CN108007488B - 一种用于真空腔室内的位置调节装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于真空腔室内的位置调节装置，包括位于真空腔室内的安装支架、可沿直线方向伸缩的第一伸缩组件和用于控制第一伸缩组件伸缩距离的第一旋钮，所述第一伸缩组件的一端与安装支架铰接，所述第一旋钮固定连接在第一伸缩组件的另一端上且位于真空腔室外，所述第一伸缩组件和与之相配合的第一旋钮均为多个。本发明的用于真空腔室内的位置调节装置在真空腔室内设计了这种可以从外部多维度调节内部结构以及磁场的装置，方便我们在实验中直接对放置在真空腔室内部的物体进行方位的微调，降低了实验的难度，减少了实验周期，提高了实验的成功率。

Description

一种用于真空腔室内的位置调节装置
技术领域
本发明属于真空设备技术领域，具体涉及一种用于真空腔室内的位置调节装置。
背景技术
现今真空技术在不断发展，真空环境是真空实验中最关键的技术也是核心技术之一。但是目前的真空系统里大多都结构简单，这样的系统在真空室验中很不方便，我们无法直接改变放置在真空内部的装置(比如说电子枪，高频结构等)的方位，进行两个或多个物体之间的对中，特别是在电真空领域，电子注需要与磁场方向严格一致，因此需要在真空中对磁场或者电子注发射方向进行调节。而传统的真空腔室只能通过真空系统放气，取出结构调节，再放入腔室再抽气来实现这些操作，而且很有可能需要多次调节，造成极大的时间和物质浪费，严重阻碍实验的进程，大大增加了实验周期与难度。
发明内容
本发明的目的在于：针对上述存在的问题，提供了一种用于真空腔室内的位置调节装置在真空腔室内设计了这种可以从外部多维度调节内部结构以及磁场的装置，方便我们在实验中直接对放置在真空腔室内部的物体进行方位的微调，降低了实验的难度，减少了实验周期，提高了实验的成功率。
为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：本发明公开了一种用于真空腔室内的位置调节装置，包括位于真空腔室内的安装支架、可沿直线方向伸缩的第一伸缩组件和用于控制第一伸缩组件伸缩距离的第一旋钮，所述第一伸缩组件的一端与安装支架铰接，所述第一旋钮固定连接在第一伸缩组件的另一端上且位于真空腔室外，所述第一伸缩组件和与之相配合的第一旋钮均为多个。
优选的是，所述第一伸缩组件包括与安装支架铰接的连接杆和可伸缩的第一波纹管，所述第一波纹管的一端通过法兰盘与连接杆的一端连接，所述第一波纹管的另一端通过法兰盘与第一旋钮连接。
优选的是，所述位置调节装置还包括位于真空腔室内的移动磁性圆盘、用于带动移动磁性圆盘沿直线方向移动的第二伸缩组件、用于控制第二伸缩组件伸缩距离的第二旋钮和与移动磁性圆盘相对应的固定磁性圆盘，所述第二伸缩组件的一端与移动磁性圆盘固定连接，所述第二旋钮固定连接在第二伸缩组件的另一端上且位于真空腔室外，所述安装支架位于移动磁性圆盘与固定磁性圆盘之间形成的均匀磁场空间内。
优选的是，所述第二伸缩组件包括第二波纹管，所述第二波纹管的两端分别通过法兰盘与移动磁性圆盘和第二旋钮连接。
优选的是，所述第一伸缩组件和第一旋钮均为三个。
优选的是，所述安装支架包括圆环形固定盘和与圆环形固定盘连成一体的三个固定臂，相邻所述固定臂之间的夹角为120度，所述第一伸缩组件与固定臂的一端铰接。
由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：
本发明的用于真空腔室内的位置调节装置采用多个第一伸缩组件和与之相匹配的多个第一旋钮(最优为三个)，并且用于安装电子枪、高频结构等装置的安装支架与第一伸缩组件铰接，当通过外部的第一旋钮调节伸缩组件伸缩时，能够在水平方向和侧方向上有效的调节放在真空腔室内部的结构，使得高频结构的对中，电子枪束流的发射方向等变得简单易操作；此外由于第二伸缩组件与移动磁性圆盘固定连接，可以通过第二旋钮调节第二伸缩组件的伸缩从而改变移动磁性圆盘和固定磁性圆盘之间的距离，从而改变两磁性圆盘之间的磁场强度，实现快捷方便的进行实验。
附图说明
图1是本发明的用于真空腔室内的位置调节装置的结构示意图；
图2是本发明的用于真空腔室内的位置调节装置的正视图；
图3是本发明的用于真空腔室内的位置调节装置的安装支架的结构示意图；
图4是本发明的用于真空腔室内的位置调节装置的安装支架的另一种结构示意图；
附图标记：1-第一旋钮，2-第一伸缩组件，20-第一波纹管，21-连接杆，3-安装支架，30-圆环形固定盘，31-固定臂，4-第二旋钮，5-第二伸缩组件，6-移动磁性圆盘，7-固定磁性圆盘。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
如图1-图4所示，本发明提供了一种用于真空腔室内的位置调节装置，包括位于真空腔室内的安装支架3、可沿直线方向伸缩的第一伸缩组件2和用于控制第一伸缩组件2伸缩距离的第一旋钮1，所述第一伸缩组件2的一端与安装支架3铰接，所述第一旋钮1固定连接在第一伸缩组件2的另一端上且位于真空腔室外，所述第一伸缩组件2和与之相配合的第一旋钮1均为多个。
本发明的一种用于真空腔室内的位置调节装置的调节过程如下：将电子枪或者高频结构安装在安装支架3上，当需要调节电子枪的发射的电子束方向时，只需要通过调节位于真空腔室外的第一旋钮1，由于多个第一旋钮1调动第一伸缩组件2伸缩的距离不一，并且安装支架3与多个第一伸缩组件2铰接，实现了安装支架3与水平面之间夹角的变化，夹角的变化范围大于0度小于等于90度，从而实现了安装在安装支架3上的电子枪发生的电子束方向的改变，提高了真空实验的效率。
在另一种实例中，所述第一伸缩组件2包括与安装支架3铰接的连接杆21和可伸缩的第一波纹管20，所述第一波纹管20的一端通过法兰盘与连接杆21的一端连接，所述第一波纹管20的另一端通过法兰盘与第一旋钮1连接。通过第一旋钮1调动可以伸缩的第一波纹管20，可以准确伸缩杆伸缩的距离，达到对电子束的发射方向的精确控制。
在另一种实例中，所述位置调节装置还包括位于真空腔室内的移动磁性圆盘6、用于带动移动磁性圆盘6沿直线方向移动的第二伸缩组件5、用于控制第二伸缩组件5伸缩距离的第二旋钮4和与移动磁性圆盘6相对应的固定磁性圆盘7，所述第二伸缩组件5的一端与移动磁性圆盘6固定连接，所述第二旋钮4固定连接在第二伸缩组件5的另一端上且位于真空腔室外，所述安装支架3位于移动磁性圆盘6与固定磁性圆盘7之间形成的均匀磁场空间内。通过第二旋钮4调节第二伸缩组件5移动磁性圆盘6与固定磁性圆盘7之间的距离，从而改变两圆盘之间的均匀磁场的强度，以满足安装支架3上的装置对不同磁场强度的要求。
在另一种实例中，所述第二伸缩组件5包括第二波纹管，所述第二波纹管的两端分别通过法兰盘与移动磁性圆盘6和第二旋钮4连接。通过第二旋钮4调动第二波纹管伸缩的距离，实现对移动磁性圆盘6移动距离的精确控制，从而达到精准控制两磁性圆盘之间磁场强度。
在另一种实例中，所述第一伸缩组件2和第一旋钮1均为三个。三个点确定一个平面，安装支架3与水平面之间的夹角可以通过三个第一伸缩组件2和第一旋钮1进行快速且准确的调节。
在另一种实例中，所述安装支架3包括圆环形固定盘30和与圆环形固定盘30连成一体的三个固定臂31，相邻所述固定臂31之间的夹角为120度，所述第一伸缩组件2与固定臂31的一端铰接。使得第一旋钮1控制安装支架3的倾斜方向更加简便。
尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (5)

1.一种用于真空腔室内的位置调节装置，其特征在于，包括位于真空腔室内的安装支架(3)、可沿直线方向伸缩的第一伸缩组件(2)和用于控制第一伸缩组件(2)伸缩距离的第一旋钮(1)，所述第一伸缩组件(2)的一端与安装支架(3)铰接，所述第一旋钮(1)固定连接在第一伸缩组件(2)的另一端上且位于真空腔室外，所述第一伸缩组件(2)和与之相配合的第一旋钮(1)均为多个；
所述位置调节装置还包括位于真空腔室内的移动磁性圆盘(6)、用于带动移动磁性圆盘(6)沿直线方向移动的第二伸缩组件(5)、用于控制第二伸缩组件(5)伸缩距离的第二旋钮(4)和与移动磁性圆盘(6)相对应的固定磁性圆盘(7)，所述第二伸缩组件(5)的一端与移动磁性圆盘(6)固定连接，所述第二旋钮(4)固定连接在第二伸缩组件(5)的另一端上且位于真空腔室外，所述安装支架(3)位于移动磁性圆盘(6)与固定磁性圆盘(7)之间形成的均匀磁场空间内。
2.如权利要求1所述的用于真空腔室内的位置调节装置，其特征在于，所述第一伸缩组件(2)包括与安装支架(3)铰接的连接杆(21)和可伸缩的第一波纹管(20)，所述第一波纹管(20)的一端通过法兰盘与连接杆(21)的一端连接，所述第一波纹管(20)的另一端通过法兰盘与第一旋钮(1)连接。
3.如权利要求1所述的用于真空腔室内的位置调节装置，其特征在于，所述第二伸缩组件(5)包括第二波纹管，所述第二波纹管的两端分别通过法兰盘与移动磁性圆盘(6)和第二旋钮(4)连接。
4.如权利要求1所述的用于真空腔室内的位置调节装置，其特征在于，所述第一伸缩组件(2)和第一旋钮(1)均为三个。
5.如权利要求4所述的用于真空腔室内的位置调节装置，其特征在于，所述安装支架(3)包括圆环形固定盘(30)和与圆环形固定盘(30)连成一体的三个固定臂(31)，相邻所述固定臂(31)之间的夹角为120度，所述第一伸缩组件(2)与固定臂(31)的一端铰接。
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