CN108170008A - 金属识别装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种金属识别装置，其中该金属识别装置包括第一驱动机构、光源发射器、第二驱动机构及光源接收器，所述光源发射器发射的光线射入待识别物体，并从待识别物体反射，所述光源接收器接收待识别物体对应的反射光，所述第一驱动机构驱动连接所述光源发射器，以调节所述光源发射器的光源入射角度，所述第二驱动机构驱动连接所述光源接收器，以调节所述光源接收器的接收角度。本发明的金属识别装置可提高对金属记号的辨识度，增强识别的效率和有效性。
Description
技术领域
本发明涉及曝光机技术领域，特别涉及一种金属识别装置。
背景技术
曝光机需要准确识别对位记号，才能够实现曝光，从而保证图形位置精度。但是在实际制程中，由于各种非金属膜层的绝缘体覆盖在金属记号上，导致识别时，对位记号与周围膜层边界模糊，识别金属记号困难，识别的有效性低，常规方法是调整对位光波长和强度进行识别，但是仍存在辨识度小无法识别的状况，需要多次调整对位光波长和强度，识别的效率低。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种金属识别装置，旨在提高对金属记号的辨识度，增强识别的效率和有效性。
为实现上述目的，本发明提出一种金属识别装置，该金属识别装置包括第一驱动机构、光源发射器、第二驱动机构及光源接收器，所述光源发射器发射的光线射入待识别物体，并从待识别物体反射，所述光源接收器接收待识别物体对应的反射光，所述第一驱动机构驱动连接所述光源发射器，以调节所述光源发射器的光源入射角度，所述第二驱动机构驱动连接所述光源接收器，以调节所述光源接收器的接收角度。
优选地，待识别物体呈水平设置，所述光源发射器发射的光线射入待识别物体的入射角度范围为0°至90°。
优选地，所述光源发射器发射的光线射入待识别物体的入射角度范围为50°至60°。
优选地，所述光源接收器接收的反射光的角度范围为0°至90°。
优选地，所述光源接收器接收的反射光的角度范围为50°至60°。
优选地，所述第一驱动机构驱动光源接收器移动时，所述第二驱动机构同步驱动所述光源接收器对称移动。
优选地，该金属识别装置还包括偏振镜，所述偏振镜设于所述待识别物体和所述光源接收器之间，待识别物体的反射光透过偏振镜到达光源接收器。
优选地，所述偏振镜为平行偏振镜。
优选地，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构均为连杆机构或齿轮机构。
优选地，该金属识别装置还包括壳体，所述第一驱动机构、光源发射器、第二驱动机构及光源接收器均置于所述壳体内。
本发明技术方案通过第一驱动机构、光源发射器、第二驱动机构及光源接收器，所述光源发射器发射的光线射入待识别物体，并从待识别物体反射，所述光源接收器接收待识别物体对应的反射光，所述第一驱动机构驱动连接所述光源发射器，以调节所述光源发射器的光源入射角度，所述第二驱动机构驱动连接所述光源接收器，以调节所述光源接收器的接收角度，以此提高对金属记号的辨识度，增强识别的效率和有效性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本发明金属识别装置一实施例的简化结构示意图；
图2为图1金属识别装置调节后的简化结构示意图；
图3为金属与绝缘体在光源入射不同角度下的反射特性图。
附图记号说明：
| 记号 | 名称 | 记号 | 名称 |
| 10 | 第一驱动机构 | 40 | 光源接收器 |
| 20 | 光源发射器 | 50 | 待识别物体 |
| 30 | 第二驱动机构 | 60 | 偏振镜 |
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
本发明提出一种金属识别装置。
参照图1至图3，在本发明一实施例中，该金属识别装置包括第一驱动机构10、光源发射器20、第二驱动机构30及光源接收器40，所述光源发射器20发射的光线射入待识别物体50，并从待识别物体50反射，所述光源接收器40接收待识别物体对应的反射光，所述第一驱动机构10驱动连接所述光源发射器20，以调节所述光源发射器20的光源入射角度，所述第二驱动机构30驱动连接所述光源接收器40，以调节所述光源接收器40的接收角度。
上述的第一驱动机构10和第二驱动机构30可通过一控制器进行控制，第一驱动机构10和第二驱动机构30可在接收控制器的调节信号后，同步驱动对应的光源发射器20和光源接收器40进行移动，或者第一驱动机构10驱动光源发射器20移动完成至确定位置后，第二驱动机构30再驱动光源接收器40进行调节移动到对应的位置，优选地，所述第一驱动机构10驱动光源发射器20移动时，所述第二驱动机构30同步驱动所述光源接收器40对称移动。其中待识别物体50为金属件，待识别物体50上有刻有记号，由于光源发射器20发射的光线照射到待识别物体50的记号上的入射光线，与待识别物体50通过入射光线进行的反射的光线为相互对称，通过将所述第二驱动机构30同步驱动所述光源接收器40对称移动，光源接收器40可同步接收通过金属记号反射的光线，以使光源接收器40识别更精准；并且通过第一驱动机构10调节光源发射器20向待识别物体50发射的光线入射角度，光源接收器40通过第二驱动机构30对应调节，光源发射器20对待识别物体的发射光源入射角度可以通过第一驱动机构10进行调整，以使其达到非金属或绝缘体的起偏角，可通过调整增强对金属记号的辨识度，以区别金属标记与非金属或绝缘体，使光源接收器40接收到的非金属或绝缘体的反射光尽可能小，以增强该金属识别装置识别的效率和有效性。
本发明技术方案通过第一驱动机构10、光源发射器20、第二驱动机构30及光源接收器40，所述光源发射器20发射的光线射入待识别物体50，并从待识别物体50反射，所述光源接收器40接收待识别物体50对应的反射光，所述第一驱动机构10驱动连接所述光源发射器20，以调节所述光源发射器20的光源入射角度，所述第二驱动机构30驱动连接所述光源接收器40，以调节所述光源接收器40的接收角度，以此提高对金属记号的辨识度，增强识别的效率和有效性。
优选地，待识别物体50呈水平设置，所述光源发射器20发射的光线射入待识别物体50的入射角度范围为0°至90°。即第一驱动机构10可驱动光源发射器20旋转，使光源发射器20的发射光线的入射角度在0°至90°的范围内进行调节，以便于对不同待识别物体50进行精准和高效的识别。优选地，所述光源接收器40接收的反射光的角度范围为0°至90°。即第二驱动机构30可驱动光源接收器40旋转，使光源接收器40的接收的反射光线的入射角度在0°至90°的范围内进行对应调节，以便于对反射光线精准接收识别，提高不同待识别物体50的识别精准度。
进一步地，所述光源发射器20发射的光线射入待识别物体50的入射角度范围为50°至60°。即第一驱动机构10可驱动光源发射器20旋转，使光源发射器20的发射光线的入射角度在50°至60°的范围内进行调节。更进一步地，所述光源接收器40接收的反射光的角度范围为50°至60°。即第一驱动机构10可驱动光源发射器20旋转，使光源发射器20的发射光线的入射角度在50°至60°的范围内进行调节。
参照图3，由于光源入射角在大约50°至60°间，光源接收器40接收的反射光的角度在50°至60°时，绝缘体反射的光是偏振光，在这个角度范围内反射光只剩下了s部分。这个角度叫做起偏角/布儒斯特角(Brewster‘s angle)。而金属界面反射光的s/p分量反射率都很高，在光源发射器20发射的光线射入待识别物体50的入射角度范围为50°至60°时，金属与绝缘体的区分最明显，以此增强对金属记号的辨识度，并且只需在小的范围内进行调节即，可使该金属识别装置识别待识别物体50更高效，使用更方便快捷。
优选地，该金属识别装置还包括偏振镜60，所述偏振镜60设于所述待识别物体50和所述光源接收器40之间，待识别物体50的反射光透过偏振镜60到达光源接收器40。优选地，所述偏振镜60为平行偏振镜。
具体地，由于光源发射器20对待识别物体50的发射光源入射角度可以通过第一驱动机构10进行调整，以使其达到非金属的起偏角，此时非金属介质反射光只有s垂直分量，金属反射光s垂直分量与p平行分量共存。再通过在光源接收器40前设置一块偏振镜60，并且将该偏振镜60的偏振方向与反射面平行；从而可滤去反射光的s垂直分量，只透过金属反射光的p平行分量。从而更进一步地提高非金属与金属的辨识度，即可提高对金属记号的辨识度。
优选地，所述第一驱动机构10和所述第二驱动机构30均为连杆机构或齿轮机构。
具体的可通过一个电机同时驱动两个连杆机构或两个齿轮机构，齿轮机构为齿轮组，两个连杆机构或两个齿轮组再分别带动光源发射器20和光源接收器40同步旋转移动，以使光源发射器20的发射的光线与光源接收器40接收的光线更精准。或者通过两个电机分别驱动一连杆机构或一齿轮机构，连杆机构或齿轮机构再分别带动光源发射器20和光源接收器40同步旋转移动，其中的两个电机同时与一控制器电性连接，通过控制器控制两个电机同步运行和关闭。
优选地，该金属识别装置还包括壳体(未图示)，所述第一驱动机构10、光源发射器20、第二驱动机构30及光源接收器40均置于所述壳体内。其中的壳体优选密封性壳体，以隔绝外部环境的气体、微粒、光线等环境因素的影响，以保证该金属识别装置对待识别物体识别的稳定性和精准度。
以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种金属识别装置，其特征在于，包括第一驱动机构、光源发射器、第二驱动机构及光源接收器，所述光源发射器发射的光线射入待识别物体，并从待识别物体反射，所述光源接收器接收待识别物体对应的反射光，所述第一驱动机构驱动连接所述光源发射器，以调节所述光源发射器的光源入射角度，所述第二驱动机构驱动连接所述光源接收器，以调节所述光源接收器的接收角度。
2.如权利要求1所述的金属识别装置，其特征在于，待识别物体呈水平设置，所述光源发射器发射的光线射入待识别物体的入射角度范围为0°至90°。
3.如权利要求2所述的金属识别装置，其特征在于，所述光源发射器发射的光线射入待识别物体的入射角度范围为50°至60°。
4.如权利要求3所述的金属识别装置，其特征在于，所述光源接收器接收的反射光的角度范围为0°至90°。
5.如权利要求4所述的金属识别装置，其特征在于，所述光源接收器接收的反射光的角度范围为50°至60°。
6.如权利要求1所述的金属识别装置，其特征在于，所述第一驱动机构驱动光源接收器移动时，所述第二驱动机构同步驱动所述光源接收器对称移动。
7.如权利要求1-6任一项所述的金属识别装置，其特征在于，该金属识别装置还包括偏振镜，所述偏振镜设于所述待识别物体和所述光源接收器之间，待识别物体的反射光透过偏振镜到达光源接收器。
8.如权利要求7所述的金属识别装置，其特征在于，所述偏振镜为平行偏振镜。
9.如权利要求1-6任一项所述的金属识别装置，其特征在于，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构均为连杆机构或齿轮机构。
10.如权利要求1-6任一项所述的金属识别装置，其特征在于，该金属识别装置还包括壳体，所述第一驱动机构、光源发射器、第二驱动机构及光源接收器均置于所述壳体内。
Priority Applications (1)
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2017
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