CN108287060A - 一种激光发散角的测量装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提出一种激光发散角的测量装置及方法,属光学计量领域。其特点是利用CCD成像元件搭配合适焦距的透镜进行激光发散角的测量。激光经过透镜在CCD上成像,测得透镜与CCD不同间隔处的光斑的大小,通过数据拟合即可求出激光器在透镜焦点处光斑的大小。利用光斑大小与透镜焦距的关系就可以求出激光器的发散角。该方法对透镜与CCD之间的距离没有苛刻要求,方法简单精度高,应用前景广的特点。
Description
技术领域
本发明属于光学计量领域,主要涉及激光发散角的测量方法,尤其涉及单模激光器发散角的测量装置及方法。
背景技术
发散角是表征激光器输出特性的重要参数之一,该参数的优劣直接影响着激光在许多领域中的应用效能,因此激光发散角的精确测量在激光器的研制、生产和应用过程中都具有非常重要的意义。
常用的测量方法有焦点刀口扫描法、CCD摄像法、偏振光干涉法等。其中刀口扫描法、偏振光干涉法操作麻烦,光阑法由于光阑口径难以精确测量,误差很大。CCD法操作最为简便。CCD法中要求CCD准确放置于透镜的焦点位置,由于现有技术限制,CCD严格放置于焦点位置很难实现,其偏离量直接影响测量精度,这种影响在使用短焦距透镜测量时尤为明显,也成为CCD法测量激光发散角的难点。
发明内容
为解决现有技术存在的问题,本发明提出了一种激光发散角的测量装置及方法,通过测量透镜不同距离处的激光光斑大小,并将光斑直径与位置关系进行数据拟合,巧妙的找出透镜焦点位置处激光光斑的大小,从而规避了原有CCD测量方法中对CCD位置的苛刻要求,使得CCD测量方法更加方便快捷,在同等条件下测量精度也极高,为CCD测量激光发散角设备的小型化提供一种途径。
本发明的技术方案为:
所述一种激光发散角的测量装置,其特征在于:包括激光光源、CCD、衰减器、透镜和图像记录与处理系统;激光光源和CCD分别安装在两个平移台上,两个平移台能够沿光路光轴方向移动;衰减器和透镜依次布置在激光光源与CCD相机之间的光路上,激光光源、透镜和CCD三者共光轴;图像记录与处理系统控制CCD采集图像,并根据图像进行数据处理。
所述一种激光发散角的测量方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤1:点亮激光光源,图像记录与处理系统控制CCD采集图像;通过调节衰减器的衰减量以及CCD积分时间,使得CCD采集到的图像数据的最大灰度值与CCD饱和灰度值的百分比值不小于60%,且CCD采集到的图像数据灰度值不饱和;
步骤2:控制安装CCD的平移台沿光轴做等间隔运动,记录每个间隔点的位置zi,并在每个间隔点处通过CCD采集图像;
步骤3:控制安装激光光源的平移台沿光轴移动设定距离,再次控制安装CCD的平移台沿光轴做等间隔运动,记录每个间隔点的位置zi’,并在每个间隔点处通过CCD采集图像;
步骤4:图像记录与处理系统对步骤2和步骤3得到的图像进行以下处理:
步骤4.1:计算步骤2中每个间隔点处采集图像中的光斑水平方向大小xi1和竖直方向大小yi1,计算步骤3中每个间隔点处采集图像中的光斑水平方向大小xi2和竖直方向大小yi2,其中光斑边缘灰度值为光斑中心灰度值的1/e^2倍;
步骤4.2:将步骤2中每个间隔点处采集图像中的光斑水平方向大小xi1,以及对应的间隔点位置zi代入方程x2=az2+bz+c进行拟合,得到x1方程;将步骤3中每个间隔点处采集图像中的光斑水平方向大小xi2,以及对应的间隔点位置zi’代入方程x2=az2+bz+c进行拟合,得到x2方程;取x1方程和x2方程的交点记为(z,x);得到激光水平方向的发散角为σ为像元大小,f为透镜焦距;
步骤4.3:将步骤2中每个间隔点处采集图像中的光斑竖直方向大小yi1,以及对应的间隔点位置zi代入方程y2=az2+bz+c进行拟合,得到y1方程;将步骤3中每个间隔点处采集图像中的光斑竖直方向大小yi2,以及对应的间隔点位置zi’代入方程y2=az2+bz+c进行拟合,得到y2方程;取y1方程和y2方程的交点记为(z,y);得到激光竖直方向的发散角为σ为像元大小,f为透镜焦距。
有益效果
本发明通过测量透镜不同距离处的激光光斑大小,并将光斑直径与位置关系进行数据拟合,巧妙的找出透镜焦点位置处激光光斑的大小,从而规避了原有CCD测量方法中对CCD位置的苛刻要求,使得CCD测量方法更加方便快捷,在同等条件下测量精度也极高,为CCD测量激光发散角设备的小型化提供一种方法。
附图说明
图1一种激光发散角的测量方法示意图。
具体实施方式
为了进一步揭示本发明,下面结合附图及优选实施例对本发明作进一步的描述。
如图1所示,本实施例中的激光发散角的测量装置包括激光光源、CCD、衰减器、透镜和图像记录与处理系统;激光光源和CCD分别安装在两个平移台上,两个平移台能够沿光路光轴方向移动;衰减器和透镜依次布置在激光光源与CCD相机之间的光路上,激光光源、透镜和CCD三者共光轴;图像记录与处理系统控制CCD采集图像,并根据图像进行数据处理。
如图1所示,将激光光源放置于电动平移台,电动平移台固定于光学平台上。在光源后面10mm处放置可变衰减器,将焦距为50mm的透镜放置于光源后面70mm处,将行程为20mm的电动平移台置于透镜后面70mm处,CCD摄像机置于电动平移台之上,使CCD摄像机可以随电动平移台沿光轴方向移动。调整光源、透镜、CCD摄像机之间的相对高度及相对位置,使三者共光轴。CCD摄像机与图像记录与处理系统相连;测试前,首先调整衰减器至其最大衰减量,开启光源,该光束经透镜后成像于CCD摄像机。
利用上述装置进行激光发散角的测量方法步骤为:
步骤1:点亮激光光源,图像记录与处理系统控制CCD采集图像;通过调节衰减器的衰减量以及CCD积分时间,使得CCD采集到的图像数据的最大灰度值与CCD饱和灰度值的百分比值为80%;
步骤2:控制安装CCD的平移台沿光轴做等间隔运动,记录每个间隔点的位置zi,并在每个间隔点处通过CCD采集图像;
步骤3:控制安装激光光源的平移台沿光轴移动5cm,再次控制安装CCD的平移台沿光轴做等间隔运动,记录每个间隔点的位置zi’,并在每个间隔点处通过CCD采集图像;
步骤4:图像记录与处理系统对步骤2和步骤3得到的图像进行以下处理:
步骤4.1:计算步骤2中每个间隔点处采集图像中的光斑水平方向大小xi1和竖直方向大小yi1,计算步骤3中每个间隔点处采集图像中的光斑水平方向大小xi2和竖直方向大小yi2,其中光斑边缘灰度值为光斑中心灰度值的1/e2倍;
步骤4.2:将步骤2中每个间隔点处采集图像中的光斑水平方向大小xi1,以及对应的间隔点位置zi代入方程x2=az2+bz+c进行拟合,得到x1方程;将步骤3中每个间隔点处采集图像中的光斑水平方向大小xi2,以及对应的间隔点位置zi’代入方程x2=az2+bz+c进行拟合,得到x2方程;取x1方程和x2方程的交点记为(z,x);得到激光水平方向的发散角为σ为CCD摄像机像元大小,f为透镜焦距;
步骤4.3:将步骤2中每个间隔点处采集图像中的光斑竖直方向大小yi1,以及对应的间隔点位置zi代入方程y2=az2+bz+c进行拟合,得到y1方程;将步骤3中每个间隔点处采集图像中的光斑竖直方向大小yi2,以及对应的间隔点位置zi’代入方程y2=az2+bz+c进行拟合,得到y2方程;取y1方程和y2方程的交点记为(z,y);得到激光竖直方向的发散角为σ为像元大小,f为透镜焦距。
本发明利用CCD成像元件搭配合适焦距的透镜进行激光发散角的测量,激光经过透镜在CCD上成像,测得透镜与CCD不同间隔处的光斑的大小,通过数据拟合即可求出激光器在透镜焦点处光斑的大小。利用光斑大小与透镜焦距的关系就可以求出激光器的发散角。该方法对透镜与CCD之间的距离没有苛刻要求,方法简单精度高,应用前景广的特点。
Claims (2)
1.一种激光发散角的测量装置,其特征在于:包括激光光源、CCD、衰减器、透镜和图像记录与处理系统;激光光源和CCD分别安装在两个平移台上,两个平移台能够沿光路光轴方向移动;衰减器和透镜依次布置在激光光源与CCD相机之间的光路上,激光光源、透镜和CCD三者共光轴;图像记录与处理系统控制CCD采集图像,并根据图像进行数据处理。
2.利用权利要求1所述装置进行激光发散角测量的方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤1:点亮激光光源,图像记录与处理系统控制CCD采集图像;通过调节衰减器的衰减量以及CCD积分时间,使得CCD采集到的图像数据的最大灰度值与CCD饱和灰度值的百分比值不小于60%,且CCD采集到的图像数据灰度值不饱和;
步骤2:控制安装CCD的平移台沿光轴做等间隔运动,记录每个间隔点的位置zi,并在每个间隔点处通过CCD采集图像;
步骤3:控制安装激光光源的平移台沿光轴移动设定距离,再次控制安装CCD的平移台沿光轴做等间隔运动,记录每个间隔点的位置zi’,并在每个间隔点处通过CCD采集图像;
步骤4:图像记录与处理系统对步骤2和步骤3得到的图像进行以下处理:
步骤4.1:计算步骤2中每个间隔点处采集图像中的光斑水平方向大小xi1和竖直方向大小yi1,计算步骤3中每个间隔点处采集图像中的光斑水平方向大小xi2和竖直方向大小yi2,其中光斑边缘灰度值为光斑中心灰度值的1/e^2倍;
步骤4.2:将步骤2中每个间隔点处采集图像中的光斑水平方向大小xi1,以及对应的间隔点位置zi代入方程x2=az2+bz+c进行拟合,得到x1方程;将步骤3中每个间隔点处采集图像中的光斑水平方向大小xi2,以及对应的间隔点位置zi’代入方程x2=az2+bz+c进行拟合,得到x2方程;取x1方程和x2方程的交点记为(z,x);得到激光水平方向的发散角为σ为像元大小,f为透镜焦距;
步骤4.3:将步骤2中每个间隔点处采集图像中的光斑竖直方向大小yi1,以及对应的间隔点位置zi代入方程y2=az2+bz+c进行拟合,得到y1方程;将步骤3中每个间隔点处采集图像中的光斑竖直方向大小yi2,以及对应的间隔点位置zi’代入方程y2=az2+bz+c进行拟合,得到y2方程;取y1方程和y2方程的交点记为(z,y);得到激光竖直方向的发散角为σ为像元大小,f为透镜焦距。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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