CN108004575B - 电镀用屏蔽装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种电镀用屏蔽装置，包括：阴极屏蔽板和阳极屏蔽板，阴极屏蔽板和阳极屏蔽板间隔设置，阳极屏蔽板上设有若干第一通孔，阴极屏蔽板上设有若干第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置，使得电力线可自所述第一通孔穿过并穿过所述第二通孔。本发明能够控制电力线的走向，提高晶圆电镀的效率。

Description

电镀用屏蔽装置
技术领域
本发明涉及一种电镀用屏蔽装置。
背景技术
晶圆电镀使用阴极阳极产生电力线进行电镀，阴极阳极通电后，阴极和阳极之间的电力线会分散分布，只有一部分电力线到达晶圆的表面进行电镀，这样产生了电力线的浪费，电镀的效率低下。
发明内容
本发明为解决上述技术问题，提供一种电镀用屏蔽装置。
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现：
一种电镀用屏蔽装置，包括：阴极屏蔽板和阳极屏蔽板，阴极屏蔽板和阳极屏蔽板间隔设置，阳极屏蔽板上设有若干第一通孔，阴极屏蔽板上设有若干第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置，使得电力线可自所述第一通孔穿过并穿过所述第二通孔。
根据本发明的一个实施方案，还包括屏蔽组件，屏蔽组件设置于阳极屏蔽板和阴极屏蔽板之间，屏蔽组件上设置第三通孔，所述第三通孔与所述第一通孔及所述第二通孔位置相对，电力线可自所述第一通孔穿过后，再穿过所述第三通孔，然后再穿过所述第二通孔。
根据本发明的一个实施方案，所述屏蔽组件与所述阳极屏蔽板连接；所述第三通孔与所述第一通孔及所述第二通孔位置相对。
根据本发明的一个实施方案，所述屏蔽组件与所述阴极屏蔽板连接。
根据本发明的一个实施方案，所述屏蔽组件包括屏蔽转接板组件和屏蔽环，所述屏蔽转接板组件设置有第四通孔；所述屏蔽环设置第五通孔，所述第四通孔和所述第五通孔组成所述第三通孔；所述屏蔽环一端与所述屏蔽转接板组件连接，另一端与所述阴极屏蔽板连接。
根据本发明的一个实施方案，所述屏蔽转接板组件包括第一屏蔽板和第二屏蔽板；所述第一屏蔽板设置有容腔；所述第一屏蔽板上设置有第六通孔；所述第二屏蔽板与所述第一屏蔽板连接并覆盖所述容腔；所述第二屏蔽板上设置有第七通孔；所述第六通孔与所述第七通孔位置相对，所述第六通孔与所述第七通孔组成所述第四通孔。
根据本发明的一个实施方案，所述屏蔽环一端自所述第七通孔插入所述容腔内，另一端通过法兰与所述阴极屏蔽板连接。
根据本发明的一个实施方案，所述屏蔽环为管状结构，所述屏蔽环一端穿过所述阴极屏蔽板，所述法兰位于屏蔽环端部，所述法兰将所述屏蔽环卡接在所述阴极屏蔽板上。
根据本发明的一个实施方案，还包括支撑框架，所述阳极屏蔽板设置在所述支撑框架上；所述屏蔽组件与所述支撑框架连接。
本发明在阴极和阳极分别设置阴极屏蔽板和阳极屏蔽板，阴极屏蔽板和阳极屏蔽板屏蔽电力线，而第一通孔和第二通孔使电力线通过，这样就能控制电力线的走向，使得所有的电力线都能作用于晶圆表面，不会浪费。设置屏蔽组件，进一步为电力线导向，使得阴极屏蔽板和阳极屏蔽板之间的电力线不会发散；其中设置第一屏蔽板和第二屏蔽板，方便安装；设置屏蔽环，连接第二屏蔽板和阴极屏蔽板，使得两者之间的电力线不会发散。
附图说明
图1为本发明的立体图；
图2为图1的侧视图；
图3为图1去掉阴极屏蔽板的结构示意图；
图4为阴极屏蔽板的结构示意图；
图5为阳极屏蔽板的结构示意图；
图6为屏蔽环和法兰的结构示意图；
图7为第一屏蔽件的结构示意图；
图8为第二屏蔽件的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行详细的描述：
实施例1
如图1至图3所示，本实施例电镀用屏蔽装置，包括：阴极屏蔽板29和阳极屏蔽板30，阴极屏蔽板29和阳极屏蔽板30间隔设置，如图4所示，阴极屏蔽板29上设有若干第二通孔291，如图5所示，阳极屏蔽板30上设有若干第一通孔301，所述第一通孔301与所述第二通孔291相对设置，使得电力线可自所述第一通孔301穿过并穿过所述第二通孔291。
还包括屏蔽组件，屏蔽组件设置于阳极屏蔽板30和阴极屏蔽板29之间，屏蔽组件上设置第三通孔，所述第三通孔与所述第一通孔301及所述第二通孔291位置相对，电力线可自所述第一通孔301穿过后，再穿过所述第三通孔，然后再穿过所述第二通孔291。所述屏蔽组件与所述阳极屏蔽板30连接；所述第三通孔与所述第一通孔301及所述第二通孔291位置相对。所述屏蔽组件与所述阴极屏蔽板29连接。
如图6所示，所述屏蔽组件包括屏蔽转接板组件和屏蔽环31，所述屏蔽转接板组件设置有第四通孔；所述屏蔽环31设置第五通孔311，所述第四通孔和所述第五通孔311组成所述第三通孔；所述屏蔽环31一端与所述屏蔽转接板组件连接，另一端与所述阴极屏蔽板29连接。
如图7和图8所示，所述屏蔽转接板组件包括第一屏蔽板32和第二屏蔽板33；所述第一屏蔽板32设置有容腔321；所述第一屏蔽板32上设置有第六通孔322；所述第二屏蔽板33与所述第一屏蔽板32连接并覆盖所述容腔321；所述第二屏蔽板33上设置有第七通孔331；所述第六通孔322与所述第七通孔331位置相对，所述第六通孔322与所述第七通孔331组成所述第四通孔。
如图2和图6所示，所述屏蔽环31一端自所述第七通孔331插入所述容腔321内，另一端通过法兰34与所述阴极屏蔽板29连接。所述屏蔽环31为管状结构，所述屏蔽环31一端穿过所述阴极屏蔽板29，所述法兰34位于屏蔽环31端部，所述法兰34将所述屏蔽环31卡接在所述阴极屏蔽板29上。还包括支撑框架35，所述阳极屏蔽板30设置在所述支撑框架35上；所述屏蔽组件与所述支撑框架35连接。
使用时，阴极屏蔽板29设置于电镀阴极和阳极屏蔽板30之间，阳极屏蔽板30设置于电镀阳极和阴极屏蔽板29之间，通电后从电镀阳极到电镀阴极的电力线依次通过阳极屏蔽板30、第一屏蔽板32、第二屏蔽板33、屏蔽环31和阴极屏蔽板29上设置的通孔到达晶圆，各个通孔起到了导向的作用，使得电镀阳极到电镀阴极的电力线全部可以作用于晶圆的表面。
本发明在阴极和阳极分别设置阴极屏蔽板29和阳极屏蔽板30，阴极屏蔽板29和阳极屏蔽板30屏蔽电力线，而第一通孔301和第二通孔302使电力线通过，这样就能控制电力线的走向，使得所有的电力线都能作用于晶圆表面，不会浪费。设置屏蔽组件，进一步为电力线导向，使得阴极屏蔽板29和阳极屏蔽板30之间的电力线不会发散；其中设置第一屏蔽板32和第二屏蔽板33，方便安装；设置屏蔽环31，连接第二屏蔽板33和阴极屏蔽板29，使得两者之间的电力线不会发散。
本发明中的实施例仅用于对本发明进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本发明保护范围内。

Claims (3)

1.电镀用屏蔽装置，其特征在于，包括：阴极屏蔽板、阳极屏蔽板和屏蔽组件，阴极屏蔽板和阳极屏蔽板间隔设置，屏蔽组件设置于阳极屏蔽板和阴极屏蔽板之间，所述屏蔽组件与所述阳极屏蔽板连接，所述屏蔽组件与所述阴极屏蔽板连接；
阳极屏蔽板上设有若干第一通孔，阴极屏蔽板上设有若干第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置，使得电力线可自所述第一通孔穿过并穿过所述第二通孔；
屏蔽组件上设置第三通孔，所述第三通孔与所述第一通孔及所述第二通孔位置相对，电力线可自所述第一通孔穿过后，再穿过所述第三通孔，然后再穿过所述第二通孔；
所述屏蔽组件包括屏蔽转接板组件和屏蔽环，所述屏蔽转接板组件设置有第四通孔；所述屏蔽环设置第五通孔，所述第四通孔和所述第五通孔组成所述第三通孔；所述屏蔽环一端与所述屏蔽转接板组件连接，另一端与所述阴极屏蔽板连接；
所述屏蔽转接板组件包括第一屏蔽板和第二屏蔽板；所述第一屏蔽板设置有容腔；所述第一屏蔽板上设置有第六通孔；所述第二屏蔽板与所述第一屏蔽板连接并覆盖所述容腔；所述第二屏蔽板上设置有第七通孔；所述第六通孔与所述第七通孔位置相对，所述第六通孔与所述第七通孔组成所述第四通孔；
所述屏蔽环一端自所述第七通孔插入所述容腔内，另一端通过法兰与所述阴极屏蔽板连接。
2.根据权利要求1所述的电镀用屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽环为管状结构，所述屏蔽环一端穿过所述阴极屏蔽板，所述法兰位于屏蔽环端部，所述法兰将所述屏蔽环卡接在所述阴极屏蔽板上。
3.根据权利要求1所述的电镀用屏蔽装置，其特征在于，还包括支撑框架，所述阳极屏蔽板设置在所述支撑框架上；所述屏蔽组件与所述支撑框架连接。
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