CN108287058A - 校正高功率激光器m2测量系统热形变的装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置及方法,沿光路依次设置标准平晶、功率衰减平行平板、第一楔板反射镜、第二楔板反射镜、分光镜、波前探测器和动态干涉仪;第二楔板反射镜设置于第一楔板反射镜的反射光路上;分光镜设置于第二楔板反射镜的反射光路上;波前探测器设置于分光镜的透射光路上,动态干涉仪设置于分光镜的反射光路上。装置中标准平晶、功率衰减平行平板、第一楔板反射镜、第二楔板反射镜、分光镜上均镀有特定反射率的膜。本发明可以对高功率激光器M2测量系统中光学元件热形变带来的M2误差进行测量和去除,同时保证测量过程的高速,在高精度的测量中实现光束质量M2的动态测量。
Description
技术领域
本发明涉及高功率激光器测量领域,具体涉及校正高功率激光器M2测量系 统热形变的装置及方法。
背景技术
近年来激光技术不断进步,高功率激光器发展迅猛,并迅速应用于工业和军 事等领域。在制造工业中,它可以作为高强度光源,用于切割、打孔、焊接等。 在军事领域可用于车载、舰载激光武器,也可作为激光武器的信标光源,并且在 光电对抗、激光制导和激光诱导核聚变等领域也有广泛应用。为衡量激光光束优 劣,要对激光光束质量进行评价,用以指导激光器生产和提供应用参考。针对不 同的激光应用,历史上科学家提出了各种各样的评价参数,比如:光束质量因子 M2,斯特列尔比,桶中功率,衍射极限因子β等。由于光束质量M2因子同时涵盖 了激光的近场及远场特性,相较其它定义方式,其已广泛被国际光学界所承认, 并由ISO国际标准化组织予以推荐。
对激光光束质量因子M2的测量,科学家们提出了各种各样的方法。有需要 一定测量时间的CCD多位置测量法、刀口法、液体透镜法等,也有许多动态的测 量方法,比如波前分析法,模式分解法,法布里-珀罗腔法等。
但在高功率激光器光束质量因子M2的测量过程中,测试光路中的光学元件 会由于激光照射产生热形变,进而带来波前畸变,这使得采用需要一定测量时间 的方法的计算结果必然有一定的误差,动态测量的方法又不能充分表明高功率激 光器本身的光束质量。
因此,对于高功率激光器的实时准确测量应更多考虑采用动态测量的方法, 同时,需要对动态测量中光学元件热形变对光束质量因子M2的影响进行测量计 算并去除。波前分析法是一种基于波前探测器的动态测量光束质量的方法,由波 前探测器复原待测激光复振幅,进而获取待测激光的波前和波前,光束质量因子 M2利用角谱理论进行计算,且计算过程严格按照ISO11146国际标准。对于光学 元件受激光照射热形变的影响,采用动态干涉仪进行测量,通过动态干涉仪实时 获取测试光路中的波前畸变,再经过分析计算,可以获得测试光路中热形变带来 的光束质量因子M2测量误差,以及校正后的光束质量因子M2。
发明内容
本发明的目的在于提供一种校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置及 方法,可以得到光学元件热形变带来的激光光束质量因子M2测量误差,并对M2动态测量的结果进行校正,可对M2实时精确测量,提高M2测量精度与速度。
实现本发明目的的技术解决方案为:一种校正高功率激光器M2测量系统热 形变的装置,包括标准平晶、功率衰减平行平板、光功率计、第一楔板反射镜、 第二楔板反射镜、第一收光器、分光镜、波前探测器和动态干涉仪;沿光路依次 设置标准平晶、功率衰减平行平板、第一楔板反射镜、第二楔板反射镜、分光镜、 波前探测器和动态干涉仪;光功率计设置于功率衰减平行平板的反射光路上;第 一楔板反射镜设置于功率衰减平行平板的透射光路上,第二楔板反射镜设置于第 一楔板反射镜的反射光路上,第一收光器设置于第一楔板反射镜的透射光路上; 分光镜设置于第二楔板反射镜的反射光路上;经分光镜滤光,波前探测器设置于 分光镜的透射光路上,动态干涉仪设置于分光镜的反射光路上。
一种基于校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置的测量方法,方法步 骤如下:
步骤1、被测激光束垂直入射到标准平晶,经过标准平晶后透射入射到功率 衰减平行平板;被测激光光束入射到功率衰减平行平板后,分成反射光路和透射 光路,反射光入射到光功率计,透射光入射到第一楔板反射镜;被测激光光束入 射到第一楔板反射镜后,分成反射光路和透射光路,透射光入射到第一收光器, 反射光入射到第二楔板反射镜;被测激光光束入射到第二楔板反射镜后,反射光 入射到分光镜;被测激光光束入射到分光镜后,透射光入射到波前探测器。
步骤2、按照步骤1中被测激光在分光镜处的反射光路的反方向,动态干涉 仪出射的光束入射到分光镜;动态干涉仪的光束入射到分光镜后,反射光入射到 第二楔板反射镜;动态干涉仪的光束入射到第二楔板反射镜后,反射光入射到第 一楔板反射镜;动态干涉仪的光束入射到第一楔板反射镜后,反射光入射到功率 衰减平行平板;动态干涉仪的光束入射到功率衰减平行平板后,透射光入射到标 准平晶;动态干涉仪的光束入射到标准平晶后,在标准平晶靠近激光源的一面反 射,光路原路返回,再依次透射经过标准平晶、功率衰减平行平板,反射经过第 一楔板反射镜、第二楔板反射镜、分光镜,最后光路返回到动态干涉仪中。
一种基于校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置的测量方法,方法步 骤如下:
步骤A、被测激光束垂直入射到标准平晶,标准平晶的前表面反射光原路返 回激光器,后表面反射光经前表面透射到第二收光器,透射光束入射到功率衰减 平行平板;被测激光光束入射到功率衰减平行平板后,分成反射光路和透射光路, 反射光入射到光功率计,透射光入射到第一楔板反射镜;被测激光光束入射到第 一楔板反射镜后,分成反射光路和透射光路,透射光入射到第一收光器,反射光 入射到第二楔板反射镜;被测激光光束入射到第二楔板反射镜后,反射光入射到 分光镜;被测激光光束入射到分光镜后,透射光入射到波前探测器;
步骤B、按照步骤1中被测激光在分光镜处的反射光路的反方向,动态干涉 仪出射的光束入射到分光镜;动态干涉仪的光束入射到分光镜后,反射光入射到 第二楔板反射镜;动态干涉仪的光束入射到第二楔板反射镜后,反射光入射到第 一楔板反射镜;动态干涉仪的光束入射到第一楔板反射镜后,反射光入射到功率 衰减平行平板。动态干涉仪的光束入射到功率衰减平行平板后,透射光入射到标 准平晶;动态干涉仪的光束入射到标准平晶后,在标准平晶靠近激光源的一面反 射,光路原路返回,再依次透射经过标准平晶、功率衰减平行平板,反射经过第 一楔板反射镜、第二楔板反射镜、分光镜,最后光路返回到动态干涉仪中。
本发明与现有技术相比,其显著优点在于:
(1)实现了高功率激光器光束质量因子M2动态测量,并对测试光路中光学 元件热形变引起的波前畸变实时获取,并得到其带来的M2测量误差。
(2)实现了可校正热形变影响的光束质量因子M2动态测量,对基于波前探 测器的光束质量动态测量法的测量结果进行校正。
(3)实现了对高功率激光器高精度光束质量动态测量,可实时检测光束质 量,为分析激光器本身参数变化提供很好基础。
附图说明
图1为本发明校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置的整体结构示意 图。
图2为本发明校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置中标准平晶和功 率衰减平行平板处的被测激光测量光路图。
图3为本发明校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置中标准平晶处的 动态干涉仪测量光路图。
图4为本发明校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置中第一楔板反射 镜处的被测激光测量光路图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细描述。
结合图1至图4,一种校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置包括标准 平晶1、功率衰减平行平板2、光功率计3、第一楔板反射镜4、第二楔板反射镜 5、第一收光器6、分光镜7、波前探测器8、动态干涉仪9和第二收光器10;沿 光路依次设置标准平晶1、功率衰减平行平板2、第一楔板反射镜4、第二楔板 反射镜5、分光镜7、波前探测器8和动态干涉仪9;光功率计3设置于功率衰 减平行平板2的反射光路上;第一楔板反射镜4设置于功率衰减平行平板2的透 射光路上,第二楔板反射镜5设置于第一楔板反射镜4的反射光路上,第一收光 器6设置于第一楔板反射镜4的透射光路上;分光镜7设置于第二楔板反射镜5 的反射光路上;经分光镜7滤光,波前探测器8设置于分光镜7的透射光路上, 动态干涉仪9设置于分光镜7的反射光路上;第二收光器10设置于标准平晶1 的后表面反射光经过前表面后的透射光路上。
上述M2测量装置中被测激光的波段与动态干涉仪9的光源波段不重合,以 便根据两个不同的光波段设计相应的膜系,选择性控制不同波段的光反射或透 射,从而最终实现波前传感器8探测被测激光强度及波前分布的同时,动态干涉 仪9获得整个M2测量光路中光学元件热形变导致的波前变化。
上述M2测量装置中标准平晶1的楔角为1度;两面所镀膜系相同,在被测 激光波段增透,透过率达99.99%,在动态干涉仪9的光源波段高反,反射率达 50%以上;标准平晶1靠近测试激光源的一面垂直被测激光光束放置。标准平晶 1的作用是为动态干涉仪9获取整个M2测量光路中光学元件热形变提供一个反射 面,通过返回光携带整个M2测量光路中光学元件热形变的信息到动态干涉仪9。 结合图2及图3,图2描绘了被测激光经过标准平晶1的反射及折射光路,图3 描绘了动态干涉仪9的光源发出的光经过标准平晶1的反射及折射光路。
上述M2测量装置中功率衰减平行平板2按照与标准平晶1前表面成θ度倾角 设置于其透射光路上;功率衰减平行平板2两面均镀膜,前表面镀有高反膜,在 被测激光波段高反,反射率达99.99%,在动态干涉仪9光源波段低反,反射率 低于1%;后表面镀有增透膜,在被测激光波段和动态干涉仪9光源波段均低反, 反射率低于0.1%;为保证功率衰减平行平板2的前表面反射的高功率激光与标 准平晶1不接触,标准平晶1与功率衰减平行平板2的中心距离最小值d的计算 方法为:设标准平晶1的口径为A mm,材料折射率为n,功率衰减平行平板3 的表面与标准平晶1的前表面成θ角设置,θ为小于等于50度的锐角,则由角度关系和正弦定理可以求得公式光功率计3设置于 功率衰减平行平板2前表面反射光路上,来实时显示被测激光功率。结合图2 及图3,图2描绘了被测激光经过功率衰减平行平板2的反射及折射光路,图3 描绘了动态干涉仪9的光源发出的光经过功率衰减平行平板2的反射及折射光路。
上述M2测量装置中第一楔板反射镜4的楔角为6.5度,其前表面按照与标 准平晶1的前表面成45度倾角设置于功率衰减平行平板的透射光路上;第一楔 板反射镜4的前表面镀膜、后表面不镀膜,在测试激光波段低反,反射率低于 4%,在动态干涉仪9的光源波段高反,反射率高于90%;第二楔板反射镜5的楔 角为6.5度,其前表面按照与第一楔板反射镜成90度设置于其反射光路上,使 经第一楔板反射镜4前的光路和经第二楔板反射镜5后的光路平行;第二楔板反 射镜5的前表面所镀膜系与第一楔板反射镜4的前表面相同,后表面不镀膜。第 一楔板反射镜4与第二楔板反射镜5的作用有:利用前表面反射对被测激光进一步功率衰减,两片楔板反射镜折转光路便于M2测量过程中光路的调校。第一收 光器6设置于第一楔板反射镜4的透射光路上。结合图4,图4描绘了被测激光 经过第一楔板反射镜4的反射及折射光路。
上述M2测量装置中分光镜7两面均镀膜,在被测激光波段增透,透过率达99.99%,在动态干涉仪9的光源波段高反,反射率达99.99%。这样的分光镜7 膜系设计,将被测激光波段的光透射,进入波前探测器8,波前传感器8完成被 测激光的强度及波前分布探测;将动态干涉仪9的光源波段的光反射回到动态干 涉仪9中,动态干涉仪9完成整个M2测量光路中光学元件热形变导致的波前变 化的探测;在完成两部分测量的同时,保证动态干涉仪9不会被被测激光照射损 坏。
上述M2测量装置中还包括第二收光器10,其设置于标准平晶1的后表面反 射光经过前表面后的透射光路上。标准平晶1的薄厚端的放置会影响第二收光器 10的放置位置,图1中仅是标准平晶1薄端在上的情况。另外,标准平晶前表 面会反射占被测激光总能量0.01%的激光回到激光器;后表面反射再经前表面透 射出略小于占被测激光总能量0.01%的光,且随着标准平晶1与激光器间距的增 大而偏离激光器越多,第二收光器10的位置偏离也越多。
上述M2测量装置中光束质量M2的动态测量是对由波前探测器8和动态干涉 仪9采集的数据实时计算处理得到的。波前探测器8采集被测激光经M2测试光 路后的强度和波前信息;高功率激光器M2测试光路中光学元件受激光辐射会产 生热形变,动态干涉仪9采集M2测试光路中光学元件热形变导致的波前动态变 化,通过计算便可以得到热形变带来的M2测量误差,进而修正波前探测器8数 据处理得到的M2值,最终实时得到精准的高功率激光器的M2值。
实施例1
功率为10000W、波长为1080nm的待测激光束经标准平晶1后,有1W的激 光原路返回到激光器中,有0.9998W的激光返回到第二收光器10中,透射的 9998W的待测激光束经过功率衰减平行平板2衰减,9997W的光被光功率计3接 受,然后透射1W的待测激光束再经过第一楔板反射镜4和第二楔板反射镜5衰 减并折转光路,第一楔板反射镜4透射出0.92W的激光用第一收光器6接受,第 二楔板反射镜5反射出1.6mW的待测激光经分光镜7透射滤出,入射到波前探测 器8上;动态干涉仪9光源发出的波长为633nm的光依次经分光镜7反射、第二 楔板反射镜5反射、第一楔板反射镜4反射、功率衰减平行平板2透射、标准平 晶1靠近激光源的一面反射,光路原路返回,再依次透射经过标准平晶1、功率 衰减平行平板2,反射经过第一楔板反射镜4、第二楔板反射镜5、分光镜7,最 后光路返回到动态干涉仪9中。
波前传感器8采集1080nm的被测激光经M2测试光路后的强度和波前信息, 高功率激光器M2测试光路中光学元件受激光辐射会产生热形变,动态干涉仪9 采集M2测试光路中光学元件热形变导致的波前动态变化,通过计算便可以得到 热形变带来的M2测量误差,进而修正波前探测器8数据处理得到的M2值,最终 实时得到精准的高功率激光器的M2值。
Claims (9)
1.一种校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置,其特征在于:包括标准平晶(1)、功率衰减平行平板(2)、光功率计(3)、第一楔板反射镜(4)、第二楔板反射镜(5)、第一收光器(6)、分光镜(7)、波前探测器(8)和动态干涉仪(9);沿光路依次设置标准平晶(1)、功率衰减平行平板(2)、第一楔板反射镜(4)、第二楔板反射镜(5)、分光镜(7)、波前探测器(8)和动态干涉仪(9);光功率计(3)设置于功率衰减平行平板(2)的反射光路上;第一楔板反射镜(4)设置于功率衰减平行平板(2)的透射光路上,第二楔板反射镜(5)设置于第一楔板反射镜(4)的反射光路上,第一收光器(6)设置于第一楔板反射镜(4)的透射光路上;分光镜(7)设置于第二楔板反射镜(5)的反射光路上;经分光镜(7)滤光,波前探测器(8)设置于分光镜(7)的透射光路上,动态干涉仪(9)设置于分光镜(7)的反射光路上。
2.根据权利要求1所述的校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置,其特征在于:被测激光的波段与动态干涉仪(9)的光源波段不重合;标准平晶(1)的楔角为1度;两面所镀膜系相同,在被测激光波段增透,透过率达99.99%,在动态干涉仪(9)的光源波段高反,反射率达50%以上;标准平晶(1)靠近测试激光源的一面垂直被测激光光束放置。
3.根据权利要求1所述的校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置,其特征在于:所述功率衰减平行平板(2)按照与标准平晶(1)前表面成θ度倾角设置于其透射光路上;功率衰减平行平板(2)两面均镀膜,前表面镀有高反膜,在被测激光波段高反,反射率达99.99%,在动态干涉仪(9)光源波段低反,反射率低于1%;后表面镀有增透膜,在被测激光波段和动态干涉仪(9)的光源波段均低反,反射率低于0.1%。
4.根据权利要求1所述的校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置,其特征在于:第一楔板反射镜(4)的楔角为6.5度,其前表面按照与标准平晶(1)的前表面成45度倾角设置于功率衰减平行平板(2)的透射光路上;第一楔板反射镜(4)的前表面镀膜、后表面不镀膜,在测试激光波段低反,反射率低于4%,在动态干涉仪(9)的光源波段高反,反射率高于90%;第二楔板反射镜(5)的楔角为6.5度,第二楔板反射镜(5)的前表面按照与第一楔板反射镜(4)的前表面成90度设置于其反射光路上,使经第一楔板反射镜(4)前的光路和经第二楔板反射镜(5)后的光路平行;第二楔板反射镜(5)前表面所镀膜系与第一楔板反射镜(4)的前表面相同,后表面不镀膜。
5.根据权利要求1所述的校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置,其特征在于:分光镜(7)两面均镀膜,在被测激光波段增透,透过率达99.99%,在动态干涉仪(9)的光源波段高反,反射率达99.99%。
6.根据权利要求3所述的校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置,其特征在于:上述功率衰减平行平板(2)与标准平晶(1)两者的中心距离最小值d的计算方法如下:
设标准平晶(1)的口径为A mm,材料折射率为n,功率衰减平行平板(3)的表面与标准平晶(1)的前表面成θ角设置,θ为不大于50°的锐角;
公式
7.根据权利要求1所述的校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置,其特征在于:还包括第二收光器(10),第二收光器(10)设置于标准平晶(1)的后表面反射光经过前表面后的透射光路上。
8.一种基于上述权利要求1-5中任意一项所述的校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置的测量方法,其特征在于,方法步骤如下:
步骤1、被测激光束垂直入射到标准平晶(1),经过标准平晶(1)后透射入射到功率衰减平行平板(2);被测激光光束入射到功率衰减平行平板(2)后,分成反射光路和透射光路,反射光入射到光功率计(3),透射光入射到第一楔板反射镜(4);被测激光光束入射到第一楔板反射镜(4)后,分成反射光路和透射光路,透射光入射到第一收光器(6),反射光入射到第二楔板反射镜(5);被测激光光束入射到第二楔板反射镜(5)后,反射光入射到分光镜(7);被测激光光束入射到分光镜(7)后,透射光入射到波前探测器(8);
步骤2、按照步骤1中被测激光在分光镜(7)处的反射光路的反方向,动态干涉仪(9)出射的光束入射到分光镜(7);动态干涉仪(9)的光束入射到分光镜(7)后,反射光入射到第二楔板反射镜(5);动态干涉仪(9)的光束入射到第二楔板反射镜(5)后,反射光入射到第一楔板反射镜(4);动态干涉仪(9)的光束入射到第一楔板反射镜(4)后,反射光入射到功率衰减平行平板(2);动态干涉仪(9)的光束入射到功率衰减平行平板(2)后,透射光入射到标准平晶(1);动态干涉仪(9)的光束入射到标准平晶(1)后,在标准平晶(1)靠近激光源的一面反射,光路原路返回,再依次透射经过标准平晶(1)、功率衰减平行平板(2),反射经过第一楔板反射镜(4)、第二楔板反射镜(5)、分光镜(7),最后光路返回到动态干涉仪(9)中。
9.一种基于权利要求7所述的校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置的测量方法,其特征在于,方法步骤如下:
步骤A、被测激光束垂直入射到标准平晶(1),标准平晶(1)的前表面反射光原路返回激光器,后表面反射光经前表面透射到第二收光器(10),透射光束入射到功率衰减平行平板(2);被测激光光束入射到功率衰减平行平板(2)后,分成反射光路和透射光路,反射光入射到光功率计(3),透射光入射到第一楔板反射镜(4);被测激光光束入射到第一楔板反射镜(4)后,分成反射光路和透射光路,透射光入射到第一收光器(6),反射光入射到第二楔板反射镜(5);被测激光光束入射到第二楔板反射镜(5)后,反射光入射到分光镜(7);被测激光光束入射到分光镜(7)后,透射光入射到波前探测器(8);
步骤B、按照步骤1中被测激光在分光镜(7)处的反射光路的反方向,动态干涉仪(9)出射的光束入射到分光镜(7);动态干涉仪(9)的光束入射到分光镜(7)后,反射光入射到第二楔板反射镜(5);动态干涉仪(9)的光束入射到第二楔板反射镜(5)后,反射光入射到第一楔板反射镜(4);动态干涉仪(9)的光束入射到第一楔板反射镜(4)后,反射光入射到功率衰减平行平板(2);动态干涉仪(9)的光束入射到功率衰减平行平板(2)后,透射光入射到标准平晶(1);动态干涉仪(9)的光束入射到标准平晶(1)后,在标准平晶(1)靠近激光源的一面反射,光路原路返回,再依次透射经过标准平晶(1)、功率衰减平行平板(2),反射经过第一楔板反射镜(4)、第二楔板反射镜(5)、分光镜(7),最后光路返回到动态干涉仪(9)中。
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