CN108367515A - 制造光学透镜元件阵列的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种制造光学透镜元件阵列的方法，其包括：·设置具有多个凹部(3)的第一模具(1)；·在所述多个凹部(3)中施加第一聚合物液体(2)；·设置第一接触成形基板(5)；·使所述第一接触成形基板(5)与所述多个凹部(3)中的所述第一聚合物液体(2)接触，其中所述第一接触成形基板(5)与所述第一聚合物液体(2)之间的所述接触使所述第一聚合物液体(2)的背离所述多个凹部(3)的轮廓构型发生变形；·使所述第一聚合物液体(2)固化以形成光学透镜元件(6)的阵列。

Description

制造光学透镜元件阵列的方法
技术领域
本发明涉及制造光学透镜元件阵列的方法。
背景技术
从US 3,532,038已知一种光学系统，其中透明的基部构件设置有双凸透镜腔，该腔填充有折射流体，该流体的表面被盖构件覆盖。盖构件设置有孔板，最后第二基部构件存在于孔板，第二基部构件也设置有双凸透镜腔，该腔同样填充有折射流体。
从US 2004/0100700已知一种制造微透镜阵列的方法，其中向模具中的腔填充UV固化树脂，同时通过将透明石英板放置在模具顶部来移除腔外部的树脂。然后，将存在于腔中的流体形成为多个分离的透镜，随后向透明板施加第二UV固化树脂层，通过使用已经形成的分离的透镜使该树脂层固化。通过使用有机溶剂移除过量的固化的第二树脂层。所述文献中提及了复制透镜仅是一层的，该透镜分离地排列且不呈现任何互相连接。
该复制工艺本身从美国专利No.4,756,972和No.4,890,905已知，该美国专利公开了借助于复制工艺制造高品质光学部件的可能性。该复制工艺被认为是大量制造光学部件的快速且廉价的方式。在该复制工艺中，使用具有被精确限定的表面(例如非球面)的模具，并且向模具表面施加少量可辐射固化树脂(例如UV固化树脂)。随后，使树脂在模具表面扩散，使得模具中的腔填充有树脂，此后对整体进行照射以使树脂固化，进而从模具移出固化的产品。固化的产品与模具表面相反。该复制工艺的优点在于能够以简单的方式制造具有复杂折射面(诸如非球面)的透镜，而不必对透镜体进行复杂精细的研磨和抛光处理。
从本申请人名下的国际申请WO 03/069740也已知一种形成光学元件的复制工艺。
WO 2012100356涉及一种用于制造多个光学装置的方法，该方法包括以下步骤：设置复制工具，复制工具包括限定有复制单元的阵列的复制表面，各复制单元均包括透镜复制部和间隔件复制部，间隔件复制部使复制工具和支撑件与复制材料在复制表面与支撑件之间彼此接触；使复制材料硬化，其中，在使复制材料硬化的步骤期间，使透镜复制部保持距支撑件一定距离。
US 2009022949涉及一种用于制造功能元件安装模块的工艺，该工艺包括以下步骤：布置基板和树脂密封板，其中基板安装有具有安装部的功能元件，树脂密封板形成有在相对于功能元件的功能部以预定距离与该功能部彼此相对的对应的位置处的开口；以及利用毛细管现象在基板与树脂密封板之间浸渍并填充密封树脂。
本申请人名下的WO 2015093945涉及一种制造晶片级光学透镜组件的方法，该方法包括：设置具有多个凸块的第一晶片基板；向所述多个凸块的第一接触接触光学表面施加第一聚合物液体；设置第二晶片基板；使所述第一晶片基板与所述第二基板接触，使得所述第一聚合物液体在毛细作用力下位于建立在所述多个凸块的所述第一接触光学表面与所述第二晶片基板之间的缝中；使一种或多种所述聚合物液体固化以形成透镜。
US 2009034088涉及一种制造微光学装置的方法，该方法包括：在支撑基板与具有用于形成微光学透镜的结构特征的主基板之间提供复制材料，复制材料覆盖支撑基板上的不透明材料中的至少一部分；对支撑基板和主基板中的至少一者施加压力；使复制材料固化以形成包括微光学透镜的复制件；以及移除包括不透明材料和复制件的支撑基板。
US 2012200943涉及一种形成透镜的方法，该方法包括：使用第一母料成型前期透镜，使用第二母料在前期透镜上方形成顶层，其中前期透镜包括因在成型前期透镜之后前期透镜的收缩而发生的变形，顶层基本上会矫正该变形，前期透镜形成透镜的最终体积的大部分。
WO 2014092148涉及一种用于制造透镜阵列结构的方法，其中在形成于透镜阵列的第一透镜元件之间涂布粘合剂，并且能够限制涂布在外侧透镜元件外周的粘合剂被推出到周围。
EP 1 837 165涉及一种借助于复制工具制造元件的方法，该方法包括以下步骤：设置限定元件形状的复制工具；设置基板；使复制工具压靠基板，其中处于液态或粘流态或可塑性变形状态的复制材料位于工具与基板之间；将复制材料约束在基板的预定区域，该预定区域超过元件在基板上的期望区域，在沿着基板的表面的至少一个方向上小于预定距离；使复制材料硬化以形成元件。
JP2008152040涉及一种制造微透镜阵列的方法，该方法包含向金属模具注入UV射线固化树脂，该金属模具具有分别与微透镜阵列的正面侧透镜表面和背面侧透镜表面对应的弯曲模具表面。使用诸如带隙材料的定位结构将玻璃基板定位在金属模具上。该带隙材料在模具周围维持预定的距离。通过从玻璃基板所在侧照射UV射线来使树脂硬化以形成微透镜阵列。使用设置在玻璃基板处的定位部使微透镜阵列相互对齐并一体化。
WO2010050290涉及一种晶片透镜制造方法，该方法用于通过使树脂在玻璃基板与形成有凹腔的树脂模具之间固化来在玻璃基板上制造设置有凸透镜部分的晶片透镜。将未固化的树脂作为连续层布置于树脂模具中的腔并固化，并且将未固化的树脂作为连续层布置在树脂模具与玻璃基板之间，在通过被玻璃基板从上方加压的同时使布置好的树脂固化。
WO2015122769涉及一种制造晶片级光学透镜组件的方法，该方法包括以下步骤：设置具有并排配置的多个透镜形状的晶片基板；设置具有多个间隔柱的间隔件基板；向选自位于所述多个透镜形状之间的所述晶片基板的位置和位于所述间隔柱的接触面的位置或其组合的组的特定位置施加第一聚合物液体；使所述晶片基板与所述间隔件基板接触，使得所述间隔柱迫使所述第一聚合物液体流向并排配置的所述多个透镜形状；使所述第一聚合物液体固化；向所述晶片基板的所述多个透镜形状施加第二聚合物液体；使所述第二聚合物液体固化以形成透镜。
US2006262410涉及一种在基板上制造具有凸形状的微透镜的方法，该方法包括：向基板提供第一液滴；通过以使第一液滴固化的方式干燥第一液滴来形成第一凸部；向置于第一凸部的中心处的凹区域提供透镜材料的第二液滴；以及通过使第二液滴固化来形成第二凸部。
因而，从以上现有技术已知如下方法：通过该方法，获得了由单独制造的光学元件构成的光学系统，其结果是该系统的尺寸可能被认为是大的。另外，该系统的(透镜表面之间的)位置精度、即X、Y和Z方向上的位置精度可以称得上是至关重要的。
光学元件的当前受控的轮廓形状由模具形状决定。用于这些复杂形状的工具是昂贵的。只有用于光学表面的模具表面需要被非常精确地成形(通常为λ/40以上)。外周结构要求的形状精度要低得多、低至少100倍。
发明内容
本发明的一方面是提供借助于复制工艺来制造光学透镜元件阵列的方法，其中能够以精确的方式控制光学元件的轮廓形状。
因而，本发明涉及一种制造光学透镜元件阵列的方法，其包括：
设置具有多个凹部的第一模具；
在所述多个凹部中施加第一聚合物液体；
设置第一接触成形基板；
使所述第一接触成形基板与所述多个凹部中的所述第一聚合物液体接触，其中所述第一接触成形基板与所述第一聚合物液体之间的所述接触使所述第一聚合物液体的背离所述多个凹部的轮廓构型(contour configuration)发生变形；
使所述第一聚合物液体固化以形成光学透镜元件阵列。
本发明人发现，通过应用该方法，能够以精确的方式控制光学元件的轮廓形状。在该实施方式中，通过第一接触成形基板将第一聚合物液体压入多个凹部，使得第一聚合物液体的一部分将沿第一模具的表面的方向流出这些多个凹部。这将成为直接围绕多个凹部的表面。通过在固化步骤期间维持第一接触成形基板与第一聚合物液体接触，获得具有被良好限定的轮廓形状的光学透镜元件阵列。因而，将第一聚合物液体定位在、即约束在第一接触成形基板与具有多个凹部的第一模具之间。如此获得的光学透镜元件阵列包括一种单一的固化聚合物、即固化的第一聚合物。
如上讨论的制造光学透镜元件阵列的方法在使所述第一聚合物液体固化之后优选包括移除所述第一模具的步骤。
在另一优选的实施方式中，制造光学透镜元件阵列的本方法在使所述第一聚合物液体固化之后还包括：
从所述光学透镜元件阵列中移除所述第一接触成形基板的步骤；
向所述光学透镜元件阵列提供第二聚合物液体的步骤；
使所述第二聚合物液体固化。
在根据本发明的该实施方式中，本方法能够被视为包括第一步骤和第二步骤的两步复制工艺，其中在第一步骤中，进行预制件结构的制造，在第二步骤中，在固化的预制件上复制第二层以提供最终形状。本发明人发现，因为光学元件的预制件和后填充部分的顶点的变化太大，所以用于制造光学元件的现有工艺不够精确。如此获得的光学透镜元件阵列包括两种固化的聚合物、即固化的第一聚合物和固化的第二聚合物的组合。
在另一优选的实施方式中，制造光学透镜元件阵列的本方法在向所述光学透镜元件阵列提供所述第二聚合物液体之后还包括：
设置第二接触成形基板的步骤；
使所述第二接触成形基板与所述第二聚合物液体接触的步骤，其中所述第二接触成形基板与所述第二聚合物液体之间的所述接触使所述光学透镜元件阵列的背离具有多个凹部的所述第一模具的轮廓构型被完全覆盖；
使所述第二聚合物液体固化。
在该实施方式中，通过第二接触成形基板朝向光学透镜元件阵列的方向对第二聚合物液体加压，使得第二聚合物液体将遍及光学透镜元件阵列的轮廓地分布。通过在固化步骤期间维持第二接触成形基板与第二聚合物液体接触，获得了具有被良好限定的轮廓形状的光学透镜元件阵列。因而，将第二聚合物液体定位在、即约束在第二接触成形基板与第一模具之间。如此获得的光学透镜元件阵列包括两种固化的聚合物、即固化的第一聚合物和固化的第二聚合物的组合。
以上讨论的制造光学透镜元件阵列的方法在使所述第二聚合物液体固化之后优选地包括：
移除所述第一模具的步骤。
本发明人发现，在优选的实施方式中，第一接触成形基板设置有流动停止图案，该流动停止图案起到在所述第一接触成形基板与所述第一聚合物液体接触时使所述第一聚合物液体的流动停止的作用。
还优选的是，第二接触成形基板设置有流动停止图案，该流动停止图案起到在所述第二接触成形基板与所述第二聚合物液体接触时使所述第二聚合物液体的流动停止的作用。
流动停止图案优选地包括亚微米厚的层。
根据另一优选的实施方式，流动停止图案包括具有与所述第一接触成形基板和/或第二接触成形基板不同的表面能的表面区域。
在制造光学透镜元件阵列的本方法的优选实施方式中，具有多个凹部的第一模具具有特定构造、即所述多个凹部中的至少一些凹部设置有外周部。使用具有该外周缓冲区的特定模具设计改善对由预填充工艺和全体透镜形状得到的预制件的顶点的控制。可以通过模具和/或成形基板和/或透镜上的诸如外周流动缓冲区和流动停止部/延迟部的局部表面几何形状进一步控制树脂流动。
表面上的液滴液-气界面的形状由Young-Laplace方程YSG-YSL-YLGcosθC＝0决定，其中θC表示接触角，YSG、YSL、YLG表示不同相(液相、气象和固相)之间的界面能量。沉积在具有相似表面能的表面上的液滴将具有低接触角并将扩散开。例如，疏水性液体树脂将快速地扩散到具有低表面能的疏水表面。本发明人发现，能够通过诸如等离子体激活和在基板上化学或物理气相沉积(CVD、PVD)薄层的各种技术改变基板的表面能。
优选的是，第一接触成形基板被构造为平坦基板。
优选的是，第二接触成形基板被构造为平坦基板。
根据制造光学透镜元件阵列的方法的优选实施方式，所述第二接触成形基板的接触面的表面能是能够使完全覆盖的所述轮廓构型产生侧向曲率形状(lateral curvatureshape)的表面能。
优选的侧向曲率形状是半月形状。
另一优选的侧向曲率形状是钟表曲线形状(bell clock curve shape)。
附图说明
将参照附图讨论本发明。
图1示出了制造光学透镜元件阵列的方法的第一阶段。
图2示出了制造光学透镜元件阵列的方法的第二阶段。
图3示出了制造光学透镜元件阵列的方法的第二阶段的另一实施方式。
图4示出了制造光学透镜元件阵列的方法的第二阶段的另一实施方式。
图5示出了制造光学透镜元件阵列的方法的第二阶段的另一实施方式。
图6示出了侧向曲率形状的不同轮廓变形。
图7示出了流动停止区的不同实施方式。
图8示出了控制树脂流动的特征的不同实施方式。
具体实施方式
图1以图1A-图1G示出了制造光学透镜元件阵列的方法的第一阶段。设置具有多个凹部3的第一模具1，其中向多个凹部3中施加第一聚合物液体2(见图1A)。根据图1B，设置第一接触成形基板5，使第一接触成形基板5与存在于多个凹部3中的第一聚合物液体2接触。通过该接触，第一聚合物液体2将被压入多个凹部3并将部分流出多个凹部且覆盖第一模具1的表面的一些区域。因而，在第一模具1的表面上不存在第一聚合物液体2的连续层。因而，第一接触成形基板5与第一聚合物液体2的这种接触使第一聚合物液体2的背离多个凹部3的轮廓构型发生变形。在图1C中，在固化步骤期间维持第一接触成形基板5的位置，其中通过能量4使第一聚合物液体2固化以形成多个复制透镜6。在移除第一接触成形基板5的情况下(如图1D所示)，复制透镜6的表面7变形。在图1E中，通过能量4使第一聚合物液体固化以形成多个复制透镜6。在图1E中，在固化步骤期间未使用第一接触成形基板5。在图1E中，复制透镜6的表面未变形。在图1F和图1G中，示出了移除第一模具1之后的光学透镜元件6的阵列。光学透镜元件6的阵列包括一种单一聚合物、即固化的第一聚合物和第一接触成形基板5。如图1F和图1G所示，第一接触成形基板5的表面的部分63不设置固化的聚合物。轮廓形状64(见图1F)和轮廓形状60(见图1G)受第一接触成形基板5的表面张力的影响，其中用附图标记63标识第一接触成形基板5的表面。表面部分61是在固化之前使第一接触成形基板5与第一聚合物液体2接触的步骤的结果(见图1B)。特别地，各透镜元件的轮廓直径由第一聚合物液体的量以及接触成形基板与模具之间的距离和局部表面张力决定。轮廓62的形状由第一模具1中的多个凹部3的形状决定。
图2以图2A-图2D示出了制造光学透镜元件阵列的方法的第二阶段。具有多个凹部3的第一模具1内设置有复制透镜6。在图2A中，向多个复制透镜6提供第二聚合物液体8。根据图2B，设置第二接触成形基板9，使第二接触成形基板9与存在于多个凹部3中的复制透镜6接触。如图2B所示，该第二聚合物液体8完全覆盖复制透镜6。用附图标记10表示第二聚合物液体8的外周轮廓。在图2C中，通过能量4使第二聚合物液体8固化。在图2D中，示出了为了获得所述光学透镜元件阵列而在使第二聚合物液体固化之后移除第一模具1的步骤，所述光学透镜元件阵列包括设置有固化的第二聚合物11和复制透镜6的第二接触成形基板9。
图3示出了从如图1D所示的构造开始的、制造光学透镜元件阵列的方法的第二阶段的另一实施方式。在图3A中，具有多个凹部3的第一模具1内设置有复制透镜6。在图3A中，向多个复制透镜6的变形的表面7提供第二聚合物液体8。根据图3B，设置第二接触成形基板12，使第二接触成形基板12与位于存在于多个凹部3中的复制透镜6的第二聚合物液体8接触。如图3B所示，该第二聚合物液体8完全覆盖复制透镜6。用附图标记14表示第二聚合物液体8的外周轮廓。在图3C中，通过能量4使第二聚合物液体8固化。在图3D中，示出了为了获得所述光学透镜元件阵列而在使第二聚合物液体8固化之后移除第一模具1的步骤，所述光学透镜元件阵列包括设置有固化的第二聚合物和复制透镜6的第二接触成形基板12。图3D还示出了固化的第二聚合物的外周轮廓14、后填充界面15、16。图3F示出了与图3D相似但具有不同外周轮廓17的实施方式。该不同的外周轮廓能够通过对模具表面施加不同的表面能来实现。图3G示出了半月形状的侧向曲率形状14。图3H示出了钟表曲线形状(bell clockcurve shape)的侧向曲率形状17。附图标记13是透光孔边缘(clear aperture edge)，附图标记15、18是侧缘。
图4示出了制造光学透镜元件阵列的方法的第二阶段的另一实施方式。在图4A中，具有多个凹部3的第一模具1内设置有复制透镜6。透镜6的透镜表面具有形状外周部19、缓冲区。在图4A中，向多个复制透镜6的表面提供第二聚合物液体8。根据图4B，设置第二接触成形基板21，使第二接触成形基板21与位于存在于多个凹部3中的复制透镜6的第二聚合物液体8接触。如图4B所示，该第二聚合物液体8完全覆盖复制透镜6。用附图标记20表示第二聚合物液体8的外周轮廓。在图4C中，通过能量4使第二聚合物液体8固化。在图4D中，示出了为了获得所述光学透镜元件阵列而在使第二聚合物液体8固化之后移除第一模具1的步骤，所述光学透镜元件阵列包括设置有固化的第二聚合物和复制透镜6的第二接触成形基板21。图3D还示出了固化的第二聚合物的外周轮廓20、23、后填充界面19、22。图3D示出了半月形状的侧向曲率形状20、23。
图5示出了制造光学透镜元件阵列的方法的第二阶段的另一实施方式。在图5A中，具有多个凹部3的第一模具1内设置有复制透镜6。第一模具1在透镜6之间设置有额外的曲率部或倾斜部25。在图5A中，向多个复制透镜6的表面提供第二聚合物液体8。根据图5B，设置第二接触成形基板24，使第二接触成形基板24与位于存在于多个凹部3中的复制透镜6的第二聚合物液体8接触。如图5B所示，该第二聚合物液体8完全覆盖复制透镜6。用附图标记26表示第二聚合物液体8的外周轮廓。在图5C中，通过能量4使第二聚合物液体8固化。在图5D中，示出了为了获得所述光学透镜元件阵列而在使第二聚合物液体8固化之后移除第一模具1的步骤，所述光学透镜元件阵列包括设置有固化的第二聚合物和复制透镜6的第二接触成形基板24。
图6A-图6E示出了侧向曲率形状的不同轮廓变形。在图6A中，透镜基板32设置有固化的聚合物31，其中固化的聚合物31设置有固化的聚合物30。固化的聚合物31完全覆盖固化的聚合物30。图6A还示出了流动停止区37、侧向曲率形状36、侧缘35、后填充界面34、透光孔边缘33。图6A-图6E所示的所有光学元件均具有至少两个连续的树脂材料区30、31，其中这些区之间的预填充/后填充界面34位于透光孔边缘33与同透镜基板32接合的外缘38之间。侧向曲率36和侧缘35的形状由模具(这里未示出)与透镜基板32之间的表面张力的局部差异决定。外缘轮廓由流动停止区37的形状决定。图6A、图6B、图6D和图6E示出了半月形状的侧向曲率形状36。图6C示出了作为钟表曲线形状的侧向曲率形状36。
图7以图7A-图7F示出了流动停止区的不同实施方式。外缘41的轮廓由具有不同表面能/润湿性的起到使液体树脂的流动停止的作用的薄的流动“停止”层42或图案的形状决定。停止层42的厚度在亚微米到分子单层的范围内。根据设计，停止层42可以具有任意的形状或图案。根据光学设计，透镜(透光孔边缘40)的轮廓在这里是圆形的，但是还可以具有任意其它形状(椭圆形、圆柱形、截头形、拼接形(connected))。
图8示出了用于控制树脂流动的特征46、47、48、49、50、51的不同实施方式。图案因模具和/或成形基板和/或透镜基板上的表面张力的不同而发生局部改变。局部改变可以是通过化学方法、通过等离子体(使用掩模)、通过激光或通过施加具有特定表面张力的薄膜而实现的。图案可以是永久性的，并且可以具有诸如光圈或滤波器等的光学功能。用附图标记44表示基板，用附图标记45表示模具。
当扩散着的液滴遇到具有不同表面能的区域时，两个区域之间的边界将起到使液滴的流动停止的作用。因此，具有使表面能图案(surface energy pattern)对比鲜明的图案的基板将控制树脂液滴在预定轮廓和方向内的流动。因而，图7A-图7F示出了具有表面能图案的基板的一些示例。特别地，用于建立流动停止图案的技术的示例包括丝网印刷、冲压、等离子体处理和光刻法。可选地，可以使用激光束直接写入表面能图案。从多层初期形式开始，还可以使用诸如激光烧蚀技术或蚀刻技术的消减技术来获得表面能图案化的基板。
如图所示，复制透镜的在Z方向上的下垂高度(sag height)由成形基板(5、8、12)与模具1之间的距离决定。通过精确地控制模具和成形基板在复制机中的相互位置来获得该下垂高度。可选地，可以在成形基板与模具之间使用间隔件(这里未示出)。这些间隔件可以与模具或成形基板一体化。间隔件的类型不影响本发明的结果。
此外，对于控制复制透镜的组合高度、形状和轮廓而言，精确的树脂液滴分配系统是优选的。这能够通过针分配(needle dispensing)、喷墨法或3D打印法或者其组合来实现。
应该注意，通过使表面能图案化来控制复制透镜的外周轮廓的上述方法是在X-Y方向上、即在基板表面上实现。除了实现了特定的轮廓形状以外，通过限制液体在流动停止轮廓处的扩散，流动停止还充当了用于液滴的高度的容器。液滴的过度扩散可能导致液滴具有低于复制透镜的设计好的下垂高度的不期望高度。

Claims (14)

1.一种制造光学透镜元件阵列的方法，其包括：
设置具有多个凹部的第一模具；
在所述多个凹部中施加第一聚合物液体；
设置第一接触成形基板；
使所述第一接触成形基板与所述多个凹部中的所述第一聚合物液体接触，其中所述第一接触成形基板与所述第一聚合物液体之间的所述接触使所述第一聚合物液体的背离所述多个凹部的轮廓构型发生变形；
使所述第一聚合物液体固化以形成光学透镜元件阵列。
2.根据权利要求1所述的制造光学透镜元件阵列的方法，其特征在于，所述方法在使所述第一聚合物液体固化之后还包括：
从所述光学透镜元件阵列移除所述第一接触成形基板的步骤；
向所述光学透镜元件阵列提供第二聚合物液体的步骤；
使所述第二聚合物液体固化。
3.根据权利要求1-2中任一项所述的制造光学透镜元件阵列的方法，其特征在于，所述方法在向所述光学透镜元件阵列提供所述第二聚合物液体之后还包括：
设置第二接触成形基板的步骤；
使所述第二接触成形基板与所述第二聚合物液体接触的步骤，其中所述第二接触成形基板与所述第二聚合物液体之间的所述接触使所述光学透镜元件阵列的背离具有多个凹部的所述第一模具的轮廓构型被完全覆盖；
使所述第二聚合物液体固化。
4.根据权利要求1所述的制造光学透镜元件阵列的方法，其特征在于，所述方法在使所述第一聚合物液体固化之后还包括：
移除所述第一模具的步骤。
5.根据权利要求3所述的制造光学透镜元件阵列的方法，其特征在于，所述方法在使所述第二聚合物液体固化之后还包括：
移除所述第一模具的步骤。
6.根据前述权利要求中任一项所述的制造光学透镜元件阵列的方法，其特征在于，所述第一接触成形基板设置有流动停止图案，该流动停止图案起到在所述第一接触成形基板与所述第一聚合物液体接触时使所述第一聚合物液体的流动停止的作用。
7.根据权利要求3-6中任一项所述的制造光学透镜元件阵列的方法，其特征在于，所述第二接触成形基板设置有流动停止图案，该流动停止图案起到在所述第二接触成形基板与所述第二聚合物液体接触时使所述第二聚合物液体的流动停止的作用。
8.根据权利要求6-7中任一项所述的制造光学透镜元件阵列的方法，其特征在于，所述流动停止图案包括亚微米厚的层。
9.根据权利要求6-8中任一项所述的制造光学透镜元件阵列的方法，其特征在于，所述流动停止图案包括具有与所述第一接触成形基板和/或第二接触成形基板不同的表面能的表面区域。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的制造光学透镜元件阵列的方法，其特征在于，在具有多个凹部的所述第一模具中，所述多个凹部中的至少一些凹部设置有外周部。
11.根据权利要求1-10中任一项所述的制造光学透镜元件阵列的方法，其特征在于，第一接触成形基板被构造为平坦的基板。
12.根据权利要求2-11中任一项所述的制造光学透镜元件阵列的方法，其特征在于，所述第二接触成形基板的接触面的表面能能够使完全覆盖的所述轮廓构型产生侧向曲率形状。
13.根据权利要求12所述的制造光学透镜元件阵列的方法，其特征在于，所述侧向曲率形状是半月形状。
14.根据权利要求12所述的制造光学透镜元件阵列的方法，其特征在于，所述侧向曲率形状是钟表曲线形状。
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