CN107968971B - 麦克风电路 - Google Patents

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Abstract

一种麦克风电路，用以偏压传感器，其中传感器包括第一端以及第二端，麦克风电路包括：前端缓冲器以及电荷泵。前端缓冲器响应第二端的电压信号，而在内部节点产生内部信号，其中传感器在第一端接收入射声波，而于第二端产生电压信号。电荷泵根据第一时钟信号，将内部信号升压至升压电压，并将升压电压施加于第一节点。

Description

麦克风电路
技术领域
本发明涉及用以偏压MEMS传感器的一种偏压电路，特别有关于一种基于电荷泵的偏压电路，使得MEMS传感器的跨压与MEMS传感器的漏电特性无关。
背景技术
现在的智能手机以及移动电话具有数个麦克风内建于其中，使得MEMS传感器随着小封装麦克风的需求的成长而大量涌现。MEMS传感器用于各种不同的应用，包括音频感测、压力感测、加速度监测以及超声波扫描。
然而，传感器的漏电特性会影响传感器的偏压电压，因此我们亟需用以在各种传感器的漏电特性下皆能产生固定偏压电压偏压于MEMS传感器的两侧的偏压电路。
发明内容
有鉴于此，本发明提出一种麦克风电路，用以偏压一传感器，其中上述传感器包括一第一端以及一第二端，上述麦克风电路包括：一前端缓冲器以及一电荷泵。上述前端缓冲器响应上述第二端的一电压信号，而在一内部节点产生一内部信号，其中上述传感器在上述第一端接收上述入射声波，而于上述第二端产生上述电压信号。上述电荷泵根据一第一时钟信号，将上述内部信号升压至一升压电压，并将上述升压电压施加于上述第一节点。
根据本发明的一实施例，上述前端缓冲器包括：一偏压电流源以及一P型晶体管。上述偏压电流源将一电流流至上述内部节点。上述P型晶体管包括耦接至上述第二端的栅极端、耦接至上述内部节点的源极端以及耦接至一接地端的栅极端。
根据本发明的一实施例，上述电荷泵包括：一第一单向导通元件、一第一电容、一输出单向导通元件以及一输出电容。上述第一单向导通元件单方向的将上述内部信号提供至上述第一升压节点。上述第一电容耦接于上述第一升压节点以及上述第一时钟信号之间。上述输出单向导通元件单方向的将上述第一升压节点的电压提供至上述第一端。上述输出电容耦接于上述第一端以及上述接地端之间。
根据本发明的一实施例，上述第一时钟信号包括一高逻辑电平以及一低逻辑电平，其中上述升压电压被升压至上述内部信号以及上述高逻辑电平的总和减去上述第一单向导通元件以及上述输出单向导通元件的压降。
根据本发明的一实施例，上述第一单向导通元件以及上述输出单向导通元件的每一个为一二极管。
根据本发明的另一实施例，上述第一单向导通元件以及上述输出单向导通元件的每一个为耦接为二极管的一晶体管。
根据本发明的一实施例，上述电荷泵还包括：一第二单向导通元件以及一第二电容。上述第二单向导通元件耦接于上述第一升压节点以及上述输出单向导通元件之间，并且单方向的将上述第一升压节点耦接至一第二升压节点，其中上述输出单向导通元件耦接于上述第二升压节点以及上述第一端之间。上述第二电容耦接于上述第二升压节点以及一第二时钟信号之间，其中上述第二时钟信号为上述第一时钟信号的反相。
根据本发明的一实施例，上述第二单向导通元件为一二极管。
根据本发明的另一实施例，上述第二单向导通元件为耦接为二极管的一晶体管。
根据本发明的一实施例，上述传感器包括：一漏电电流源、一可变电容、一固定电容以及一偏压电阻。上述漏电电流源包括一漏电电流，其中上述漏电电流自上述第一端流至上述第二端，其中上述漏电电流随着时间改变，并且在启动后一段时间后为一定值。上述可变电容耦接于上述第一端以及上述第二端之间，包括一电容值，其中上述电容值对应上述入射声波而改变。上述固定电容，耦接于上述第一端以及上述第二端。上述偏压电阻耦接于上述第二端以及一接地端之间。
根据本发明的一实施例，麦克风电路还包括一开关。上述开关耦接于上述第二端以及上述接地端之间，且由一电力重置信号所控制，其中当上述麦克风电路启动且上述开关将上述第二端的电压拉至接地端时，上述漏电电流以及上述偏压电阻在上述第二端产生一漏电电压，其中上述电荷泵将上述漏电电压升压至上述升压电压且将上述升压电压施加于上述第一端，使得上述传感器的跨压与上述漏电电压无关。
根据本发明的一实施例，麦克风电路还包括：一低噪声放大器以及一模拟数字转换器。上述低噪声放大器将上述内部信号放大而产生一音频信号。上述模拟数字转换器将上述音频信号转换成一数字信号。
本发明更提出一种麦克风电路，包括：一传感器、一前端缓冲器以及一电荷泵。上述传感器包括一第一端以及一第二端，其中上述传感器于上述第一端接收一入射声波而于上述第二端产生一电压信号。上述前端缓冲器对应上述电压信号而于一内部节点产生一内部信号。上述电荷泵根据一第一时钟信号，将上述内部信号升压至一升压电压，并将上述升压电压施加于上述第一节点。
根据本发明的一实施例，上述前端缓冲器包括：一偏压电流源以及一P型晶体管。上述偏压电流源将一电流流至上述内部节点。上述P型晶体管包括耦接至上述第二端的栅极端、耦接至上述内部节点的源极端以及耦接至一接地端的栅极端。
根据本发明的一实施例，上述电荷泵包括：一第一单向导通元件、一第一电容、一输出单向导通元件以及一输出电容。上述第一单向导通元件单方向的将上述内部信号提供至上述第一升压节点。上述第一电容耦接于上述第一升压节点以及上述第一时钟信号之间。上述输出单向导通元件单方向的将上述第一升压节点的电压提供至上述第一端。上述输出电容耦接于上述第一端以及上述接地端之间。
根据本发明的一实施例，上述第一时钟信号包括一高逻辑电平以及一低逻辑电平，其中上述升压电压被升压至上述内部信号以及上述高逻辑电平的总和减去上述第一单向导通元件以及上述输出单向导通元件的压降。
根据本发明的一实施例，上述第一单向导通元件以及上述输出单向导通元件的每一个为一二极管。
根据本发明的另一实施例，上述第一单向导通元件以及上述输出单向导通元件的每一个为耦接为二极管之一晶体管。
根据本发明的一实施例，上述电荷泵还包括：一第二单向导通元件以及一第二电容。上述第二单向导通元件耦接于上述第一升压节点以及上述输出单向导通元件之间，并且单方向的将上述第一升压节点耦接至一第二升压节点，其中上述输出单向导通元件耦接于上述第二升压节点以及上述第一端之间。上述第二电容耦接于上述第二升压节点以及一第二时钟信号之间，其中上述第二时钟信号为上述第一时钟信号的反相。
根据本发明的一实施例，上述第二单向导通元件为一二极管。
根据本发明的另一实施例，上述第二单向导通元件为耦接为二极管的一晶体管。
根据本发明的一实施例，上述传感器包括：一漏电电流源、一可变电容、一固定电容以及一偏压电阻。上述漏电电流源包括一漏电电流，其中上述漏电电流自上述第一端流至上述第二端，其中上述漏电电流随着时间改变，并且在启动后一段时间后为一定值。上述可变电容耦接于上述第一端以及上述第二端之间，包括一电容值，其中上述电容值对应上述入射声波而改变。上述固定电容，耦接于上述第一端以及上述第二端。上述偏压电阻耦接于上述第二端以及一接地端之间。
根据本发明的一实施例，麦克风电路还包括一开关。上述开关耦接于上述第二端以及上述接地端之间，且由一电力重置信号所控制，其中当上述麦克风电路启动且上述开关将上述第二端的电压拉至接地端时，上述漏电电流以及上述偏压电阻在上述第二端产生一漏电电压，其中上述电荷泵将上述漏电电压升压至上述升压电压且将上述升压电压施加于上述第一端，使得上述传感器的跨压与上述漏电电压无关。
根据本发明的一实施例，麦克风电路还包括：一低噪声放大器以及一模拟数字转换器。上述低噪声放大器将上述内部信号放大而产生一音频信号。上述模拟数字转换器将上述音频信号转换成一数字信号。
附图说明
图1是显示根据本发明的一实施例所述的麦克风电路的方块图；
图2是显示根据本发明的一实施例所述的麦克风电路的电路图；
图3是显示根据本发明的另一实施例所述的麦克风电路的电路图；以及
图4是显示根据本发明的又一实施例所述的麦克风电路的电路图。
【符号说明】
100、200、400 麦克风电路
110、210、410 传感器
120、220、420 前端缓冲器
130、230、300、430 电荷泵
240、440 开关
221 偏压电流源
222 P型晶体管
450 低噪声放大器
460 模拟数字转换器
411 漏电电流源
CMEMS MEMS电容
C1 第一电容
C2 第二电容
C 输出电容
C0 固定电容
CVAR 可变电容
RB 偏压电阻
INS 入射声波
I 电流
I(t) 漏电电流
POR 电力重置信号
MN N型晶体管
AOUT 音频信号
DOUT 数字信号
NI 内部节点
NP1 第一升压节点
NP2 第二升压节点
SC 电压信号
SI 内部信号
φ1 第一时钟信号
φ2 第二时钟信号
VB 升压电压
VL 漏电电压
P1 第一端
P2 第二端
UC1 第一单向导通元件
UC2 第二单向导通元件
UCO 输出单向导通元件
具体实施方式
以下说明为本发明的实施例。其目的是要举例说明本发明一般性的原则，不应视为本发明的限制，本发明的范围当以权利要求书所界定者为准。
值得注意的是，以下所公开的内容可提供多个用以实践本发明的不同特点的实施例或范例。以下所述的特殊的元件范例与安排仅用以简单扼要地阐述本发明的精神，并非用以限定本发明的范围。此外，以下说明书可能在多个范例中重复使用相同的元件符号或文字。然而，重复使用的目的仅为了提供简化并清楚的说明，并非用以限定多个以下所讨论的实施例和/或配置之间的关系。此外，以下说明书所述之一个特征连接至、耦接至和/或形成于另一特征的上等的描述，实际可包含多个不同的实施例，包括该等特征直接接触，或者包含其它额外的特征形成于该等特征之间等等，使得该等特征并非直接接触。
图1是显示根据本发明的一实施例所述的麦克风电路的方块图。如图1所示，麦克风电路100包括传感器110、前端缓冲器120以及电荷泵130。传感器110接收入射声波INS，而产生电压信号SC。根据本发明的一实施例，传感器110可为MEMS传感器。根据本发明的其他实施例，传感器110可为目前已知或未知的各种传感器。
前端缓冲器120对应电压信号SC，在内部节点NI产生内部信号SI。电荷泵130根据第一时钟信号φ1，将内部信号SI升压至升压电压VB。根据本发明的一实施例，当电压信号SC代表传感器110的漏电特性时，升压电压VB也包括传感器110的漏电特性。
由于漏电特性出现于传感器110的两端，因此传感器110的跨压能够消除漏电特性。以下的段落将会清楚的描述如何消除漏电特性。
图2是显示根据本发明的一实施例所述的麦克风电路的电路图。如图2所示，麦克风电路200包括传感器210、前端缓冲器220、电荷泵230以及开关240，其中传感器210、前端缓冲器220以及电荷泵230分别对应至图1的传感器110、前端缓冲器120以及电荷泵130。
传感器210模拟为MEMS电容CMEMS，包括第一端P1以及第二端P2。传感器210于第一端P1接收入射声波INS，而于第二端P2产生电压信号SC。对应入射声波INS接收于第一端P1，传感器210的弹性膜会自平衡位置有些微的形变。
第一端P1以及第二端P2之间的距离改变，会造成MEMS电容CMEMS的改变。因此，当MEMS电容CMEMS的电容值改变时，定义传感器210的敏感度的电压变化ΔV可由公式1所表示，其中ΔC代表传感器210的电容值变化。
ΔV＝(VB-SC)*(ΔC/CMEMS) 公式1
前端缓冲器220包括偏压电流源221以及P型晶体管222。偏压电流源221供应电流I流至内部节点NI。P型晶体管222的栅极端耦接至第二端P2以接收电压信号SC，P型晶体管222的源极端汲取电流I，P型晶体管222的漏极端耦接至接地端。根据本发明的一实施例，P型晶体管222作为源极随耦器，使得内部信号SI以及电压信号SC之间具有P型晶体管222的源极-栅极电压的电压差。换句话说，内部信号SI等于P型晶体管222的源极-栅极电压与电压信号SC的总和。
电荷泵230包括第一单向导通元件UC1、第一电容C1、输出单向导通元件UCO以及输出电容C。第一单向导通元件UC1单方向的提供内部信号SI至第一升压节点NP1，开关240用以重置第二端P2的电压信号SC。
第一电容C1耦接于第一升压节点NP1以及第一时钟信号φ1之间，输出单向导通元件UCO单方向的将第一升压节点NP1的电压提供至第一端P1，输出电容C耦接于第一端P1以及接地端之间。
根据本发明的一实施例，第一时钟信号φ1包括高逻辑电平以及低逻辑电平，其中低逻辑电平等于接地端的接地电平，升压电压VB被升压至内部信号SI以及高逻辑电平的总和减去第一单向导通元件UC1以及输出单向导通元件UCO的压降。
由于第一端P1由升压电压VB所偏压，而升压电压VB等于内部信号SI以及高逻辑电平的总和减去所有单向导通元件的压降，并且第二端P2偏压为电压信号SC，因此传感器210的跨压能将电压信号SC消去。
根据本发明的一实施例，第一单向导通元件UC1以及输出单向导通元件UCO的每一个皆为二极管。根据本发明的另一实施例，第一单向导通元件UC1以及输出单向导通元件UCO的每一个皆耦接为二极管的晶体管，其中晶体管可为N型晶体管或P型晶体管。
图3是显示根据本发明的另一实施例所述的麦克风电路的电路图。将图3与图2相比，图2的电荷泵230置换为电荷泵300。如图3所示，电荷泵300包括第一单向导通元件UC1、第一电容C1、第二单向导通元件UC2、第二电容C2、输出单向导通元件UCO以及输出电容C。
第一单向导通元件UC1单方向的将内部信号SI提供至第一升压节点NP1，第一电容C1耦接于第一升压节点NP1以及第一时钟信号φ1之间。
第二单向导通元件UC2单方向的将第一升压节点NP1的电压提供至第二升压节点NP2，第二电容C2耦接于第二升压节点NP2以及第二时钟信号φ2之间，其中第二时钟信号φ2为第一时钟信号φ1的反相。
输出单向导通元件UCO单方向的将第一升压节点NP1的电压提供至第一端P1，输出电容C耦接于第一端P1以及接地端。
根据本发明的一实施例，第一时钟信号φ1包括高逻辑电平以及低逻辑电平，第二时钟信号φ2包括高逻辑电平以及低逻辑电平，其中低逻辑电平等于接地端的皆地电平。升压电压VB因而被升压至内部信号SI以及两倍的高逻辑电平的总和减去第一单向导通元件UC1、第二单向导通元件UC2以及输出单向导通元件UCO的压降。
由于第一端P1利用升压电压VB偏压，其中升压电压VB等于内部信号SI以及两倍的高逻辑电平的总和减去第一单向导通元件UC1、第二单向导通元件UC2以及输出单向导通元件UCO的压降，并且第二端P2由电压信号SC偏压，因此传感器210的跨压可将电压信号SC消除而与电压信号SC无关。
根据本发明的一实施例，第一单向导通元件UC1、第二单向导通元件UC2以及输出单向导通元件UCO的每一个皆为二极管。根据本发明的另一实施例，第一单向导通元件UC1、第二单向导通元件UC2以及输出单向导通元件UCO的每一个皆为耦接为二极管的晶体管，其中晶体管为N型晶体管或P型晶体管。
根据本发明的一实施例，第一时钟信号φ1以及第二时钟信号φ2可具有不同的高逻辑电平。一个单向导通元件(即，第一单向导通元件UC1或第二单向导通元件UC2)以及一个电容(即，第一电容C1或第二电容C2)可视为一电路级。
根据本发明的其他实施例，可在输出单向导通元件UCO之前串接任何数量的电路级，以达到更高的升压电压VB。举例来说，当另一电路级(图3中并未显示)耦接于第二单向导通元件UC2以及输出单向导通元件UCO之间时，另一电路级的电容耦接至第一时钟信号φ1。当又一电路级(图3中并未显示)耦接于另一电路级以及输出单向导通元件UCO之间时，又一电路级的电容耦接至第二时钟信号φ2。
图4是显示根据本发明的又一实施例所述的麦克风电路的电路图。如图4所示，麦克风电路400包括传感器410、前端缓冲器420、电荷泵430、开关440、低噪声放大器(low-noise amplifier，LNA)450以及模拟数字转换器(analog-to-digital converter，ADC)460。
传感器410模拟为漏电电流源411、偏压电阻RB、固定电容C0以及可变电容CVAR。漏电电流源411代表漏电电流I(t)，其中漏电电流I(t)随时间改变且因传感器410的漏电特性而产生，并且在启动一段时间后，漏电电流I(t)最终为一定值。根据本发明的一实施例，漏电电流I(t)最终会消失。再者，漏电电流I(t)以及偏压电阻RB在第二端P2产生漏电电压VL。
固定电容C0耦接于第一端P1以及第二端P2之间。可变电容CVAR也耦接于第一端P1以及第二端P2之间，并且对应入射声波INS而改变。
根据本发明的一实施例，固定电容C0以及可变电容CVAR的总和等于第2、3图的MEMS电容CMEMS。当传感器410接收入射声波INS时，可变电容CVAR的电容值会改变，因而在第二端P2产生电压信号SC。
前端缓冲器420包括偏压电流源421以及P型晶体管422，其中偏压电流源421供应电流I以偏压P型晶体管422。根据本发明的一实施例，前端缓冲器420升高电压信号SC而产生内部信号SI。
电荷泵430将内部信号SI升压至升压电压VB，并以升压电压VB偏压第一端P1。根据本发明的一实施例，电荷泵430由图2的电荷泵230所实现。根据本发明的另一实施例，电荷泵430由图3的电荷泵300所实现。根据本发明的其他实施例，可在第二单向导通元件UC2以及输出单向导通元件UCO之间，插入任意数量的电路级。
根据本发明的一实施例，开关440利用由电力重置信号POR控制的N型晶体管MN所实现。低噪声放大器450将内部信号SI放大而产生音频信号AOUT，模拟数字转换器460将音频信号AOUT转换为数字信号DOUT。
根据本发明的一实施例，当麦克风电路400启动时，开关440被电力重置信号POR所导通而将第二端P2放电至接地端，其中电力重置信号POR为一脉冲(pulse)。自启动后的一段期间内，随着时间改变的漏电电流I(t)以及偏压电阻RB于第二端P2产生漏电电压VL。根据本发明的另一实施例，由于在启动时接收到入射声波INS而产生电压信号SC，使得第二端P2的电压等于电压信号SC以及漏电电压VL的总和。
前端缓冲器420将漏电电压VL带至内部信号SI，使得内部信号SI等于P型晶体管422的源极-栅极电压以及漏电电压VL的总和。电荷泵430接着将内部信号SI升压至升压电压VB。
电荷泵430以图3的电荷泵300为例，因此升压电压VB被升压至两倍的高逻辑电平以及内部信号SI的总和减去第一单向导通元件UC1、第二单向导通元件UC2以及输出单向导通元件UCO的压降。
因为第一端P1由两倍的高逻辑电平以及内部信号SI的总和偏压(在此，暂时忽略电荷泵430的单向导通元件的压降)，并且第二端P2由漏电电压VL偏压，因此传感器410的跨压等于两倍的高逻辑电平以及P型晶体管422的源极-栅极电压的总和，而与漏电电压VL无关。
由于传感器410的跨压消除了随着时间改变的漏电特性的影响，麦克风电路400可适用于具有不同的漏电特性的各种传感器。此外，由于随着时间改变的漏电特性的影响被消除了，麦克风电路400在启动后的稳定时间(settle time)会较短。
以上所述为实施例的概述特征。本领域技术人员应可以轻而易举地利用本发明为基础设计或调整以实行相同的目的和/或达成此处介绍的实施例的相同优点。本领域技术人员也应了解相同的配置不应背离本创作的精神与范围，在不背离本创作的精神与范围下他们可做出各种改变、取代和交替。说明性的方法仅表示示范性的步骤，但这些步骤并不一定要以所表示的顺序执行。可另外加入、取代、改变顺序和/或消除步骤以视情况而作调整，并与所公开的实施例精神和范围一致。

Claims (20)

1.一种麦克风电路，用以偏压传感器，其中上述传感器包括第一端以及第二端，上述麦克风电路包括：
前端缓冲器，响应上述第二端的电压信号，而在内部节点产生内部信号，其中上述传感器在上述第一端接收入射声波，而于上述第二端产生上述电压信号，其中上述前端缓冲器包括：偏压电流源，将电流流至上述内部节点；以及P型晶体管，包括耦接至上述第二端的栅极端、耦接至上述内部节点的源极端以及接至接地端的漏极端；以及
电荷泵，根据第一时钟信号，将上述内部信号升压至升压电压，并将上述升压电压施加于第一升压节点，其中上述电荷泵包括：第一单向导通元件，单方向的将上述内部信号提供至上述第一升压节点；第一电容，耦接于上述第一升压节点以及上述第一时钟信号之间；输出单向导通元件，单方向的将上述第一升压节点的电压提供至上述第一端；以及输出电容，耦接于上述第一端以及上述接地端之间。
2.如权利要求1所述的麦克风电路，其中上述第一时钟信号包括高逻辑电平以及低逻辑电平，其中上述升压电压被升压至上述内部信号以及上述高逻辑电平的总和减去上述第一单向导通元件以及上述输出单向导通元件的压降。
3.如权利要求1所述的麦克风电路，其中上述第一单向导通元件以及上述输出单向导通元件的每一个为二极管。
4.如权利要求1所述的麦克风电路，其中上述第一单向导通元件以及上述输出单向导通元件的每一个为耦接为二极管的晶体管。
5.如权利要求1所述的麦克风电路，其中上述电荷泵还包括：
第二单向导通元件，耦接于上述第一升压节点以及上述输出单向导通元件之间，并且单方向的将上述第一升压节点耦接至第二升压节点，其中上述输出单向导通元件耦接于上述第二升压节点以及上述第一端之间；以及
第二电容，耦接于上述第二升压节点以及第二时钟信号之间，其中上述第二时钟信号为上述第一时钟信号的反相。
6.如权利要求5所述的麦克风电路，其中上述第二单向导通元件为二极管。
7.如权利要求5所述的麦克风电路，其中上述第二单向导通元件为耦接为二极管的晶体管。
8.如权利要求1所述的麦克风电路，其中上述传感器包括：
漏电电流源，包括漏电电流，其中上述漏电电流自上述第一端流至上述第二端，其中上述漏电电流随着时间改变，并且在启动后一段时间后为定值；
可变电容，耦接于上述第一端以及上述第二端之间，包括电容值，其中上述电容值对应上述入射声波而改变；
固定电容，耦接于上述第一端以及上述第二端；以及
偏压电阻，耦接于上述第二端以及接地端之间。
9.如权利要求8所述的麦克风电路，还包括：
开关，耦接于上述第二端以及上述接地端之间，且由电力重置信号所控制，其中当上述麦克风电路启动且上述开关将上述第二端的电压拉至接地端时，上述漏电电流以及上述偏压电阻在上述第二端产生漏电电压，其中上述电荷泵将上述漏电电压升压至上述升压电压且将上述升压电压施加于上述第一端，使得上述传感器的跨压与上述漏电电压无关。
10.如权利要求8所述的麦克风电路，还包括：
低噪声放大器，将上述内部信号放大而产生音频信号；以及
模拟数字转换器，将上述音频信号转换成数字信号。
11.一种麦克风电路，包括：
传感器，包括第一端以及第二端，其中上述传感器于上述第一端接收入射声波而于上述第二端产生电压信号；
前端缓冲器，对应上述电压信号而于内部节点产生内部信号，其中上述前端缓冲器包括：偏压电流源，将电流提供至上述内部节点；以及P型晶体管，包括将耦接至上述第二端的栅极端、耦接至内部节点的源极端以及耦接至接地端的漏极端；以及
电荷泵，根据第一时钟信号，将上述内部信号升压至升压电压，并将上述升压电压施加于第一升压节点，其中上述电荷泵包括：第一单向导通元件，单方向的将上述内部信号提供至上述第一升压节点；第一电容，耦接于上述第一升压节点以及上述第一时钟信号之间；输出单向导通元件，单方向的将上述第一升压节点的电压提供至上述第一端；以及输出电容，耦接于上述第一端以及上述接地端之间。
12.如权利要求11所述的麦克风电路，其中上述第一时钟信号包括高逻辑电平以及低逻辑电平，其中上述升压电压被升压至上述内部信号以及上述高逻辑电平的总和减去上述第一单向导通元件以及上述输出单向导通元件的压降。
13.如权利要求11所述的麦克风电路，其中上述第一单向导通元件以及上述输出单向导通元件的每一个为二极管。
14.如权利要求11所述的麦克风电路，其中上述第一单向导通元件以及上述输出单向导通元件的每一个为耦接为二极管的晶体管。
15.如权利要求11所述的麦克风电路，其中上述电荷泵还包括：
第二单向导通元件，耦接于上述第一升压节点以及上述输出单向导通元件之间，并且单方向的将上述第一升压节点耦接至第二升压节点，其中上述输出单向导通元件耦接于上述第二升压节点以及上述第一端之间；以及
第二电容，耦接于上述第二升压节点以及第二时钟信号之间，其中上述第二时钟信号为上述第一时钟信号的反相。
16.如权利要求15所述的麦克风电路，其中上述第二单向导通元件为二极管。
17.如权利要求15所述的麦克风电路，其中上述第二单向导通元件为耦接为二极管的晶体管。
18.如权利要求11所述的麦克风电路，其中上述传感器包括：
漏电电流源，包括漏电电流，其中上述漏电电流自上述第一端流至上述第二端，其中上述漏电电流随着时间改变，并且在启动后一段时间后为定值；
可变电容，耦接于上述第一端以及上述第二端之间，包括电容值，其中上述电容值对应上述入射声波而改变；
固定电容，耦接于上述第一端以及上述第二端；以及
偏压电阻，耦接于上述第二端以及接地端之间。
19.如权利要求18所述的麦克风电路，还包括：
开关，耦接于上述第二端以及上述接地端之间，且由电力重置信号所控制，其中当上述麦克风电路启动且上述开关将上述第二端的电压拉至接地端时，上述漏电电流以及上述偏压电阻在上述第二端产生漏电电压，其中上述电荷泵将上述漏电电压升压至上述升压电压且将上述升压电压施加于上述第一端，使得上述传感器的跨压与上述漏电电压无关。
20.如权利要求18所述的麦克风电路，还包括：
低噪声放大器，将上述内部信号放大而产生音频信号；以及
模拟数字转换器，将上述音频信号转换成数字信号。
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