和信号采集装置，所述支撑组件用于支撑所述半球谐振子的中心杆，所述电极组件包括一对激励电极用于给所述半球谐振子加载激励使其振动，所述信号采集装置用于采集所述振动信息，以根据所述振动信息确定半球谐振子模态轴及品质因数。本发明提供的装置无需将半球谐振子装配成陀螺即可实现对半球谐振子模态轴和品质因数的检测，可以根据检测结果确定半球谐振子陀螺仪的装配方案。

Description

半球谐振子模态轴及品质因数检测装置
技术领域
本发明涉及一种半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，属于机电一体化技术领域。
背景技术
在国防武器装备技术体系中，惯性技术是导航定位、制导控制、稳瞄稳像、姿态测量和过载传感等的核心技术。惯性仪表是惯性技术的基础，陀螺仪的技术状态和水平是制约惯性技术研究内容的核心。金属振动陀螺仪是近年发展起来的一种新型固体陀螺仪，其具有结构简单、成本低、性能稳定、体积小、重量轻和可靠性高等特点，越来越受到组合惯导、天线稳定、角速率测量等民用领域和军事领域的重视。
金属半球谐振子是半球谐振陀螺仪的核心敏感部件，谐振子是由低膨胀恒弹合金材料精密加工而成，具有较高的尺寸和振动稳定性。相对于石英半球谐振子，金属半球谐振子的加工相对简单，成品率高，易形成大规模生产，且不需要特殊的设备，现代化的加工中心就能满足这些要求，但由于设备和加工工艺等误差因素，实际的谐振子和理想的对称形状总存在一些偏差，其直接表现为四波腹工作模态频率分裂，模态轴沿谐振子径向固定，反映到陀螺仪的输出中为一个慢变的正弦噪声漂移。一般的，加工完成的谐振子其频差都不满足使用要求，需要通过调谐减小谐振子的频差，而模态轴位置的确定是谐振子调谐的关键步骤，谐振子在装配成陀螺仪之前需要进行调谐，而在模态轴位置未知的情况下进行调谐会增加调谐步骤，延长调谐时间，目前仅能将谐振子装配成陀螺仪后，通过输出信号确定其模态轴位置，调谐难度大，实现困难。
发明内容
本发明解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，通过设置支撑组件支撑半球谐振子的中心杆，通过设置激励电极使半球谐振子振动，通过信号采集装置采集半球谐振子的振动信号，从而根据所述振动信号确定半球谐振子模态轴及品质因数，该方法无需将半球谐振子装配成陀螺仪即可实现对半球谐振子模态轴和品质因数的检测，可以根据检测结果确定半球谐振陀螺仪的装配方案。
本发明的技术解决方案为：
一种半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，其特征在于，包括电极组件、支撑组件和信号采集装置，所述支撑组件用于支撑所述半球谐振子的中心杆，所述电极组件包括一对激励电极用于给所述半球谐振子加载激励使其振动，所述信号采集装置用于采集所述振动信息，以根据所述振动信息确定半球谐振子模态轴及品质因数。
在一可选实施例中，所述激励电极具有弧形面，一对所述激励电极的弧形面共球面。
在一可选实施例中，所述信号采集装置包括激光传感器，用于测量所述半球谐振子的振动位移。
在一可选实施例中，所述电极组件还包括一对第一检测电极和一对第二检测电极，所述第一检测电极和第二检测电极用于检测所述半球谐振子不同角度的振动信息，所述信号采集装置包括示波器，用于采集所述第一检测电极和第二检测电极检测到的振动信息。
在一可选实施例中，所述激励电极的电极轴与所述第一检测电极的电极轴夹角为90°，与所述第二检测电极的电极轴夹角为45°。
在一可选实施例中，所述第一检测电极和第二检测电极均具有弧形面，且所述第一检测电极、第二检测电极及激励电极的弧形面共球面。
在一可选实施例中，所述电极组件还包括屏蔽壳体，所述屏蔽壳体包括筒状主体结构及设置在所述筒状主体结构外表面的多片屏蔽叶片，所述的电极环绕所述筒状主体结构设置，且相邻两个所述电极之间设有所述屏蔽叶片，用于屏蔽相邻的两个所述电极之间的耦合。
在一可选实施例中，所述电极组件还包括固定座和调节件，所述固定座上设有电极安装槽，所述电极安装槽的的槽底设有电极导向槽，且侧壁上设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔与所述导向槽一一相对，所述电极设有导向块，所述导向块位于所述电极导向槽内，所述导向块上设有第一螺纹孔，所述第二螺纹孔与所述第一螺纹孔同轴，且所述第一螺纹孔的螺纹螺距比所述第二螺纹孔的螺距小，所述调节件设有第一外螺纹和第二外螺纹，所述第一外螺纹与所述第一螺纹孔匹配，所述第二外螺纹与所述第二螺纹孔匹配，以调节所述电极的径向位移。
在一可选实施例中，所述支撑组件包括底座、支撑梁、支撑球、上顶杆和下顶杆，所述支撑梁固定在所述底座上，所述支撑梁上设有导轨，所述上顶杆位于所述导轨内，且与所述支撑梁沿竖直方向相对移动，所述下顶杆固定在所述底座上，所述上顶杆下端设有球形或锥形第一凹槽，所述下顶杆的上端设有球形或锥形的第二凹槽，所述支撑球位于所述第二凹槽内，所述第一凹槽和第二凹槽相对。
在一可选实施例中，所述下顶杆与所述底座沿竖直方向相对移动。
本发明与现有技术相比的优点在于：
(1)本发明实施例提供的半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，通过设置支撑组件支撑半球谐振子的中心杆，通过设置激励电极使半球谐振子振动，通过信号采集装置采集半球谐振子的振动信号，从而根据所述振动信号确定半球谐振子模态轴及品质因数，该方法无需将半球谐振子装配成陀螺即可实现对半球谐振子模态轴和品质因数的检测，可以根据检测结果确定半球谐振子陀螺仪的装配方案；
(2)通过调节件可以调整电极与谐振子之间的间隙，使各电极弧形面共球面，减小由电极与谐振子之间的间隙不均匀带来的测量误差；
(3)通过设置屏蔽壳体屏蔽相邻的两个所述电极之间的耦合，以减少电极间的串扰；
(4)采用上顶杆与下顶杆支承谐振子，谐振子的中心杆轴线与上顶杆和下顶杆的中心轴线重合，谐振子可以绕其中心杆轴线旋转，谐振子与检测装置的接触方式为点接触和线接触，即，谐振子中心杆的下端面与支撑球的接触方式为点接触，谐振子中心杆的上端面与上顶杆的接触方式为线接触，减小了由接触引入的接触阻尼，可以更为精确的测量谐振子自身的阻尼，从而计算谐振子的品质因数。
附图说明
图1为本发明实施例提供的半球谐振子与电极安装关系示意图；
图2为本发明实施例提供的一种半球谐振子模态轴及品质因数检测装置与半球谐振子装配主视图；
图3为本发明实施例提供的一种半球谐振子模态轴及品质因数检测装置与半球谐振子装配俯视图；
图4为本发明实施例提供的支撑组件结构示意图；
图5为本发明实施例提供的下顶杆结构示意图；
图6为本发明实施例提供的电极组件结构主视图；
图7为本发明实施例提供的电极组件结构俯视图；
图8为本发明实施例提供的电极结构示意图；
图9为本发明实施例提供的调节件结构示意图；
图10为本发明实施例提供的屏蔽壳体结构主视图；
图11为本发明实施例提供的屏蔽壳体结构俯视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细的说明。
参见图1-11，本发明实施例提供了一种半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，包括电极组件10、支撑组件20和信号采集装置，支撑组件20用于支撑所述半球谐振子30的中心杆，以使半球谐振子30可以绕其中心杆轴线旋转，电极组件10包括第一激励电极1和第二激励电极5，如图1所示，第一激励电极1和第二激励电极5相对设置，用于给半球谐振子30加载激励使其振动，所述信号采集装置用于采集所述振动信息，以根据所述振动信息确定半球谐振子模态轴及品质因数。
具体地，本发明实施例中一对激励电极相对设置，激励半球谐振子进行四波腹模态振动，为保证测试精度及提高测量信息的信噪比，激励电极优选具有弧形面，测试时，激励电极位于半球谐振子内部，参见图8，一对激励电极的弧形面共球面，且激励电极的弧形面所在球面的球心与半球谐振子的球心重合；本发明实施例中，所述振动信息可以包括电压值、振动频率、振动衰减时间等。
本发明实施例提供的半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，通过设置支撑组件支撑半球谐振子的中心杆，通过设置激励电极使半球谐振子振动，通过信号采集装置采集半球谐振子的振动信号，从而根据所述振动信号确定半球谐振子模态轴及品质因数，该方法无需将半球谐振子装配成陀螺仪即可实现对其模态轴和品质因数的检测，可以根据检测结果确定半球谐振陀螺仪的装配方案，从而减少了陀螺仪调谐步骤，缩短了调谐时间。
在一可选实施例中，所述信号采集装置包括激光传感器，用于测量半球谐振子30的振动位移。在半球谐振子振动时，通过激光传感器可以测得半球谐振子不同位置的振动位移，根据各位置的振动位移可以确定半球谐振子模态轴及品质因数。
在一可选实施例中，电极组件10还包括第一第一检测电极3、第二第一检测电极7、第一第二检测电极2和第二第二检测电极6，所述第一检测电极和第二检测电极用于检测所述半球谐振子不同角度的振动信息，所述信号采集装置包括示波器，用于采集所述第一检测电极和第二检测电极检测到的振动信息。通过计算第一检测电极与第二检测电极的电压值之比，可以确定谐振子模态轴位置。
参见图1，所述激励电极的电极轴(0°电极轴)与所述第一检测电极的电极轴(90°电极轴)夹角为90°，与所述第二检测电极的电极轴(45°电极轴)夹角为45°。对于非理想谐振子，模态轴有轻轴和重轴之分，其夹角为45°，将第一检测电极和第二检测电极的夹角设置为45°可以简化模态轴位置的计算。
参见图8，第一第一检测电极3、第二第一检测电极7、第一第二检测电极2和第二第二检测电极6均具有弧形面，且所述第一检测电极、第二检测电极及激励电极的弧形面共球面。可以保证电极与谐振子之间的间隙均匀，排除由间隙不均匀导致的测量误差，本发明实施例中，优选各电极结构相同。
如图7、10和11所示，电极组件10还包括屏蔽壳体9，屏蔽壳体9包括筒状主体结构91及设置在筒状主体结构91外表面的多片屏蔽叶片92，各电极(激励电极、第一检测电极、第二检测电极)环绕筒状主体结构91设置，且相邻两个所述电极之间设有屏蔽叶片92，本发明实施例中，屏蔽壳体9为金属材质，通过导体与地相接，以屏蔽相邻的两个所述电极之间的耦合，以减少电极间的串扰。
参见图2和图6，电极组件10还包括固定座11和调节件12，固定座11上设有电极安装槽，用于安装电极，所述电极安装槽的槽底设有电极导向槽，且侧壁上设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔与所述导向槽一一相对，所述电极设有导向块a，导向块a位于所述电极导向槽内，导向块a上设有第一螺纹孔，所述第二螺纹孔与所述第一螺纹孔同轴，且所述第一螺纹孔的螺纹螺距比所述第二螺纹孔的螺距小，优选小0.05mm，所述调节件为阶梯状螺栓或螺柱等，设有第一外螺纹和第二外螺纹，所述第一外螺纹与所述第一螺纹孔匹配，所述第二外螺纹与所述第二螺纹孔匹配，以调节所述电极的径向位移。螺距差可以推/拉动电极沿导向槽运动，因此通过调节件可以调整电极与谐振子之间的间隙，使各电极弧形面共球面，减小由电极与谐振子之间的间隙不均匀带来的测量误差。
参见图2、4和5，支撑组件20包括底座21、支撑梁22、支撑球23、上顶杆24和下顶杆25，支撑梁22固定在底座21上，支撑梁22上设有导轨，上顶杆24位于所述导轨内，且可与支撑梁22沿竖直方向相对移动，下顶杆25固定在底座21上，且上端位于屏蔽壳体9的筒状主体结构91的轴线上，参见图2，上顶杆24下端设有球形或锥形第一凹槽b，下顶杆25的上端设有球形或锥形的第二凹槽c，支撑球23位于第二凹槽c内，第一凹槽b和第二凹槽c相对，检测时，半球谐振子30中心杆的下端位于第二凹槽c内，且与第二凹槽c不接触，通过支撑球23支撑，上顶杆24依靠自身重力下压，使半球谐振子30中心杆的上端位于第一凹槽b内，与第一凹槽b线接触。采用上顶杆与下顶杆支承谐振子，谐振子的中心杆轴线与上顶杆和下顶杆的中心轴线重合，谐振子可以绕其中心轴线旋转，谐振子与检测装置的接触方式为点接触和线接触，即，谐振子中心杆的下端面与支撑球的接触方式为点接触，谐振子中心杆的上端面与上顶杆的接触方式为线接触，减小了由接触引入的接触阻尼，可以更为精确的测量谐振子自身的阻尼，从而计算谐振子的品质因数。
在一可选实施例中，下顶杆25与底座21，通过螺纹连接，可沿竖直方向相对移动，以便于调整半球谐振子30与支撑组件20的相对位置。
以下为本发明的一具体实施例：
如图2和3所示，本实施例提供一种半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，包括电极组件10、支撑组件20和信号采集装置；
电极组件10包括8个电极(第一激励电极1、第二激励电极5、第一第一检测电极3、第二第一检测电极7、第一第二检测电极2、第二第二检测电极6、第一调整电极4、第二调整电极8)、屏蔽壳体9、固定座11和8个调节件12；
屏蔽壳体9为金属材质，包括筒状主体结构91及对称设置在筒状主体结构91外表面的8片屏蔽叶片92；参见图8，电极具有导向块a和弧形面，电极的竖截面呈类似L型，8个电极设置在筒状主体结构91周围，且相邻的两个电极之间具有一片屏蔽叶片92，工作时，8个电极的弧形面共球面。
固定座11为盘状结构，中心轴上设有电极安装槽，所述盘装结构中心设有通孔，用于容设下顶杆25上端，电极安装槽的槽底设有8电极导向槽，且槽壁上设有8个第二螺纹孔，第二螺纹孔与电极导向槽一一对应，如图6、8所示，导向槽底部设有接触电极13，导向块a位于电极导向槽内且与接触电极13相接触，环形铜极板14扣压在8个导向槽上方，铜极板14与电极之间设有绝缘板15，铜极板14接地，且与屏蔽壳体9通过导线连接；导向块a上设有第一螺纹孔，所述第二螺纹孔与所述第一螺纹孔同轴，且所述第一螺纹孔的螺纹螺距比所述第二螺纹孔的螺距小0.05mm；调节件12为二级阶梯状螺栓，第一阶设有第一外螺纹、第二阶设有第二外螺纹，所述第一外螺纹与所述第一螺纹孔匹配，所述第二外螺纹与所述第二螺纹孔匹配，当拧动调节件12时，由于第一螺纹孔的螺纹螺距比所述第二螺纹孔的螺距小0.05mm；电极可以沿导向槽移动，以调节各电极共球面。
支撑组件20包括底座21、支撑梁22、支撑球23、上顶杆24和下顶杆25，固定座11通过螺钉和垫片固定在底座21上，支撑梁22通过螺钉固定在底座21上，上顶杆24固定在支撑梁22上，可沿竖直方向相对移动，下顶杆25与底座21通过螺纹连接，且上端位于屏蔽壳体9的筒状主体结构91的轴线上，参见图2、5，上顶杆24下端设有锥形第一凹槽b，半球谐振子30的中心杆的上端位于第一凹槽b内，与第一凹槽b线接触，下顶杆25的上端设有球形的第二凹槽c且第二凹槽c的上部还设有定位环26，支撑球23位于第二凹槽c内，半球谐振子30中心杆的下端位于第二凹槽c内，通过支撑球23支撑，通过设置定位环26可以限制半球谐振子30的大幅度位移。
激励电极对应的两个接触电极13各通过一导线与驱动电路连接，第一检测电极及第二检测电极对应的四个接触电极13各通过一导线与检测电路连接(包括示波器)，调整电极对应的两个接触电极13各通过一导线与控制电路连接；当将检测装置放在转台上，使其沿其轴线进行旋转时，调整电极可以根据第一检测电极和第二检测电极采集到的振动信号，实时改变激励力大小，使第一检测电极和第二检测电极的输出保持不变。
半球谐振子与电极间关系如图1所示，第一激励电极1和第二激励电极5，用于激励谐振子进行四波腹模态振动，第一第一检测电极3、第二第一检测电极7，用于检测理论波腹位置的输出电压VM，第一第二检测电极2和第二第二检测电极6用于检测理论波节位置的输出电压VQ，半球谐振子模态轴检测原理为：激励电极激励谐振子进行四波腹模态振动，计算理论波腹位置输出电压VM与波节位置输出电压VQ的比值，将谐振子依次旋转
Figure GDA0002409579560000091
分别计算VM/VQ的值，其最大值即为谐振子模态轴位置。
谐振子品质因数计算公式如式(1)所示：
Q＝1/(2ξ) (1)
其中：Q—品质因数；
ξ—谐振子的阻尼比。
谐振子品质因数的测量与安装方式密切相关，由式(1)可知，谐振子的品质因数Q与阻尼比ξ成反比，安装方式不当(如接触面积过大)会引起阻尼比增大，导致谐振子品质因数的测量值减小，测量误差增大。
本发明未详细描述内容为本领域技术人员公知技术。

Claims (9)

1.一种半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，其特征在于，包括电极组件、支撑组件和信号采集装置，所述支撑组件用于支撑所述半球谐振子的中心杆，所述电极组件包括一对激励电极用于给所述半球谐振子加载激励使其振动，所述信号采集装置用于采集所述振动信息，以根据所述振动信息确定半球谐振子模态轴及品质因数；
所述支撑组件包括底座、支撑梁、支撑球、上顶杆和下顶杆，所述支撑梁固定在所述底座上，所述支撑梁上设有导轨，所述上顶杆位于所述导轨内，且与所述支撑梁沿竖直方向相对移动，所述下顶杆固定在所述底座上，所述上顶杆下端设有球形或锥形第一凹槽，所述下顶杆的上端设有球形或锥形的第二凹槽，所述支撑球位于所述第二凹槽内，所述第一凹槽和第二凹槽相对。
2.根据权利要求1所述的半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，其特征在于，所述激励电极具有弧形面，一对所述激励电极的弧形面共球面。
3.根据权利要求1所述的半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，其特征在于，所述信号采集装置包括激光传感器，用于测量所述半球谐振子的振动位移。
4.根据权利要求1所述的半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，其特征在于，所述电极组件还包括一对第一检测电极和一对第二检测电极，所述第一检测电极和第二检测电极用于检测所述半球谐振子的不同角度的振动信息，所述信号采集装置包括示波器，用于采集所述第一检测电极和第二检测电极检测到的振动信息。
5.根据权利要求4所述的半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，其特征在于，所述激励电极的电极轴与所述第一检测电极的电极轴夹角为90°，与所述第二检测电极的电极轴夹角为45°。
6.根据权利要求4所述的半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，其特征在于，所述第一检测电极和第二检测电极均具有弧形面，且所述第一检测电极、第二检测电极及激励电极的弧形面共球面。
7.根据权利要求1所述的半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，其特征在于，所述电极组件还包括屏蔽壳体，所述屏蔽壳体包括筒状主体结构及设置在所述筒状主体结构外表面的多片屏蔽叶片，所述的电极环绕所述筒状主体结构设置，且相邻两个所述电极之间设有所述屏蔽叶片，用于屏蔽相邻的两个所述电极之间的耦合。
8.根据权利要求1所述的半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，其特征在于，所述电极组件还包括固定座和调节件，所述固定座上设有电极安装槽，所述电极安装槽的槽底设有电极导向槽，且侧壁上设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔与所述导向槽一一相对，所述电极设有导向块，所述导向块位于所述电极导向槽内，所述导向块上设有第一螺纹孔，所述第二螺纹孔与所述第一螺纹孔同轴，且所述第一螺纹孔的螺纹螺距比所述第二螺纹孔的螺距小，所述调节件设有第一外螺纹和第二外螺纹，所述第一外螺纹与所述第一螺纹孔匹配，所述第二外螺纹与所述第二螺纹孔匹配，以调节所述电极的径向位移。
9.根据权利要求1所述的半球谐振子模态轴及品质因数检测装置，其特征在于，所述下顶杆与所述底座沿竖直方向相对移动。
CN201711339864.6A 2017-12-14 2017-12-14 半球谐振子模态轴及品质因数检测装置 Active CN108413952B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711339864.6A CN108413952B (zh) 2017-12-14 2017-12-14 半球谐振子模态轴及品质因数检测装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711339864.6A CN108413952B (zh) 2017-12-14 2017-12-14 半球谐振子模态轴及品质因数检测装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108413952A CN108413952A (zh) 2018-08-17
CN108413952B true CN108413952B (zh) 2020-09-18

Family

ID=63125474

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201711339864.6A Active CN108413952B (zh) 2017-12-14 2017-12-14 半球谐振子模态轴及品质因数检测装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108413952B (zh)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109483394B (zh) * 2018-09-13 2023-12-12 西安航晨机电科技股份有限公司 半球谐振子超精密球面加工装置及加工方法
CN109269489A (zh) * 2018-11-02 2019-01-25 广西大学 一种谐振陀螺仪固有刚性轴的检测装置及方法
CN110595509A (zh) * 2019-09-30 2019-12-20 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 一种用于低阻尼谐振子参数测试的敲击装置
CN111633584B (zh) * 2020-05-29 2022-06-10 中国电子科技集团公司第二十六研究所 一种新型谐振子夹持器及其使用方法
CN112710869B (zh) * 2020-12-09 2023-04-21 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） 基于附加静电刚度原理的谐振子刚性轴辨识装置及方法
CN112815964B (zh) * 2020-12-29 2023-10-13 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） 一种基于平面叉指电极的谐振子振动特性检测装置及方法
CN113686489A (zh) * 2021-08-25 2021-11-23 西安航天精密机电研究所 一种半球谐振子质量不平衡缺陷的检测装置及方法
CN114136338B (zh) * 2021-11-19 2023-04-28 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 一种无需位移台的半球谐振子修调用组装测试装置及方法
CN114426394B (zh) * 2022-03-15 2022-12-16 哈尔滨工业大学 一种用于半球谐振子与电极基板焊接的谐振子固定装置
CN115060293B (zh) * 2022-08-16 2022-11-25 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 一种石英谐振子衰减时间常数的快速获取方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2836789A1 (en) * 2012-03-13 2015-02-18 BEI Sensors & Systems Company Inc. GYROSCOPE AND DEVICES WITH STRUCTURAL COMPONENTS COMPRISING HfO2-TiO2 MATERIAL
CN105387852A (zh) * 2015-10-19 2016-03-09 中北大学 微半球陀螺谐振子的自对准技术制备方法
CN106289217A (zh) * 2016-09-18 2017-01-04 北京控制工程研究所 一种半球谐振陀螺高可靠起振系统及方法
CN107014366A (zh) * 2017-03-30 2017-08-04 中国人民解放军国防科学技术大学 一种基于静电激励与检测的圆柱壳体振动陀螺
US10393525B2 (en) * 2015-05-22 2019-08-27 Georgia Tech Research Corporation Micro-hemispherical resonators and methods of making the same

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201392477Y (zh) * 2009-04-23 2010-01-27 江苏连港皮革机械有限公司 位移量的精确调节装置
KR101414391B1 (ko) * 2013-06-11 2014-07-02 한국항공우주연구원 반구형 공진 자이로

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2836789A1 (en) * 2012-03-13 2015-02-18 BEI Sensors & Systems Company Inc. GYROSCOPE AND DEVICES WITH STRUCTURAL COMPONENTS COMPRISING HfO2-TiO2 MATERIAL
US10393525B2 (en) * 2015-05-22 2019-08-27 Georgia Tech Research Corporation Micro-hemispherical resonators and methods of making the same
CN105387852A (zh) * 2015-10-19 2016-03-09 中北大学 微半球陀螺谐振子的自对准技术制备方法
CN106289217A (zh) * 2016-09-18 2017-01-04 北京控制工程研究所 一种半球谐振陀螺高可靠起振系统及方法
CN107014366A (zh) * 2017-03-30 2017-08-04 中国人民解放军国防科学技术大学 一种基于静电激励与检测的圆柱壳体振动陀螺

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
半球谐振陀螺仪频率裂解及固有刚性轴的测试方法;李巍等;《传感技术学报》;20160315(第03期);全文 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN108413952A (zh) 2018-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108413952B (zh) 半球谐振子模态轴及品质因数检测装置
CN211346826U (zh) 一种半球谐振陀螺精密装调和检测装置
US7401514B2 (en) Asymmetric torsion balance gravimeter
CN108844532B (zh) 一种使用斜入射探测光路微小型核磁共振陀螺仪
CN112815964B (zh) 一种基于平面叉指电极的谐振子振动特性检测装置及方法
Xu et al. A novel model for fully closed-loop system of hemispherical resonator gyroscope under force-to-rebalance mode
US3104334A (en) Annular accelerometer
CN103644901B (zh) 用于半球谐振陀螺敏感表头的装配夹具及装配检测系统
CN111998841B (zh) 一种半球谐振子芯轴振动检测电路及装置
JP2002543374A (ja) ジャイロスコープセンサおよびその応用を構成する回転測定装置
CN102043068A (zh) 一种标度因数在线可调的高分辨率加速度计
CN114719887B (zh) 一种微壳体振动陀螺在线修调装置及方法
US3418546A (en) Momentum transducer
CN109238308B (zh) 一种金属筒形谐振陀螺的高精度模态测试系统及测试方法
US3222581A (en) Capacitive pickup devices
CN111912398B (zh) 一种大气下轴对称谐振子密度1至4次谐波辨识装置及方法
CN117029874A (zh) 半球陀螺装配误差快速识别方法和调整装置
CN112798015A (zh) 动态角校准装置
US2243457A (en) Method and apparatus for balancing rotors
RU2291450C1 (ru) Компенсационный маятниковый акселерометр
CN105242324B (zh) 基于空间十字挠性支撑结构的相对重力敏感装置
CN109211088A (zh) 一种分层结构的磁控变刚度微纳测头
CN109059917A (zh) 一种动态水平仪及其动态调整测量方法
CN117086609B (zh) 一种半球谐振子与平板电极间隙调节治具及方法
CN112147667A (zh) 一种用于空间低能离子探测的传感器

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant