CN107966995A - 一种法向电磁应力驱动的角度调节平台及调节方法 - Google Patents

一种法向电磁应力驱动的角度调节平台及调节方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107966995A
CN107966995A CN201711257092.1A CN201711257092A CN107966995A CN 107966995 A CN107966995 A CN 107966995A CN 201711257092 A CN201711257092 A CN 201711257092A CN 107966995 A CN107966995 A CN 107966995A
Authority
CN
China
Prior art keywords
normal direction
electromagnetic stress
iron core
platform
angular adjustment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201711257092.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107966995B (zh
Inventor
张丰
徐明龙
田征
马国亮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xi'an Langwei Technology Co ltd
Original Assignee
Xian Jiaotong University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xian Jiaotong University filed Critical Xian Jiaotong University
Priority to CN201711257092.1A priority Critical patent/CN107966995B/zh
Publication of CN107966995A publication Critical patent/CN107966995A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107966995B publication Critical patent/CN107966995B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D3/00—Control of position or direction
    • G05D3/12—Control of position or direction using feedback
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
    • F16M11/02—Heads
    • F16M11/04—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand
    • F16M11/06—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand allowing pivoting
    • F16M11/08—Means for attachment of apparatus; Means allowing adjustment of the apparatus relatively to the stand allowing pivoting around a vertical axis, e.g. panoramic heads
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
    • F16M11/02—Heads
    • F16M11/18—Heads with mechanism for moving the apparatus relatively to the stand
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16M—FRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M11/00—Stands or trestles as supports for apparatus or articles placed thereon ; Stands for scientific apparatus such as gravitational force meters
    • F16M11/20—Undercarriages with or without wheels
    • F16M11/2007—Undercarriages with or without wheels comprising means allowing pivoting adjustment
    • F16M11/2014—Undercarriages with or without wheels comprising means allowing pivoting adjustment around a vertical axis
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F7/00—Magnets
    • H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
    • H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
    • H01F7/16—Rectilinearly-movable armatures
    • H01F7/1638—Armatures not entering the winding

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)

Abstract

一种法向电磁应力驱动的角度调节平台及调节方法，该角度调节平台包括动平台、定平台、万向柔性铰支撑、直梁型柔性铰链和四个法向电磁应力驱动器；四个驱动器固定在定平台上，并围绕万向柔性铰支撑呈对角线两两分布；驱动器上端通过导向支撑杆与连接支架相连，连接支架通过直梁型柔性铰链与动平台连接；驱动器内包括定铁芯、线圈骨架、励磁线圈、永磁铁和运动铁芯；永磁铁产生偏置磁场，给励磁线圈通电产生励磁磁场，与偏置磁场叠加产生电磁应力，共同作用到运动铁芯，使其沿竖直方向运动，对角布置的两个驱动器协同作动，推动动平台沿对角方向转动；在驱动器内部运动铁芯的下端，布置电容式位移传感器，采集运动铁芯沿竖直方向的作动位移信号；本发明能够实现指向角度的高精度偏摆控制。

Description

一种法向电磁应力驱动的角度调节平台及调节方法
技术领域
本发明涉及指向角度调节控制技术领域，具体设计一种法向电磁应力驱动的角度调节平台及调节方法。
背景技术
指向角度调节机构被广泛应用于航天航空，超精密机械制造，微机电工程，光学系统等领域。传统的角度调节机构按照驱动方式的不同主要分为压电驱动和音圈电机驱动，压电驱动的特点是作动频率高，带宽范围大，但是角度调节范围小，需要位移放大机构来扩大角度调节范围，并且功耗较高；音圈电机驱动是利用通电导线切割磁场产生安培力推动偏转机构，其特点是驱动力大，角度调节范围大，但是受结构支撑刚度的限制，频带范围小，且控制电流随指向角度范围的增大而增大，线圈发热量严重，从而影响到系统的整体性能。
发明内容
为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种法向电磁应力驱动的角度调节平台及调节方法，该机构具有较高的频带范围，较大的指向角度调节范围。
为达到以上目的，本发明采用如下技术方案：
一种法向电磁应力驱动的角度调节平台，包括动平台1、定平台2、连接动平台1与定平台2的万向柔性铰支撑3，固定在定平台2上的四个法向电磁应力驱动器4，四个法向电磁应力驱动器4关于万向柔性铰支撑3两两呈对角分布；法向电磁应力驱动器4顶部安装的作动杆14与动平台1的四个连接支架5连接，连接支架5与动平台1通过直梁型柔性铰链6连接；所述在四个法向电磁应力驱动器4的内部均布置电容式位移传感器18，所述电容式位移传感器18分别通过螺栓安装在对应的法向电磁应力驱动器4内的底部，用于检测作动杆14轴向位移。
所述法向电磁应力驱动器4包括设置在驱动器外壳17内的两组相同结构的励磁装置，第一组励磁装置包括同轴心布置的第一固定铁芯6‐1、第一线圈骨架7‐1和第一励磁线圈8‐1；第一励磁线圈8‐1缠绕在第一线圈骨架7‐1上，第一线圈骨架7‐1安装在第一固定铁芯6‐1上；第二组励磁装置包括同轴心布置的第二固定铁芯6‐2、第二线圈骨架7‐2和第二励磁线圈8‐2；第一固定铁芯6‐1与第二固定铁芯6‐2分别安装在中间铁芯9的上下两侧，永磁铁10安装在中间铁芯9的中间，且永磁铁10的外环面与中间铁芯9的内环面相接触，运动铁芯11安装在永磁铁10的中间，且运动铁芯11的外环面与永磁铁10的内环面通过橡胶垫片粘结连接且运动铁芯11的上下端面分别与第一固定铁芯6‐1的内环下端面和第二固定铁芯6‐2的内环上端面间留有气隙12；法向电磁应力驱动器4的上下两组励磁装置的固定铁芯、线圈骨架、励磁线圈与中间铁芯9、永磁铁10和运动铁芯11均采用同轴心布置。
所述法向电磁应力驱动器4中传力杆13通过螺纹安装在运动铁芯11中心，传力杆13顶部安装作动杆14，组合碟簧15将传力杆13与预紧装置16连接起来，预紧装置16与驱动器外壳17通过螺纹连接。
所述外壳17、传力杆13、作动杆14、预紧装置16、连接支架5和直梁型柔性铰链6均采用硬铝合金材料。
所述组合碟簧15采用非导磁弹簧组成。
所述永磁铁10采用钕铁硼材料，沿环向内侧面为N极，外侧面为S极；所述运动铁芯11采用软磁材料。
所述法向电磁应力驱动器4底部通过螺栓固定在定平台2上，螺栓采用非导磁螺栓。
所述的一种法向电磁应力驱动的角度调节平台的调节方法，给法向电磁应力驱动器4输入电流信号，通电的第一励磁线圈8-1和第二励磁线圈8-2会产生励磁磁场，该励磁磁场方向随电流方向变化；励磁线圈产生的励磁磁场叠加到永磁铁10产生的偏置磁场，通过第一固定铁芯6-1和第二固定铁芯6-2与运动铁芯11之间的气隙12作用到运动铁芯11上；当励磁磁场与偏置磁场的方向相同时，位于第一固定铁芯6-1和第二固定铁芯6-2之间的运动铁芯11就会受到与励磁磁场方向一致的电磁应力，并沿电磁应力方向运动，产生作动位移；该作动位移沿传力杆13输出到作动杆14，与作动杆14通过支架5相连接的动平台1会产生偏转；在法向电磁应力驱动器4内部安装的电容式位移传感器18会实时监测传力杆13的作动位移，即动平台1的偏转角度，经过反馈给法向电磁应力驱动器4的控制器，实现主动闭环控制，能够提高动平台1的偏转角度调节精度；由于法向电磁应力驱动器4产生的作动位移为微米量级，因此角度调节分辨率能够达到微弧度级；两组对角分布的法向电磁应力驱动器4同时沿相反方向作动，能够实现动平台1在水平方向的两个自由度偏转控制；组合碟簧15作为弹性支撑，能够同时实现被动振动抑制作用。
本发明和现有技术相比，具有如下优点：
1)本发明采用法向电磁应力驱动方式，相比安培力驱动方式，利用磁场叠加，使运动部件产生轴向运动，响应速度快，驱动力大，频带范围大。
2)本发明支撑机构采用直梁型柔性铰链和万向柔性铰支撑，利用材料微小形变特性，使得传动机构无摩擦，提高了角度偏摆调节精度。
3)本发明法向电磁应力驱动器的传力杆通过组合弹簧与外壳连接，为调节机构提供初始弹性刚度，可实现被动振动抑制，同时利用电容式位移传感器的位移信号，可以实现主动闭环控制，提高了系统的抗干扰性能。
附图说明
图1为本发明角度调节机构示意图。
图2为本发明法向电磁应力驱动器结构剖面图。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施例，对本发明作进一步的详细描述。
如图1所示，本发明一种法向电磁应力驱动的角度调节平台，包括动平台1，定平台2，连接动平台1和定平台2的万向柔性铰支撑3。所述动平台1通过直梁型柔性铰链6和连接支架5与四个法向电磁应力驱动器4相连接。四个法向电磁应力驱动器4通过螺栓安装在定平台2上，并且关于万向柔性铰支撑3对称，呈对角两两分布。所述法向电磁应力驱动器4通过作动杆14与连接支架5相连接。对角分布的两个法向电磁应力驱动器4沿作动杆14的轴向输出方向相反的驱动力，从而产生弯矩，使得动平台1沿另一轴线偏转一定的角度。在法向电磁应力驱动器4的内部安装有电容式位移传感器18，用于检测法向电磁应力驱动器4的作动杆14的轴向位移，从而构成位移闭环反馈控制，提高动平台1的偏转角度控制精度。
如图2所示，所述法向电磁应力驱动器4包括设置在驱动器外壳17内的两组相同结构的励磁绕组装置，其中，第一组励磁装置包括同轴心布置的第一固定铁芯6‐1、第一线圈骨架7‐1和第一励磁线圈8‐1；第一励磁线圈8‐1缠绕在第一线圈骨架7‐1上，第一线圈骨架7‐1安装在第一固定铁芯6‐1上；第二组励磁装置包括同轴心布置的第二固定铁芯6‐2、第二线圈骨架7‐2和第二励磁线圈8‐2；第一固定铁芯6-1与第二固定铁芯6-2分别安装在中间铁芯9的上下两侧，永磁铁10安装在中间铁芯9的中间，且永磁铁10的外环面与中间铁芯9的内环面相接，运动铁芯11安装在永磁铁10的中间，且运动铁芯11的外环面与永磁铁10的内环面通过橡胶材料粘贴连接。运动铁芯11的上下端面分别与第一固定铁芯6-1的内环下端面和固定铁芯6-2的内环上端面分别构成气隙12。永磁铁10用于产生偏置磁场，与第一固定铁芯6-1、第二固定铁芯6-2、中间铁芯9、永磁铁10、运动铁芯11和气隙12组成偏置磁场回路，励磁绕组线圈8用于产生励磁磁场，与第一固定铁芯6-1、第二固定铁芯6-2、中间铁芯9、永磁铁10、运动铁芯11和气隙12组成励磁磁场回路。给第一励磁线圈8-1和第二励磁线圈8-2输入电流信号，第一励磁线圈8-1和第二励磁线圈8-2会产生励磁磁场，该励磁磁场叠加到永磁铁10产生的偏置磁场上，产生沿气隙12法向方向的作动力，即法向电磁应力。改变励磁绕组线圈8中电流的方向，该作动力也随之改变方向，与运动铁芯11相连接的传力杆13会沿轴向上下运动，该运动会传递到作动杆14，从而推动动平台1沿对角方向转动。
作为本发明的优选实施方式，永磁铁10可采用钕铁硼材料，沿环向内侧面为N极，外侧面为S极。运动铁芯11可采用软磁材料。
作为本发明的优选实施方式，所述法向电磁应力驱动器4的固定铁芯、中间铁芯9、永磁铁10、运动铁芯11、线圈骨架、和励磁线圈均采用同轴心布置。
作为本发明的优选实施方式，所述驱动器外壳17，传力杆13、作动杆14、预紧装置16、连接支架5和直梁型柔性铰链6均采用硬铝合金材料。
作为本发明的优选实施方式，螺栓采用非导磁螺栓。
本发明的工作原理为：给法向电磁应力驱动器4输入电流信号，通电的第一励磁线圈8-1和第二励磁线圈8-2会产生励磁磁场，该励磁磁场方向随电流方向变化；励磁线圈产生的励磁磁场叠加到永磁铁10产生的偏置磁场，通过第一固定铁芯6-1和第二固定铁芯6-2与运动铁芯11之间的气隙12作用到运动铁芯11上；当励磁磁场与偏置磁场的方向相同时，位于第一固定铁芯6-1和第二固定铁芯6-2之间的运动铁芯11就会受到与励磁磁场方向一致的电磁应力，并沿电磁应力方向运动，产生作动位移；该作动位移沿传力杆13输出到作动杆14，与作动杆14通过支架5相连接的动平台1会产生偏转；在法向电磁应力驱动器4内部安装的电容式位移传感器18会实时监测传力杆13的作动位移，即动平台1的偏转角度，经过反馈给法向电磁应力驱动器4的控制器，实现主动闭环控制，能够提高动平台1的偏转角度调节精度；由于法向电磁应力驱动器4产生的作动位移为微米量级，因此本发明的角度调节分辨率能够达到微弧度级；两组对角分布的法向电磁应力驱动器4同时沿相反方向作动，能够实现动平台1在水平方向的两个自由度偏转控制；组合碟簧15作为弹性支撑，能够同时实现被动振动抑制作用。

Claims (8)

1.一种法向电磁应力驱动的角度调节平台，其特征在于：包括动平台(1)、定平台(2)、连接动平台(1)与定平台(2)的万向柔性铰支撑(3)，固定在定平台(2)上的四个法向电磁应力驱动器(4)，四个法向电磁应力驱动器(4)关于万向柔性铰支撑(3)两两呈对角分布；法向电磁应力驱动器(4)顶部安装的作动杆(14)与动平台(1)的四个连接支架(5)连接，连接支架(5)与动平台(1)通过直梁型柔性铰链(6)连接；所述在四个法向电磁应力驱动器(4)的内部均布置电容式位移传感器(18)，所述电容式位移传感器(18)分别通过螺栓安装在对应的法向电磁应力驱动器(4)内的底部，用于检测作动杆(14)轴向位移。
2.根据权利要求1所述的一种法向电磁应力驱动的角度调节平台，其特征在于：所述法向电磁应力驱动器(4)包括设置在驱动器外壳(17)内的两组相同结构的励磁装置，第一组励磁装置包括同轴心布置的第一固定铁芯(6-1)、第一线圈骨架(7-1)和第一励磁线圈(8-1)；第一励磁线圈(8-1)缠绕在第一线圈骨架(7-1)上，第一线圈骨架(7-1)安装在第一固定铁芯(6-1)上；第二组励磁装置包括同轴心布置的第二固定铁芯(6-2)、第二线圈骨架(7-2)和第二励磁线圈(8-2)；第一固定铁芯(6-1)与第二固定铁芯(6-2)分别安装在中间铁芯(9)的上下两侧，永磁铁(10)安装在中间铁芯(9)的中间，且永磁铁(10)的外环面与中间铁芯(9)的内环面相接触，运动铁芯(11)安装在永磁铁(10)的中间，且运动铁芯(11)的外环面与永磁铁(10)的内环面通过橡胶垫片粘结连接且运动铁芯(11)的上下端面分别与第一固定铁芯(6-1)的内环下端面和第二固定铁芯(6-2)的内环上端面间留有气隙(12)；法向电磁应力驱动器(4)的上下两组励磁装置的固定铁芯、线圈骨架、励磁线圈与中间铁芯(9)、永磁铁(10)和运动铁芯(11)均采用同轴心布置。
3.根据权利要求1所述的一种法向电磁应力驱动的角度调节平台，其特征在于：所述法向电磁应力驱动器(4)中传力杆(13)通过螺纹安装在运动铁芯(11)中心，传力杆(13)顶部安装作动杆(14)，组合碟簧(15)将传力杆(13)与预紧装置(16)连接起来，预紧装置(16)与驱动器外壳(17)通过螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种法向电磁应力驱动的角度调节平台，其特征在于：所述外壳(17)、传力杆(13)、作动杆(14)、预紧装置(16)、连接支架(5)和直梁型柔性铰链(6)均采用硬铝合金材料。
5.根据权利要求1所述的一种法向电磁应力驱动的角度调节平台，其特征在于：所述组合碟簧(15)采用非导磁弹簧组成。
6.根据权利要求1所述的一种法向电磁应力驱动的角度调节平台，其特征在于：所述永磁铁(10)采用钕铁硼材料，沿环向内侧面为N极，外侧面为S极；所述运动铁芯(11)采用软磁材料。
7.根据权利要求1所述的一种法向电磁应力驱动的角度调节平台，其特征在于：所述法向电磁应力驱动器(4)底部通过螺栓固定在定平台(2)上，螺栓采用非导磁螺栓。
8.权利要求1至7任一项所述的一种法向电磁应力驱动的角度调节平台的调节方法，其特征在于：给法向电磁应力驱动器(4)输入电流信号，通电的第一励磁线圈(8-1)和第二励磁线圈(8-2)会产生励磁磁场，该励磁磁场方向随电流方向变化；励磁线圈产生的励磁磁场叠加到永磁铁(10)产生的偏置磁场，通过第一固定铁芯(6-1)和第二固定铁芯(6-2)与运动铁芯(11)之间的气隙(12)作用到运动铁芯(11)上；当励磁磁场与偏置磁场的方向相同时，位于第一固定铁芯(6-1)和第二固定铁芯(6-2)之间的运动铁芯(11)就会受到与励磁磁场方向一致的电磁应力，并沿电磁应力方向运动，产生作动位移；该作动位移沿传力杆(13)输出到作动杆(14)，与作动杆(14)通过支架(5)相连接的动平台(1)会产生偏转；在法向电磁应力驱动器(4)内部安装的电容式位移传感器(18)会实时监测传力杆(13)的作动位移，即动平台(1)的偏转角度，经过反馈给法向电磁应力驱动器(4)的控制器，实现主动闭环控制，能够提高动平台(1)的偏转角度调节精度；由于法向电磁应力驱动器(4)产生的作动位移为微米量级，因此角度调节分辨率能够达到微弧度级；两组对角分布的法向电磁应力驱动器(4)同时沿相反方向作动，能够实现动平台(1)在水平方向的两个自由度偏转控制；组合碟簧(15)作为弹性支撑，能够同时实现被动振动抑制作用。
CN201711257092.1A 2017-12-01 2017-12-01 一种法向电磁应力驱动的角度调节平台及调节方法 Active CN107966995B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711257092.1A CN107966995B (zh) 2017-12-01 2017-12-01 一种法向电磁应力驱动的角度调节平台及调节方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711257092.1A CN107966995B (zh) 2017-12-01 2017-12-01 一种法向电磁应力驱动的角度调节平台及调节方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107966995A true CN107966995A (zh) 2018-04-27
CN107966995B CN107966995B (zh) 2021-05-04

Family

ID=61998306

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201711257092.1A Active CN107966995B (zh) 2017-12-01 2017-12-01 一种法向电磁应力驱动的角度调节平台及调节方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107966995B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112859284A (zh) * 2021-01-08 2021-05-28 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种基于电磁力的精密调节方法

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6067919A (ja) * 1983-09-22 1985-04-18 Fuji Xerox Co Ltd 多面鏡回転装置
CN1382561A (zh) * 2002-05-21 2002-12-04 浙江大学 用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统
CN1587739A (zh) * 2004-10-11 2005-03-02 北京航空航天大学 六自由度超磁致伸缩主动振动控制平台
CN101262959A (zh) * 2005-08-31 2008-09-10 日本电气株式会社 压电致动器、声学部件、以及电子装置
CN101554704A (zh) * 2009-05-11 2009-10-14 清华大学 一种正应力电磁驱动超高频响微进给机构
US7770454B2 (en) * 2003-09-26 2010-08-10 Lsp Technologies, Inc. Laser system and method for non-destructive bond detection and evaluation
CN103062299A (zh) * 2012-12-19 2013-04-24 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振系统
CN103499977A (zh) * 2013-07-08 2014-01-08 西安交通大学 一种带有主被动振动控制的角度调节平台
CN103913838A (zh) * 2014-02-21 2014-07-09 西安交通大学 二维快速偏转反射镜作动机构及其作动方法
CN105436286A (zh) * 2016-01-05 2016-03-30 北京航空航天大学 一种预应力与脉冲电磁力复合作用下板材调形与调性方法
CN105546023A (zh) * 2016-02-25 2016-05-04 西安电子科技大学 一种基于磁流变阻尼器的新型组合减振器
CN105680719A (zh) * 2016-03-24 2016-06-15 西安交通大学 具有微摆动抑制和指向调节功能的作动平台及作动方法
CN105915021A (zh) * 2016-04-19 2016-08-31 东南大学 一种无刷型混合励磁永磁涡流调速装置
US20170120468A1 (en) * 2015-10-29 2017-05-04 Korea Institute Of Machinery & Materials Apparatus and method for manufacturing blade
CN107393599A (zh) * 2017-07-25 2017-11-24 西安交通大学 集传感单元和约束元件于一体的二维快速偏转台及方法

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6067919A (ja) * 1983-09-22 1985-04-18 Fuji Xerox Co Ltd 多面鏡回転装置
CN1382561A (zh) * 2002-05-21 2002-12-04 浙江大学 用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统
US7770454B2 (en) * 2003-09-26 2010-08-10 Lsp Technologies, Inc. Laser system and method for non-destructive bond detection and evaluation
CN1587739A (zh) * 2004-10-11 2005-03-02 北京航空航天大学 六自由度超磁致伸缩主动振动控制平台
CN101262959A (zh) * 2005-08-31 2008-09-10 日本电气株式会社 压电致动器、声学部件、以及电子装置
CN101554704A (zh) * 2009-05-11 2009-10-14 清华大学 一种正应力电磁驱动超高频响微进给机构
CN103062299A (zh) * 2012-12-19 2013-04-24 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振系统
CN103499977A (zh) * 2013-07-08 2014-01-08 西安交通大学 一种带有主被动振动控制的角度调节平台
CN103913838A (zh) * 2014-02-21 2014-07-09 西安交通大学 二维快速偏转反射镜作动机构及其作动方法
US20170120468A1 (en) * 2015-10-29 2017-05-04 Korea Institute Of Machinery & Materials Apparatus and method for manufacturing blade
CN105436286A (zh) * 2016-01-05 2016-03-30 北京航空航天大学 一种预应力与脉冲电磁力复合作用下板材调形与调性方法
CN105546023A (zh) * 2016-02-25 2016-05-04 西安电子科技大学 一种基于磁流变阻尼器的新型组合减振器
CN105680719A (zh) * 2016-03-24 2016-06-15 西安交通大学 具有微摆动抑制和指向调节功能的作动平台及作动方法
CN105915021A (zh) * 2016-04-19 2016-08-31 东南大学 一种无刷型混合励磁永磁涡流调速装置
CN107393599A (zh) * 2017-07-25 2017-11-24 西安交通大学 集传感单元和约束元件于一体的二维快速偏转台及方法

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DANIEL J.KLUK等: "A high-bandwidth, high-precision, two-axis steering mirror with moving iron actuator", 《MECHATRONICS》 *
吴啟琛，等: "基于双级菱形压电作动器的伞状天线振动主动隔离研究", 《第十六届全国模态分析与试验学术会议》 *
敬子建，等: "一种新型压电驱动快速控制反射镜", 《空间电子技术》 *
薛景锋: "高频角振动校准方法与技术研究", 《中国博士学位论文全文数据库工程科技II辑》 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112859284A (zh) * 2021-01-08 2021-05-28 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种基于电磁力的精密调节方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN107966995B (zh) 2021-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102412763B (zh) 永磁无轴承自悬浮三自由度球形电机及其控制方法
CN108533669B (zh) 基于电磁负刚度的空间六自由度主被动隔振平台及方法
CN103499977B (zh) 一种带有主被动振动控制的角度调节平台
CN108144829B (zh) 一种刚度可控的正应力电磁式振动平台及控制方法
CN105680719B (zh) 具有微摆动抑制和指向调节功能的作动平台及作动方法
CN103398138B (zh) 一种阻尼刚度可控的双自由度振动主动控制平台
CN107943128B (zh) 一种多自由度的音圈隔振抑振结构及其控制方法
CN107097978B (zh) 一种磁悬浮控制力矩陀螺装置
CN105149199A (zh) 在航天器动力学离心状态下使用的电磁振动台
CN107907992B (zh) 正应力电磁驱动的快速偏转反射镜作动机构及作动方法
CN101311571A (zh) 恒流源偏置磁悬浮轴承
CN104493606A (zh) 加工机床及其基于磁致伸缩的精密进给驱动装置
CN103580448B (zh) 一种柔性扭矩传递装置
WO2015134594A1 (en) Inhibiting rocking of loads driven by plural levers
CN105840727B (zh) 一种轴向磁力耦合的可调刚度机构
CN204546081U (zh) 加工机床及其基于磁致伸缩的精密进给驱动装置
CN103178685A (zh) 用于天文望远镜镜面主动支撑的电磁式力促动器
CN101267171B (zh) 电磁调压式多自由度球形超声波电机
CN107966995A (zh) 一种法向电磁应力驱动的角度调节平台及调节方法
CN108945404A (zh) 一种磁悬浮旋翼结构及具有其的飞行器
WO2022199130A1 (zh) 振镜及投影仪
CN103674455B (zh) 一种角振动台动圈
CN104180844A (zh) 一种电磁驱动式角振动台
CN103151892A (zh) 星上用于驱动轻型惯性负载的微小型有限转角力矩装置
CN102163572B (zh) 一种六自由度定位装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20231027

Address after: 1st Floor, Northwest Building of Eleven Science and Technology, No. 532 Shenzhousan Road, National Civil Aerospace Industry Base, Xi'an City, Shaanxi Province, 710100

Patentee after: XI'AN LANGWEI TECHNOLOGY Co.,Ltd.

Address before: Beilin District Xianning West Road 710049, Shaanxi city of Xi'an province No. 28

Patentee before: XI'AN JIAOTONG University

TR01 Transfer of patent right