CN107991737A - 一种应用于半导体发光器件的单偏振光纤微透镜制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种应用于半导体发光器件的单偏振光纤微透镜制作方法。单偏振光纤微透镜为非几何全方位对称的结构，用于与半导体发光器件进行光学对轴耦合，实现主偏振光能量耦合；在与半导体发光器件进行对轴耦合之前，分别对单偏振光纤的端面进行研磨。通过将单偏振光纤端面加工成微透镜形式，并保证其光学慢轴与半导体发光器件的主偏振光相平行，从而实现线偏振光最大效率的对轴耦合输出。采用本发明制作的单偏振光纤微透镜，不仅可以提高组件的集成度、对准容忍度、光学起偏质量、可靠性，而且可以降低成本，使得工程化生产变得更为简单。

Description

一种应用于半导体发光器件的单偏振光纤微透镜制作方法

技术领域

本发明涉及光纤与半导体发光器件耦合的光纤组件，尤其是涉及一种应用于半导体发光器件的单偏振光纤微透镜制作方法。

背景技术

半导体发光器件（半导体光源和激光器）与光纤组成的耦合组件，在光纤通信和放大、大功率激光器及其传输、传感以及医学等领域都具有重要应用，如光端机、光纤放大器、光学传感器、光纤激光器、医学检测等。传统的半导体发光器件与光纤的耦合方式是在它们之间使用分立光学器件进行聚光和准直，对半导体发光器件的出射光束进行整形准直后耦合入光纤。由于采用了分立的光学元件，使得激光在耦合过程中的损耗加大，制约了耦合效率的提高；而且分立元件的使用也使得器件的对准容忍度降低，从而使得装配校准的成本提高；同时，使用独立光学元件不仅提高了整体耦合组件的成本，而且人们还要进行费劲的调节准直光路，既麻烦、费时费力、降低了工作效率，又提高了产品成本。

相对于分立光学耦合透镜而言，半导体发光器件与光纤微透镜直接耦合更具有应用前景，因为组件具有耦合损耗小、性价比高、可靠性高、且与后续光纤系统接入方便等优势。目前单模光纤与半导体发光器件直接耦合输出，光纤的端面微透镜形式有楔形、斜面形、双曲面形、四角锥形、端面球形、端面半球形、端面斜球形、锥形、锥端球面形、热膨胀芯扩束形等。

无论哪种耦合方式，目的都是通过光纤端头微透镜对半导体发光器件发出的光场进行整形 ,使光纤的入射光场与光纤本征光场分布达到最大可能的匹配。

现在的半导体发光器件有传统的体材料型、量子阱型和量子级联型（QCL）等多种，它们大部分都是TE模偏振光输出，设计人员通过在半导体器件设计上的改变，可以使其占输出功率90%左右的偏振光的偏振方向为X或Y方向（也可以是与X轴成Φ角度的其它方向）。如果人们用单模光纤微透镜与发光器件进行耦合，但由于单模光纤内存在模间耦合的问题，会使得单模光纤输出光的偏振性能逐步退化，输出偏振光特性越传越差，最终使得该半导体光纤组件不能实现良好的线偏振光输出。

目前人们考虑的光纤与半导体发光器件相互耦合的问题都只停留在提高光能量耦合的效率上，在现实科研和生产中，人们需要使用线偏振光输出的光源和激光，因此，人们就不得不在半导体发光器件尾纤后面再额外加入一个光学起偏器件，一般是块体材料型的，因此会带来光路准直等问题，非常麻烦。

发明内容

鉴于上述现有技术存在的问题和缺陷，针对目前市场上对半导体发光器件光纤尾纤输出线偏振光的需求，本发明提供一种应用于半导体发光器件的单偏振光纤微透镜制作方法。本发明的目的是希望与半导体发光器件耦合的光纤本身就是偏振器，这不仅可以提高组件的集成度、对准容忍度、光学起偏质量、可靠性，而且可以降低成本，使得工程化生产变得更为简单。

针对目前市场上对半导体发光器件光纤尾纤输出线偏振光的需求，我们提出了本发明：用单偏振光纤微透镜与半导体发光器件进行对轴耦合输出，这里有两个耦合：一个是光能量耦合，另一个是偏振光耦合；该单偏振光纤微透镜是非几何全方位对称结构的单偏振光纤微透镜，如楔形、斜面形、双曲面形、四角锥形等，它们既存在光能量耦合调整问题，也存在偏振光耦合调整问题；在实际工作中，非几何全方位对称的单偏振光纤微透镜需要定轴研磨和定轴耦合；总之，通过将单偏振光纤端面加工成微透镜形式，并保证其光学慢轴与半导体发光器件的主偏振光相平行，从而实现线偏振光最大效率的对轴耦合输出。

本发明为实现上述目的采取的技术方案是：一种应用于半导体发光器件的单偏振光纤微透镜制作方法，其特征在于，所述单偏振光纤微透镜为非几何全方位对称的结构，用于与半导体发光器件进行光学对轴耦合，实现主偏振光能量耦合；非几何全方位对称的单偏振光纤微透镜光学结构分为三种：①慢轴平行形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件X轴主偏振光方向进行对轴耦合；②慢轴垂直形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件Y轴主偏振光方向进行对轴耦合；③慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件任意θ角度主偏振光方向进行对轴耦合；所述三种微透镜在与半导体发光器件进行对轴耦合之前，分别对单偏振光纤的端面进行研磨。

本发明所述的慢轴平行形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件X轴主偏振光方向进行对轴耦合有以下步骤：

步骤一、首先进行单偏振光纤的光学慢轴定轴，再将单偏振光纤固定在研磨夹具上，旋转研磨夹具，使得慢轴平行形单偏振光纤光学慢轴线与研磨机的研磨平面平行；

步骤二、沿垂直于研磨平面的方向调节单偏振光纤的中轴线与研磨盘呈设计角度：90°-ψ/2°，其中ψ为微透镜的楔角；

步骤三、然后沿单偏振光纤的慢轴进行研磨，待研磨量达到设计要求后，翻转研磨夹具180°，对单偏振光纤的另一面进行对称研磨；

步骤四、将研磨好的单偏振光纤微透镜进行去胶处理后，最终制成慢轴平行形单偏振光纤微透镜，其双平面呈轴对称结构。

慢轴平行形单偏振光纤微透镜的端头边缘线与慢轴平行形单偏振光纤微透镜光学慢轴线处于平行的位置，对轴耦合时，慢轴平行形单偏振光纤微透镜光学慢轴线与半导体发光器件光场的X方向主偏振光轴线相平行，其端头边缘线与半导体发光器件光场的X方向线平行并耦合。

本发明所述的慢轴垂直形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件Y轴主偏振光方向进行对轴耦合有以下步骤：

步骤一、首先进行单偏振光纤的光学慢轴定轴，再将单偏振光纤固定在研磨夹具上，旋转研磨夹具，使得慢轴垂直形单偏振光纤光学慢轴线与研磨机的研磨平面垂直；

步骤二、沿垂直于研磨平面的方向调节单偏振光纤的中轴线与研磨盘呈设计角度：90°-ψ/2°，其中ψ为微透镜的楔角；

步骤三、然后沿垂直于单偏振光纤的慢轴进行研磨，待研磨量达到设计要求后，翻转研磨夹具180°，对单偏振光纤的另一面进行对称研磨；

步骤四、将研磨好的单偏振光纤微透镜进行去胶处理后，最终制成慢轴垂直形单偏振光纤微透镜，其双平面呈轴对称结构。

慢轴垂直形单偏振光纤微透镜光学慢轴线与其端头边缘线处于垂直的位置，与半导体发光器件进行对轴耦合时，慢轴垂直形单偏振光纤微透镜光学慢轴线与半导体发光器件光场的Y方向主偏振光轴线相平行，其端头边缘线与半导体发光器件光场的X方向线平行并耦合。

所述的慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件任意θ角度主偏振光方向进行对轴耦合有以下步骤：

步骤一、首先进行单偏振光纤的光学慢轴定轴，再将单偏振光纤固定在研磨夹具上，旋转研磨夹具，使得单偏振光纤微透镜光学慢轴线与其端头边缘线构成单偏振光纤微透镜的光学慢轴偏振角θ，其端头边缘线与研磨机的研磨平面平行；

步骤二、沿垂直于研磨平面的方向调节单偏振光纤的中轴线与研磨盘呈设计角度：90°-ψ/2°，其中ψ为微透镜的楔角；

步骤三、然后研磨单偏振光纤，待研磨量达到设计要求后，翻转研磨夹具180°，对单偏振光纤的另一面进行对称研磨；

步骤四、将研磨好的单偏振光纤微透镜进行去胶处理后，最终制成慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜，其双平面呈轴对称结构。

慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜光学慢轴线与半导体发光器件光场Φ角度主偏振光轴线相平行，慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜的光学慢轴偏振角θ与半导体发光器件光场的主偏振光角Φ角度相等；其端头边缘线与半导体发光器件光场的X轴方向线平行并耦合。

本发明在所述单偏振光纤微透镜的透镜部分生长一层增透膜。

由于单偏振光纤只有X光学轴（慢轴）方向能够传输光，Y光学轴（快轴）方向的偏振光被截止，而半导体发光器件的出射光大部分是偏振光（偏振度一般大致在90%左右），所以要使它们的耦合效率最大化并输出，就一定要做到两点：一是首先要将半导体发光器件的出射光最大效率的耦合入光纤，这就要将单偏振光纤端头加工成微透镜；二是要保证绝大部分线偏振光能够从光纤输出，这就要对该光纤微透镜进行光学轴对轴研磨。在耦合时，还要保证单偏振光纤微透镜的慢轴与半导体发光器件光场的主偏振光轴相平行，才能保证半导体发光器件的主偏振光都能耦合进入单偏振光纤并能传输。

目前尽管半导体发光器件的出射光沿两个垂直方向的发散角差别很大，但一般讲，只要把单偏振光纤与该发光器件进行简单的耦合仍然可以实现线偏振光输出，只是功率耦合效率较低。这是因为单偏振光纤本身就具有起偏器的功能，但由于这样的随意耦合，其光学轴与半导体发光器件光场的主偏振光方向不可能平行，因此其偏振光高效耦合是没法保证的。

本发明所产生的有益效果是：通过将本发明的单偏振光纤微透镜进行光学轴定轴研磨，以及与半导体发光器件进行光学定轴耦合，实现了半导体发光器件与单偏振光纤微透镜组成的组件具有最大效率线偏振光的耦合输出，其中除了要考虑它们间最大功率耦合外，还要考虑它们间光学偏振轴对轴的问题。无论采用传统的单模光纤微透镜，还是采用没有光学轴定轴研磨的单偏振光纤微透镜，都无法做到这种线偏振光高效耦合的效果。

附图说明

图1为熊猫型单偏振光纤结构图；

图2为半导体发光器件输出为X方向主偏振光的光场图；

图3为慢轴平行形单偏振光纤微透镜结构图；

图4为半导体发光器件输出为Y方向主偏振光的光场图；

图5为慢轴垂直形单偏振光纤微透镜结构图；

图6为半导体发光器件输出为Φ角度主偏振光的光场图；

图7为慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜结构图；

图8为单偏振光纤斜面形微透镜结构图。

具体实施方式

以下参照附图和实施例对本发明做进一步说明。

本发明所指的三种微透镜在与半导体发光器件进行对轴耦合之前，分别对单偏振光纤的端面进行研磨。半导体发光器件出射的主偏振光偏振方向有三种情况，一种是沿X方向，另一种是沿Y方向，第三种是沿任意角度Φ方向。本发明以非几何全方位对称的单偏振光纤微透镜（熊猫型）为例进行讨论。单偏振光纤微透镜也分三种，分别是慢轴平行形、慢轴垂直形和慢轴θ角度形，其分类的依据是光学慢轴相对于微透镜端头边缘线的角度。

如图1所示，图1是熊猫型单偏振光纤结构图，图中显示了熊猫型单偏振光纤光学慢轴线1和单偏振光纤光学快轴线2。

如图2所示，图2是半导体发光器件输出为X方向主偏振光的光场图，图中显示了半导体发光器件X方向光场分布线3、半导体发光器件Y方向光场分布线4、半导体发光器件光场的X方向主偏振光轴线5和半导体发光器件光场的X方向线6。

如图3所示，图3是慢轴平行形单偏振光纤微透镜结构图，图中显示了单偏振光纤微透镜端头边缘线7和慢轴平行形单偏振光纤微透镜的光学慢轴线8（为清楚起见，把慢轴与楔形边缘线分开标出，在理想情况下，它们是重叠的）。

如图4所示，图4是半导体发光器件输出为Y方向主偏振光的光场图，图中显示了半导体发光器件光场的Y方向主偏振光轴线10。

如图5所示，图5是慢轴垂直形单偏振光纤微透镜结构图，图中显示了慢轴垂直形单偏振光纤微透镜的光学慢轴线11。

如图6所示，图6是半导体发光器件输出为Φ角度主偏振光的光场图，图中显示了半导体发光器件光场的Φ角度主偏振光轴线12和半导体发光器件光场的主偏振光角Φ13。

如图7所示，图7是慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜结构图，图中显示了慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜的光学慢轴线14和慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜的光学慢轴偏振角θ15，同时还显示了单偏振光纤微透镜楔角ψ9。

本发明采用的单偏振光纤的外径不限，可以是各种直径大小，如Ф200μm、Ф125μm、Ф80μm、Ф45μm等；其形状不限，可以是圆形、方形、D型、多边形等。

本发明采用的单偏振光纤的结构不限，可以是熊猫型、领结型、椭圆包层型、空气孔辅助几何双折射型、椭圆芯几何双折射型等。

本发明采用的单偏振光纤的材料不限，可以是硅基材料单偏振光纤，也可以是多组分玻璃等其它材料的单偏振光纤。

本发明采用的单偏振光纤微透镜的形状不限，可以是楔形的，也可以是斜面形、双曲面形、四角锥形等其它非几何全方位对称形的单偏振光纤微透镜形式。

本发明采用的单偏振光纤微透镜的加工方式不限，可以是机械研磨，也可以是火焰或激光等形式加工。

本发明采用的半导体发光器件的类型不限，可以是发光二极管、激光器、超连续谱光源、量子阱激光器、量子级联激光器等。

（一）慢轴平行形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件X轴主偏振光方向进行对轴耦合有以下步骤：

步骤一、首先进行单偏振光纤的光学慢轴定轴，再将单偏振光纤固定在研磨夹具上，旋转研磨夹具，使得慢轴平行形单偏振光纤光学慢轴线8与研磨机的研磨平面平行；

步骤二、沿垂直于研磨平面的方向调节单偏振光纤的中轴线与研磨盘呈设计角度：90°-ψ/2°，其中ψ为微透镜的楔角9；

步骤三、然后沿单偏振光纤的慢轴进行研磨，待研磨量达到设计要求后，翻转研磨夹具180°，对单偏振光纤的另一面进行对称研磨；

步骤四、将研磨好的单偏振光纤微透镜进行去胶处理后，最终制成慢轴平行形单偏振光纤微透镜，其双平面呈轴对称结构。

慢轴平行形单偏振光纤微透镜的端头边缘线7与慢轴平行形单偏振光纤微透镜光学慢轴线8处于平行的位置，对轴耦合时，慢轴平行形单偏振光纤微透镜光学慢轴线8与半导体发光器件光场的X方向主偏振光轴线5相平行，其端头边缘线7与半导体发光器件光场的X方向线6平行并耦合（如图2、图3所示）。

(二)慢轴垂直形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件Y轴主偏振光方向进行对轴耦合有以下步骤：

步骤一、首先进行单偏振光纤的光学慢轴定轴，再将单偏振光纤固定在研磨夹具上，旋转研磨夹具，使得慢轴垂直形单偏振光纤光学慢轴线11与研磨机的研磨平面垂直；

步骤二、沿垂直于研磨平面的方向调节单偏振光纤的中轴线与研磨盘呈设计角度：90°-ψ/2°，其中ψ为微透镜的楔角9；

步骤三、然后沿垂直于单偏振光纤的慢轴进行研磨，待研磨量达到设计要求后，翻转研磨夹具180°，对单偏振光纤的另一面进行对称研磨；

步骤四、将研磨好的单偏振光纤微透镜进行去胶处理后，最终制成慢轴垂直形单偏振光纤微透镜，其双平面呈轴对称结构。

慢轴垂直形单偏振光纤微透镜光学慢轴线11与其端头边缘线7处于垂直的位置，与半导体发光器件进行对轴耦合时，慢轴垂直形单偏振光纤微透镜光学慢轴线11与半导体发光器件光场的Y方向主偏振光轴线10相平行，其端头边缘线7与半导体发光器件光场的X方向线6平行并耦合（如图4、图5所示）。

（三）慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件任意θ角度主偏振光方向进行对轴耦合有以下步骤：

步骤一、首先进行单偏振光纤的光学慢轴定轴，再将单偏振光纤固定在研磨夹具上，旋转研磨夹具，使得单偏振光纤微透镜光学慢轴线14与其端头边缘线7构成单偏振光纤微透镜的光学慢轴偏振角θ15，其端头边缘线7与研磨机的研磨平面平行；

步骤二、沿垂直于研磨平面的方向调节单偏振光纤的中轴线与研磨盘呈设计角度：90°-ψ/2°，其中ψ为微透镜的楔角9；

步骤三、然后研磨单偏振光纤，待研磨量达到设计要求后，翻转研磨夹具180°，对单偏振光纤的另一面进行对称研磨；

步骤四、将研磨好的单偏振光纤微透镜进行去胶处理后，最终制成慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜，其双平面呈轴对称结构。

慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜光学慢轴线14与半导体发光器件光场Φ角度主偏振光轴线12相平行，慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜的光学慢轴偏振角θ15与半导体发光器件光场的主偏振光角Φ13角度相等；其端头边缘线7与半导体发光器件光场的X轴方向线6平行并耦合（如图6、图7所示）。

如果需要进一步提高单偏振光纤微透镜与半导体发光器件间的耦合效率，可以在非几何全方位对称微透镜部分生长一层增透膜，生长方法可以是真空蒸度、溅射、化学镀等。

对于非几何全方位对称的其它单偏振光纤微透镜，如斜面形、双曲面形、四角锥形等，对轴研磨和对轴耦合要参考以上所列的单偏振光纤微透镜进行。图8是单偏振光纤斜面形微透镜结构图，图中显示了单偏振光纤斜面形微透镜的光学慢轴线16，参照上述单偏振光纤微透镜的形式，它同样可以被分成慢轴平行形、慢轴垂直形和慢轴θ角度形三种形式，加工时要考虑光学轴的定轴问题；在与半导体发光器件进行耦合时，为了保证单偏振光的最大耦合效率，同样要保证单偏振光纤斜面形微透镜的光学慢轴线与半导体发光器件光场的主偏振光轴线相平行。

对于本发明中未提到的其它类型非几何全方位对称的单偏振光纤微透镜，具体加工方式会有所不同，但加工时同样要考虑光学轴的定轴问题；在与半导体发光器件进行耦合时，为了保证单偏振光的最大耦合效率，同样要保证这些单偏振光纤微透镜的光学慢轴线与半导体发光器件光场的主偏振光轴线相平行。

Claims (5)

1.一种应用于半导体发光器件的单偏振光纤微透镜制作方法，其特征在于，所述单偏振光纤微透镜为非几何全方位对称的结构，用于与半导体发光器件进行光学对轴耦合，实现主偏振光能量耦合；非几何全方位对称的单偏振光纤微透镜光学结构分为三种：①慢轴平行形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件X轴主偏振光方向进行对轴耦合；②慢轴垂直形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件Y轴主偏振光方向进行对轴耦合；③慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件任意θ角度主偏振光方向进行对轴耦合；所述三种微透镜在与半导体发光器件进行对轴耦合之前，分别对单偏振光纤的端面进行研磨。

2.如权利要求1所述的一种应用于半导体发光器件的单偏振光纤微透镜制作方法，其特征在于，所述的慢轴平行形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件X轴主偏振光方向进行对轴耦合有以下步骤：

步骤一、首先进行单偏振光纤的光学慢轴定轴，再将单偏振光纤固定在研磨夹具上，旋转研磨夹具，使得慢轴平行形单偏振光纤光学慢轴线（8）与研磨机的研磨平面平行；

步骤二、沿垂直于研磨平面的方向调节单偏振光纤的中轴线与研磨盘呈设计角度：90°-ψ/2°，其中ψ为微透镜的楔角（9）；

步骤三、然后沿单偏振光纤的慢轴进行研磨，待研磨量达到设计要求后，翻转研磨夹具180°，对单偏振光纤的另一面进行对称研磨；

步骤四、将研磨好的单偏振光纤微透镜进行去胶处理后，最终制成慢轴平行形单偏振光纤微透镜，其双平面呈轴对称结构；

慢轴平行形单偏振光纤微透镜的端头边缘线（7）与慢轴平行形单偏振光纤微透镜光学慢轴线（8）处于平行的位置，对轴耦合时，慢轴平行形单偏振光纤微透镜光学慢轴线（8）与半导体发光器件光场的X方向主偏振光轴线（5）相平行，其端头边缘线（7）与半导体发光器件光场的X方向线（6）平行并耦合。

3.如权利要求1所述的一种应用于半导体发光器件的单偏振光纤微透镜制作方法，其特征在于，所述的慢轴垂直形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件Y轴主偏振光方向进行对轴耦合有以下步骤：

步骤一、首先进行单偏振光纤的光学慢轴定轴，再将单偏振光纤固定在研磨夹具上，旋转研磨夹具，使得慢轴垂直形单偏振光纤光学慢轴线（11）与研磨机的研磨平面垂直；

步骤二、沿垂直于研磨平面的方向调节单偏振光纤的中轴线与研磨盘呈设计角度：90°-ψ/2°，其中ψ为微透镜的楔角（9）；

步骤三、然后沿垂直于单偏振光纤的慢轴进行研磨，待研磨量达到设计要求后，翻转研磨夹具180°，对单偏振光纤的另一面进行对称研磨；

步骤四、将研磨好的单偏振光纤微透镜进行去胶处理后，最终制成慢轴垂直形单偏振光纤微透镜，其双平面呈轴对称结构；

慢轴垂直形单偏振光纤微透镜光学慢轴线（11）与其端头边缘线（7）处于垂直的位置，与半导体发光器件进行对轴耦合时，慢轴垂直形单偏振光纤微透镜光学慢轴线（11）与半导体发光器件光场的Y方向主偏振光轴线（10）相平行，其端头边缘线（7）与半导体发光器件光场的X方向线（6）平行并耦合。

4.如权利要求1所述的一种应用于半导体发光器件的单偏振光纤微透镜制作方法，其特征在于，所述的慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜，其慢轴沿半导体发光器件任意θ角度主偏振光方向进行对轴耦合有以下步骤：

步骤一、首先进行单偏振光纤的光学慢轴定轴，再将单偏振光纤固定在研磨夹具上，旋转研磨夹具，使得单偏振光纤微透镜光学慢轴线（14）与其端头边缘线（7）构成单偏振光纤微透镜的光学慢轴偏振角θ（15），其端头边缘线（7）与研磨机的研磨平面平行；

步骤二、沿垂直于研磨平面的方向调节单偏振光纤的中轴线与研磨盘呈设计角度：90°-ψ/2°，其中ψ为微透镜的楔角（9）；

步骤三、然后研磨单偏振光纤，待研磨量达到设计要求后，翻转研磨夹具180°，对单偏振光纤的另一面进行对称研磨；

步骤四、将研磨好的单偏振光纤微透镜进行去胶处理后，最终制成慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜，其双平面呈轴对称结构；

慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜光学慢轴线（14）与半导体发光器件光场Φ角度主偏振光轴线（12）相平行，慢轴θ角度形单偏振光纤微透镜的光学慢轴偏振角θ（15）与半导体发光器件光场的主偏振光角Φ（13）角度相等；其端头边缘线（7）与半导体发光器件光场的X轴方向线（6）平行并耦合。

5.如权利要求1、权利要求2、权利要求3或权利要求4所述的一种应用于半导体发光器件的单偏振光纤微透镜制作方法，其特征在于，在所述单偏振光纤微透镜的透镜部分生长一层增透膜。