CN108088810A - 一种基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感器及其系统 - Google Patents

一种基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感器及其系统 Download PDF

Info

Publication number
CN108088810A
CN108088810A CN201711305030.3A CN201711305030A CN108088810A CN 108088810 A CN108088810 A CN 108088810A CN 201711305030 A CN201711305030 A CN 201711305030A CN 108088810 A CN108088810 A CN 108088810A
Authority
CN
China
Prior art keywords
humidity sensor
prism
grating
terahertz
humidity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201711305030.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108088810B (zh
Inventor
陈麟
殷恒辉
张悦
赖思琦
朱亦鸣
葛凡
葛一凡
臧小飞
庄松林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
University of Shanghai for Science and Technology
Original Assignee
University of Shanghai for Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by University of Shanghai for Science and Technology filed Critical University of Shanghai for Science and Technology
Priority to CN201711305030.3A priority Critical patent/CN108088810B/zh
Publication of CN108088810A publication Critical patent/CN108088810A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108088810B publication Critical patent/CN108088810B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
    • G01N21/3586—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation by Terahertz time domain spectroscopy [THz-TDS]
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3554—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for determining moisture content
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55—Specular reflectivity
    • G01N21/552—Attenuated total reflection
    • G01N21/553—Attenuated total reflection and using surface plasmons

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明提供了一种湿度传感器，具有这样的特征，包括：机架；移动单元，设置在机架上，包含螺旋测微器以及刻度板；称重台，设置在移动单元上，在移动单元的带动下进行上下移动；光栅，设置在称重台上；以及棱镜单元，包括设置在机架上的夹持组件以及由该夹持组件夹持的棱镜，用于接收太赫兹光，并与光栅进行耦合产生共振峰，其中，棱镜的折射率大于空气的折射率。根据本发明所涉及的湿度传感器，利用水汽在太赫兹波段的吸收峰刚好与光栅在太赫兹衰减全反射作用下产生的表面等离子激元的共振峰重叠，可以实时、快速测量空气中水汽含量，大大提高了灵敏度，且分辨率较高。除此之外，该湿度传感器的结构简单，取材广泛且易于加工。

Description

一种基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感器及其系统
技术领域
本发明涉及一种湿度传感器，具体涉及一种基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感器及其系统。
背景技术
太赫兹等离子增强效应的高灵敏度湿度传感器主要利用棱镜耦合的原理，虽然棱镜耦合传感器的研究在光学波段已经很成熟了，但是在太赫兹波段却发展缓慢，原因在于在太赫兹波段无法在光滑金属表面有效地激发表面等离极化激元。直到英国科学家J.B.Pendry在光滑金属表面刻蚀周期性结构有效地激发出太赫兹波段的表面等离极化激元后，棱镜耦合太赫兹传感器才逐渐发展起来。其中，棱镜耦合传感器的模型一般有两种：Otto模型和Kretschmann模型。棱镜结构之前一直用于激发金属和半导体的表面模式，利用共振探测来检测物质。根据样品的不同，对应的共振吸收峰的频点以及Q值也不同，从而对待测样品进行检测。
太赫兹波(Terahertz,THz)是一种介于微波与红外辐射之间的电磁波，其波长为：0.03mm～3mm，对应的周期为：0.1～10ps，频率为：0.1～10THz(1THz＝1012Hz)，能量为：0.4～40meV。在太赫兹系统中，应用最为广泛的是太赫兹时域光谱系统,该系统能直接测得太赫兹脉冲电场的时域波形,并通过傅立叶变换得到太赫兹脉冲的频谱分布,由此发展起来的光谱技术称为太赫兹时域光谱技术。在太赫兹的脉冲的测量过程中,采用探测光脉冲对太赫兹波形取样的方式,将绝大部分背景噪声摒除在探测之外。因此,脉冲太赫兹测量的信噪比很高,可以达到105以上,即使在强背景辐射的条件下,仍然能够进行光谱测量。且水分子的振动和转动频率均在太赫兹波段，太赫兹对水分子非常敏感，在太赫兹波段存在特征吸收，从而可以实现对空气中水蒸气含量的测量。
湿度传感器是一种能感受气体中水蒸气含量，并转换成可用输出信号的传感器。传统的电容式相对湿度传感器与被测量环境中的气体的接触进行工作，一旦在测量环境中的气体中含有与电容传感器“不对付、不耐受”的物质，均会影响到传感器的工作性能。尤其一些特别的物质甚至具有腐蚀性，损坏传感器，加之电子产品使用寿命相对较短，电路易于受外界干扰与退化，灵敏度不够高，实时性较差。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感器及其系统。
本发明提供了一种湿度传感器，具有这样的特征，包括：机架；移动单元，设置在机架上，包含螺旋测微器以及刻度板；称重台，设置在移动单元上，在移动单元的带动下进行上下移动；光栅，设置在称重台上；以及棱镜单元，包括设置在机架上的夹持组件以及由该夹持组件夹持的棱镜，用于接收太赫兹光，并与光栅进行耦合产生共振峰，其中，棱镜的折射率大于空气的折射率。
在本发明提供的湿度传感器中，还可以具有这样的特征：其中，刻度板的最小刻度为1μm。
在本发明提供的湿度传感器中，还可以具有这样的特征：其中，光栅为具有在掺杂硅上刻蚀周期性凹槽结构的光栅。
在本发明提供的湿度传感器中，还可以具有这样的特征：其中，凹槽的结构尺寸为：槽宽为10～50μm，周期为30～100μm，槽深为40～80μm。
在本发明提供的湿度传感器中，还可以具有这样的特征：其中，棱镜为特氟龙棱镜。
本发明还提供了一种湿度传感系统，具有这样的特征，包括：太赫兹波产生部，用于产生太赫兹波；湿度传感器，用于接收设施太赫兹波并产生共振峰；以及处理输出部，用于对共振峰进行处理得到相应的时域数据，其中，湿度传感器为上述的任意一项的湿度传感器。
发明的作用与效果
根据本发明所涉及的湿度传感器，由于该湿度传感器是基于太赫兹等离子增强效应，采用太赫兹时域光谱中，利用水汽在太赫兹波段的吸收峰刚好与光栅在太赫兹衰减全反射作用下产生的表面等离子激元的共振峰重叠，可以实时、快速测量空气中水汽含量，大大提高了灵敏度，且分辨率较高。除此之外，该湿度传感器的结构简单，取材广泛且易于加工。
附图说明
图1是本发明的实施例中湿度传感器的三视图；
图2是本发明的实施例中湿度传感器的原理图；以及
图3是根据本发明实施例中湿度传感器检测到的时域光谱图。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，以下实施例结合附图对本发明一种基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感器及其系统作具体阐述。
基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感系统用于检测周围空气中的湿度，包括太赫兹产生部、湿度传感器10以及处理输出部。
太赫兹产生部用于产生太赫兹波。
湿度传感器10设置在太赫兹产生部中合适的位置。用于接收太赫兹波并产生共振峰。
图1是本发明的实施例中湿度传感器的三视图。
如图1所示，分别为湿度传感器10的主视图、左视图以及俯视图，湿度传感器10用于检测空气的湿度，包括机架11、移动单元12、称重台13、光栅(未图示)以及棱镜单元14。
机架11包括底座111以及设置在底座111上的长方体框架112。在本实施例中，底座111上设置有一个可以左右调节的螺丝，通过水平仪的可以保持整个湿度传感器10的水平度。
移动单元12设置在底座111上，包含螺旋测微器以及刻度板，刻度板的最小刻度为1μm。螺旋测微器主要用于调节称重台13垂直方向上的移动。
称重台13设置在移动单元12上，在移动单元12的带动下进行上下移动。在本实施例中，称重台13为一块透明塑料板。
光栅放在称重台13上，光栅为具有在掺杂硅上刻饰周期性凹槽结构的光栅，该凹槽的结构尺寸为：凹槽的宽度为10～50μm，周期为30～100μm，凹槽的深度为40～80μm。在本实施例中，凹槽的宽度为30μm，周期即两个凹槽之间的距离为30μm，凹槽的深度为60μm。
棱镜单元14包括夹持组件141以及棱镜142，夹持组件141设置在长方体框架112的上方，棱镜142由夹持组件141夹持使之位于光栅的上方并与光栅进行耦合产生共振峰。
在本实施例中，光栅与棱镜142的距离为87μm。
棱镜142的折射率大于空气的折射率。在本实施例中，棱镜142为特氟龙棱镜，在太赫兹波段有较好的透过率，工作频率可达到THz，具有良好的抗腐蚀、抗酸碱以及各种有机溶剂腐蚀以及抗液体吸附特性，适用温度范围为-73～204℃，摩擦系数极低。
夹持组件141从棱镜142的顶角两边固定住，使太赫兹波从棱镜的直角面射入，夹持组件141的顶部是一个三角凹槽，能够契合棱镜142的等腰直角三棱柱的顶部，使棱镜142嫩能够紧密固定在夹持组件142上。
处理输出部将棱镜142与光栅耦合产生的共振峰进行处理得到透射太赫兹波的时域数据进行输出。
图2是本发明的实施例中湿度传感器的原理图。
如图2所示，当调节棱镜142与光栅之间的距离可以改变棱镜142与光栅耦合的频点，不同距离对应不同频点。其中，光栅中两个凹槽之间的距离p＝30μm，凹槽的槽宽w＝30μm，凹槽的槽深h＝60μm。当光栅与棱镜142之间的距离gap＝87μm时，棱镜142与光栅耦合产生共振峰的频点恰好在0.75THz，同时空气中水汽在0.75THz也有一个吸收峰，两个峰值重合，幅值叠加。再控制周围空气的湿度，不同的湿度在0.75THz有不同的幅值，从而实现对空气中湿度的测定。
基于太赫兹等离子效应的湿度传感系统的工作过程为：将基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感器10置于太赫兹时域光谱(TDS)系统中合适的位置，先调节太赫兹波的水平和竖直位置，调节光斑位置，使之照射到棱镜142侧面的中心位置。调节太赫兹波的偏振方向，使电磁波的磁场偏振方向含有平行于平行板平面的分量。然后将掺杂硅做成的光栅放到棱镜142的下方中央位置，旋动螺旋测微仪调节光栅与棱镜142之间的距离，直至出现共振峰，输出处理部根据共振峰进行处理，将得到的太赫兹波的时域数据导出。继续上述的操作，其他条件不变，只改变空气周围的湿度，然后根据不同湿度得出不同的太赫兹波的时域数据，经过傅立叶变换能够得到实例的频域光谱图。
图3是根据本发明实施例中湿度传感器检测到的时域光谱图。
如图3所示，可以得到空气中不同的相对湿度对应不同的幅值，将幅值提取建立关于空气湿度的数据库，从而在以后测量空气中湿度时可以直接作为参考标准。
实施例的作用与效果
根据上述实施例中的湿度传感器，由于该湿度传感器是基于太赫兹等离子增强效应，采用太赫兹时域光谱中，利用水汽在太赫兹波段的吸收峰刚好与光栅在太赫兹衰减全反射作用下产生的表面等离子激元的共振峰重叠，在0.75THz处实现快速测量空气中水汽含量，大大提高了灵敏度，且分辨率较高。除此之外，该湿度传感器的结构简单，取材广泛且易于加工。
另外，上述实施例中的移动单元的精确度达到1μm，可以满足微米量级的间隙调节功能。
此外，上述实施例中采用的凹槽的结构掺杂硅上刻饰周期性的凹槽结构，该结构不尽简单，而且化学性质稳定，且耐高温、富韧性，可切割，易于加工。
上述实施方式为本发明的优选案例，并不用来限制本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种湿度传感器，基于太赫兹等离子增强效应对周围空气的湿度进行检测，其特征在于，包括：
机架；
移动单元，设置在所述机架上，包含螺旋测微器以及刻度板；
称重台，设置在所述移动单元上，在所述移动单元的带动下进行上下移动；
光栅，设置在所述称重台上；以及
棱镜单元，包括设置在所述机架上的夹持组件以及由该夹持组件夹持的棱镜，用于接收所述太赫兹光，并与所述光栅进行耦合产生共振峰，
其中，所述棱镜的折射率大于空气的折射率。
2.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于：
其中，所述刻度板的最小刻度为1μm。
3.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于：
其中，所述光栅为具有在掺杂硅上刻蚀周期性凹槽结构的光栅。
4.根据权利要求3所述的湿度传感器，其特征在于：
其中，所述凹槽的结构尺寸为：槽宽为10～50μm，周期为30～100μm，槽深为40～80μm。
5.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于：
其中，所述棱镜为特氟龙棱镜。
6.一种基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感系统，用于检测湿度，其特征在于，包括：
太赫兹波产生部，用于产生太赫兹波；
湿度传感器，用于接收设施太赫兹波并产生共振峰；以及
处理输出部，用于对所述共振峰进行处理得到相应的时域数据，
其中，所述湿度传感器为权利要求1～5中任意一项所述的湿度传感器。
CN201711305030.3A 2017-12-11 2017-12-11 一种基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感器及其系统 Active CN108088810B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711305030.3A CN108088810B (zh) 2017-12-11 2017-12-11 一种基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感器及其系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711305030.3A CN108088810B (zh) 2017-12-11 2017-12-11 一种基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感器及其系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108088810A true CN108088810A (zh) 2018-05-29
CN108088810B CN108088810B (zh) 2020-12-01

Family

ID=62174168

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201711305030.3A Active CN108088810B (zh) 2017-12-11 2017-12-11 一种基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感器及其系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108088810B (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109781656A (zh) * 2018-12-27 2019-05-21 深圳市华讯方舟太赫兹科技有限公司 基于太赫兹的水蒸气检测系统及检测方法
CN111141686A (zh) * 2020-01-02 2020-05-12 上海理工大学 物质指纹谱传感装置及测量方法
CN112798535A (zh) * 2021-03-05 2021-05-14 南开大学 面向活细胞检测的太赫兹微结构圆二色性传感系统
WO2021134750A1 (zh) * 2020-01-02 2021-07-08 上海理工大学 物质指纹谱传感装置及测量方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6723991B1 (en) * 2000-10-20 2004-04-20 Imra America, Inc. Single-shot differential spectroscopy and spectral-imaging at submillimeter wavelengths
CN102393381A (zh) * 2011-11-07 2012-03-28 上海工程技术大学 一种等离子体共振传感装置及其应用
CN104034690A (zh) * 2014-06-12 2014-09-10 清华大学 一种宽带太赫兹时域光谱的分析方法及便携式分析装置
CN104865695A (zh) * 2015-06-01 2015-08-26 上海理工大学 基于棱镜结构的太赫兹波通信频率切换装置及切换方法
CN105675536A (zh) * 2016-01-19 2016-06-15 首都师范大学 用于THz-TDS系统的金属光栅表面等离子体效应生物检测芯片
CN106525763A (zh) * 2016-11-22 2017-03-22 福州大学 基于掺杂的石墨烯THz‑SPR气体传感器系统及测试方法
KR101737983B1 (ko) * 2015-09-10 2017-05-22 한국과학기술원 테라헤르츠 펄스 레이저를 이용한 구조물의 수분 측정장비

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6723991B1 (en) * 2000-10-20 2004-04-20 Imra America, Inc. Single-shot differential spectroscopy and spectral-imaging at submillimeter wavelengths
CN102393381A (zh) * 2011-11-07 2012-03-28 上海工程技术大学 一种等离子体共振传感装置及其应用
CN104034690A (zh) * 2014-06-12 2014-09-10 清华大学 一种宽带太赫兹时域光谱的分析方法及便携式分析装置
CN104865695A (zh) * 2015-06-01 2015-08-26 上海理工大学 基于棱镜结构的太赫兹波通信频率切换装置及切换方法
KR101737983B1 (ko) * 2015-09-10 2017-05-22 한국과학기술원 테라헤르츠 펄스 레이저를 이용한 구조물의 수분 측정장비
CN105675536A (zh) * 2016-01-19 2016-06-15 首都师范大学 用于THz-TDS系统的金属光栅表面等离子体效应生物检测芯片
CN106525763A (zh) * 2016-11-22 2017-03-22 福州大学 基于掺杂的石墨烯THz‑SPR气体传感器系统及测试方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
HEE JUN SHIN: "Free-standing guided-mode resonance humidity sensor in terahertz", 《SENSORS AND ACTUATORS A: PHYSICAL》 *
张学骛: "利用太赫兹时域光谱技术测量水汽的吸收谱", 《大学物理实验》 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109781656A (zh) * 2018-12-27 2019-05-21 深圳市华讯方舟太赫兹科技有限公司 基于太赫兹的水蒸气检测系统及检测方法
CN111141686A (zh) * 2020-01-02 2020-05-12 上海理工大学 物质指纹谱传感装置及测量方法
WO2021134750A1 (zh) * 2020-01-02 2021-07-08 上海理工大学 物质指纹谱传感装置及测量方法
CN112798535A (zh) * 2021-03-05 2021-05-14 南开大学 面向活细胞检测的太赫兹微结构圆二色性传感系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN108088810B (zh) 2020-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108088810A (zh) 一种基于太赫兹等离子增强效应的湿度传感器及其系统
US10215696B2 (en) System for determining at least one property of a sheet dielectric sample using terahertz radiation
CN2874476Y (zh) 基于光学整流的太赫兹时域光谱仪
CN101793678B (zh) 等腰直角形横截面样品池的散射物质光谱测量装置与方法
CN106442424B (zh) 利用石墨烯太赫兹表面等离子效应的酒精浓度测量装置及其方法
CN105699317A (zh) 固定角度入射同时测透射和反射的太赫兹时域光谱仪
CN106441580A (zh) 可变角度入射同时测透射和反射的太赫兹时域光谱仪
CN204556093U (zh) 一种低噪声微悬臂梁热振动信号测量装置
CN102213682B (zh) 一种干涉不敏感太赫兹波透射测量方法
CN109115690A (zh) 实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪及光学常数测量方法
JP3337734B2 (ja) 赤外線エリプソメータ
GB2577977A (en) Terahertz surface plasmon resonance sensing device and using method
US20140354993A1 (en) Localized surface plasmon resonance sensing system with anisotropic particles
CN105352583A (zh) 一种测量超声波声压和声强的光学方法和装置及其应用
CN104062261A (zh) 基于宽谱光源和谐波检测技术的气体浓度测量方法
CN108918458B (zh) 一种确定材料太赫兹吸收峰的方法
CN105911022B (zh) 基于宽调谐外腔式量子级联激光器的危化品遥感探测方法和装置
CN110927122B (zh) 一种基于干涉光谱的相位型spr检测装置及方法
CN102087211B (zh) 生物薄膜的太赫兹光谱分析装置及检测方法
US20140354992A1 (en) Localized surface plasmon resonance sensing system with particles arranged in anisotropic periodic manner
CN101975754A (zh) 消除位相误差的反射式太赫兹光谱分析方法
CN111964596B (zh) 一种基于太赫兹脉冲的卡规式厚度测量装置及方法
CN202837178U (zh) 利用太赫兹异向介质谐振效应的酒精浓度测量装置
CN203881681U (zh) 二维分辨扫描成像红外调制光致发光光谱测试装置
CN208847653U (zh) 一种实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant