CN107947633A - 压电‑电磁复合式振动能量收集器及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种压电‑电磁复合式振动能量收集器及其制备方法，该振动能量收集器包括相互堆叠的第一衬底、第二衬底和第三衬底；所述第一衬底、所述第三衬底经刻蚀分别形成第一、第二悬臂梁结构，其中所述第一衬底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方为第一悬臂梁结构，所述第三衬底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方为第二悬臂梁结构；所述第二衬底的上、下表面相对应的位置形成有第三凹槽和第四凹槽，以组装形成三组不同谐振频率的拾振结构。通过该制备方法所制备的振动能量收集器具有高的能量收集效率、输出功率和输出功率密度(W/cm2)，还具有尺寸小、精度高、易于批量制造、制造成本低以及易于小型化的优点。
Description
【技术领域】
本发明涉及一种收集环境中振动能量的能量收集器及其制备方法，尤其涉及一种基于压电效应和电磁感应原理的复合式谐振型振动能量收集器及其制备方法。
【背景技术】
能量收集器可拾取环境能量(如辐射、温差、振动等)并转化为电能为系统供电。与传统的电化学电池比较，能量收集器具有经济、环保且理论上无寿命限制等优点，因此符合能源的未来发展趋势，非常适合于为物联网、可穿戴设备等新兴领域提供电能。太阳能、电磁辐射、温差、振动等都是可拾取的环境能源，与其它环境能源相比，振动是一种分布广泛的能量源，因此，振动能量收集器具有广阔的发展和应用前景。
根据不同的工作原理，振动能量收集器包括静电式、压电式及电磁式等几种类型，其中，静电式能量收集器需要额外辅助电源才能将动能转换为电能，其结构和操作复杂，因此，基于压电效应和法拉第电磁感应原理的压电式和电磁式振动能量收集器受到人们的广泛关注。压电式和电磁式能量收集器各有优缺点：压电式能量收集器输出电压高，但输出电流低；电磁式能量收集器恰与之相反。因此，将压电式和电磁式能量收集器相复合，充分发挥两者的优势，是提高能量收集器输出功率的有效方式。目前，压电-电磁复合型振动能量收集器通常为谐振型，即只有当收集器中拾振结构(如悬臂梁、薄膜等)的固有频率接近环境中的振动频率时，收集器才能高效地收集环境中的振动能量。但是，环境中的振动具有频带宽且多变的特点，另一方面，目前的压电-电磁复合式振动能量收集器大多只存在单一的拾振结构(或谐振频率)，它的能量收集效率较低。因此，有必要提出一种新的复合式谐振型振动能量收集器。
【发明内容】
基于上述问题，本发明提供了一种压电-电磁复合式振动能量收集器，其包括：
相互堆叠的第一衬底、第二衬底和第三衬底；所述第一衬底、所述第三衬底经刻蚀分别形成第一、第二悬臂梁结构，其中所述第一衬底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方为第一悬臂梁结构，所述第三衬底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方为第二悬臂梁结构；
所述第二衬底的上、下表面相对应的位置形成有第三凹槽和第四凹槽，所述第三凹槽和所述第四凹槽之间间隔第二衬底薄膜；所述第三凹槽中设置有永磁体；所述第一凹槽与所述第三凹槽相对堆叠，所述第二凹槽与所述第四凹槽相对堆叠；
所述第一悬臂梁结构的外侧表面设置有第一压电-电磁复合拾振结构，所述第二悬臂梁结构的外侧表面设置有第二压电-电磁复合拾振结构。
优选地，还包括设置在所述第一悬臂梁结构末端的第一质量块，和/或还包括设置在所述第二悬臂梁结构末端的第二质量块。
优选地，所述第一压电-电磁复合拾振结构包括设置在所述第一悬臂梁表面的第一压电层与第一电感线圈层；和/或所述第二压电一电磁复合拾振结构包括设置在所述第二悬臂梁表面的第二压电层与第二电感线圈层；所述第一压电层、所述第二压电层分别与所述第一电感线圈层、所述第二电感线圈层相绝缘隔离。
优选地，所述第一凹槽、所述第二凹槽、所述第三凹槽、所述第四凹槽的表面设置有绝缘层。
优选地，所述第一压电层包括第一压电材料层以及形成在该第一压电材料层的上、下表面的上、下电极；和/或所述第二压电层包括第二压电材料层以及形成在该第二压电材料层的上、下表面的上、下电极。
本发明还提出了一种压电-电磁复合式振动能量收集器的制备方法，其包括以下步骤：
选择第一衬底，刻蚀所述第一衬底的下表面，形成第一凹槽结构；
在所述第一衬底与所述下表面相对的上表面沉积第一压电层；
在所述第一压电层上方沉积并刻蚀形成第一电感线圈层；
刻蚀所述第一衬底的上表面，形成第一悬臂梁结构；
选择第二衬底，刻蚀所述第二衬底的上、下表面，形成第三凹槽结构、第四凹槽结构，所述第三凹槽结构和所述第四凹槽结构间隔残留的所述第二衬底薄膜相对设置；
在所述第二衬底的上表面形成的所述第三凹槽结构内安装永磁体；
选择第三衬底，执行与所述第一悬臂梁结构相同的制备步骤形成第二悬臂梁结构；其中所述第三衬底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方为第二悬臂梁结构；
将所述第一衬底的第一凹槽结构正对所述第二衬底的第三凹槽结构、所述第二衬底的第四凹槽结构正对所述第三衬底的第二凹槽结构进行组装，制成所述压电-电磁复合式振动能量收集器。
优选地，在所述第一凹槽结构、所述第二凹槽结构、所述第三凹槽结构、所述第四凹槽结构表面沉积绝缘层。
优选地，在所述第一悬臂梁结构末端、所述第二悬臂梁结构末端安装质量块。
优选地，所述组装包括键合工艺。
优选地，沉积所述第一压电层、所述第二压电层包括沉积下电极、压电材料层、上电极的步骤。
本发明的有益效果是：
(1)本发明的压电-电磁复合式振动能量收集器结合了压电式和电磁式能量收集器的优点，有助于提高能量收集器输出功率；
(2)具有三组不同谐振频率的拾振结构，可以实现对环境中的振动进行宽频带、高效率的拾取，具有高的能量收集效率和高的输出功率；集成了两组压电式能量收集器和两组电磁式能量收集器进行能量收集，这进一步提高了收集器的能量收集效率和输出功率；相比于现有技术中具有单一拾振结构的压电-电磁复合式能量收集器，本发明的能量收集器的面积与并无明显增加，并且远小于现有技术中其它具有多个拾振结构的压电-电磁复合式能量收集器，因此，本发明的能量收集器还具有结构紧凑、输出功率密度高(W/cm2)的优点，易于实现器件的小型化。
(3)本发明采用MEMS技术制备，还具有尺寸小、精度高、一致性好、易于批量制造以及制造成本低的优点。
【附图说明】
图1为为本发明的能量收集器剖面结构示意图；
图2为本发明的能量收集器中第一电感线圈层的平面结构俯视图。
图中：10、第一衬底，11、第一绝缘层，12、第一下压电电极，13、第一压电材料层，14、第一上压电电极，15、第二绝缘层，16、第一电感线圈层，17、第一质量块，18、第三绝缘层，19、第一凹槽，20、第二衬底，21、第四绝缘层，22、第三凹槽，23、永磁体，24、第五绝缘层，25、第四凹槽，30、第三衬底，31、第六绝缘层，32、第二下压电电极，33、第二压电材料层，34、第二上压电电极，35、第七绝缘层，36、第二电感线圈层，37、第二质量块，38、第八绝缘层，39、第二凹槽。
【具体实施方式】
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合具体实施方式对本发明做详细说明，使本发明的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰，其中上、下、左、右等指示方位的字词仅是针对所示结构在对应附图中位置而言。
实施例1
参见图1和图2，本发明提供了一种压电-电磁复合式振动能量收集器，该压电-电磁复合式振动能量收集器具有多个拾振结构和谐振频率，并且能够获得高的能量收集效率。
该压电-电磁复合式振动能量收集器包括：相互堆叠的第一衬底10、第二衬底20和第三衬底30；第一衬底10、第三衬底30经刻蚀分别形成第一、第二悬臂梁结构，其中第一衬底10的下表面形成有第一凹槽19、第一凹槽19上方为第一悬臂梁结构，第三衬底30的上表面形成有第二凹槽39、第二凹槽39下方为第二悬臂梁结构。
第二衬底20的上、下表面相对应的位置形成有第三凹槽22和第四凹槽25，第三凹槽22和第四凹槽25被第二衬底薄膜间隔开，该第二衬底薄膜形成为例如方形、圆形或其它形状的膜结构，在本实施方式中，形成为方形膜结构；在第二衬底20的上、下表面的中央区域形成第三凹槽22和第四凹槽25；第三凹槽22中设置有永磁体23，该永磁体23为球体或者圆柱体；第一凹槽19与第三凹槽22相对堆叠，第二凹槽39与第四凹槽25相对堆叠。
第一悬臂梁结构的外侧表面设置有第一压电-电磁复合拾振结构，第二悬臂梁结构的外侧表面设置有第二压电-电磁复合拾振结构；第一压电-电磁复合拾振结构包括设置在第一悬臂梁结构表面的第一压电层与第一电感线圈层16；第二压电-电磁复合拾振结构包括设置在第二悬臂梁结构表面的第二压电层与第二电感线圈层36；
在本实施方式中，第一衬底10、第二衬底20及第三衬底30为刚性衬底，例如为硅、玻璃；第一凹槽19、第二凹槽39、第三凹槽22、第四凹槽25的表面分别沉积有第三绝缘层18、第八绝缘层38、第四绝缘层21、第五绝缘层24；在第一衬底10的上表面和第三衬底的下表面分别沉积有第一绝缘层11和第六绝缘层31；在第一绝缘层11和第六绝缘层31上分别设有第一压层和第二压电层，其中，第一压电层包括第一压电材料层13以及形成在该第一压电材料层13的上、下表面的第一下压电电极12和第一上压电电极14；第二压电层包括第二压电材料层33以及形成在该第二压电材料层33的第二下压电电极32和第二上压电电极34；在第一压电层和第二压电层上方设有第一电感线圈层16和第二电感线圈层36，第一电感线圈层16和第二电感线圈层36均呈矩形螺旋面结构；在电感线圈层和压电层之间还设有绝缘层，具体地，在第一电感线圈层16和第一压电层之间设有第二绝缘层15，在第二电感线圈层36和第二压电层之间设有第七绝缘层35。
压电-电磁复合式振动能量收集器还包括设置在第一悬臂梁结构末端的第一质量块17以及设置在第二悬臂梁结构末端的第二质量块37，但是不限于此，质量块还可以设置在其它位置。质量块为金属材料，通过调整质量块的质量可以调节悬臂梁结构的谐振频率。
第一凹槽19和第三凹槽22对准贴合，第二凹槽39和第四凹槽25对准贴合，第一衬底10的下表面和第二衬底20的上表面、第二衬底20的下表面和第三衬底30的上表面例如通过键合或者粘合组装在一起。第一凹槽19、第二凹槽39、第三凹槽22、第四凹槽25的深度为100μm-500μm。
第一绝缘层11和第六绝缘层31为厚度在100nm-1000nm的SiO2、Si3N4的至少一种。第一绝缘层11的作用在于实现第一下压电电极12与第一衬底10的电隔离；第六绝缘层31的作用在于实现第二下压电电极32与第三衬底30的电隔离。
第二绝缘层15和第七绝缘层35为厚度在100nm-1000nm的SiO2、Si3N4的至少一种。第二绝缘层15的作用在于实现第一电感线圈层16与第一上压电电极14的电隔离；第七绝缘层35的作用在于实现第二电感线圈层36与第二上压电电极34的电隔离。
第一下压电电极12、第一上压电电极14、第二下压电电极32、第二上压电电极34为厚度在50nm-200nm的AI、TiN、Pt的至少一种。
第一压电材料层13和第二压电材料层33的材料为具有压电效应的材料，优选为PZT(Iead zirconate titanate，锆钛酸铅)或AIN(氮化铝)，厚度在100nm-2000nm。
第一电感线圈层16和第二电感线圈层36均包括一层Ti和一层Cu，电感线圈层厚度在1μm-10μm的范围内。其中，Ti用于增加电感线圈层与绝缘层的粘附性，Cu用于降低电感线圈的寄生电阻以提高电感的品质因数。
第三绝缘层18、第四绝缘层21、第五绝缘层24和第八绝缘层38为SiO2、Si3N4的至少一种，厚度在200nm-2μm。第三绝缘层18的作用在于实现第一衬底10与第二衬底20的电隔离；第四绝缘层21的作用在于实现第一衬底10与第二衬底20的电隔离以及第二衬底20与永磁体23的隔离；第五绝缘层24和第八绝缘层38的作用在于实现第二衬底20与第三衬底30的电隔离，两层隔离有助于增强隔离的效果和强度。
第一衬底10的悬臂梁结构、第二衬底20的方形膜结构和第三衬底30的悬臂梁结构的谐振频率在100Hz-103Hz的范围内，例如上述三个结构的谐振频率相互之间相差一到两个数量级。
需要说明的是，悬臂梁结构的谐振频率可通过调节悬臂梁结构的长度、厚度等几何尺寸或者调节悬臂梁结构末端的质量块的质量来实现；方形膜结构的谐振频率可通过调节方形膜结构的长度、厚度等几何尺寸或者调节设置在第三凹槽中的永磁体的质量来实现。
第一下压电电极12、第一压电材料层13和第一上压电电极14构成了一个压电式振动能量收集器，第二下压电电极32、第二压材料电层33和第二上压电电极34构成了另一个压电式振动能量收集器；第一电感线圈层16、第二电感线圈层36与永磁体23分别构成了两个电磁式振动能量收集器。
工作原理
本发明的复合式能量收集器中电磁式能量收集器的工作原理(为了便于说明，假定第一衬底的悬臂梁结构的谐振频率＜第二衬底的方形膜结构的谐振频率＜第三衬底的悬臂梁结构的谐振频率，其它情况下工作原理类似)：在低频振动环境中，第一衬底10的悬臂梁结构的谐振频率最接近环境中的振动频率，造成第一衬底10的悬臂梁结构发生大幅度的振动，导致设置在第一衬底10的悬臂梁结构上的第一电感线圈层16和永磁体23产生大的相对运动并引起第一电感线圈层16的磁通量发生大的变化，进而导致在电感线圈层与外接负载形成的闭合回路中产生感应电流，从而实现动能转换为电能。需指出的是，在低频振动环境中，第二衬底20的方形膜结构和第三衬底30的悬臂梁结构也会发生振动但振动幅度相对较小，并引起第二电感线圈层的磁通量发生变化并产生感应电流；在中频振动环境中，方形膜结构的谐振频率更接近环境中的振动频率，导致方形膜结构发生大幅度的振动，并引起第一电感线圈层16和第二电感线圈层36磁通量发生大的变化并产生大的感应电流；在高频振动环境中，第三衬底30的悬臂梁结构发生大幅度的振动，并引起第二电感线圈层36的磁通量发生大的变化并产生大的感应电流。需指出的是，在高频振动环境中，第二衬底20的方形膜结构和第一衬底10的悬臂梁结构也会发生振动，并引起第一电感线圈层16的磁通量发生变化并产生感应电流。
本发明的复合式能量收集器中压电式能量收集器的工作原理(为了便于说明，假定第一衬底的悬臂梁结构的谐振频率＜第三衬底的悬臂梁结构的谐振频率，其它情况下工作原理类似)：在低频振动环境中，第一衬底10的悬臂梁结构的谐振频率最接近环境中的振动频率，造成第一衬底10的悬臂梁结构发生大幅度的振动进而引起悬臂梁结构中的第一压电材料层13发生形变，第一压电材料层13会由于形变引起的应变产生压电电压，从而实现通过压电效应将动能转换为电能。需指出的是，在低频振动环境中，第三衬底30的悬臂梁结构也会发生振动但振动幅度相对较小，并导致第二压电材料层33由于形变引起的应变产生压电电压。在中频或高频振动环境中，造成第三衬底30的悬臂梁结构发生大幅度的振动进而引起悬臂梁结构中的第二压电材料层33发生形变，第二压电材料层33会由于形变引起的应变产生压电电压，从而实现通过压电效应将动能转换为电能。需指出的是，在高频振动环境中，第一衬底10的悬臂梁结构也会发生振动，并导致第一压电材料层13会由于形变引起的应变产生压电电压。
实施例2
本发明还提供了一种压电-电磁复合式振动能量收集器的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：
选择第一衬底，刻蚀所述第一衬底的下表面，形成第一凹槽结构。例如选用500μm厚的N(100)硅作为第一衬底，通过例如低压化学气相沉积方法在衬底的下表面生长200nm厚度的Si3N4；刻蚀所述第一衬底的下表面的Si3N4，以Si3N4做掩膜使用TMAH(四甲基氢氧化铵)试剂对硅衬底进行湿法刻蚀，形成如450μm深的第一凹槽。
在所述第一压电层上方沉积并刻蚀形成第一电感线圈层。具体地，在使用H3PO4溶液去除硅片表面的Si3N4，利用湿法热氧化工艺在衬底的下表面和与该下表面相对的上表面生长1000nm厚的SiO2，其中，在下表面、上表面例如使用物理气相沉积工艺形成第三绝缘层、第一绝缘层；在衬底上表面形成100nm厚的Pt并光刻形成第一下压电电极；在衬底上表面例如使用物理气相沉积工艺形成1000nm厚的PZT并光刻；在衬底上表面例如使用物理气相沉积工艺形成100nm厚的Pt并光刻形成第一上压电电极；再对制备的PZT进行极化使其具备压电特性，形成第一压电层；使用增强型等离子化学气相沉积在衬底下表面形成100nm厚的SiO2并光刻，形成第二绝缘层；
在第一衬底的上表面例如使用物理气相沉积工艺形成100nm厚的Ti以及5μm厚的Cu，并光刻形成第一电感线圈层；对所述第一衬底的上表面进行选择性各向异性干法刻蚀，释放悬臂梁结构，以形成第一悬臂梁结构；在第一衬底的悬臂梁结构的末端或者其它需要的位置安装第一质量块。
选择500μm厚的N型(100)硅作为第二衬底，例如通过低压化学气相沉积方法在衬底的上表面和下表面生长200nm厚度的Si3N4，以Si3N4做掩膜使用TMAH(四甲基氢氧化铵)试剂，刻蚀所述第二衬底的上、下表面的Si3N4，形成225μm深的第三凹槽结构、第四凹槽结构，所述第三凹槽结构和所述第四凹槽结构间隔残留的所述第二衬底薄膜相对设置，由此第三凹槽和第四凹槽之间形成方形膜结构；在所述第二衬底的上表面形成的所述第三凹槽内安装永磁体；
选择第三衬底，执行与所述第一悬臂梁结构相同的制备步骤形成第二悬臂梁结构；其中所述第三衬底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方为第二悬臂梁结构；在该第二悬臂梁结构的末端安装第二质量块。
将所述第一衬底的第一凹槽结构正对所述第二衬底的第三凹槽结构、所述第二衬底的第四凹槽结构正对所述第三衬底的第二凹槽结构进行组装，制成所述压电-电磁复合式振动能量收集器。例如通过双面对准以及键合或粘合的方法将第一衬底和第二衬底结合在一起以及第二衬底和第三衬底结合在一起，从而完成本发明的能量收集器的制备。
需要说明的是，上述仅作为最优的实施方式进行说明，但是不能理解成对本发明的限制。另外，薄膜的制备还包括化学气相沉积工艺或者溅射工艺等的其它工艺。
本发明的压电-电磁复合式振动能量收集器结合了压电式和电磁式能量收集器的优点，有助于提高能量收集器输出功率；本发明能量收集器具有三组不同谐振频率的拾振结构，可以实现对环境中的振动进行宽频带、高效率的拾取，并且具有高的能量收集效率和高的输出功率；此外，本发明的收集器集成了两组压电式能量收集器和两组电磁式能量收集器进行能量收集，这进一步提高了收集器的能量收集效率和输出功率。
本发明的压电-电磁复合式振动能量收集器在具备上述优点的同时，相比于现有技术中具有单一拾振结构的压电-电磁复合式能量收集器，本发明的压电-电磁复合式振动能量收集器的面积与并无明显增加，并且远小于现有技术中其它具有多个拾振结构的压电-电磁复合式能量收集器，因此，本发明的能量收集器还具有结构紧凑、输出功率密度高(W/cm2)的优点，易于实现器件的小型化。另外，本发明采用MEMS技术制备，能量收集器还具有尺寸小、精度高、一致性好、易于批量制造以及制造成本低的优点。
以上所述的仅是本发明的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种压电-电磁复合式振动能量收集器，其特征在于，其包括：
相互堆叠的第一衬底、第二衬底和第三衬底；所述第一衬底、所述第三衬底经刻蚀分别形成第一、第二悬臂梁结构，其中所述第一衬底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方为第一悬臂梁结构，所述第三衬底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方为第二悬臂梁结构；
所述第二衬底的上、下表面相对应的位置形成有第三凹槽和第四凹槽，所述第三凹槽和所述第四凹槽之间间隔第二衬底薄膜；所述第三凹槽中设置有永磁体；所述第一凹槽与所述第三凹槽相对堆叠，所述第二凹槽与所述第四凹槽相对堆叠；
所述第一悬臂梁结构的外侧表面设置有第一压电-电磁复合拾振结构，所述第二悬臂梁结构的外侧表面设置有第二压电-电磁复合拾振结构。
2.根据权利要求1所述压电-电磁复合式振动能量收集器，其特征在于，还包括设置在所述第一悬臂梁结构末端的第一质量块，和/或还包括设置在所述第二悬臂梁结构末端的第二质量块。
3.根据权利要求1所述压电-电磁复合式振动能量收集器，其特征在于，所述第一压电-电磁复合拾振结构包括设置在所述第一悬臂梁表面的第一压电层与第一电感线圈层；和/或所述第二压电-电磁复合拾振结构包括设置在所述第二悬臂梁表面的第二压电层与第二电感线圈层；所述第一压电层、所述第二压电层分别与所述第一电感线圈层、所述第二电感线圈层相绝缘隔离。
4.根据权利要求1所述压电-电磁复合式振动能量收集器，其特征在于，所述第一凹槽、所述第二凹槽、所述第三凹槽、所述第四凹槽的表面设置有绝缘层。
5.根据权利要求3所述的压电-电磁复合式振动能量收集器，其特征在于，所述第一压电层包括第一压电材料层以及形成在该第一压电材料层的上、下表面的上、下电极；和/或所述第二压电层包括第二压电材料层以及形成在该第二压电材料层的上、下表面的上、下电极。
6.一种压电-电磁复合式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
选择第一衬底，刻蚀所述第一衬底的下表面，形成第一凹槽结构；
在所述第一衬底与所述下表面相对的上表面沉积第一压电层；
在所述第一压电层上方沉积并刻蚀形成第一电感线圈层；
刻蚀所述第一衬底的上表面，形成第一悬臂梁结构；
选择第二衬底，刻蚀所述第二衬底的上、下表面，形成第三凹槽结构、第四凹槽结构，所述第三凹槽结构和所述第四凹槽结构间隔残留的所述第二衬底薄膜相对设置；
在所述第二衬底的上表面形成的所述第三凹槽结构内安装永磁体；
选择第三衬底，执行与所述第一悬臂梁结构相同的制备步骤形成第二悬臂梁结构；其中所述第三衬底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方为第二悬臂梁结构；
将所述第一衬底的第一凹槽结构正对所述第二衬底的第三凹槽结构、所述第二衬底的第四凹槽结构正对所述第三衬底的第二凹槽结构进行组装，制成所述压电-电磁复合式振动能量收集器。
7.根据权利要求6所述的压电-电磁复合式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，还包括以下步骤：
在所述第一凹槽结构、所述第二凹槽结构、所述第三凹槽结构、所述第四凹槽结构表面沉积绝缘层。
8.根据权利要求6所述的压电-电磁复合式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，还包括以下步骤：
在所述第一悬臂梁结构末端、所述第二悬臂梁结构末端安装质量块。
9.根据权利要求6所述的压电-电磁复合式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，所述组装包括键合工艺。
10.根据权利要求6所述的压电-电磁复合式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，沉积所述第一压电层、所述第二压电层包括沉积下电极、压电材料层、上电极的步骤。
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