CN108335979B - 同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法 - Google Patents

同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108335979B
CN108335979B CN201810136626.3A CN201810136626A CN108335979B CN 108335979 B CN108335979 B CN 108335979B CN 201810136626 A CN201810136626 A CN 201810136626A CN 108335979 B CN108335979 B CN 108335979B
Authority
CN
China
Prior art keywords
incident
ionization
sample
displacement
material layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810136626.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108335979A (zh
Inventor
李兴冀
杨剑群
刘超铭
吕钢
董尚利
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CN201810136626.3A priority Critical patent/CN108335979B/zh
Publication of CN108335979A publication Critical patent/CN108335979A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108335979B publication Critical patent/CN108335979B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/322Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to modify their internal properties, e.g. to produce internal imperfections

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

本发明提供了同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法,属于空间环境效应、核科学与应用技术领域。本发明的辐照粒子能量选择方法其应用对象包括各类航天器用关键材料和器件,基于Monte Carlo计算方法,在特定材料状态条件下,计算单位注量入射粒子的电离/位移吸收剂量和射程。根据电离和位移吸收剂量的比例关系,即可确定入射粒子的能量,保证其同时产生稳定的电离和位移缺陷。

Description

同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法
技术领域
本发明涉及电离/位移协同效应,属于空间环境效应、核科学与应用技术领域,尤其涉及同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法。
背景技术
随着人类航天事业的发展,不同类型材料和器件在空间环境中的使用频率日益增多,空间环境对于航天器用关键材料和器件的影响也日益突出。人类70年的航天探索实践表明,空间环境对航天器是苛刻的、不可忽视的,有着极其重要的影响,是诱发航天器异常和故障的重要原因。其中,以空间带电粒子辐射环境对航天器用关键材料和器件的影响最为突出。这些不同类型的空间带电粒子同时作用于航天器用关键材料和器件,导致空间综合环境效应,尤其是电离/位移协同效应。
电离/位移协同效应包括两方面含义:一是同种粒子本身同时产生电离和位移效应时,彼此发生交互作用。二是两种不同种类的粒子分别产生电离和位移效应时彼此发生交互作用。无论哪种形式诱导的协同效应,其微观机理涉及电离缺陷和位移缺陷交互作用的方式。电离缺陷和位移缺陷主要通过两种方式进行交互作用:间接和直接作用方式。并且,常常是这两种方式同时作用的结果。为了深入研究电离缺陷和位移缺陷交互作用机制,有必要分别针对间接作用过程和直接作用过程开展研究工作。
基于一种粒子辐照同时产生电离和位移缺陷,开展电离/位移协同效应研究,操作方便,便于控制,节约时间及成本。然而,不同能量的粒子电离和位移损伤能力不同。有些粒子主要导致电离损伤、有些粒子主要导致位移损伤,有些粒子既能产生电离损伤同时可以产生位移损伤。如何选择合适的能量开展电离/位移协同效应、电离缺陷和位移缺陷缺陷演化研究是目前研究的热点及难点问题。
发明内容
本发明的目的是为了解决无法有效的选择合适的能量开展电离/位移协同效应的问题,本发明提供一种基于Monte Carlo(蒙特卡罗方法)方法以有效选择合适的能量开展电离/位移协同效应的同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法。
本发明提供了一种同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法,提供一入射粒子库,所述入射粒子库中存储多种入射粒子;所述辐照粒子能量选择方法包括下述步骤:
S1.识别待测样品的类型,所述待测样品至少包括一层材料层,分析所述待测样品的组分,以获取每层材料层厚度,预设所述待测样品表面最大入射阈值距离;
S2.从所述入射粒子库选择一种入射粒子,采用蒙特卡罗方法计算采用所述入射粒子入射所述待测样品时的入射深度,及单位注入的所述入射粒子在每层所述材料层内的电离吸收剂量Idi和位移吸收剂量Ddi
其中,i表示第i层材料层;
S3.判断所述入射深度是否大于或等于4倍的最大入射阈值距离,若是,执行步骤S5;若否,执行步骤S4;
S4.将所述入射粒子在所述入射粒子库移除,返回执行所述步骤S2;
S5.采用蒙特卡罗方法计算所述入射粒子入射所述待测样品时,单位路径上所损失的能量;
S6.判断损失的能量在每层所述材料层内的不均匀度是否均符合预设范围,若是,执行步骤S7;若否,返回执行步骤S4;
S7.根据单位注入的所述入射粒子在每层所述材料层内的电离吸收剂量Idi和位移吸收剂量Ddi,计算Yi=log(Idi/Ddi)的值,Yi表示入射粒子在第i层材料层中的电离损伤能力值;
S8.判断每一材料层的Yi是否均符合预设条件,所述预设条件为:3≤Yi≤5,若是,则所述入射粒子能同时在所述待测样品产生电离缺陷和位移缺陷;若否,则返回所述步骤S4。
优选的,所述入射粒子库中包括的入射粒子类型为:电子、质子、重离子、中子、光子和介子。
优选的,所述待测样品的类型包括:功能型材料样品,和/或结构型材料样品,和/或器件型材料样品。
优选的,所述材料层包括:绝缘材料层;或
所述材料层包括:绝缘材料层和半导体材料层。
优选的,所述预设范围为小于等于10%。
上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代,只要能够达到本发明的目的。
本发明的有益效果在于,本发明的辐照粒子能量选择方法步骤简单,易于操作。本发明的技术途径能够大幅度降低试验的费用,对材料和器件空间环境效应地面模拟试验和研究具有重大的意义。在空间环境效应研究与抗辐照加固技术应用中,有着明显的优势和广泛的应用前景。
附图说明
图1为本发明所述的同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法的一种实施例的方法流程图;
图2为本发明的入射粒子在半导体材料中诱发的电子/空穴对、间隙原子/空位对、以及稳定电离和位移缺陷示意图;
图3为单位注量的1MeV电子和3MeV质子在NPN晶体管中的电离和位移吸收剂量曲线图;
图4为1MeV电子辐照电离缺陷(氧化物电荷和界面态)和位移缺陷(氧空位心)信号的曲线图;
图5为3MeV质子辐照电离缺陷(氧化物电荷)和位移缺陷(氧空位心和双空位心)信号的曲线图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
需要说明的是,在不冲突的情况下,本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明,但不作为本发明的限定。
如图1所示,一种同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法,提供一入射粒子库,所述入射粒子库中存储多种入射粒子;所述辐照粒子能量选择方法包括下述步骤:
S1.识别待测样品的类型,所述待测样品至少包括一层材料层,分析所述待测样品的组分,以获取每层材料层厚度,预设所述待测样品表面最大入射阈值距离;
S2.从所述入射粒子库选择一种入射粒子,采用蒙特卡罗方法计算采用所述入射粒子入射所述待测样品时的入射深度,及单位注入的所述入射粒子在每层所述材料层内的电离吸收剂量Idi和位移吸收剂量Ddi
其中,i表示第i层材料层;
S3.判断所述入射深度是否大于或等于4倍的最大入射阈值距离,以保证辐射损伤的均匀性,若是,执行步骤S5;若否,执行步骤S4;
S4.将所述入射粒子在所述入射粒子库移除,返回执行所述步骤S2;
S5.采用蒙特卡罗方法计算所述入射粒子入射所述待测样品时,单位路径上所损失的能量;
S6.判断损失的能量在每层所述材料层内的不均匀度是否均符合预设范围,所述预设范围为小于等于10%,以保证辐射损伤的均匀性,若是,执行步骤S7;若否,返回执行步骤S4;
S7.根据单位注入的所述入射粒子在每层所述材料层内的电离吸收剂量Idi和位移吸收剂量Ddi,计算Yi=log(Idi/Ddi)的值,Yi表示入射粒子在第i层材料层中的电离损伤能力值;
S8.判断每一材料层的Yi是否均符合预设条件,所述预设条件为:3≤Yi≤5,若是,则所述入射粒子能同时在所述待测样品产生电离缺陷和位移缺陷;若否,则返回所述步骤S4。
进一步地,所述入射粒子库中包括的入射粒子类型为:电子、质子、重离子、中子、光子和介子。
所述待测样品的类型包括:功能型材料样品,和/或结构型材料样品,和/或器件型材料样品。
功能型材料样品包括绝缘材料层和半导体材料层;
结构型材料样品包括绝缘材料层;
器件型材料样品包括绝缘材料层和半导体材料层。
在本实施例中,不同类型的入射粒子(尤其是不同类型的带电粒子),在材料和器件的输运过程中,会同时产生电离和位移损伤,分别会在瞬间导致大量的电子—空穴对和间隙原子—空位对。这些电子/空穴对和间隙原子/空位对,在室温条件下不稳定,大部分会发生复合。未发生复合的电子/空穴对和间隙原子/空位对会继续在材料与器件中运动。在此运动过程中,间隙原子、空位会与靶材原子或杂质形成稳定缺陷;电子、空穴也会被俘获,逐渐形成稳定的缺陷。不同材料对上述复合过程影响不同,导体材料主要会影响间隙原子/空位对的复合;半导体材料中间隙原子/空位对的复合除受半导体材料影响外,还会受到电子/空穴对的影响;绝缘体材料中的间隙原子/空位对和电子/空穴对的复合会发生交互作用。因此,为研究稳定的电离缺陷和位移缺陷,主要针对半导体材料和绝缘体材料。为此,需要选择合适能量的入射粒子,并通过Monte Carlo方法计算,保证其在材料内部可以同时产生电离缺陷和位移缺陷。入射粒子在半导体材料中产生稳定电离缺陷和位移缺陷的示意图,如图2所示。
航天器用关键材料和器件主要受到不同能量的质子、电子及重离子等空间综合辐射环境因素的影响。本发明基于Monte Carlo计算方法,分别计算不同能量和类型带电粒子的穿透深度,以及单位注量粒子所产生的电离和位移吸收剂量,通过综合运用射程与单位注量吸收剂量的关系,来实现一种粒子同时产生稳定的电离缺陷和位移缺陷的目的。
为了进一步说明上述方式的合适性,将待测样品选择为NPN晶体管(器件型材料样品),其绝缘体材料和半导体材料距芯片表面最远的有效距离约为10μm,绝缘层和半导体厚度分别为900nm和9μm。选择1MeV电子和3MeV质子作为入射粒子,基于Monte Carlo方法计算,在NPN器件中的入射深度分别为2mm和100μm,在绝缘层和半导体层中的能量损失不均匀度小于1%。
图3展示了单位注量的1MeV电子和3MeV质子在NPN晶体管中的电离和位移吸收剂量。由图3中的计算结果可知,在绝缘层和半导体层内,1MeV电子和3MeV质子的Yi=log(Idi/Ddi)分别为4.7和3.9,满足同时产生电离和位移缺陷的要求。为了验证该结论,图4和5分别给出了经1MeV电子和3MeV质子辐照后,稳定缺陷的测试结果。图4和图5中纵坐标DLTS均表示深能级瞬态谱仪信号的强度,由图可见,1MeV电子和3MeV质子均可在NPN晶体管内同时诱导电离缺陷和位移缺陷。
本发明提供的辐照粒子能量选择方法,其应用对象包括各类航天器用关键材料和器件,基于Monte Carlo计算方法,在特定材料状态条件下,计算单位注量入射粒子的电离/位移吸收剂量和射程。根据电离和位移吸收剂量的比例关系,即可确定入射粒子的能量,保证其同时产生稳定的电离和位移缺陷。
虽然在本文中参照了特定的实施方式来描述本发明,但是应该理解的是,这些实施例仅仅是本发明的原理和应用的示例。因此应该理解的是,可以对示例性的实施例进行许多修改,并且可以设计出其他的布置,只要不偏离所附权利要求所限定的本发明的精神和范围。应该理解的是,可以通过不同于原始权利要求所描述的方式来结合不同的从属权利要求和本文中所述的特征。还可以理解的是,结合单独实施例所描述的特征可以使用在其他所述实施例中。

Claims (4)

1.一种同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法,提供一入射粒子库,所述入射粒子库中存储多种入射粒子;其特征在于:所述辐照粒子能量选择方法包括下述步骤:
S1.识别待测样品的类型,所述待测样品至少包括一层材料层,分析所述待测样品的组分,以获取每层材料层厚度,预设所述待测样品表面最大入射阈值距离;
S2.从所述入射粒子库选择一种入射粒子,采用蒙特卡罗方法计算采用所述入射粒子入射所述待测样品时的入射深度,及单位注入的所述入射粒子在每层所述材料层内的电离吸收剂量Idi和位移吸收剂量Ddi
其中,i表示第i层材料层;
S3.判断所述入射深度是否大于或等于4倍的最大入射阈值距离,若是,执行步骤S5;若否,执行步骤S4;
S4.将所述入射粒子在所述入射粒子库移除,返回执行所述步骤S2;
S5.采用蒙特卡罗方法计算所述入射粒子入射所述待测样品时,单位路径上所损失的能量;
S6.判断损失的能量在每层所述材料层内的不均匀度是否均符合预设范围,若是,执行步骤S7;若否,返回执行步骤S4;预设范围为小于等于10%;
S7.根据单位注入的所述入射粒子在每层所述材料层内的电离吸收剂量Idi和位移吸收剂量Ddi,计算Yi=log(Idi/Ddi)的值,Yi表示入射粒子在第i层材料层中的电离损伤能力值;
S8.判断每一材料层的Yi是否均符合预设条件,所述预设条件为:3≤Yi≤5,若是,则所述入射粒子能同时在所述待测样品产生电离缺陷和位移缺陷;若否,则返回所述步骤S4。
2.根据权利要求1所述的同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法,其特征在于,所述入射粒子库中包括的入射粒子类型为:电子、质子、重离子、中子、光子和介子。
3.根据权利要求1所述的同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法,其特征在于,所述待测样品的类型包括:功能型材料样品,和/或结构型材料样品,和/或器件型材料样品。
4.根据权利要求1所述的同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法,其特征在于,所述材料层包括:绝缘材料层;或
所述材料层包括:绝缘材料层和半导体材料层。
CN201810136626.3A 2018-02-09 2018-02-09 同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法 Active CN108335979B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810136626.3A CN108335979B (zh) 2018-02-09 2018-02-09 同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810136626.3A CN108335979B (zh) 2018-02-09 2018-02-09 同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108335979A CN108335979A (zh) 2018-07-27
CN108335979B true CN108335979B (zh) 2020-06-30

Family

ID=62928716

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810136626.3A Active CN108335979B (zh) 2018-02-09 2018-02-09 同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108335979B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111766496B (zh) * 2020-07-28 2022-11-25 哈尔滨工业大学 双极晶体管位移损伤敏感部位的检测方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103091698A (zh) * 2013-01-23 2013-05-08 哈尔滨工业大学 一种质子/电子综合辐照束流注量的检测方法
CN103116176A (zh) * 2013-01-23 2013-05-22 哈尔滨工业大学 电子元器件带电粒子辐照效应地面等效注量计算方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103091698A (zh) * 2013-01-23 2013-05-08 哈尔滨工业大学 一种质子/电子综合辐照束流注量的检测方法
CN103116176A (zh) * 2013-01-23 2013-05-22 哈尔滨工业大学 电子元器件带电粒子辐照效应地面等效注量计算方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Ionization damage in NPN transistors caused by lower energy electrons;Xingji Li et.al.;《Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A》;20100507;全文 *
Reaearch on the Combined Effects of Ionization and Displacement Defects in NPN Transistors Based on Deep Level Transient Spectroscopy;Xingji Li et.al.;《IEEE TRANSACTIONS ON NUCLEAR SCIENCE》;20150401;第62卷;全文 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN108335979A (zh) 2018-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9506970B2 (en) Method for characterizing the sensitivity of electronic components to destructive mechanisms
CN111737935B (zh) 功率器件失效率评估方法、计算机设备以及存储介质
CN106650039B (zh) 电子器件大气中子单粒子效应预测方法及装置
Roeed et al. An overview of the radiation environment at the LHC in light of R2E irradiation test activities
Alia et al. SEL cross section energy dependence impact on the high energy accelerator failure rate
CN108346565B (zh) 一种基于电离辐照诱导位移缺陷退火的方法
CN108460196A (zh) 双极器件异种辐照源电离损伤等效评价试验方法
CN108335979B (zh) 同时产生电离和位移缺陷的辐照粒子能量选择方法
Kuboyama et al. Characterization of microdose damage caused by single heavy ion observed in trench type power MOSFETs
Rezaei et al. Evaluation of a COTS 65-nm SRAM under 15 MeV Protons and 14 MeV Neutrons at Low VDD
CN108335984B (zh) 一种判断电子器件费米能级发生钉扎效应的方法
CN108334706B (zh) 双极器件位移损伤引起的性能退化的等效评价方法
JP2011504581A (ja) 電子部品の粒子感度を決定する方法
Perrey Jets at low Q 2 at HERA and radiation damage studies for silicon sensors for the XFEL
CN108345747B (zh) 一种研究电离缺陷和位移缺陷间接交互作用的试验方法
CN108363864B (zh) 一种研究电离缺陷和位移缺陷直接交互作用的试验方法
Passeri et al. TCAD-based analysis of radiation-hardness in silicon detectors
Peng et al. Terrestrial neutron induced failure rate measurement of SiC MOSFETs using China spallation neutron source
CN111856238B (zh) 一种基于载流子流向的晶体管辐射损伤分析方法及装置
Xing-Ji et al. Radiation effects on MOS and bipolar devices by 8 MeV protons, 60 MeV Br ions and 1 MeV electrons
Moscatelli et al. Measurements and TCAD simulations of bulk and surface radiation damage effects in silicon detectors
Zeynali et al. Study of “radiation effects of nuclear high energy particles” on electronic circuits and methods to reduce its destructive effects
Nikiforov et al. Simulation of space radiation effects in microelectronic parts
Iwashita et al. Accelerated tests of soft errors in network systems using a compact accelerator-driven neutron source
Geng et al. Simulation of the characteristics of low-energy proton induced single event upset

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant