CN108411275B - 用于高精金属件真空镀膜的治具架 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种用于高精金属件真空镀膜的治具架,包括旋转底盘、转杆、安装板和旋转电机,所述安装板沿周向设置于旋转底盘上方,所述旋转电机设置于旋转底盘上表面并位于安装板下方,此旋转电机的输出轴穿过安装板并与一齿轮安装连接,所述齿轮上表面固定有一连接座,所述转杆嵌入连接座内并与连接座安装固定,所述齿轮两侧分别设置有至少一个从动齿轮,所述从动齿轮上表面固定有所述连接座,此套筒下端嵌入所述连接座内并与连接座安装固定,所述套筒外侧套装有若干工件架,此工件架上安装有待加工的工件。本发明通过一个旋转电机同时驱动多根转杆转动,结构巧妙,且大大提高了对工件加工的效率,增加了产能,同时保证对工件表面处理的品质。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于高精金属件真空镀膜的治具架,属于高精加工领域。
背景技术
PVD涂层技术应用在很多表面处理和薄膜材料制备方面,如模具表面硬质涂层,各种零部件表面的防护涂层,表面改性涂层,导电和透光涂层等。
真空镀膜机用于在真空中对工件镀膜,真空镀膜机包含构真空室,真空室内设置有转架装置,该转架装置可以通过驱动装置驱动转动,从而实现工件的转动。因为真空室空间有限,如何合理有效的利用真空室的空间,提高生产效率,是需要解决的问题。
发明内容
本发明目的是提供一种用于高精金属件真空镀膜的治具架,该用于高精金属件真空镀膜的治具架通过一个旋转电机同时驱动多根转杆转动,结构巧妙,且大大提高了对工件加工的效率,增加了产能,同时保证对工件表面处理的品质。
为达到上述目的,本发明采用的技术方案是:一种用于高精金属件真空镀膜的治具架,包括旋转底盘、转杆、安装板和旋转电机,所述安装板沿周向设置于旋转底盘上方,所述旋转电机设置于旋转底盘上表面并位于安装板下方,此旋转电机的输出轴穿过安装板并与一齿轮安装连接,所述齿轮上表面固定有一连接座,所述转杆嵌入连接座内并与连接座安装固定;
所述齿轮两侧分别设置有至少一个从动齿轮,所述齿轮与相邻的从动齿轮啮合,所述相邻的从动齿轮之间啮合,所述齿轮下表面开有一圆形槽,一轴承嵌入此圆形槽内并通过一连接座与安装板固定连接,所述从动齿轮上表面固定有所述连接座,此连接座内嵌入有所述转杆;
所述转杆外侧套装有一套筒,此套筒下端嵌入所述连接座内并与连接座安装固定,所述套筒外侧套装有若干工件架,此工件架上安装有待加工的工件。
上述技术方案中进一步改进的方案如下:
1. 上述方案中,所述工件架为弹簧体,此弹簧体的若干簧丝向外侧伸出形成第一凸环,所述弹簧体的若干簧丝向相背于第一凸环的一侧伸出形成第二凸环,此第一凸环、第二凸环与工件内壁接触连接。
2. 上述方案中,所述连接座上部嵌入轴承的中央通孔并与轴承内圈固定连接,此连接座下部嵌入安装板内并通过螺钉与安装板固定。
3. 上述方案中,所述至少一个从动齿轮的数目为2个。
4. 上述方案中,所述旋转底盘下方设置有一驱动机构,此驱动机构的输出端与旋转底盘下表面固定连接。
5. 上述方案中,所述相邻两块安装板之间通过设置于安装板下表面的连接板固定连接。
6. 上述方案中,所述安装板的四个拐角处分别开有一条形通孔,所述连接板上开有若干与条形通孔对应的安装孔,所述连接板一端的安装孔与其上方安装板的条形通孔安装连接,所述连接板另一端的安装孔与其上方安装板的条形通孔安装连接。
7. 上述方案中,所述连接座通过4个螺丝安装于齿轮上表面。
8. 上述方案中,还具有一顶板,此顶板外缘沿周向开有供转杆上端嵌入的通孔,所述转杆下端嵌入连接座内,此转杆上端穿过顶板的通孔,与顶板安装连接。
由于上述技术方案运用,本发明与现有技术相比具有下列优点:
1、本发明用于高精金属件真空镀膜的治具架,其通过旋转底盘的公转与转杆的自转,对安装于转杆上的工件进行镀膜加工,保证对工件镀膜的均匀性和稳定性,提高镀膜品质;其次,其齿轮两侧分别设置有至少一个从动齿轮,所述齿轮与相邻的从动齿轮啮合,所述相邻的从动齿轮之间啮合,所述齿轮下表面开有一圆形槽,一轴承嵌入此圆形槽内并通过一连接座与安装板固定连接,所述从动齿轮上表面固定有所述连接座,此连接座内嵌入有所述转杆,通过齿轮的转动,带动从动齿轮转动,从而带动从动齿轮上安装座内转杆的转动,即通过一个旋转电机同时驱动多根转杆转动,结构巧妙,且大大提高了对工件加工的效率,增加了产能,同时保证对工件表面处理的品质。
2、本发明用于高精金属件真空镀膜的治具架,其转杆外侧套装有一套筒,此套筒下端嵌入所述连接座内并与连接座安装固定,套筒的设置,可以很方便的将其从设备上拆卸,并对设置于套筒工件架上的工件进行拆卸和安装,使得拆装工件的工序可以在设备运转的同时进行,大量缩短了停机时间,提高了加工的效率;其次,其工件架为弹簧体,此弹簧体的若干簧丝向外侧伸出形成第一凸环,所述弹簧体的若干簧丝向相背于第一凸环的一侧伸出形成第二凸环,此第一凸环、第二凸环与工件内壁接触连接,弹簧体工件架的设置,结构巧妙且具有一定的弹性空间,既方便其本身的安装,又方便对工件的拆装,同时可以保护工件不受磨损伤害。
附图说明
附图1为本发明用于高精金属件真空镀膜的治具架结构示意图;
附图2为本发明用于高精金属件真空镀膜的治具架局部结构分解示意图一;
附图3为本发明用于高精金属件真空镀膜的治具架局部结构分解示意图二。
以上附图中:1、旋转底盘;2、转杆;3、安装板;4、旋转电机;5、驱动机构;6、连接板;7、条形通孔;8、安装孔;9、齿轮;10、连接座;18、从动齿轮;19、圆形槽;20、轴承;21、连接座;22、工件;23、顶板;24、套筒;25、工件架;251、第一凸环;252、第二凸环。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述:
实施例1:一种用于高精金属件真空镀膜的治具架,包括旋转底盘1、转杆2、安装板3和旋转电机4,所述安装板3沿周向设置于旋转底盘1上方,所述旋转电机4设置于旋转底盘1上表面并位于安装板3下方,此旋转电机4的输出轴8穿过安装板3并与一齿轮9安装连接,所述齿轮9上表面固定有一连接座10,所述转杆2嵌入连接座10内并与连接座10安装固定;
所述齿轮9两侧分别设置有至少一个从动齿轮18,所述齿轮9与相邻的从动齿轮18啮合,所述相邻的从动齿轮18之间啮合,所述齿轮9下表面开有一圆形槽19,一轴承20嵌入此圆形槽19内并通过一连接座21与安装板3固定连接,所述从动齿轮18上表面固定有所述连接座10,此连接座10内嵌入有所述转杆2;
所述转杆2外侧套装有一套筒24,此套筒24下端嵌入所述连接座10内并与连接座10安装固定,所述套筒24外侧套装有若干工件架25,此工件架25上安装有待加工的工件22。
上述工件架25为弹簧体,此弹簧体的若干簧丝向外侧伸出形成第一凸环251,上述弹簧体的若干簧丝向相背于第一凸环251的一侧伸出形成第二凸环252,此第一凸环251、第二凸环252与工件22内壁接触连接;
上述连接座21上部嵌入轴承20的中央通孔并与轴承20内圈固定连接,此连接座21下部嵌入安装板3内并通过螺钉与安装板3固定;上述至少一个从动齿轮18的数目为2个;上述旋转底盘1下方设置有一驱动机构5,此驱动机构5的输出端与旋转底盘1下表面固定连接。
实施例2:一种用于高精金属件真空镀膜的治具架,包括旋转底盘1、转杆2、安装板3和旋转电机4,所述安装板3沿周向设置于旋转底盘1上方,所述旋转电机4设置于旋转底盘1上表面并位于安装板3下方,此旋转电机4的输出轴8穿过安装板3并与一齿轮9安装连接,所述齿轮9上表面固定有一连接座10,所述转杆2嵌入连接座10内并与连接座10安装固定;
所述齿轮9两侧分别设置有至少一个从动齿轮18,所述齿轮9与相邻的从动齿轮18啮合,所述相邻的从动齿轮18之间啮合,所述齿轮9下表面开有一圆形槽19,一轴承20嵌入此圆形槽19内并通过一连接座21与安装板3固定连接,所述从动齿轮18上表面固定有所述连接座10,此连接座10内嵌入有所述转杆2;
所述转杆2外侧套装有一套筒24,此套筒24下端嵌入所述连接座10内并与连接座10安装固定,所述套筒24外侧套装有若干工件架25,此工件架25上安装有待加工的工件22。
上述相邻两块安装板3之间通过设置于安装板3下表面的连接板6固定连接;上述连接座10通过4个螺丝安装于齿轮9上表面;还具有一顶板23,此顶板23外缘沿周向开有供转杆2上端嵌入的通孔,上述转杆2下端嵌入连接座10内,此转杆2上端穿过顶板23的通孔,与顶板23安装连接;
上述安装板3的四个拐角处分别开有一条形通孔7,上述连接板6上开有若干与条形通孔7对应的安装孔8,上述连接板6一端的安装孔8与其上方安装板3的条形通孔7安装连接,上述连接板6另一端的安装孔8与其上方安装板3的条形通孔7安装连接。
采用用于高精金属件真空镀膜的治具架时,通过旋转底盘的公转与转杆的自转,对安装于转杆上的工件进行镀膜加工,保证对工件镀膜的均匀性和稳定性,提高镀膜品质;其次,通过齿轮的转动,带动从动齿轮转动,从而带动从动齿轮上安装座内转杆的转动,即通过一个旋转电机同时驱动多根转杆转动,结构巧妙,且大大提高了对工件加工的效率,增加了产能,同时保证对工件表面处理的品质;再次,套筒的设置,可以很方便的将其从设备上拆卸,并对设置于套筒工件架上的工件进行拆卸和安装,使得拆装工件的工序可以在设备运转的同时进行,大量缩短了停机时间,提高了加工的效率;再次,弹簧体工件架的设置,结构巧妙且具有一定的弹性空间,既方便其本身的安装,又方便对工件的拆装,同时可以保护工件不受磨损伤害。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施,并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种用于高精金属件真空镀膜的治具架,其特征在于:包括旋转底盘(1)、转杆(2)、安装板(3)和旋转电机(4),所述安装板(3)沿周向设置于旋转底盘(1)上方,所述旋转电机(4)设置于旋转底盘(1)上表面并位于安装板(3)下方,此旋转电机(4)的输出轴(8)穿过安装板(3)并与一齿轮(9)安装连接,所述齿轮(9)上表面固定有一连接座(10),所述转杆(2)嵌入连接座(10)内并与连接座(10)安装固定;
所述齿轮(9)两侧分别设置有至少一个从动齿轮(18),所述齿轮(9)与相邻的从动齿轮(18)啮合,所述相邻的从动齿轮(18)之间啮合,所述齿轮(9)下表面开有一圆形槽(19),一轴承(20)嵌入此圆形槽(19)内并通过一连接座(21)与安装板(3)固定连接,所述从动齿轮(18)上表面固定有所述连接座(10),此连接座(10)内嵌入有所述转杆(2);
所述转杆(2)外侧套装有一套筒(24),此套筒(24)下端嵌入所述连接座(10)内并与连接座(10)安装固定,所述套筒(24)外侧套装有若干工件架(25),此工件架(25)上安装有待加工的工件(22),所述工件架(25)为弹簧体,此弹簧体的若干簧丝向外侧伸出形成第一凸环。
2.根据权利要求1所述的用于高精金属件真空镀膜的治具架,其特征在于:所述连接座(21)上部嵌入轴承(20)的中央通孔并与轴承(20)内圈固定连接,此连接座(21)下部嵌入安装板(3)内并通过螺钉与安装板(3)固定。
3.根据权利要求1所述的用于高精金属件真空镀膜的治具架,其特征在于:所述至少一个从动齿轮(18)的数目为2个。
4.根据权利要求1所述的用于高精金属件真空镀膜的治具架,其特征在于:所述旋转底盘(1)下方设置有一驱动机构(5),此驱动机构(5)的输出端与旋转底盘(1)下表面固定连接。
5.根据权利要求1所述的用于高精金属件真空镀膜的治具架,其特征在于:所述相邻两块安装板(3)之间通过设置于安装板(3)下表面的连接板(6)固定连接。
6.根据权利要求5所述的用于高精金属件真空镀膜的治具架,其特征在于:所述安装板(3)的四个拐角处分别开有一条形通孔(7),所述连接板(6)上开有若干与条形通孔(7)对应的安装孔(8),所述连接板(6)一端的安装孔(8)与其上方安装板(3)的条形通孔(7)安装连接,所述连接板(6)另一端的安装孔(8)与其上方安装板(3)的条形通孔(7)安装连接。
7.根据权利要求1所述的用于高精金属件真空镀膜的治具架,其特征在于:所述连接座(10)通过4个螺丝安装于齿轮(9)上表面。
8.根据权利要求1所述的用于高精金属件真空镀膜的治具架,其特征在于:还具有一顶板(23),此顶板(23)外缘沿周向开有供转杆(2)上端嵌入的通孔,所述转杆(2)下端嵌入连接座(10)内,此转杆(2)上端穿过顶板(23)的通孔,与顶板(23)安装连接。
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Families Citing this family (3)
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CN112481596B (zh) * | 2020-11-27 | 2022-01-14 | 厦门大学 | 一种工件旋转装置和离子束物理气相沉积装置 |
CN113463057A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-10-01 | 光芯薄膜(深圳)有限公司 | 一种实现圆柱体外表面光学镀膜的磁控溅射装置及方法 |
CN115466933A (zh) * | 2022-08-30 | 2022-12-13 | 厦门金鹭特种合金有限公司 | 一种工装基座、工装及其应用 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN201793727U (zh) * | 2010-08-03 | 2011-04-13 | 深圳市振恒昌实业有限公司 | 行星轮鼠笼式工件架 |
CN203569179U (zh) * | 2013-12-02 | 2014-04-30 | 上海沃家真空设备科技有限公司 | 一种真空镀膜机的转架装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2848874Y (zh) * | 2005-11-04 | 2006-12-20 | 夏建业 | 用于真空镀膜的旋转式镀件架 |
CN201793727U (zh) * | 2010-08-03 | 2011-04-13 | 深圳市振恒昌实业有限公司 | 行星轮鼠笼式工件架 |
CN203569179U (zh) * | 2013-12-02 | 2014-04-30 | 上海沃家真空设备科技有限公司 | 一种真空镀膜机的转架装置 |
CN206328456U (zh) * | 2016-11-24 | 2017-07-14 | 超微中程纳米科技(苏州)有限公司 | 一种镀膜机室内旋转镀膜架 |
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